JP3882644B2 - 段積みトレイの分離・積上げ機構、トレイ収納装置およびｉｃテストハンドラ - Google Patents
段積みトレイの分離・積上げ機構、トレイ収納装置およびｉｃテストハンドラ Download PDFInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、段積みトレイの分離・積上げ機構、トレイ収納装置およびＩＣテストハンドラに係り、特に、ＩＣが載置されたトレイを段積み（積層）して収納するトレイ収納枠において、下方に位置する所定の枚数のトレイと、これより上方にあるトレイとを分離することができ、さらに、最下段に位置するトレイの下に、所定の枚数のトレイを挿入することができる段積みトレイの分離・積上げ機構、該機構を具備するトレイ収納装置、およびＩＣテストハンドラに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１３は、特公昭６２−１９１３２１号公報に開示された従来のＩＣハンドラのトレイ分離機構の構成を示す一部透視の概略斜視図である。図１３において、ＩＣを収納したトレイ８１０がガイドコラム８２０内に段積み（Ｚ方向）され、トレイの長手方向（Ｙ方向）に進退自在な爪部材８３０がガイドコラム８２０に設置されている。また、ガイドコラム８２０の下方には、トレイ８１０を昇降自在に支持する昇降受台８４０と、最下段トレイ８１１をトレイの側面方向（Ｘ方向）に送り出すシフター８５０が配置されている。
【０００３】
したがって、昇降受台８４０を下降して、下段から２段目のトレイ８１２が爪部材８３０の位置に一致したところで、爪部材８３０を前進して、下段から２段目のトレイ８１２を下降不能とする。さらに、昇降受台８４０を下降して、最下段トレイ８１１をシフター８５０に載置する。
そして、シフター８５０をトレイの側面方向（Ｘ方向）に移動して、最下段トレイを送り出し、昇降受台８４０を再度上昇して、下段から２段目のトレイ８１２を支持し、爪部材８３０を後退して、前記作業を繰り返すものである。
これにより、ガイドコラム８２０内に段積み（Ｚ方向）された、多数のトレイに衝撃を与えることなく、最下段のトレイを上方にあるトレイから分離することができるという効果を奏するものである（以上、従来技術１と称す）。
【０００４】
図１４は、特開昭６０−１４４２３９号公報に開示された従来の縦積み部品の分離機構の要部斜視図である。図１４において、トレイ９０６が支持枠９０５内に段積み（Ｚ方向）され、載置台９０４に載置されている。昇降台９０７には、分離爪９１０が回転自在に設置され、昇降台９０７が所定距離上昇したところで、分離爪９１０がトレイ９０６に向けて（略Ｙ方向）回転し、分離爪９１０の先端９１０ａがトレイ９０６の側部に設けた顎部９０６ａに侵入する。
【０００５】
したがって、該侵入部より上方にあるトレイと下方にあるトレイが分離され、該分離状態で、昇降台９０７を上昇すると、該上方にあるトレイが持ち上がり、さらに、載置台９０４に載置されている下方にあるトレイを、図示しない水平搬送手段によりＸ方向に搬送することができる。そして、再度、昇降台９０７を下降すると、上方のトレイを載置台９０４に載置することができる。
【０００６】
分離爪９１０には回転軸９０９が固定され、回転軸９０９にはアーム９１１およびガイド部材９１３が固定されている。回転軸９０９は昇降台９０７に設置したブラケット９０８に回転自在に支持されている。そして、ガイド部材９１３の先端にはカムフォロアー９１４（後記溝カム９１６の溝に侵入自在な突起）が装着されている。
【０００７】
一方、載置台９０４には案内板９１５が設置され、案内板９１５には溝カム９１６が設けられている。溝カム９１６は往路９１６ａと復路９１６ｂが異なるヒステリシス経路と、経路を選択するシャッター９１７を有している。シャッター９１７は、回転中心９１８に軸止され図示する姿勢になるよう弾性的に拘束されている。
【０００８】
したがって、シャッター９１７が図示する姿勢において、昇降台９０７が上昇すると、カムフォロアー９１４は、略垂直に上昇し、やがて往路９１６ａの傾斜にしたがってわずかに傾斜した水平方向（略Ｙ方向）に移動する。このとき、回転軸９０９は図中時計回りに回転するから、分離爪９１０の先端９１０ａはトレイに向かって略水平方向（略Ｙ方向）に移動して（以下、前進と称す）、トレイ９０６の側部に設けた顎部９０６ａに侵入する。
【０００９】
さらに、カムフォロアー９１４は復路９１６ｂの上部垂直範囲を上昇する。このとき、回転軸９０９は回転することなく上昇するから、分離爪９１０の先端９１０ａはトレイ９０６の顎部９０６ａを支持したまま上昇する。
【００１０】
なお、回転軸９０９（以下、第一の回転軸９０９と称す）と平行に、トレイの前後方向（図中Ｙ方向）で所定の間隔を介して図示しない第二の回転軸が配置されている。第二の回転軸には第一の回転軸９０９に固定されたアーム９１１と同様に、第二のアームが固定され、アーム９１１と第二のアームは連結棒９１２により連結されている。連結棒９１２の両端は、それぞれアーム９１１と第二のアームに回転自在に軸止されているため、第二の回転軸は第一の回転軸９０９と同じ回転をすることになる。
【００１１】
さらに、第一の回転軸９０９および第二の回転軸には、それぞれ所定の間隔（図中、Ｘ方向）を介して一対の分離爪９１０が設置されている。よって、略矩形状に配置された合計４の分離爪９１０により、トレイ９０６は分離されることになる。
したがって、分離爪９１０の先端９１０ａより上方にあるトレイ９０６は、略矩形状に配置された合計４の分離爪９１０により持ち上げられ、該持ち上げられた状態で、載置台９０４に載置された下方にあるトレイ９０６を移送し、該持ち上げられたトレイ９１０を載置台９０４に載置することができる。すなわち、トレイは分離されることになる（以上、従来技術２と称す）。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術１においては、爪部材８３０の進退動作と昇降受台８４０の昇降動作を同調（シーケンス動作）させる必要があるため、以下のような問題点があった。
（ａ）それぞれの動作の完了を確認するためのセンサ、および、該センサの信号に基づいて、それぞれの動作を制御するシーケンス制御機構が必要である。
（ｂ）また、かかる制御により、分離作業が遅延する。
（ｃ）特に、かかるトレイ分離機構をＩＣテストハンドラの恒温チャンバ内に設置する場合、恒温チャンバ内の温度が種々に変更されるため、これに耐えるセンサおよび爪部材８３０の進退手段の種類が制約され、且つ故障等のトラブル発生のおそれが増大する。
【００１３】
（ｄ）さらに、恒温チャンバの外に爪部材８３０の進退手段を設置する場合には、伝熱の遮断や温度変化に伴う伸縮の吸収が必要になり構造が複雑になる。
（ｅ）また、トレイを前後左右の４カ所で支持する場合に、該４カ所における爪部材８３０の進退動作を同期させるための工夫が必要になる。
（ｆ）さらに、爪部材８３０の位置を変更することが困難なため、下段にある所定の枚数のトレイ（たとえば、２枚等）を分離するという要請に対応できない。
【００１４】
一方、従来技術２においては、昇降台９０７の昇降動作のみにより、分離爪９１０が前後進するため、従来技術１のようなシーケンス制御機構を必要としないものの、カム機構を具備するため以下の問題点がある。
（ｇ）第一の回転軸９０９および第二の回転軸に設置する合計４の分離爪を位相（たとえば、トレイ分離時の高さ）を合わせて設置することが困難である。
（ｈ）特に、かかる分離機構をＩＣテストハンドラの恒温チャンバ内に設置する場合、恒温チャンバ内の温度が種々に設定されるため、連結棒９１２が伸縮し、第一の回転軸９０９に設置された分離爪９１０と、第二の回転軸に設置された分離爪の間で、位相（たとえば、トレイ分離時の高さ）が変化する。
【００１５】
（ｉ）また、カム溝が水平部を具備することができないため（昇降台９０７の昇降動作のみにより、カムフォロアー９１４を移動させるため）、分離爪９１０の先端９１０ａは、上昇しながら前進することになるから、トレイ９０６を持ち上げながら顎部９０６ａに侵入する。
【００１６】
（ｊ）このため、昇降台９０７を上昇するための負荷が増大し、先端９１０ａおよび顎部９０６ａの摩耗が助長され、さらに、第一の回転軸９０９および第二の回転軸に捩り変形が生じ、図中Ｘ方向で分離爪の先端の位置がずれるおよれが増大する。
（ｋ）さらに、分離するトレイの枚数を変更したい場合（たとえば、１枚から２枚等に変更する）、該要請に対応した溝カムを具備する案内板を、新たに設置する必要があるため、かかる要請に容易に対応できない。
【００１７】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、簡単な機構であって、それぞれの分離爪の高さが容易に同一に設定され、且つ該高さが変化することなく確実にトレイを分離し、また、分離するトレイの枚数を容易に変更することができる、段積みトレイの分離・積上げ機構、並びに該機構を具備するトレイ収納装置およびＩＣテストハンドラを得ることを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る段積みトレイの分離・積上げ機構は、以下のとおりである。
（１）複数のトレイを段積みして収納するトレイ収納枠と、該トレイ収納枠に沿って昇降する昇降部と、該昇降部に傾動自在に立設された分離爪レバーと、該分離爪レバーを前記トレイから退避させるレバー退避手段と、前記退避した分離爪レバーの傾動を拘束するレバー拘束手段と、該拘束を解放するレバー拘束解放手段とを有し、
前記分離爪レバーが前記トレイを支持した状態で、前記昇降部が上昇または下降し、
前記レバー拘束手段が前記分離爪レバーの傾動を拘束した状態で、前記昇降部が上昇し、
前記分離爪レバーが前記レバー拘束手段から解放された状態で、前記昇降部が下降すると共に、
前記レバー退避手段が、前記トレイ収納枠に設けられた下方になる程前記トレイ収納枠から遠ざかる収納枠側斜面と、前記分離爪レバーに設けられたレバー側案内部とにより構成され、
前記昇降部が下降した際、前記レバー側案内部が前記収納枠側斜面に当接することを特徴とするものである。
これにより、支持しているトレイを所定の載置部に載置し、さらに、分離爪レバーが載置されたトレイから退避した状態で、上昇することができるから、所定の枚数のトレイ分の高さまで上昇したところで、分離爪レバーが傾動して再度上方にあるトレイを支持することが可能になる。すなわち、トレイの分離が行われる。
さらに、支持しているトレイを所定の高さに支持した状態で、該トレイの下方に設けた載置部に新たなトレイを移送し、そして、その新規トレイの上に前記既に支持しているトレイを載置することができる。そして、昇降部をさらに下降すると、分離爪レバーは新規トレイの側縁に沿って退避し、やがて新規トレイの底面（顎部）に侵入するから、再度、昇降部を上昇すると、新規トレイと一緒に全てのトレイ（前記既に支持しているトレイを含む）を所定の高さに持ち上げることが可能になる。よって、トレイの積上げが行われる。
【００１９】
そして、分離爪レバーは、トレイ側に傾動（前進）してトレイを支持し、支持しているトレイを所定の載置部に載置した後は、トレイから退避して拘束されるから、該拘束状態のまま、載置されたトレイから退避して上昇することができる。そして、所定の枚数のトレイ分の高さまで上昇したところで、レバー拘束解放手段により該拘束が解放され、分離爪レバーが再度前進する。よって、該前進した分離爪（分離爪レバーのトレイ側に設置）より上方にあるトレイを支持することが可能になる。すなわち、トレイの分離が確実に行われる。
さらに、分離爪レバーは確実にトレイ収納枠（収納されたトレイに同じ）から退避してレバー拘束手段により拘束されるから、退避状態で昇降部を上昇してもトレイと干渉することがない。なお、収納枠側斜面はトレイ収納枠の外側面に設置された略三角形または台形の板材、レバー側案内部は分離爪レバーに設置した突起（ピン）等である。
【００２０】
（２）において、複数のトレイを段積みして収納するトレイ収納枠と、該トレイ収納枠に沿って昇降する昇降部と、該昇降部に傾動自在に立設された分離爪レバーと、該分離爪レバーを前記トレイの方向に傾動させるレバー加勢手段と、を有し、
前記分離爪レバーが前記トレイを支持した状態で、前記昇降部が上昇または下降すると共に、
前記レバー退避手段が、前記トレイ収納枠に設けられた下方になる程前記トレイ収納枠から遠ざかる収納枠側斜面と、前記分離爪レバーに設けられたレバー側案内部とにより構成され、
前記昇降部が下降した際、前記レバー側案内部が前記収納枠側斜面に当接することを特徴とするものである。
これにより、支持しているトレイを所定の載置部に載置し、さらに、分離爪レバーが載置されたトレイから退避した状態で、上昇することができるから、所定の枚数のトレイ分の高さまで上昇したところで、分離爪レバーが傾動して再度上方にあるトレイを支持することが可能になる。すなわち、トレイの分離が行われる。
さらに、支持しているトレイを所定の高さに支持した状態で、該トレイの下方に設けた載置部に新たなトレイを移送し、そして、その新規トレイの上に前記既に支持しているトレイを載置することができる。そして、昇降部をさらに下降すると、分離爪レバーは新規トレイの側縁に沿って退避し、やがて新規トレイの底面（顎部）に侵入するから、再度、昇降部を上昇すると、新規トレイと一緒に全てのトレイ（前記既に支持しているトレイを含む）を所定の高さに持ち上げることが可能になる。よって、トレイの積上げが行われる。
そして、分離爪レバーは、レバー拘束手段から解放された際、確実にトレイ側に傾動（前進）するから、トレイを確実に支持することができる。なお、前記レバー加勢手段は、分離爪レバーと昇降部の間に介設した圧縮バネまたは引っ張りバネ、あるいは、分離爪レバー自体のトレイ側（傾動中心に対してトレイ側）に設置して偏荷重（回転モーメント）を付与する錘等である。
さらに、分離爪レバーは確実にトレイ収納枠（収納されたトレイに同じ）から退避してレバー拘束手段により拘束されるから、退避状態で昇降部を上昇してもトレイと干渉することがない。なお、収納枠側斜面はトレイ収納枠の外側面に設置された略三角形または台形の板材、レバー側案内部は分離爪レバーに設置した突起（ピン）等である。
【００２３】
（３）前記（１）または（２）において、前記レバー拘束手段が、前記昇降部に回転自在に設置されたラッチと、前記分離爪レバーに設置されたラッチ係止部とにより構成され、
前記分離爪レバーが前記トレイから退避した際、前記ラッチが前記ラッチ係止部に係止することを特徴とするものである。
