JP3895742B2 - 微小電子機械システム(mems)走査ミラー装置 - Google Patents
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Description
本発明は、微小電子機械システム(MEMS)用装置に関し、特にMEMS走査ミラーに関する。
図1Bを参照すると、頂部層100Aは、ビーム状構造体103A,103Bの互いに反対側の側部に連結された回転くし歯108を有している。ビーム103A,103Bの近位端部は、多数の支持アタッチメント102により走査ミラー101の互いに反対側の側部に連結されている。換言すると、各ビームは、多数の場所で走査ミラー101に連結されている。支持アタッチメント102の位置及び数は、走査ミラー101の動的変形量を最小限に抑えるよう有限要素解析法により注意深く選択されている。支持アタッチメント102により走査ミラー101の動的変形量を減少させることにより、装置100の光学解像力が向上する。
図2Bを参照すると、頂部層200Aは、多数の支持アタッチメント202によりビーム203A,203Bに連結されたミラー201を有している。ミラー201及び支持アタッチメント202は、図1に示すものとほぼ同じである。回転くし歯208が、ビーム203A,203Bの一方の側部に連結されている。
100A 頂部層
100B 底部層
101 走査ミラー
102 支持アタッチメント
103A,B ビーム状構造体
104A〜H アンカ
105A〜H ばね/ヒンジ
107 キャビティ
108 回転くし歯
109 静止くし歯
Claims (14)
- 微小電子機械システム(MEMS)走査ミラー装置であって、
単一の回転軸線の周りに回転する走査ミラーと、
走査ミラーに連結された一端部を備え、走査ミラーから離れた他端へ回転軸線に沿って延びるビーム構造体と、
各々がビーム構造体に連結された一端部を備えた複数のばねとを有し、複数のばねはビーム構造体に沿って整列され、少なくとも1つのばねは、他のばねと走査ミラーの間に配置されていることを特徴とする装置。 - 複数のばねの少なくとも1つは、対応関係にある静止面に接合されている対応関係にあるアンカに連結された別の端部を有していることを特徴とする請求項1記載の装置。
- 複数のばねの少なくとも1つは、静止面に連結された別の端部を有していることを特徴とする請求項1記載の装置。
- ビーム構造体から延びる複数の回転くし歯と、複数の静止くし歯を更に有し、静止くし歯と回転くし歯は、相互に組み合わせられていることを特徴とする請求項1記載の装置。
- ビーム構造体の一端部は、走査ミラー上の複数の場所に連結されていることを特徴とする請求項1記載の装置。
- 微小電子機械システム(MEMS)走査ミラーが、バーコードリーダ、プリンタ、共焦点顕微鏡、ディスプレイ、テレビ、及びウェアラブルディスプレイからなるグループから選択されたシステムの一部である請求項1記載の装置。
- 少なくとも1つのばねが、ビーム構造体の中に配置されていることを特徴とする請求項1記載の装置。
- 微小電子機械システム(MEMS)走査ミラー装置であって、
単一の回転軸線の周りに回転する走査ミラーと、
各々が走査ミラー側の近位端部から走査ミラーから離れた遠位端部まで回転軸線に沿って延びる第1のビーム構造体及び第2のビーム構造体と、
一方の端部が第1のビーム構造体に連結された複数の第1のばねを有し、複数の第1のばねは、ビーム構造体に沿って整列され、第1のばねのうちの少なくとも1つのばねは、他の第1のばねと走査ミラーの間に配置されており、
さらに、一方の端部が第2のビーム構造体に連結された複数の第2のばねを有し、複数の第2のばねは第1のばねと同一の構造を有し、ビーム構造体に沿って整列され、第2のばねのうちの少なくとも1つのばねは、他の第2のばねと走査ミラーの間に配置されていることを特徴とする装置。 - 複数の第1のばねのうち少なくとも1つが、第1のビーム構造体の中に配置されていることを特徴とする請求項8記載の装置。
- 複数の第1及び第2のばねは、更に、対応関係にある静止面に接合されている対応関係にあるアンカに連結されていることを特徴とする請求項8記載の装置。
- 複数の第1及び第2のばねは、更に、静止面に連結されていることを特徴とする請求項8記載の装置。
- 微小電子機械システム(MEMS)走査ミラーが、バーコードリーダ、プリンタ、共焦点顕微鏡、ディスプレイ、テレビ、及びウェアラブルディスプレイからなるグループから選択されたシステムの一部である請求項8記載の装置。
- 第1のビーム構造体の近位端部は走査ミラーの第1の側の複数の第1の場所に連結され、第2のビーム構造体の近位端部は走査ミラーの第2の側の複数の第2の場所に連結されていることを特徴とする請求項8記載の装置。
- 第1及び第2のビーム構造体から延びる複数の回転くし歯と、複数の静止くし歯を更に有し、静止くし歯と回転くし歯は、相互に組み合わせられていることを特徴とする請求項12記載の装置。
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