これにより、分離爪レバーが退避状態で拘束されるから、昇降部が上昇する際に分離爪レバーがトレイ収納枠側に傾動（前進）することが確実に防止できる。
【００２４】
（４）前記（３）において、前記ラッチ係止部が前記レバー拘束解放手段に当接し、該当接により前記分離爪レバーの前記トレイ収納枠側への傾動が規制されることを特徴とするものである。
これにより、別途ストッパを設置することなく、分離爪レバーの前記トレイ収納枠側への傾動範囲、すなわち前進限が決まることになる。
【００２５】
（５）前記（３）または（４）において、前記昇降部が、前記トレイ収納枠を横断する水平部と、該水平部の両側部にそれぞれ対峙して立設された一対の垂直部とを有し、
該垂直部より前記トレイ収納枠に近い位置で、前記水平部に前記分離爪レバーが設置され、また前記垂直部に前記ラッチが設置され、
前記ラッチが、一端部に設けた回転中心と、他端部の近傍に設けた略上方に開いた懐部とを具備し、前記分離爪レバーが前記トレイ収納枠から退避した際、前記ラッチ係止部が前記懐部に係止し、前記昇降部が上昇した際、前記他端部が前記レバー拘束解放手段に当接して下降することを特徴とするものである。
これにより、一対の分離爪レバーと一対の垂直部が、トレイ収納枠に対して垂直な直線上に配置されるから、分離爪レバーの端面（トレイ収納枠に対して垂直な面）にラッチ係止部（ピン）を設置し、垂直部の端面（トレイ収納枠に対して垂直な面）にラッチを設置することができる。よって、簡単な構成によりレバー拘束手段を形成することが可能になる。また、ラッチおよびレバー拘束解放手段の形状が簡単になり、さらに、分離爪レバーの拘束および拘束の解放が容易且つ確実になる。
【００２６】
（６）前記（１）または（２）において、前記レバー拘束手段が、前記分離爪レバーに回転自在に設置されたラッチと、前記昇降部に設置されたラッチ係止部とにより構成され、
前記分離爪レバーが前記トレイから退避した際、前記ラッチが前記ラッチ係止部に係止することを特徴とするものである。
これにより、分離爪レバーが退避状態で拘束されるから、昇降部が上昇する際に分離爪レバーがトレイ収納枠側に傾動（前進）することがない。
【００２７】
（７）前記（６）において、前記昇降部が、前記トレイ収納枠を横断する水平部と、該水平部の両側部にそれぞれ対峙して立設された一対の垂直部とを有し、該垂直部より前記トレイ収納枠に近い位置で、前記水平部に前記分離爪レバーが設置され、また前記垂直部に前記ラッチ係止部が設置され、
前記ラッチが、一端部から所定の距離だけ離れた位置に設けた回転中心と、他端部の近傍に設けた略下方に開いた懐部とを具備し、前記分離爪レバーが前記トレイ収納枠から退避した際、前記ラッチ係止部が前記懐部に係止し、前記昇降部が上昇した際、前記一端部が前記レバー拘束解放手段に当接して前記他端部が上昇することを特徴とするものである。
これにより、一対の分離爪レバーと一対の垂直部が、トレイ収納枠に対して垂直な直線上に配置されるから、分離爪レバーの端面（トレイ収納枠に対して垂直な面）にラッチを設置し、垂直部の端面（トレイ収納枠に対して垂直な面）にラッチ係止部（ピン）を設置することができる。よって、簡単な構成によりレバー拘束手段を形成することが可能になる。また、ラッチおよびレバー拘束解放手段の形状が簡単になり、さらに、分離爪レバーの拘束および拘束の解放が容易且つ確実になる。
【００２８】
（８）前記（１）または（２）において、前記レバー側案内部が前記トレイ収納枠に当接し、該当接により前記分離爪レバーの前記トレイ収納枠側への傾動が規制されることを特徴とするものである。
これにより、別途ストッパを設置することなく、分離爪レバーの前記トレイ収納枠側への傾動範囲、すなわち前進限が決まることになる。
【００２９】
（９）前記（１）乃至（９）の何れかにおいて、前記レバー拘束解放手段が、前記トレイ収納枠に設置したラッチ解放板であって、
前記昇降部が所定位置に上昇した際、前記ラッチが前記ラッチ解放板に当接して回転することを特徴とするものである。
これにより、ラッチの回転により、ラッチがラッチ係止部から解放されるから、分離爪レバーは退避状態から解放され、トレイ収納枠側に傾動（前進）することができる。
なお、昇降部に設置されたラッチは、ラッチの上面にラッチ係止部を受ける懐部を具備するから、該ラッチの懐部に近い端部が前記ラッチ解放板に当接して、懐部が下降するような回転をする。
一方、分離爪レバーに設置されたラッチは、ラッチの下面にラッチ係止部を受ける懐部を具備するから、該ラッチの懐部とは反対の端部がラッチ解放板に当接して、懐部が上昇するような回転をする。
【００３０】
（１０）前記（１）乃至（９）の何れかにおいて、前記分離爪レバーの上部に前記トレイ収納枠側に突出する分離爪が設置され、前記トレイ収納枠に収納されたトレイを支持する際、該分離爪の上面が水平になることを特徴とするものである。
これにより、分離爪の先端がトレイの下面（顎部）に確実に侵入して、トレイの下面（顎部）に平行に当接するから、トレイの支持が確実になる。
【００３１】
（１１）前記（１）乃至（１０）の何れかにおいて、前記分離爪レバーの傾動中心が、前記トレイ収納枠に収納されたトレイの側縁よりも、前記トレイ収納枠の中心に近い位置にあることを特徴とするものである。
これにより、分離爪の先端がトレイの下面（顎部）に侵入する際、略水平方向または、該下面（顎部）を持ち上げる方向に移動するから、昇降部の上昇速度を大きくしても、トレイを確実に支持することができる。
【００３２】
（１２）前記（７）乃至（１１）の何れかにおいて、前記レバー加勢手段が、前記分離爪レバーと前記垂直部の間に介設した圧縮バネであることを特徴とするものである。
これにより、分離爪レバーの外側面（トレイ収納枠から遠い方の面）と垂直部の内側面（トレイ収納枠に近い方の面）が対峙するから、圧縮バネの配置が容易になる。なお、分離爪レバーの外側面または垂直部の内側面の一方または両方に、圧縮バネの端部が侵入する凹部を設けておけば、圧縮バネの設置が一層容易になる。
【００３３】
（１３）前記（１）乃至（１２）の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構において、前記レバー退避手段が着脱自在またはその設置位置が変更自在であることを特徴とする請求項２乃至１５の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構であって、
前記分離爪レバーが前記レバー拘束手段から解放された状態で、前記昇降部が上昇および下降するものである。
これにより、レバー退避手段を撤去または、またはレバー退避手段の設置位置を下方に移動しておけば、分離爪レバーは退避しないから、その傾動が拘束されることがない。つまり、分離爪レバーは常にレバー拘束手段から解放された状態になる。
よって、昇降部が下降した場合、分離爪レバーはトレイの側縁に沿って外側に押し出され、やがて、トレイの下面（顎部）に侵入する。そして、昇降部が再度上昇すれば、当該トレイを持ち上げることができる。
したがって、既に持ち上げているトレイの下方に、新規のトレイが載置された場合には、該新規トレイの上に既に持ち上げているトレイを載置することができ、さらに、新規のトレイを含む全てのトレイを持ち上げることが可能になる。すなわち、トレイを積上げることができる。
なお、レバー退避手段を撤去したりレバー退避手段の設置位置を下方に移動したりする代わりに、分離爪レバーの下降する最下点（下降限）を調整して、分離爪レバーがレバー退避手段に当接しないようにしても同様の作用効果が得られる（前記（１）参照）。
【００３４】
（１４）前記（１）乃至（１２）の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構において、前記レバー拘束手段が着脱自在であることを特徴とし、
前記レバー拘束手段が撤去された状態で、前記分離爪レバーが前記トレイを支持して前記昇降部が上昇し、さらに、前記昇降部が下降する際、前記分離爪レバーが前記トレイの側縁に当接して前記トレイ収納枠の外側に向けて傾動されるものである。
これにより、かかる段積みトレイの分離・積上げ機構を設置しておけば、トレイの分離機構として使用すること、あるいはトレイの積上げ機構として使用することが可能になる。さらに、該使用の変更が容易にでき、一旦変更した後、再度元に戻すことが容易にできる。
【００３５】
さらに、本発明に係るトレイ収納装置は、以下のとおりである。
（１５）前記（１）乃至（１２）の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構において、前記トレイ収納枠の上部に設置したトレイ供給手段と、
前記トレイ収納枠の下部に設置したトレイ排出手段とを有することを特徴とするものである。
したがって、トレイ収納枠内に積上げられたトレイを下から順番に排出することができ、また、上部から新たなトレイを受け入れて、さらに積上げることが可能になる。
【００３６】
（１６）前記（１）乃至（１４）の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構において、前記トレイ収納枠の下部に設置したトレイ供給手段と、
前記トレイ収納枠の上部に設置したトレイ排出手段とを有することを特徴とするものである。
したがって、下部から新たなトレイを受け入れて、さらに積上げることができ、さらに、トレイ収納枠内に積上げられたトレイを上から順番に排出することが可能になる。
【００３７】
（１７）前記（１５）に記載の第一の段積みトレイの分離・積上げ機構と、
前記（１６）に記載の第二の段積みトレイの分離・積上げ機構と、
第一の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠の下部に収納されたトレイを、第二の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠の下部に移送する下部トラバーサと、
第二の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠の上部に収納されたトレイを、第一の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠の上部に移送する上部トラバーサとを有することを特徴とするものである。
これにより、第一の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠と第二の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠の間で、トレイを循環することが可能になる。
なお、(i)昇降部の下降の最下点（下降限）を上方に設定したり、(ii)レバー退避用ドグの設置位置を下方に移動したり、あるいは(iii)レバー退避用ドグを撤去したりして分離爪レバーが退避しないようにする。また、(iv)ラッチ解放板の設置範囲を下方まで延長したり、(v)レバー拘束手段の押上用圧縮バネを撤去したりしてレバー拘束手段自体が上昇しない（機能しない）ようにする。さらに、(vi)レバー拘束手段自体を撤去したりする。等によりトレイの分離機構をトレイの積上げ機構に容易に切り替えることができ、また、逆に容易に元に戻すことができる。
【００３８】
（１８）前記（１７）において、前記下部トラバーサまたは前記上部トラバーサが、水平方向に移動自在なラックと、該ラックに噛み合って回転するピニオンと、該ピニオンを回転するピニオン回転手段と、前記ラックに設置されて前記トレイ収納枠内に収納されたトレイに係止する係止用突起とを具備することを特徴とするものである。
これにより、簡単な構造により、トレイの移送を確実に行うことができる。
【００３９】
さらに、本発明に係るＩＣテストハンドラは、以下のとおりである。
（１９）検査前ＩＣが載置される検査前ＩＣステージと、
所定の検査を終えた検査済ＩＣが載置される検査済ＩＣステージと、
検査前ＩＣを所定の温度に維持する恒温チャンバと、
該恒温チャンバに収容されまたは該恒温チャンバに隣接して、検査前ＩＣに所定の検査を実施する検査ステージと、
検査前ＩＣを、前記検査前ＩＣステージから前記恒温チャンバに搬送する検査前ＩＣ搬送手段と、
前記恒温チャンバにおいて、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣを搬送する恒温チャンバ内ＩＣ搬送手段と、
検査済ＩＣを、前記恒温チャンバから前記検査済ＩＣステージに搬送する検査済ＩＣ搬送手段とを有し、
前記恒温チャンバ内に、前記（１５）乃至（１８）の何れかに記載のトレイ収納装置が設置されていることを特徴とするものである。
これにより、検査前ＩＣをチャンバ内トレイに載置して恒温チャンバ内を搬送することができるから、所定の数量の検査前ＩＣを恒温チャンバ内に所定時間滞留することが可能になる。このとき、チャンバ内トレイの分離およびとチャンバ内トレイの積上げが、スムースに且つ確実に行われるから、ＩＣやチャンバ内トレイの損傷、あるいは、チャンバ内トレイの搬送トラブルが防止されてＩＣ検査の精度・信頼性が維持される。
【００４０】
【発明の実施の形態】
［実施の形態１］
（段積みトレイの分離・積上げ機構）
図１は本発明の実施の形態１に係る段積みトレイの分離・積上げ機構の構成を示す斜視図である。図１において、１は段積みトレイの分離・積上げ機構、１０は複数のトレイ（図示しない）を段積みして収納するトレイ収納枠、２０はトレイ収納枠１０に沿って（図中、Ｚ方向）昇降する昇降部、３０は昇降部２０に傾動自在（図中、Ｙ−Ｚ面内を傾動）に立設された分離爪レバー、４０は分離爪レバー３０をトレイ収納枠１０に向けて傾動させる（図中、プラスＹ方向（以下、内側と称す）、図示しない収納されたトレイの方向に進めるに同じ、以下、前進と称す）前進用圧縮バネである。
【００４１】
さらに、５０はトレイ収納枠１０に設置されて分離爪レバー３０をトレイ収納枠１０の中央から遠ざける（図中、マイナスＹ方向（以下、外側と称す）で、図示しない収納されたトレイから退避させるに同じ、以下、退避と称す）レバー退避用ドグ、６０は昇降部２０（垂直部２１に同じ）に設置されて退避した分離爪レバー３０の傾動を拘束するレバー拘束ラッチ、７０はトレイ収納枠１０に設置されて該拘束を解放するラッチ解放板、８０はレバー拘束ラッチを上方向に押し上げる押上用圧縮バネ、および９０はトレイの同一側縁部に配置された分離爪レバー同士を連結する連結棒である。
【００４２】
（トレイ）
図２は本発明の実施の形態１に係る段積みトレイの分離・積上げ機構におけるトレイを示す斜視図である。図２において、トレイ１００は、平板部１０１と、平板部１０１の下面の４角に設置された角部脚１０２と、平板部１０１の下面の長手方向（図中、Ｘ方向）の両端部で幅方向（図中、Ｙ方向）の中央に設置された中央部脚１０３とを有している。
そして、平板部１０１の幅方向の両縁の上角には面取り１０４が設けられ、面取り１０４の裏面（平板部１０１の裏面）が後記分離爪３２が当接する顎部１０５を形成している。また、角部脚１０２にも、面取り１０４と同様の面取り１０６が設けられている。
【００４３】
さらに、平板部１０１の上面には、ＩＣを収納するＩＣ収納ポケット１０７と、通気用貫通穴１０８が設けられている。ＩＣ収納ポケット１０７の数量および形状は、トレイの目的に応じて変更される。また、通気用貫通穴１０８もトレイの目的および要求性能、たとえば、熱容量の保証、軽量化と剛性確保等に応じて変更されるものである。
【００４４】
以下、図１および図２に基づいて各部位の説明をする。
（トレイ収納枠）
トレイ収納枠１０は、複数のトレイ（図２に示すトレイ１００）を段積み（積層）して収納するものであって、平面視で矩形状のトレイ１００の４角または４辺のそれぞれを案内する鉛直案内部１１を具備している。そして、鉛直案内部１１の下部には収納したトレイ１００が載置されるトレイ載置部１２が設けられ、載置された下方のトレイ１００（最下段の１枚、または所定の複数枚）を長手方向（図中、Ｘ方向）に移送する下部トラバーサが配置されている（図示しない）。
一方、鉛直案内部１１の上部には新規トレイ１００を移送して、最上段のトレイの上に載置する上部トラバーサが配置されている（図示しない）。
【００４５】
（昇降部）
昇降部２０は、平面視略矩形状の板材または棒材を井桁状に形成したものであって、トレイ収納枠１０の下部を幅方向（図中、Ｙ方向）に貫通する水平部２１と、水平部２１の上面でトレイ収納枠１０の外側に位置する両側部に立設された垂直部２２を有している。垂直部２２は矩形状に４カ所配置されている。
水平部２１の垂直部２２が立設する位置の内側に、分離爪レバー３０の下端部を傾動自在に軸支するための分離爪レバー用溝２３が設けられ、分離爪レバー用溝２３に分離爪レバー支持軸２４が長手方向（図中、Ｘ方向）に設置されている。また、昇降部２０の下面には昇降軸２５が設置され、昇降軸２５は図示しない昇降手段に連結されている。
【００４６】
（分離爪レバー）
分離爪レバー３０の下端部には支持穴（図示しない）が設けられ、支持穴３１に分離爪レバー支持軸２４が挿入されている。そして、分離爪レバー３０は、幅方向（図中、Ｙ−Ｚ面内）で内側（プラスＹ方向）に向けて圧縮バネ４０により加勢されながら、傾動自在に軸支されている。
分離爪レバー３０の上端部は、内側に突出した分離爪３２が形成され、また、分離爪レバー３０の内側の面３３の上部、すなわち分離爪３２の下方には、下方になる程トレイ収納枠１０から遠ざかるように傾斜したテーパ状内側面３４が形成されている。
【００４７】
なお、分離爪レバー３０が内側に傾動すると、分離爪３２がトレイ収納枠１０内に侵入（以下、前進と称す）して、分離爪３２の上面が図示しないトレイに当接する。このとき、分離爪３２の上面は略水平になって、トレイの顎部（図２に示すトレイ１００の顎部１０５）に当接し、テーパ状内側面３４はトレイの面取り（図２に示すトレイ１００の面取り１０４）と略平行になる（以下、前進限の状態と称す）。なお、分離爪レバー３０が前進限を超えて傾動（前進）しないように、ストッパを設けてもよい。
【００４８】
さらに、分離爪レバー３０の端面３５（図中、マイナスＸ方向の面）には、レバー拘束ラッチ６０に係止するラッチ係止ピン３６が設置されている。
ラッチ係止ピン３６の高さ（図中、マイナスＸ方向の高さ）は、分離爪レバー３０の端面３５とトレイ収納枠１０に設置したラッチ解放板７０の分離爪レバー側の端面７１（図中、プラスＸ方向の面）との間の距離より小さいため、ラッチ係止ピン３６がラッチ解放板７０に衝突することがない。つまり、ラッチ係止ピン３６も分離爪３２と同様にトレイ収納枠１０の内部に侵入することができる。なお、分離爪レバー３０の端面３５とラッチ解放板７０の端面７１を近づけたり、ラッチ係止ピン３６の高さを高くして、ラッチ係止ピン３６がラッチ解放板７０あるいはトレイ収納枠１０に衝突するようにし、分離爪レバー３０が前進限を超えて傾動（前進）しないようにしてもよい。このとき、ラッチ係止ピン３６より内側に突出した範囲（分離爪３２を含む範囲）のみがトレイ収納枠１０内に侵入することになる。
【００４９】
（前進用圧縮バネ）
前進用圧縮バネ４０の両端部は、それぞれ分離爪レバー３０の外側の面３７に設けた凹部３８と、昇降部２０の垂直部２１の内側の面２６に設けた凹部（図示しない）に挿入されている。
なお、前進用圧縮バネ４０に替えて、分離爪レバー３０と昇降部２０の水平部２１との間に引っ張りバネを配置してもよい。さらに、分離爪３２の自重（偏荷重）により分離爪レバー３０が内側に傾動するようにしてもよい。
【００５０】
（レバー退避用ドグ）
レバー退避用ドグ５０は、トレイ収納枠１０の外側に設置されたレバー退避用ドグ受け５１に固定されている。したがって、昇降部２０が下降した際、分離爪レバー３０のテーパ状内側面３４がレバー退避用ドグ５０に当接し、昇降部２０がさらに下降すると、分離爪レバー３０はレバー退避用ドグ５０により外側に押され傾動（退避）することになる。
【００５１】
（レバー拘束ラッチ）
レバー拘束ラッチ６０は一端に回転穴６１と、他端に上方に向けて折れ曲がった先端部６２と、該折れ曲がりの開始部に懐部６３を有している。
そして、回転穴６１には昇降部２０の垂直部２２に設置された回転軸２８が挿入され、レバー拘束ラッチ６０は回転自在に軸支される。また、レバー拘束ラッチ６０は圧縮バネ８０により上方に加勢されている。
【００５２】
したがって、ラッチ係止ピン３６はレバー拘束ラッチ６０の先端部６２の上面に当接した際、相互に押し付けられている。さらに、昇降部２０が下降して分離爪レバー３０が退避用ドグ５０に押されて退避すると、ラッチ係止ピン３６はレバー拘束ラッチ６０の先端部６２の上面から外れ、懐部６３に抱え込まれることになる。なお、レバー拘束ラッチ６０の形状は、上方に向けて折れ曲がった先端部６２を具備する断面略し字状に限定するものではなく、断面矩形状板に懐部を形成したものであってもよい。
【００５３】
（ラッチ解放板）
ラッチ解放板７０は、トレイ収納枠１０の外側に設置され、鉛直方向の摺動面７２と、摺動面７２の下端部に傾斜したテーパ状当たり面７３とを有する板材である。したがって、昇降部２０が上昇した際、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２はなめらかに当接して衝撃が緩和され、さらに摺動面７２を摺動しながら上昇する。このとき、レバー拘束ラッチ６０の先端６２は下方に押し下げられるから、ラッチ係止ピン３６はレバー拘束ラッチ６０の懐部６３から解放され、分離爪レバー３０は圧縮バネ４０の反発力により、内側に傾動（前進）することになる。
【００５４】
（押上用圧縮バネ）
押上用圧縮バネ８０は、レバー拘束ラッチ６０に上向きの力を付与するためのコイルバネであって、その両端が昇降部２０の垂直部２２に設置された圧縮バネ受け８１に設けた凹部８２と、レバー拘束ラッチ６０の下面に設けた凹部（図示しない）にそれぞれ挿入されている。
【００５５】
（連結棒）
連結棒９０は、昇降部２０の同一側縁部に配置された一対の分離爪レバー同士を連結し、当該分離爪レバーの傾動を同期させることを目的とするものであるが、設置を省略してもよい。なお、連結棒９０を端面３５から突出させて、該突出部がレバー拘束ラッチ６０に拘束されるようにすれば、該突出部がラッチ係止ピン３６を兼ねることができる。
【００５６】
（分離動作）
図３は本発明の実施の形態１に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における分離動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。なお、図１または図２と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【００５７】
図３の（ａ）において、トレイ１１０、１２０はそれぞれ図２に示すものであって、図示しないトレイ収納枠（図１に示すトレイ収納枠１０参照）内に積み上けられている（積層されている）。分離爪３２が最下段のトレイ１１０の顎部１１５に係止し、分離爪レバー３０がトレイ１１０、１２０を支持している。すなわち、分離爪レバー３０は前進限の状態にある。
【００５８】
このとき、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２はラッチ解放板７０の摺動面７２に摺動し、先端部６２は下方に押し下げられているから、分離爪レバー３０はレバー拘束ラッチ６０から解放されている。
なお、理解を容易にするためトレイは２枚とし、下方のトレイ１１０を最下段トレイ１１０と、上方のトレイ１２０を二段目トレイ１２０と、これらの両方を指す場合はトレイ１１０、１２０と称す。また、トレイ収納枠１０に設置された部位（昇降しない部位）に斜線を付す。
【００５９】
図３の（ｂ）において、図示しない昇降部（図１に示す昇降部２０参照、以下、昇降部と称す）が下降すると、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２は、ラッチ解放板７０の摺動面７２に摺動しながら下降し、テーパ状当たり面７３に摺動した後、ラッチ解放板７０から離れる。このとき、レバー拘束ラッチ６０は、押上用圧縮バネ（図示しない）により押し上げられ、先端部６２がラッチ係止ピン３６に当接する。なお、分離爪レバー３０はトレイ１１０、１２０を支持したままである。
【００６０】
図３の（ｃ）において、昇降部がさらに下降すると、最下段トレイ１１０の角部脚１１２の下面が、トレイ収納枠のトレイ載置部１２に当接し、トレイ１１０、１２０はトレイ載置部１２に載置される。このとき、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２はラッチ係止ピン３６に当接したまである。また、分離爪レバー３０は前進限の状態のままであるが、最早トレイ１１０、１２０の荷重を支持していない。
【００６１】
図３の（ｄ）において、昇降部がさらに下降すると、分離爪レバー３０のテーパ状内側面３４は、レバー退避用ドグ５０に当接し、分離爪レバー３０は外側に傾動（退避）される。このとき、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２はラッチ係止ピン３６から外れ、懐部６３にラッチ係止ピン３６が抱え込まれる。すなわち、分離爪レバー３０は、退避した状態でレバー拘束ラッチ６０により拘束されることになる。
【００６２】
図３の（ｅ）において、次に、昇降部が上昇した場合でも、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２がラッチ解放板７０に当接するまでは、分離爪レバー３０は退避状態でレバー拘束ラッチ６０により拘束されたままであるから、分離爪３２は最下段トレイ１１０に触れることなく、上昇することができる。
【００６３】
図３の（ｆ）において、昇降部がさらに上昇すると、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２がラッチ解放板７０のテーパ状当たり面７３に当接する。このとき、レバー拘束ラッチ６０は下方に押し下げられるから、ラッチ係止ピン３６はレバー拘束ラッチ６０の懐部６３から解放され、分離爪レバー３０は前進用圧縮バネ（図示しない）の反発力により内側に傾動（前進）する。
そして、分離爪３２は二段目トレイ１２０の顎部１２５の下方に侵入し、分離爪レバー３０のテーパ状内側面３４は最下段トレイ１１０の面取り１１４に当接する。すなわち、前進限の状態になる。
【００６４】
図３の（ｇ）において、昇降部がさらに上昇すると、分離爪レバー３０は前進限の状態のまま、分離爪３２は二段目トレイ１２０の顎部１２５に当接し、これを持ち上げる。すなわち、最下段トレイ１１０と二段目トレイ１２０が分離されたことになる。
【００６５】
図３の（ｈ）において、昇降部がさらに上昇して停止した状態で、最下段トレイ１１０は図示しない搬送手段により次工程に搬送され、さらに、二段目トレイ１２０の上に第三のトレイ１３０が載置される。そして、図３の（ａ）に戻ることになる。
なお、二段目トレイ１２０が複数枚になった場合も同様の動作により、最下段トレイがそれ以外のトレイと分離される。
【００６６】
［実施の形態２］
（分離動作）
図４は本発明の実施の形態２に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における分離動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。実施の形態１が最下段トレイのみ（１枚）を他のトレイから分離するのに対し、実施の形態２は、下段にある複数枚のトレイを他のトレイから分離するものである。なお、図１または図２と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【００６７】
図４の（ｃ）において、トレイ１１０、１２０、１３０、１４０はそれぞれ同一形状であって、図示しないトレイ収納枠（図１に示すトレイ収納枠１０参照）内に積み上けられている（積層されている）。分離爪３２が最下段のトレイ１１０の顎部１１５に係止し、分離爪レバー３０がトレイ１１０、１２０、１３０、１４０を支持している。すなわち、分離爪レバー３０は前進限の状態にある。このとき、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２は、ラッチ解放板７０の摺動面７２から離れ、ラッチ係止ピン３６に当接している。
【００６８】
そして、図示しない昇降部（図１に示す昇降部２０参照、以下、昇降部と称す）がさらに下降すると、最下段トレイ１１０の角部脚１１２の下面が、トレイ収納枠のトレイ載置部１２に当接して、トレイ１１０、１２０、１３０、１４０はトレイ載置部１２に載置され、分離爪レバー３０は最早トレイ１１０、１２０、１３０、１４０の荷重を支持しなくなる。このとき、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２はラッチ係止ピン３６に当接し、分離爪レバー３０は前進限の状態のままである。
【００６９】
図４の（ｄ）において、昇降部がさらに下降すると、分離爪レバー３０のテーパ状内側面３４は、レバー退避用ドグ５０に当接し、分離爪レバー３０は外側に傾動（退避）される。このとき、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２はラッチ係止ピン３６から外れ、懐部６３にラッチ係止ピン３６が抱え込まれる。すなわち、分離爪レバー３０は、退避した状態でレバー拘束ラッチ６０により拘束されることになる。
【００７０】
図４の（ｅ−１）および（ｅ−２）において、次に、図示しない昇降部２０が上昇した場合でも、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２がラッチ解放板７０に当接するまでは、分離爪レバー３０は退避状態にありレバー拘束ラッチ６０により拘束されたままであるから、分離爪３２は下方にあるトレイ１１０、１２０、１３０に触れることなく、上昇することができる。
【００７１】
図４の（ｆ）において、昇降部がさらに上昇すると、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２がラッチ解放板７０のテーパ状当たり面７３に当接する。
そして、先端部６２が下方に押し下げられるから、ラッチ係止ピン３６はレバー拘束ラッチ６０の懐部６３から解放され、分離爪レバー３０は前進用圧縮バネ（図示しない）の反発力により内側に傾動（前進）する。
そして、分離爪３２は四段目トレイ１４０の顎部１４５の下方に侵入し、分離爪レバー３０のテーパ状内側面３４は、三段目トレイ１３０の面取り１３４に当接する。すなわち、前進限の状態になる。
【００７２】
図４の（ｇ）において、昇降部がさらに上昇すると、前進限の状態のまま、分離爪３２は四段目トレイ１４０の顎部１４５に当接し、これを持ち上げる。すなわち、四段目トレイ１４０とそれより下方のトレイ１１０、１２０、１３０が分離されたことになる。
【００７３】
なお、四段目トレイ１４０が複数枚になった場合も同様の動作により、同様の分離が可能である。
さらに、実施の形態２は、下方のトレイ３枚を分離するものであるが、ラッチ解放板７０の設置位置を変更することにより、分離するトレイの枚数を容易に変更することができる。
【００７４】
［実施の形態３］
（積上げ動作）
図５および図６は本発明の実施の形態３に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における積上げ動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。
実施の形態１または２が、最下段トレイのみまたは下段にある複数枚のトレイを他のトレイから分離するものであるのに対し、実施の形態３は。積層されているトレイの下方に新たに所定の枚数の新規トレイを挿入し、該新規トレイを含む新たな積層されたトレイを形成するものである。
なお、段積みトレイの分離・積上げ機構については、実施の形態１における段積みトレイの分離・積上げ機構１（図１参照）を用い、トレイについては図２に示すトレイ１００に準じるため、同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。また、説明を容易にするため、ラッチ解放板（図１参照）の記載を省略している。
【００７５】
図５の（ａ）において、分離爪レバー３０の分離爪３２が最上段のトレイ１８０の顎部１８５に係止し、分離爪レバー３０が最上段のトレイ１８０を持ち上げている。このとき、分離爪レバー３０は前進限の状態にあり、ラッチ係止ピン３６はレバー拘束ラッチ６０の先端部６２の上面に当接したままである。また、分離爪レバー３０は図示しないストッパ手段により、前進限より内側に傾動しない。
なお、ラッチ係止ピン３６がレバー拘束ラッチ６０の先端部６２の上面に当接する代りに、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２を図示しないラッチ解放板に摺動させて先端部６２を下降することにより、分離爪レバー３０を傾動自在（解放状態）にしてもよい。
そして、図示しない搬送手段（図１に示す昇降部２０参照、以下、昇降部と称す）により、３段積みの新規トレイ１５０、１６０、１７０が、トレイ収納枠のトレイ載置部１２に載置される。
【００７６】
図５の（ｂ）において、図示しない昇降部（図１参照、以下、昇降部と称す）が下降すると、最上段トレイ１８０は三段目トレイ１７０の上に載置され、分離爪レバー３０は、最早最上段トレイ１８０の荷重を支持しなくなる。
【００７７】
図５の（ｃ）において、昇降部がさらに下降すると、分離爪レバー３０のテーパ状内側面３４は、三段目トレイ１７０の面取り１７４および側縁に摺動しながら外側に押し出される。このとき、ラッチ係止ピン３６はレバー拘束ラッチ６０の先端部６２の上面に当接したままであって、懐部６３に抱え込まれることはない。
なお、ラッチ係止ピン３６がレバー拘束ラッチ６０の先端部６２の上面に当接する代りに、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２を図示しないラッチ解放板に摺動させて先端部６２を下降することにより、分離爪レバー３０を傾動自在（解放状態）にしてもよい。
【００７８】
図５の（ｄ）において、そして、昇降部がさらに下降すると、テーパ状内側面３４が、三段目トレイ１７０の顎部１７５に侵入し、二段目トレイ１６０の面取り１６４および側縁に摺動し、二段目トレイ１６０の顎部１６５に侵入し、一段目トレイ１５０の面取り１５４および側縁に摺動し、やがて、一段目トレイ１５０の顎部１５５に侵入する。すなわち、分離爪レバー３０は前進限の状態になる。そして、分離爪レバー３０のテーパ状内側面３４がレバー退避用ドグ５０に当接する前に、昇降部は下降を停止する。このため、分離爪レバー３０は退避しないから、ラッチ係止ピン３６がレバー拘束ラッチ６０の懐部６３に抱え込まれることはない。すなわち、分離爪レバー３０は解放状態で前進限にある。
なお、ラッチ係止ピン３６がレバー拘束ラッチ６０の先端部６２の上面に当接する代りに、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２を図示しないラッチ解放板に摺動させて先端部６２を下降することにより、分離爪レバー３０を傾動自在（解放状態）にしてもよい。
【００７９】
図６の（ｅ）において、分離爪レバー３０は解放状態で前進限にあるまま、昇降部を上昇すると、分離爪３０が一段目トレイ１５０の顎部１５５に当接し、分離爪レバー３０がトレイ１５０、１６０、１７０、１８０を持ち上げる。
【００８０】
図６の（ｆ）において、昇降部が所定の高さまで上昇したところで、停止し、図示しない搬送手段により、新たなトレイ１２０、１３０、１４０を載置台１２上に載置する。そして、図５の（ａ）および（ｂ）の動作を繰り返すと、積上げトレイ１２０、１３０、１４０、１５０、１６０、１７０、１８０が形成される。なお、最上段トレイ１８０は複数枚の積上げトレイであってもよい。
【００８１】
したがって、実施の形態１における段積みトレイの分離・積上げ機構１と同じ機構を用いながら、下記により、これを積上げ機構にすることが可能になる。
（イ）昇降部の下降の最下点（下降限）を調整して、または、
（ロ）レバー退避用ドグの設置位置を下方に移動して、または、
（ハ）レバー退避用ドグを撤去して、
分離爪レバーがレバー退避用ドグに当接しないようにする。あるいは、
（ニ）ラッチ解放板を下方に延長して、レバー拘束ラッチの先端部をラッチ解放板に摺動させて該先端部を下降状態にし、分離爪レバーが退避した場合でも分離爪レバーのラッチ係止ピンがレバー拘束ラッチの懐部に抱え込まれないようにする。
なお、持ち上げられた積上げトレイの下方に載置される新規トレイの枚数は１以上の何れの枚数であってもよい。そして、昇降部の昇降する距離は、該新規トレイの枚数に応じて変更する。
【００８２】
（段積みトレイの分離・積上げ機構）
図７は本発明の実施の形態３に係る段積みトレイの分離・積上げ機構の構成を示す斜視図である。図７において、３は段積みトレイの分離・積上げ機構、１０は複数のトレイ（図示しない）を段積みして収納するトレイ収納枠、２０はトレイ収納枠１０に沿って（図中、Ｚ方向）昇降する昇降部、３０は昇降部２０に傾動自在（図中、Ｙ−Ｚ面内を傾動）に立設された分離爪レバー、４０は分離爪レバー３０をトレイ収納枠１０に向けて傾動させる（図中、プラスＹ方向（内側）、図示しない収納されたトレイの方向に前進するに同じ、以下、前進と称す）前進用圧縮バネである。
【００８３】
すなわち、実施の形態１における段積みトレイの分離・積上げ機構１から、昇降部２０（垂直部２１に同じ）に設置されたレバー拘束ラッチ６０および押上用圧縮バネ８０、分離爪レバー３０に設置されたラッチ係止ピン３６、さらに、トレイ収納枠１０に設置されたレバー退避用ドグ５０およびラッチ解放板７０を撤去したものである。
【００８４】
そして、ラッチ係止ピン３６に代えて連結棒９０を設置している。連結棒９０は一対の分離爪レバー（プラスＸ方向に設置された他方は図示しない）を連結し、連結棒９０の両端部は、それぞれトレイ収納枠１０に設置したストッパ面１３（プラスＸ方向に設置された他方は図示しない）に当接自在である。なお、実施の形態１と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
したがって、分離爪レバー３０は傾動が拘束されないから、段積みトレイの分離・積上げ機構３は図５および図６に示す積上げ機能を発揮する。
なお、前記撤去に代えて、レバー拘束ラッチ６０またはラッチ係止ピン３６の一方のみ撤去してもよい。また、押上用圧縮バネ８０のみ撤去して、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２が略延長下方に垂れ下がってもよい。さらに、ラッチ解放板７０を下方にまで延長して、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２が常時摺動するようにしてもよい。
【００８５】
［実施の形態４］
（段積みトレイの分離・積上げ機構）
図８は本発明の実施の形態４に係る段積みトレイの分離・積上げ機構の構成を示す斜視図である。図８において、４は段積みトレイの分離・積上げ機構、１０は複数のトレイ（図示しない）を段積みして収納するトレイ収納枠、４２０はトレイ収納枠１０に沿って（図中、Ｚ方向）昇降する昇降部、４３０は昇降部４２０に傾動自在（図中、Ｙ−Ｚ面内を傾動）に立設された分離爪レバー、４４０は分離爪レバー４３０をトレイ収納枠１０に向けて傾動させる（図中、プラスＹ方向（内側）、図示しない収納されたトレイの方向に前進するに同じ、以下、前進と称す）前進用圧縮バネである。
【００８６】
さらに、４５０はトレイ収納枠１０に設置されて分離爪レバー４３０をトレイ収納枠１０の中央から遠ざける（図中、マイナスＹ方向（外側）、図示しない収納されたトレイから退避させるに同じ、以下、退避と称す）レバー退避用ドグ、４６０は昇降部４２０（垂直部２１に同じ）に設置されて前記遠ざけられた（退避した）分離爪レバー４３０の傾動を拘束するレバー拘束ラッチである。
なお、トレイ収納枠１０内に段積みされるトレイは図２に示すものに同じである。また、実施の形態１と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【００８７】
（トレイ収納枠）
トレイ収納枠１０は実施の形態１におけるものに同じである。
【００８８】
（昇降部）
昇降部４２０は、平面視略矩形状の板材または棒材を井桁状に形成したものであって、トレイ収納枠１０の下部を幅方向（図中、Ｙ方向）に貫通する水平部４２１と、水平部４２１の上面でトレイ収納枠１０の外側に位置する両側部に立設された垂直部４２２を有している。垂直部４２２は矩形状に４カ所配置されている。
垂直部４２２の端面（図中、マイナスＸ方向の面）にレバー拘束ラッチ４６０の懐部４６３が係止するラッチ係止ピン４２９が設置されている。
【００８９】
また、水平部４２１において垂直部４２２の内側に、分離爪レバー４３０の下端部を傾動自在に軸支するための分離爪レバー用溝４２３が設けられ、分離爪レバー用溝４２３に分離爪レバー支持軸４２４が長手方向（図中、Ｘ方向）に設置されている。
また、昇降部４２０の下面には昇降軸４２５が設置され、昇降軸４２５は図示しない昇降手段に連結されている。
【００９０】
（分離爪レバー）
分離爪レバー４３０の下端部には支持穴４３１が設けられ、支持穴４３１に分離爪レバー支持軸４２４が挿入されている。そして、分離爪レバー４３０は、幅方向（図中、Ｙ−Ｚ面内）で内側に向けて圧縮バネ４４０により加勢されながら、傾動自在に軸支されている。
分離爪レバー４３０の上端部は、内側に突出した分離爪４３２が形成されている。また、分離爪レバー４３０の端面４３５（図中、マイナスＸ方向の面）には、レバー拘束ラッチ４６０を回転自在に支持するための回転軸４３６、および、レバー退避用ドグ４５０に当接するための退避用ピン４３９が設置されている。
【００９１】
なお、分離爪レバー４３０が内側に傾動すると、分離爪４３２がトレイ収納枠１０内に侵入（以下、前進と称す）して、分離爪４３２の上面が図示しないトレイに当接する。このとき、分離爪４３２の上面は略水平になって、図示しないトレイの顎部（図２に示すトレイ１００の顎部１０５）に当接し、テーパ状内側面４３４はトレイの面取り（図２に示すトレイ１００の面取り１０４）と略平行になる（以下、前進限の状態と称す）。
【００９２】
また、分離爪レバー４３０が前進限を超えて傾動（前進）しないように、図示しないストッパを設けている。なお、分離爪レバー４３０の端面４３５とラッチ解放板７０の端面７１を近づけたり、退避用ピン４３９の高さを高くしたりして、退避用ピン４３９がトレイ収納枠１０（またはトレイ収納枠１０に設置したストッパ面（図示しない））に摺動するようにして、分離爪レバー４３０が前進限を超えて傾動（前進）しないようにしてもよい。このとき、分離爪レバー４３０の退避用ピン４３９より内側にある範囲（分離爪４３２を含む範囲）がトレイ収納枠１０内に侵入する。
【００９３】
（前進用圧縮バネ）
前進用圧縮バネ４４０の両端部は、それぞれ分離爪レバー４３０の外側の面４３７に設けた凹部４３８と、昇降部４２０の垂直部４２１の内側の面４２６に設けた凹部（図示しない）に挿入されている。
なお、前進用圧縮バネ４４０に替えて、分離爪レバー４３０と水平部４２１との間に引っ張りバネを配置してもよい。さらに、分離爪４３２の自重（偏荷重）により分離爪レバー４３０が内側に傾動するようにしてもよい。
【００９４】
（レバー退避用ドグ）
レバー退避用ドグ４５０は、トレイ収納枠１０の外側に設置された台形状の板材であって、下方になる程外側に広がるテーパ面４５１とテーパ面４５１の下端に繋がる鉛直方向の摺動面４５２とを有している。
したがって、昇降部４２０が下降した際、分離爪レバー４３０の退避用ピン４３９がテーパ面４５１に当接し、昇降部４２０がさらに下降すると、分離爪レバー４３０はテーパ面４５１により外側に押されて傾動することになる（以下、退避と称す）。
【００９５】
（レバー拘束ラッチ）
レバー拘束ラッチ４６０は、分離爪レバー４３０に設置された回転軸４３６に回転自在に設置されている。
レバー拘束ラッチ４６０は、回転軸４３６が挿入される回転穴４６１と、回転穴４６１から外側（図中、マイナスＹ方向）に所定の距離だけ離れた位置に下方に向けて折れ曲がった先端部４６２と、該折れ曲がりの開始部に懐部４６３と、回転穴４６１から内側（図中、プラスＹ方向）に所定の距離だけ離れた位置に後端部４６４とを有している。
【００９６】
したがって、昇降部４２０が上昇して、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４がラッチ解放板７０に当接した際、後端部４６４は押し下げられ、一方、先端部４６２は持ち上げられることになる。このとき、レバー拘束ラッチ４６０の懐部４６３に抱えられていたラッチ係止ピン４２９は、懐部４６３から解放されることになる。
【００９７】
また、昇降部４２０が下降して、分離爪レバー４３０の退避用ピン４３９がレバー退避用ドグ４５０のテーパ面４５１に摺動して、分離爪レバー４３０が外側に押し出されると、ラッチ係止ピン４２９はレバー拘束ラッチ４６０の先端部４６２の下面から外れ、懐部４６３に抱え込まれることになる。
なお、レバー拘束ラッチ４６０は、先端部４６２側の方が長くて重いため、自由な状態の場合、先端部４６２は下降してその下面がラッチ係止ピン４２９に当接している。
【００９８】
（ラッチ解放板）
ラッチ解放板７０は、トレイ収納枠１０の外側に設置され、鉛直方向の摺動面７２と、摺動面７２の下端部に傾斜したテーパ状当たり面７３とを有する板材である。したがって、昇降部４２０が上昇した際、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４がなめらかに当接して衝撃が緩和され、さらに摺動面７２を摺動して上昇する。
このとき、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４は押し下げられ、一方、先端部４６２は上方に押し上げられるから、ラッチ係止ピン４２９はレバー拘束ラッチ４６０の懐部４６３から解放され、分離爪レバー４３０は圧縮バネ４４０の反発力により、内側に傾動（前進）することになる。
【００９９】
（分離動作）
図９は本発明の実施の形態４に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における分離動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。実施の形態１と同様、最下段トレイのみを他のトレイから分離する場合について記載する。なお、図８と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【０１００】
図９の（ａ）において、トレイ１１０、１２０はそれぞれ図２に示すものであって、図示しないトレイ収納枠（図８に示すトレイ収納枠１０参照）内に積み上けられている（積層されている）。分離爪４３２が最下段のトレイ１１０の顎部１１５に係止し、分離爪レバー４３０がトレイ１１０、１２０を支持している。すなわち、分離爪レバー４３０は前進限の状態にある。
【０１０１】
このとき、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４はラッチ解放板７０の摺動面７２に摺動し、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４は下方に押し下げられているから、レバー拘束ラッチ４６０の先端部４６２は持ち上げられ、懐部４６３はラッチ係止ピン４２９から離れている。すなわち、分離爪レバー４３０はラッチ係止ピン４２９から解放されている。
なお、理解を容易にするためトレイは２枚とし、下方のトレイ１１０を最下段トレイ１１０と、上方のトレイ１２０を二段目トレイ１２０と、これらの両方を指す場合はトレイ１１０、１２０と称す。また、トレイ収納枠に設置された部位（昇降しない部位）に斜線を付す。
【０１０２】
図９の（ｂ）において、図示しない昇降部（図８に示す昇降部４２０参照、以下、昇降部と称す）が下降すると、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４は、ラッチ解放板７０の摺動面７２に摺動しながら下降し、テーパ状当たり面７３に摺動した後、ラッチ解放板７０から離れる。このとき、レバー拘束ラッチ４６０は、自重により回転して先端部４６２がラッチ係止ピン４２９に当接する。なお、分離爪レバー４３０はトレイ１１０、１２０を支持したままである。
【０１０３】
図９の（ｃ）において、昇降部がさらに下降すると、最下段トレイ１１０の角部脚１１２の下面が、トレイ収納枠のトレイ載置部１２に当接し、トレイ１１０、１２０はトレイ載置部１２に載置される。このとき、レバー拘束ラッチ４６０の先端部４６２はラッチ係止ピン４２９に当接したまである。また、分離爪レバー４３０は前進限の状態のままであるが、最早トレイ１１０、１２０の荷重を支持していない。
そして、昇降部４２０がさらに下降すると、分離爪レバー４３０の端面４３５に設置した退避用ピン４３９が、レバー退避用ドグ４５０のテーパ面４５１に当接することになる。
【０１０４】
図９の（ｄ）において、昇降部がさらに下降すると、退避用ピン４３９がレバー退避用ドグ４５０のテーパ面４５１を摺動して下降する。このとき、分離爪レバー４３０は外側に押し出されるから、レバー拘束ラッチ４６０の先端部４６２はラッチ係止ピン４２９よりも外側に移動して、懐部４６３にラッチ係止ピン４２９を抱え込むことになる。すなわち、分離爪レバー４３０は、退避した状態でレバー拘束ラッチ４６０により拘束されることになる。そして、昇降部４２０がさらに下降すると、退避用ピン４３９はレバー退避用ドグ４５０の摺動面４５２を摺動して下降する。
【０１０５】
図９の（ｅ）において、次に、昇降部が上昇した場合でも、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４がラッチ解放板７０に当接するまでは、分離爪レバー４３０は退避状態でレバー拘束ラッチ４６０により拘束されたままであるから、分離爪４３２は最下段トレイ１１０に触れることなく、上昇することができる。
【０１０６】
図９の（ｆ）において、昇降部がさらに上昇すると、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４がラッチ解放板７０のテーパ状当たり面７３に当接する。このとき、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４は下方に押し下げられるから、先端部４６２は持ち上げられてラッチ係止ピン４２９はレバー拘束ラッチ４６０の懐部４６３から解放され、分離爪レバー４３０は前進用圧縮バネ（図示しない）の反発力により内側に傾動（前進）する。
そして、分離爪４３２は二段目トレイ１２０の顎部１２５の下方に侵入し、分離爪レバー４３０の内側面４３３は、最下段トレイ１１０の面取り１１４に当接する。すなわち、分離爪レバー４３０は前進限の状態になる。
【０１０７】
図９の（ｇ）において、昇降部がさらに上昇すると、分離爪レバー４３０は前進限の状態のまま、分離爪４３２は二段目トレイ１２０の顎部１２５に当接し、これを持ち上げる。すなわち、最下段トレイ１１０と二段目トレイ１２０が分離されたことになる。
【０１０８】
図９の（ｈ）において、昇降部がさらに上昇して停止した状態で、最下段トレイ１１０は図示しない搬送手段により次工程に搬送され、さらに、二段目トレイ１２０の上に第三のトレイ１３０が載置される。そして、図９の（ａ）に戻ることになる。
なお、二段目トレイ１２０が複数枚になった場合も同様の動作により、最下段トレイがその他のトレイと分離される。
【０１０９】
さらに、ラッチ解放板７０を高い位置に設置することにより、載置されたトレイの下方にある複数枚のトレイと、それ以外のトレイとを分離することができる（図４に準じる）。つまり、昇降部２０の上昇する距離は、分離するトレイの枚数に応じて変更する。
さらに、昇降部２０の下降の最下点（下降限）を調整するだけで、これを積上げ機構にすることが可能になる（実施の形態３に準じる）。また、レバー退避用ドグ５０の設置位置を下方に移動またはレバー退避用ドグ５０を撤去するだけで、これを積上げ機構にすることが可能になる（実施の形態３に準じる）。
【０１１０】
［実施の形態５］
（トレイ収納装置）
図１０は、本発明の実施の形態５に係るトレイ収納装置の構成を模式的に示す斜視図である。図１０において、トレイ収納装置５は、平行して設置されたトレイ下降部１６２０とトレイ上昇部１６４０とを有している。
トレイ下降部１６２０およびトレイ上昇部１６４０には、たとえば図２に示すトレイが段積み（積層）されて収納される。
トレイ下降部１６２０およびトレイ上昇部１６４０は、それぞれトレイ収納枠１６２１、１６４１によって囲まれ、トレイ収納枠１６２１、１６４１の下方には昇降部１６２２、１６４２が昇降自在に配置されている。
【０１１１】
そして、トレイ下降部１６２０の昇降部１６２２およびトレイ上昇部１６４０の昇降部１６４２には、それぞれ実施の形態１乃至４の何れかに示す段積みトレイの分離・積上げ機構が矩形状に配置されている（図中、斜線部１６２３、１６４３にて示す）なお、各機構の詳細は図示しない。
【０１１２】
さらに、トレイ収納枠１６２１、１６４１の下端の内側には、トレイを載置するトレイ載置部１６２４、１６４４が設置されている。
そして、トレイ下降部１６２０のトレイ載置部１６２４に載置された最下段のトレイを、トレイ上昇部１６４０のトレイ載置部１６４４に搬送する下部トラバーサ１６３０が、一対のトレイ載置部１６２４の間に設置されている。
また、トレイ下降部１６２０（トレイ上昇部１６４０に同じ）の所定の高さに上部トラバーサ１６５０が配置され、トレイ上昇部１６４０に収納された当該位置にあるトレイを、トレイ下降部１６２０側に搬送することが可能になっている。
【０１１３】
下部トラバーサ１６３０および上部トラバーサ１６５０は、それぞれトレイ収納枠１６２１およびトレイ収納枠１６４１を跨いで直線運動（図中、Ｘ方向）をするラック１６３１、１６５１と、ラック１６３１、１６５１に噛み合って回転するピニオン１６３２、１６５２を有している。ラック１６３１、１６５１にはそれぞれ図示しないトレイ係止部が設けられ、該係止部がトレイに係止してトレイを移動させるものである。
【０１１４】
なお、下部トラバーサ１６３０および上部トラバーサ１６５０は、ラック／ピニオン構造に限定するものではなく、チェーン／スプロケット構造、回転リンク構造、あるいは流体シリンダ構造であってもよい。
【０１１５】
以上より、トレイ下降部１６２０およびトレイ上昇部１６４０が、実施の形態１乃至４の何れかに示す段積みトレイの分離・積上げ機構を具備するから、トレイの分離が円滑且つ確実に実施される。
また、段積みトレイの分離・積上げ機構は、前記実施の形態３に記載した要領により、トレイ積上げ用またはトレイ分離用の何れにも使用できるから、段積みトレイの分離用およびトレイの積上げ用としてそれぞれ別個の装置を配置する必要がない。
【０１１６】
また、下部トラバーサ１６３０および上部トラバーサ１６５０を具備するから、当該トレイ収納装置内で、トレイを循環することができる。
さらに、段積みトレイの分離・積上げ機構は、前記実施の形態３に記載した要領により、それぞれトレイ積上げ用またはトレイ分離用に容易に変更することができるから、トレイの循環方向を容易に変更することができる。
【０１１７】
［実施の形態６］
（ＩＣテストハンドラ）
図１１および図１２は、本発明の実施の形態６に係るＩＣテストハンドラの構成を示す概略斜視図および概略透視斜視図である。ＩＣテストハンドラ６は、本体１２００と、検査前ＩＣを供給する供給部１３００と、ＩＣ検査ステージ３０００に接する恒温チャンバ１６００と、ホットプレート２０００と、検査済ＩＣを収納する排出部１９００を有し、恒温チャンバ１６００の中には、実施の形態５に示すトレイ収納装置５が配置されている。
【０１１８】
（供給部）
供給部１３００は、検査前ＩＣが載置された供給トレイを複数収納する供給トレイエレベータ１３１０と、空トレイを収容する空トレイエレベータ１３２０を有している。
【０１１９】
（恒温チャンバ）
恒温チャンバ１６００は、ＩＣを所定の検査温度に加熱または冷却するものであって、内部には、実施の形態５に示すトレイ収納装置５が配置され、検査前ＩＣを恒温チャンバ１６００内に供給する供給シャトル１５００と、検査済ＩＣを恒温チャンバ１６００外に排出する排出シャトル１７００と、検査ステージ３０００が併設されている。
そして、供給シャトル１５００上のＩＣをハンドリングする持ち上げ用ＩＣ吸着ハンド１６１０および検査中のＩＣを検査ステージに押圧する検査用ＩＣ吸着ハンド１６６０が設置されている。
【０１２０】
（ホットプレート）
ホットプレート２０００は、恒温チャンバ１６００において低温試験（たとえば摂氏１０度以下）を行った場合に、低温状態の検査済ＩＣを排出部１９００に搬送する前に、結露防止のために一時的に温めて常温に戻すためのものである。
【０１２１】
（排出部）
排出部１９００は、排出エレベータ１９１０、１９２０、１９３０、および排出トレイ置き場１９４０、１９５０、１９６０を有し、検査済ＩＣは当該ＩＣ検査の結果に応じて、所定の排出エレベータまたは排出トレイ置き場に収納された排出トレイに、分類して載置される。
【０１２２】
（検査済ＩＣ排出機構）
検査済ＩＣ排出機構は、検査済ＩＣを吸着して、排出部に搬送するものであり、排出走行部、排出横行部、排出昇降部、排出昇降部および排出用ＩＣ吸着パットとを有している。
【０１２３】
（検査前ＩＣ供給機構）
検査前ＩＣ供給機構は、検査前ＩＣを供給部１３００から供給シャトル１５００まで搬送するものであって、検査済ＩＣ排出機構に準じる。
【０１２４】
（持ち上げ用ＩＣ吸着ハンド）
持ち上げ用ＩＣ吸着ハンド１６１０は、ＩＣを吸着して、昇降および水平面内を移動自在である。したがって、供給シャトル１５００に載置された検査前ＩＣを吸着して、チャンバ内トレイに載置することができる。
【０１２５】
（検査用ＩＣ吸着ハンド）
検査用ＩＣ吸着ハンド１６６０は、ＩＣを吸着して、昇降および旋回自在である。したがって、水平姿勢の検査前ＩＣを吸着して、鉛直部に配置された検査ステージ３０００（位置Ｔ）に移送して水平方向に押圧することが可能になる。
【０１２６】
（ＩＣ搬送要領）
次に、図１１および図１２に基づいて、ＩＣの各ステージ間の搬送要領を簡単に説明する。なお、位置Ｐ１、Ｐ２等は、各ステージの略中心位置等を示し、ＩＣが実際に載置される位置と相違する場合がある。
【０１２７】
▲１▼検査前ＩＣは、供給部１３００から、供給シャトル１５００上に載置される（Ｐ１→Ｐ２）。次に、供給シャトル１５００が、恒温チャンバ１６００内に移動する（Ｐ２→Ｐ３）。
▲２▼そして、検査前ＩＣは、チャンバ内トレイに載置され（Ｐ３→Ｐ４）、トレイ収納装置内を略Ｕ字状に移動し、所定の温度に維持される（Ｐ４→Ｐ５→Ｐ６→Ｐ７）。
【０１２８】
▲３▼そして、所定の検査が実施された後（Ｐ７→Ｔ→Ｐ８）、検査済みＩＣは排出シャトル１７００により、恒温チャンバ１６００外に搬送される（Ｐ８→Ｐ９）。
▲４▼さらに、検査済ＩＣは、検査結果に応じて、所定の排出部１９００に収納される（Ｐ９→Ｐ１０）。
▲５▼なお、低温状態で検査を行った場合には、一旦ホットプレート２０００上に搬送して常温に戻し、その後、排出部１９００へ搬送する（Ｐ９→Ｐ１１→Ｐ１０）。
【０１２９】
以上より、恒温チャンバ１６００の中には、実施の形態５に示すトレイ収納装置５が配置され、トレイ収納装置５が、実施の形態１乃至４の何れかに示す段積みトレイの分離・積上げ機構１乃至４の何れかを具備するから、トレイの分離および積上げが円滑に実施される。
また、かかる段積みトレイの分離・積上げ機構は簡素な構造であるため、温度変化に対して損傷・劣化するおそれが少ない。
【０１３０】
【発明の効果】
以上より、本発明は以下の効果を奏する。
（１）段積みトレイの分離・積上げ機構は簡単な機構であるため、安価に製作することができ、保守が容易である。
（２）それぞれの分離爪の高さが同一に保持されるため、トレイをスムース且つ確実に分離または段積みすることができる。
【０１３１】
（３）分離爪レバーの拘束解放手段の設置位置を移動するだけで、分離するトレイの枚数を容易に変更することができる。
（４）昇降部の下降の最下点（下降限）の調整、レバー退避用ドグの設置位置の移動、レバー退避用ドグの撤去、ラッチ解放板の設置範囲の延長、またはレバー拘束手段の着脱等により、トレイの分離機構またはトレイの積上げ機構の何れにでも容易に切り替えることができる。
【０１３２】
（５）トレイ収納装置は簡単な機構であるため、安価に製作することができ、保守が容易であるとともに、トレイをスムース且つ確実に収納することができる。（６）また、段積みトレイを分離するトレイ収納装置を、段積みトレイを積上げるトレイ収納装置に容易に容易に変更することができる。一方、段積みトレイを積上げるトレイ収納装置を段積みトレイを分離するトレイ収納装置に容易に変更することができる。
（７）また、トレイ収納装置内に収納したトレイを循環することができ、さらに、該循環方向を容易に変更することができる。
【０１３３】
（８）さらに、ＩＣテストハンドラの恒温チャンバにおいて、チャンバ内トレイをスムース且つ確実に搬送することができる。
（９）したがって、載置されたＩＣまたはチャンバ内トレイの損傷、あるいはチャンバ内トレイの搬送トラブルがなくなり、ＩＣテストハンドラにおけるＩＣ検査の精度・信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施の形態１に係る段積みトレイの分離・積上げ機構の構成を示す斜視図である。
【図２】 本発明の実施の形態１に係る段積みトレイの分離・積上げ機構におけるトレイを示す斜視図である。
【図３】 本発明の実施の形態１に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における分離動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。
【図４】 本発明の実施の形態２に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における分離動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。
【図５】 本発明の実施の形態３に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における積上げ動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。
【図６】 本発明の実施の形態３に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における積上げ動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。
【図７】 本発明の実施の形態３に係る段積みトレイの分離・積上げ機構の構成を示す斜視図である。
【図８】 本発明の実施の形態４に係る段積みトレイの分離・積上げ機構の構成を示す斜視図である。
【図９】 本発明の実施の形態４に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における分離動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。
【図１０】 本発明の実施の形態５に係るトレイ収納装置の構成を模式的に示す斜視図である。
【図１１】 本発明の実施の形態６に係るＩＣテストハンドラの構成を示す概略斜視図である。
【図１２】 本発明の実施の形態６に係るＩＣテストハンドラの構成を示す概略透視斜視図である。
【図１３】 従来のＩＣハンドラのトレイ分離機構の構成を示す一部透視の概略斜視図である。
【図１４】 従来の縦積み部品の分離機構の要部斜視図である。
【符号の説明】
１ 段積みトレイの分離・積上げ機構 ５ トレイ収納装置
６ ＩＣテストハンドラ １０ トレイ収納枠
２０ 昇降部 ３０ 分離爪レバー
４０ 前進用圧縮バネ ５０ レバー退避用ドグ
６０ レバー拘束ラッチ ７０ ラッチ解放板
８０ 押上用圧縮バネ ９０ 連結棒
【発明の属する技術分野】
本発明は、段積みトレイの分離・積上げ機構、トレイ収納装置およびＩＣテストハンドラに係り、特に、ＩＣが載置されたトレイを段積み（積層）して収納するトレイ収納枠において、下方に位置する所定の枚数のトレイと、これより上方にあるトレイとを分離することができ、さらに、最下段に位置するトレイの下に、所定の枚数のトレイを挿入することができる段積みトレイの分離・積上げ機構、該機構を具備するトレイ収納装置、およびＩＣテストハンドラに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１３は、特公昭６２−１９１３２１号公報に開示された従来のＩＣハンドラのトレイ分離機構の構成を示す一部透視の概略斜視図である。図１３において、ＩＣを収納したトレイ８１０がガイドコラム８２０内に段積み（Ｚ方向）され、トレイの長手方向（Ｙ方向）に進退自在な爪部材８３０がガイドコラム８２０に設置されている。また、ガイドコラム８２０の下方には、トレイ８１０を昇降自在に支持する昇降受台８４０と、最下段トレイ８１１をトレイの側面方向（Ｘ方向）に送り出すシフター８５０が配置されている。
【０００３】
したがって、昇降受台８４０を下降して、下段から２段目のトレイ８１２が爪部材８３０の位置に一致したところで、爪部材８３０を前進して、下段から２段目のトレイ８１２を下降不能とする。さらに、昇降受台８４０を下降して、最下段トレイ８１１をシフター８５０に載置する。
そして、シフター８５０をトレイの側面方向（Ｘ方向）に移動して、最下段トレイを送り出し、昇降受台８４０を再度上昇して、下段から２段目のトレイ８１２を支持し、爪部材８３０を後退して、前記作業を繰り返すものである。
これにより、ガイドコラム８２０内に段積み（Ｚ方向）された、多数のトレイに衝撃を与えることなく、最下段のトレイを上方にあるトレイから分離することができるという効果を奏するものである（以上、従来技術１と称す）。
【０００４】
図１４は、特開昭６０−１４４２３９号公報に開示された従来の縦積み部品の分離機構の要部斜視図である。図１４において、トレイ９０６が支持枠９０５内に段積み（Ｚ方向）され、載置台９０４に載置されている。昇降台９０７には、分離爪９１０が回転自在に設置され、昇降台９０７が所定距離上昇したところで、分離爪９１０がトレイ９０６に向けて（略Ｙ方向）回転し、分離爪９１０の先端９１０ａがトレイ９０６の側部に設けた顎部９０６ａに侵入する。
【０００５】
したがって、該侵入部より上方にあるトレイと下方にあるトレイが分離され、該分離状態で、昇降台９０７を上昇すると、該上方にあるトレイが持ち上がり、さらに、載置台９０４に載置されている下方にあるトレイを、図示しない水平搬送手段によりＸ方向に搬送することができる。そして、再度、昇降台９０７を下降すると、上方のトレイを載置台９０４に載置することができる。
【０００６】
分離爪９１０には回転軸９０９が固定され、回転軸９０９にはアーム９１１およびガイド部材９１３が固定されている。回転軸９０９は昇降台９０７に設置したブラケット９０８に回転自在に支持されている。そして、ガイド部材９１３の先端にはカムフォロアー９１４（後記溝カム９１６の溝に侵入自在な突起）が装着されている。
【０００７】
一方、載置台９０４には案内板９１５が設置され、案内板９１５には溝カム９１６が設けられている。溝カム９１６は往路９１６ａと復路９１６ｂが異なるヒステリシス経路と、経路を選択するシャッター９１７を有している。シャッター９１７は、回転中心９１８に軸止され図示する姿勢になるよう弾性的に拘束されている。
【０００８】
したがって、シャッター９１７が図示する姿勢において、昇降台９０７が上昇すると、カムフォロアー９１４は、略垂直に上昇し、やがて往路９１６ａの傾斜にしたがってわずかに傾斜した水平方向（略Ｙ方向）に移動する。このとき、回転軸９０９は図中時計回りに回転するから、分離爪９１０の先端９１０ａはトレイに向かって略水平方向（略Ｙ方向）に移動して（以下、前進と称す）、トレイ９０６の側部に設けた顎部９０６ａに侵入する。
【０００９】
さらに、カムフォロアー９１４は復路９１６ｂの上部垂直範囲を上昇する。このとき、回転軸９０９は回転することなく上昇するから、分離爪９１０の先端９１０ａはトレイ９０６の顎部９０６ａを支持したまま上昇する。
【００１０】
なお、回転軸９０９（以下、第一の回転軸９０９と称す）と平行に、トレイの前後方向（図中Ｙ方向）で所定の間隔を介して図示しない第二の回転軸が配置されている。第二の回転軸には第一の回転軸９０９に固定されたアーム９１１と同様に、第二のアームが固定され、アーム９１１と第二のアームは連結棒９１２により連結されている。連結棒９１２の両端は、それぞれアーム９１１と第二のアームに回転自在に軸止されているため、第二の回転軸は第一の回転軸９０９と同じ回転をすることになる。
【００１１】
さらに、第一の回転軸９０９および第二の回転軸には、それぞれ所定の間隔（図中、Ｘ方向）を介して一対の分離爪９１０が設置されている。よって、略矩形状に配置された合計４の分離爪９１０により、トレイ９０６は分離されることになる。
したがって、分離爪９１０の先端９１０ａより上方にあるトレイ９０６は、略矩形状に配置された合計４の分離爪９１０により持ち上げられ、該持ち上げられた状態で、載置台９０４に載置された下方にあるトレイ９０６を移送し、該持ち上げられたトレイ９１０を載置台９０４に載置することができる。すなわち、トレイは分離されることになる（以上、従来技術２と称す）。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術１においては、爪部材８３０の進退動作と昇降受台８４０の昇降動作を同調（シーケンス動作）させる必要があるため、以下のような問題点があった。
（ａ）それぞれの動作の完了を確認するためのセンサ、および、該センサの信号に基づいて、それぞれの動作を制御するシーケンス制御機構が必要である。
（ｂ）また、かかる制御により、分離作業が遅延する。
（ｃ）特に、かかるトレイ分離機構をＩＣテストハンドラの恒温チャンバ内に設置する場合、恒温チャンバ内の温度が種々に変更されるため、これに耐えるセンサおよび爪部材８３０の進退手段の種類が制約され、且つ故障等のトラブル発生のおそれが増大する。
【００１３】
（ｄ）さらに、恒温チャンバの外に爪部材８３０の進退手段を設置する場合には、伝熱の遮断や温度変化に伴う伸縮の吸収が必要になり構造が複雑になる。
（ｅ）また、トレイを前後左右の４カ所で支持する場合に、該４カ所における爪部材８３０の進退動作を同期させるための工夫が必要になる。
（ｆ）さらに、爪部材８３０の位置を変更することが困難なため、下段にある所定の枚数のトレイ（たとえば、２枚等）を分離するという要請に対応できない。
【００１４】
一方、従来技術２においては、昇降台９０７の昇降動作のみにより、分離爪９１０が前後進するため、従来技術１のようなシーケンス制御機構を必要としないものの、カム機構を具備するため以下の問題点がある。
（ｇ）第一の回転軸９０９および第二の回転軸に設置する合計４の分離爪を位相（たとえば、トレイ分離時の高さ）を合わせて設置することが困難である。
（ｈ）特に、かかる分離機構をＩＣテストハンドラの恒温チャンバ内に設置する場合、恒温チャンバ内の温度が種々に設定されるため、連結棒９１２が伸縮し、第一の回転軸９０９に設置された分離爪９１０と、第二の回転軸に設置された分離爪の間で、位相（たとえば、トレイ分離時の高さ）が変化する。
【００１５】
（ｉ）また、カム溝が水平部を具備することができないため（昇降台９０７の昇降動作のみにより、カムフォロアー９１４を移動させるため）、分離爪９１０の先端９１０ａは、上昇しながら前進することになるから、トレイ９０６を持ち上げながら顎部９０６ａに侵入する。
【００１６】
（ｊ）このため、昇降台９０７を上昇するための負荷が増大し、先端９１０ａおよび顎部９０６ａの摩耗が助長され、さらに、第一の回転軸９０９および第二の回転軸に捩り変形が生じ、図中Ｘ方向で分離爪の先端の位置がずれるおよれが増大する。
（ｋ）さらに、分離するトレイの枚数を変更したい場合（たとえば、１枚から２枚等に変更する）、該要請に対応した溝カムを具備する案内板を、新たに設置する必要があるため、かかる要請に容易に対応できない。
【００１７】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、簡単な機構であって、それぞれの分離爪の高さが容易に同一に設定され、且つ該高さが変化することなく確実にトレイを分離し、また、分離するトレイの枚数を容易に変更することができる、段積みトレイの分離・積上げ機構、並びに該機構を具備するトレイ収納装置およびＩＣテストハンドラを得ることを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る段積みトレイの分離・積上げ機構は、以下のとおりである。
（１）複数のトレイを段積みして収納するトレイ収納枠と、該トレイ収納枠に沿って昇降する昇降部と、該昇降部に傾動自在に立設された分離爪レバーと、該分離爪レバーを前記トレイから退避させるレバー退避手段と、前記退避した分離爪レバーの傾動を拘束するレバー拘束手段と、該拘束を解放するレバー拘束解放手段とを有し、
前記分離爪レバーが前記トレイを支持した状態で、前記昇降部が上昇または下降し、
前記レバー拘束手段が前記分離爪レバーの傾動を拘束した状態で、前記昇降部が上昇し、
前記分離爪レバーが前記レバー拘束手段から解放された状態で、前記昇降部が下降すると共に、
前記レバー退避手段が、前記トレイ収納枠に設けられた下方になる程前記トレイ収納枠から遠ざかる収納枠側斜面と、前記分離爪レバーに設けられたレバー側案内部とにより構成され、
前記昇降部が下降した際、前記レバー側案内部が前記収納枠側斜面に当接することを特徴とするものである。
これにより、支持しているトレイを所定の載置部に載置し、さらに、分離爪レバーが載置されたトレイから退避した状態で、上昇することができるから、所定の枚数のトレイ分の高さまで上昇したところで、分離爪レバーが傾動して再度上方にあるトレイを支持することが可能になる。すなわち、トレイの分離が行われる。
さらに、支持しているトレイを所定の高さに支持した状態で、該トレイの下方に設けた載置部に新たなトレイを移送し、そして、その新規トレイの上に前記既に支持しているトレイを載置することができる。そして、昇降部をさらに下降すると、分離爪レバーは新規トレイの側縁に沿って退避し、やがて新規トレイの底面（顎部）に侵入するから、再度、昇降部を上昇すると、新規トレイと一緒に全てのトレイ（前記既に支持しているトレイを含む）を所定の高さに持ち上げることが可能になる。よって、トレイの積上げが行われる。
【００１９】
そして、分離爪レバーは、トレイ側に傾動（前進）してトレイを支持し、支持しているトレイを所定の載置部に載置した後は、トレイから退避して拘束されるから、該拘束状態のまま、載置されたトレイから退避して上昇することができる。そして、所定の枚数のトレイ分の高さまで上昇したところで、レバー拘束解放手段により該拘束が解放され、分離爪レバーが再度前進する。よって、該前進した分離爪（分離爪レバーのトレイ側に設置）より上方にあるトレイを支持することが可能になる。すなわち、トレイの分離が確実に行われる。
さらに、分離爪レバーは確実にトレイ収納枠（収納されたトレイに同じ）から退避してレバー拘束手段により拘束されるから、退避状態で昇降部を上昇してもトレイと干渉することがない。なお、収納枠側斜面はトレイ収納枠の外側面に設置された略三角形または台形の板材、レバー側案内部は分離爪レバーに設置した突起（ピン）等である。
【００２０】
（２）において、複数のトレイを段積みして収納するトレイ収納枠と、該トレイ収納枠に沿って昇降する昇降部と、該昇降部に傾動自在に立設された分離爪レバーと、該分離爪レバーを前記トレイの方向に傾動させるレバー加勢手段と、を有し、
前記分離爪レバーが前記トレイを支持した状態で、前記昇降部が上昇または下降すると共に、
前記レバー退避手段が、前記トレイ収納枠に設けられた下方になる程前記トレイ収納枠から遠ざかる収納枠側斜面と、前記分離爪レバーに設けられたレバー側案内部とにより構成され、
前記昇降部が下降した際、前記レバー側案内部が前記収納枠側斜面に当接することを特徴とするものである。
これにより、支持しているトレイを所定の載置部に載置し、さらに、分離爪レバーが載置されたトレイから退避した状態で、上昇することができるから、所定の枚数のトレイ分の高さまで上昇したところで、分離爪レバーが傾動して再度上方にあるトレイを支持することが可能になる。すなわち、トレイの分離が行われる。
さらに、支持しているトレイを所定の高さに支持した状態で、該トレイの下方に設けた載置部に新たなトレイを移送し、そして、その新規トレイの上に前記既に支持しているトレイを載置することができる。そして、昇降部をさらに下降すると、分離爪レバーは新規トレイの側縁に沿って退避し、やがて新規トレイの底面（顎部）に侵入するから、再度、昇降部を上昇すると、新規トレイと一緒に全てのトレイ（前記既に支持しているトレイを含む）を所定の高さに持ち上げることが可能になる。よって、トレイの積上げが行われる。
そして、分離爪レバーは、レバー拘束手段から解放された際、確実にトレイ側に傾動（前進）するから、トレイを確実に支持することができる。なお、前記レバー加勢手段は、分離爪レバーと昇降部の間に介設した圧縮バネまたは引っ張りバネ、あるいは、分離爪レバー自体のトレイ側（傾動中心に対してトレイ側）に設置して偏荷重（回転モーメント）を付与する錘等である。
さらに、分離爪レバーは確実にトレイ収納枠（収納されたトレイに同じ）から退避してレバー拘束手段により拘束されるから、退避状態で昇降部を上昇してもトレイと干渉することがない。なお、収納枠側斜面はトレイ収納枠の外側面に設置された略三角形または台形の板材、レバー側案内部は分離爪レバーに設置した突起（ピン）等である。
【００２３】
（３）前記（１）または（２）において、前記レバー拘束手段が、前記昇降部に回転自在に設置されたラッチと、前記分離爪レバーに設置されたラッチ係止部とにより構成され、
前記分離爪レバーが前記トレイから退避した際、前記ラッチが前記ラッチ係止部に係止することを特徴とするものである。
これにより、分離爪レバーが退避状態で拘束されるから、昇降部が上昇する際に分離爪レバーがトレイ収納枠側に傾動（前進）することが確実に防止できる。
【００２４】
（４）前記（３）において、前記ラッチ係止部が前記レバー拘束解放手段に当接し、該当接により前記分離爪レバーの前記トレイ収納枠側への傾動が規制されることを特徴とするものである。
これにより、別途ストッパを設置することなく、分離爪レバーの前記トレイ収納枠側への傾動範囲、すなわち前進限が決まることになる。
【００２５】
（５）前記（３）または（４）において、前記昇降部が、前記トレイ収納枠を横断する水平部と、該水平部の両側部にそれぞれ対峙して立設された一対の垂直部とを有し、
該垂直部より前記トレイ収納枠に近い位置で、前記水平部に前記分離爪レバーが設置され、また前記垂直部に前記ラッチが設置され、
前記ラッチが、一端部に設けた回転中心と、他端部の近傍に設けた略上方に開いた懐部とを具備し、前記分離爪レバーが前記トレイ収納枠から退避した際、前記ラッチ係止部が前記懐部に係止し、前記昇降部が上昇した際、前記他端部が前記レバー拘束解放手段に当接して下降することを特徴とするものである。
これにより、一対の分離爪レバーと一対の垂直部が、トレイ収納枠に対して垂直な直線上に配置されるから、分離爪レバーの端面（トレイ収納枠に対して垂直な面）にラッチ係止部（ピン）を設置し、垂直部の端面（トレイ収納枠に対して垂直な面）にラッチを設置することができる。よって、簡単な構成によりレバー拘束手段を形成することが可能になる。また、ラッチおよびレバー拘束解放手段の形状が簡単になり、さらに、分離爪レバーの拘束および拘束の解放が容易且つ確実になる。
【００２６】
（６）前記（１）または（２）において、前記レバー拘束手段が、前記分離爪レバーに回転自在に設置されたラッチと、前記昇降部に設置されたラッチ係止部とにより構成され、
前記分離爪レバーが前記トレイから退避した際、前記ラッチが前記ラッチ係止部に係止することを特徴とするものである。
これにより、分離爪レバーが退避状態で拘束されるから、昇降部が上昇する際に分離爪レバーがトレイ収納枠側に傾動（前進）することがない。
【００２７】
（７）前記（６）において、前記昇降部が、前記トレイ収納枠を横断する水平部と、該水平部の両側部にそれぞれ対峙して立設された一対の垂直部とを有し、該垂直部より前記トレイ収納枠に近い位置で、前記水平部に前記分離爪レバーが設置され、また前記垂直部に前記ラッチ係止部が設置され、
前記ラッチが、一端部から所定の距離だけ離れた位置に設けた回転中心と、他端部の近傍に設けた略下方に開いた懐部とを具備し、前記分離爪レバーが前記トレイ収納枠から退避した際、前記ラッチ係止部が前記懐部に係止し、前記昇降部が上昇した際、前記一端部が前記レバー拘束解放手段に当接して前記他端部が上昇することを特徴とするものである。
これにより、一対の分離爪レバーと一対の垂直部が、トレイ収納枠に対して垂直な直線上に配置されるから、分離爪レバーの端面（トレイ収納枠に対して垂直な面）にラッチを設置し、垂直部の端面（トレイ収納枠に対して垂直な面）にラッチ係止部（ピン）を設置することができる。よって、簡単な構成によりレバー拘束手段を形成することが可能になる。また、ラッチおよびレバー拘束解放手段の形状が簡単になり、さらに、分離爪レバーの拘束および拘束の解放が容易且つ確実になる。
【００２８】
（８）前記（１）または（２）において、前記レバー側案内部が前記トレイ収納枠に当接し、該当接により前記分離爪レバーの前記トレイ収納枠側への傾動が規制されることを特徴とするものである。
これにより、別途ストッパを設置することなく、分離爪レバーの前記トレイ収納枠側への傾動範囲、すなわち前進限が決まることになる。
【００２９】
（９）前記（１）乃至（９）の何れかにおいて、前記レバー拘束解放手段が、前記トレイ収納枠に設置したラッチ解放板であって、
前記昇降部が所定位置に上昇した際、前記ラッチが前記ラッチ解放板に当接して回転することを特徴とするものである。
これにより、ラッチの回転により、ラッチがラッチ係止部から解放されるから、分離爪レバーは退避状態から解放され、トレイ収納枠側に傾動（前進）することができる。
なお、昇降部に設置されたラッチは、ラッチの上面にラッチ係止部を受ける懐部を具備するから、該ラッチの懐部に近い端部が前記ラッチ解放板に当接して、懐部が下降するような回転をする。
一方、分離爪レバーに設置されたラッチは、ラッチの下面にラッチ係止部を受ける懐部を具備するから、該ラッチの懐部とは反対の端部がラッチ解放板に当接して、懐部が上昇するような回転をする。
【００３０】
（１０）前記（１）乃至（９）の何れかにおいて、前記分離爪レバーの上部に前記トレイ収納枠側に突出する分離爪が設置され、前記トレイ収納枠に収納されたトレイを支持する際、該分離爪の上面が水平になることを特徴とするものである。
これにより、分離爪の先端がトレイの下面（顎部）に確実に侵入して、トレイの下面（顎部）に平行に当接するから、トレイの支持が確実になる。
【００３１】
（１１）前記（１）乃至（１０）の何れかにおいて、前記分離爪レバーの傾動中心が、前記トレイ収納枠に収納されたトレイの側縁よりも、前記トレイ収納枠の中心に近い位置にあることを特徴とするものである。
これにより、分離爪の先端がトレイの下面（顎部）に侵入する際、略水平方向または、該下面（顎部）を持ち上げる方向に移動するから、昇降部の上昇速度を大きくしても、トレイを確実に支持することができる。
【００３２】
（１２）前記（７）乃至（１１）の何れかにおいて、前記レバー加勢手段が、前記分離爪レバーと前記垂直部の間に介設した圧縮バネであることを特徴とするものである。
これにより、分離爪レバーの外側面（トレイ収納枠から遠い方の面）と垂直部の内側面（トレイ収納枠に近い方の面）が対峙するから、圧縮バネの配置が容易になる。なお、分離爪レバーの外側面または垂直部の内側面の一方または両方に、圧縮バネの端部が侵入する凹部を設けておけば、圧縮バネの設置が一層容易になる。
【００３３】
（１３）前記（１）乃至（１２）の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構において、前記レバー退避手段が着脱自在またはその設置位置が変更自在であることを特徴とする請求項２乃至１５の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構であって、
前記分離爪レバーが前記レバー拘束手段から解放された状態で、前記昇降部が上昇および下降するものである。
これにより、レバー退避手段を撤去または、またはレバー退避手段の設置位置を下方に移動しておけば、分離爪レバーは退避しないから、その傾動が拘束されることがない。つまり、分離爪レバーは常にレバー拘束手段から解放された状態になる。
よって、昇降部が下降した場合、分離爪レバーはトレイの側縁に沿って外側に押し出され、やがて、トレイの下面（顎部）に侵入する。そして、昇降部が再度上昇すれば、当該トレイを持ち上げることができる。
したがって、既に持ち上げているトレイの下方に、新規のトレイが載置された場合には、該新規トレイの上に既に持ち上げているトレイを載置することができ、さらに、新規のトレイを含む全てのトレイを持ち上げることが可能になる。すなわち、トレイを積上げることができる。
なお、レバー退避手段を撤去したりレバー退避手段の設置位置を下方に移動したりする代わりに、分離爪レバーの下降する最下点（下降限）を調整して、分離爪レバーがレバー退避手段に当接しないようにしても同様の作用効果が得られる（前記（１）参照）。
【００３４】
（１４）前記（１）乃至（１２）の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構において、前記レバー拘束手段が着脱自在であることを特徴とし、
前記レバー拘束手段が撤去された状態で、前記分離爪レバーが前記トレイを支持して前記昇降部が上昇し、さらに、前記昇降部が下降する際、前記分離爪レバーが前記トレイの側縁に当接して前記トレイ収納枠の外側に向けて傾動されるものである。
これにより、かかる段積みトレイの分離・積上げ機構を設置しておけば、トレイの分離機構として使用すること、あるいはトレイの積上げ機構として使用することが可能になる。さらに、該使用の変更が容易にでき、一旦変更した後、再度元に戻すことが容易にできる。
【００３５】
さらに、本発明に係るトレイ収納装置は、以下のとおりである。
（１５）前記（１）乃至（１２）の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構において、前記トレイ収納枠の上部に設置したトレイ供給手段と、
前記トレイ収納枠の下部に設置したトレイ排出手段とを有することを特徴とするものである。
したがって、トレイ収納枠内に積上げられたトレイを下から順番に排出することができ、また、上部から新たなトレイを受け入れて、さらに積上げることが可能になる。
【００３６】
（１６）前記（１）乃至（１４）の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構において、前記トレイ収納枠の下部に設置したトレイ供給手段と、
前記トレイ収納枠の上部に設置したトレイ排出手段とを有することを特徴とするものである。
したがって、下部から新たなトレイを受け入れて、さらに積上げることができ、さらに、トレイ収納枠内に積上げられたトレイを上から順番に排出することが可能になる。
【００３７】
（１７）前記（１５）に記載の第一の段積みトレイの分離・積上げ機構と、
前記（１６）に記載の第二の段積みトレイの分離・積上げ機構と、
第一の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠の下部に収納されたトレイを、第二の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠の下部に移送する下部トラバーサと、
第二の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠の上部に収納されたトレイを、第一の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠の上部に移送する上部トラバーサとを有することを特徴とするものである。
これにより、第一の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠と第二の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠の間で、トレイを循環することが可能になる。
なお、(i)昇降部の下降の最下点（下降限）を上方に設定したり、(ii)レバー退避用ドグの設置位置を下方に移動したり、あるいは(iii)レバー退避用ドグを撤去したりして分離爪レバーが退避しないようにする。また、(iv)ラッチ解放板の設置範囲を下方まで延長したり、(v)レバー拘束手段の押上用圧縮バネを撤去したりしてレバー拘束手段自体が上昇しない（機能しない）ようにする。さらに、(vi)レバー拘束手段自体を撤去したりする。等によりトレイの分離機構をトレイの積上げ機構に容易に切り替えることができ、また、逆に容易に元に戻すことができる。
【００３８】
（１８）前記（１７）において、前記下部トラバーサまたは前記上部トラバーサが、水平方向に移動自在なラックと、該ラックに噛み合って回転するピニオンと、該ピニオンを回転するピニオン回転手段と、前記ラックに設置されて前記トレイ収納枠内に収納されたトレイに係止する係止用突起とを具備することを特徴とするものである。
これにより、簡単な構造により、トレイの移送を確実に行うことができる。
【００３９】
さらに、本発明に係るＩＣテストハンドラは、以下のとおりである。
（１９）検査前ＩＣが載置される検査前ＩＣステージと、
所定の検査を終えた検査済ＩＣが載置される検査済ＩＣステージと、
検査前ＩＣを所定の温度に維持する恒温チャンバと、
該恒温チャンバに収容されまたは該恒温チャンバに隣接して、検査前ＩＣに所定の検査を実施する検査ステージと、
検査前ＩＣを、前記検査前ＩＣステージから前記恒温チャンバに搬送する検査前ＩＣ搬送手段と、
前記恒温チャンバにおいて、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣを搬送する恒温チャンバ内ＩＣ搬送手段と、
検査済ＩＣを、前記恒温チャンバから前記検査済ＩＣステージに搬送する検査済ＩＣ搬送手段とを有し、
前記恒温チャンバ内に、前記（１５）乃至（１８）の何れかに記載のトレイ収納装置が設置されていることを特徴とするものである。
これにより、検査前ＩＣをチャンバ内トレイに載置して恒温チャンバ内を搬送することができるから、所定の数量の検査前ＩＣを恒温チャンバ内に所定時間滞留することが可能になる。このとき、チャンバ内トレイの分離およびとチャンバ内トレイの積上げが、スムースに且つ確実に行われるから、ＩＣやチャンバ内トレイの損傷、あるいは、チャンバ内トレイの搬送トラブルが防止されてＩＣ検査の精度・信頼性が維持される。
【００４０】
【発明の実施の形態】
［実施の形態１］
（段積みトレイの分離・積上げ機構）
図１は本発明の実施の形態１に係る段積みトレイの分離・積上げ機構の構成を示す斜視図である。図１において、１は段積みトレイの分離・積上げ機構、１０は複数のトレイ（図示しない）を段積みして収納するトレイ収納枠、２０はトレイ収納枠１０に沿って（図中、Ｚ方向）昇降する昇降部、３０は昇降部２０に傾動自在（図中、Ｙ−Ｚ面内を傾動）に立設された分離爪レバー、４０は分離爪レバー３０をトレイ収納枠１０に向けて傾動させる（図中、プラスＹ方向（以下、内側と称す）、図示しない収納されたトレイの方向に進めるに同じ、以下、前進と称す）前進用圧縮バネである。
【００４１】
さらに、５０はトレイ収納枠１０に設置されて分離爪レバー３０をトレイ収納枠１０の中央から遠ざける（図中、マイナスＹ方向（以下、外側と称す）で、図示しない収納されたトレイから退避させるに同じ、以下、退避と称す）レバー退避用ドグ、６０は昇降部２０（垂直部２１に同じ）に設置されて退避した分離爪レバー３０の傾動を拘束するレバー拘束ラッチ、７０はトレイ収納枠１０に設置されて該拘束を解放するラッチ解放板、８０はレバー拘束ラッチを上方向に押し上げる押上用圧縮バネ、および９０はトレイの同一側縁部に配置された分離爪レバー同士を連結する連結棒である。
【００４２】
（トレイ）
図２は本発明の実施の形態１に係る段積みトレイの分離・積上げ機構におけるトレイを示す斜視図である。図２において、トレイ１００は、平板部１０１と、平板部１０１の下面の４角に設置された角部脚１０２と、平板部１０１の下面の長手方向（図中、Ｘ方向）の両端部で幅方向（図中、Ｙ方向）の中央に設置された中央部脚１０３とを有している。
そして、平板部１０１の幅方向の両縁の上角には面取り１０４が設けられ、面取り１０４の裏面（平板部１０１の裏面）が後記分離爪３２が当接する顎部１０５を形成している。また、角部脚１０２にも、面取り１０４と同様の面取り１０６が設けられている。
【００４３】
さらに、平板部１０１の上面には、ＩＣを収納するＩＣ収納ポケット１０７と、通気用貫通穴１０８が設けられている。ＩＣ収納ポケット１０７の数量および形状は、トレイの目的に応じて変更される。また、通気用貫通穴１０８もトレイの目的および要求性能、たとえば、熱容量の保証、軽量化と剛性確保等に応じて変更されるものである。
【００４４】
以下、図１および図２に基づいて各部位の説明をする。
（トレイ収納枠）
トレイ収納枠１０は、複数のトレイ（図２に示すトレイ１００）を段積み（積層）して収納するものであって、平面視で矩形状のトレイ１００の４角または４辺のそれぞれを案内する鉛直案内部１１を具備している。そして、鉛直案内部１１の下部には収納したトレイ１００が載置されるトレイ載置部１２が設けられ、載置された下方のトレイ１００（最下段の１枚、または所定の複数枚）を長手方向（図中、Ｘ方向）に移送する下部トラバーサが配置されている（図示しない）。
一方、鉛直案内部１１の上部には新規トレイ１００を移送して、最上段のトレイの上に載置する上部トラバーサが配置されている（図示しない）。
【００４５】
（昇降部）
昇降部２０は、平面視略矩形状の板材または棒材を井桁状に形成したものであって、トレイ収納枠１０の下部を幅方向（図中、Ｙ方向）に貫通する水平部２１と、水平部２１の上面でトレイ収納枠１０の外側に位置する両側部に立設された垂直部２２を有している。垂直部２２は矩形状に４カ所配置されている。
水平部２１の垂直部２２が立設する位置の内側に、分離爪レバー３０の下端部を傾動自在に軸支するための分離爪レバー用溝２３が設けられ、分離爪レバー用溝２３に分離爪レバー支持軸２４が長手方向（図中、Ｘ方向）に設置されている。また、昇降部２０の下面には昇降軸２５が設置され、昇降軸２５は図示しない昇降手段に連結されている。
【００４６】
（分離爪レバー）
分離爪レバー３０の下端部には支持穴（図示しない）が設けられ、支持穴３１に分離爪レバー支持軸２４が挿入されている。そして、分離爪レバー３０は、幅方向（図中、Ｙ−Ｚ面内）で内側（プラスＹ方向）に向けて圧縮バネ４０により加勢されながら、傾動自在に軸支されている。
分離爪レバー３０の上端部は、内側に突出した分離爪３２が形成され、また、分離爪レバー３０の内側の面３３の上部、すなわち分離爪３２の下方には、下方になる程トレイ収納枠１０から遠ざかるように傾斜したテーパ状内側面３４が形成されている。
【００４７】
なお、分離爪レバー３０が内側に傾動すると、分離爪３２がトレイ収納枠１０内に侵入（以下、前進と称す）して、分離爪３２の上面が図示しないトレイに当接する。このとき、分離爪３２の上面は略水平になって、トレイの顎部（図２に示すトレイ１００の顎部１０５）に当接し、テーパ状内側面３４はトレイの面取り（図２に示すトレイ１００の面取り１０４）と略平行になる（以下、前進限の状態と称す）。なお、分離爪レバー３０が前進限を超えて傾動（前進）しないように、ストッパを設けてもよい。
【００４８】
さらに、分離爪レバー３０の端面３５（図中、マイナスＸ方向の面）には、レバー拘束ラッチ６０に係止するラッチ係止ピン３６が設置されている。
ラッチ係止ピン３６の高さ（図中、マイナスＸ方向の高さ）は、分離爪レバー３０の端面３５とトレイ収納枠１０に設置したラッチ解放板７０の分離爪レバー側の端面７１（図中、プラスＸ方向の面）との間の距離より小さいため、ラッチ係止ピン３６がラッチ解放板７０に衝突することがない。つまり、ラッチ係止ピン３６も分離爪３２と同様にトレイ収納枠１０の内部に侵入することができる。なお、分離爪レバー３０の端面３５とラッチ解放板７０の端面７１を近づけたり、ラッチ係止ピン３６の高さを高くして、ラッチ係止ピン３６がラッチ解放板７０あるいはトレイ収納枠１０に衝突するようにし、分離爪レバー３０が前進限を超えて傾動（前進）しないようにしてもよい。このとき、ラッチ係止ピン３６より内側に突出した範囲（分離爪３２を含む範囲）のみがトレイ収納枠１０内に侵入することになる。
【００４９】
（前進用圧縮バネ）
前進用圧縮バネ４０の両端部は、それぞれ分離爪レバー３０の外側の面３７に設けた凹部３８と、昇降部２０の垂直部２１の内側の面２６に設けた凹部（図示しない）に挿入されている。
なお、前進用圧縮バネ４０に替えて、分離爪レバー３０と昇降部２０の水平部２１との間に引っ張りバネを配置してもよい。さらに、分離爪３２の自重（偏荷重）により分離爪レバー３０が内側に傾動するようにしてもよい。
【００５０】
（レバー退避用ドグ）
レバー退避用ドグ５０は、トレイ収納枠１０の外側に設置されたレバー退避用ドグ受け５１に固定されている。したがって、昇降部２０が下降した際、分離爪レバー３０のテーパ状内側面３４がレバー退避用ドグ５０に当接し、昇降部２０がさらに下降すると、分離爪レバー３０はレバー退避用ドグ５０により外側に押され傾動（退避）することになる。
【００５１】
（レバー拘束ラッチ）
レバー拘束ラッチ６０は一端に回転穴６１と、他端に上方に向けて折れ曲がった先端部６２と、該折れ曲がりの開始部に懐部６３を有している。
そして、回転穴６１には昇降部２０の垂直部２２に設置された回転軸２８が挿入され、レバー拘束ラッチ６０は回転自在に軸支される。また、レバー拘束ラッチ６０は圧縮バネ８０により上方に加勢されている。
【００５２】
したがって、ラッチ係止ピン３６はレバー拘束ラッチ６０の先端部６２の上面に当接した際、相互に押し付けられている。さらに、昇降部２０が下降して分離爪レバー３０が退避用ドグ５０に押されて退避すると、ラッチ係止ピン３６はレバー拘束ラッチ６０の先端部６２の上面から外れ、懐部６３に抱え込まれることになる。なお、レバー拘束ラッチ６０の形状は、上方に向けて折れ曲がった先端部６２を具備する断面略し字状に限定するものではなく、断面矩形状板に懐部を形成したものであってもよい。
【００５３】
（ラッチ解放板）
ラッチ解放板７０は、トレイ収納枠１０の外側に設置され、鉛直方向の摺動面７２と、摺動面７２の下端部に傾斜したテーパ状当たり面７３とを有する板材である。したがって、昇降部２０が上昇した際、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２はなめらかに当接して衝撃が緩和され、さらに摺動面７２を摺動しながら上昇する。このとき、レバー拘束ラッチ６０の先端６２は下方に押し下げられるから、ラッチ係止ピン３６はレバー拘束ラッチ６０の懐部６３から解放され、分離爪レバー３０は圧縮バネ４０の反発力により、内側に傾動（前進）することになる。
【００５４】
（押上用圧縮バネ）
押上用圧縮バネ８０は、レバー拘束ラッチ６０に上向きの力を付与するためのコイルバネであって、その両端が昇降部２０の垂直部２２に設置された圧縮バネ受け８１に設けた凹部８２と、レバー拘束ラッチ６０の下面に設けた凹部（図示しない）にそれぞれ挿入されている。
【００５５】
（連結棒）
連結棒９０は、昇降部２０の同一側縁部に配置された一対の分離爪レバー同士を連結し、当該分離爪レバーの傾動を同期させることを目的とするものであるが、設置を省略してもよい。なお、連結棒９０を端面３５から突出させて、該突出部がレバー拘束ラッチ６０に拘束されるようにすれば、該突出部がラッチ係止ピン３６を兼ねることができる。
【００５６】
（分離動作）
図３は本発明の実施の形態１に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における分離動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。なお、図１または図２と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【００５７】
図３の（ａ）において、トレイ１１０、１２０はそれぞれ図２に示すものであって、図示しないトレイ収納枠（図１に示すトレイ収納枠１０参照）内に積み上けられている（積層されている）。分離爪３２が最下段のトレイ１１０の顎部１１５に係止し、分離爪レバー３０がトレイ１１０、１２０を支持している。すなわち、分離爪レバー３０は前進限の状態にある。
【００５８】
このとき、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２はラッチ解放板７０の摺動面７２に摺動し、先端部６２は下方に押し下げられているから、分離爪レバー３０はレバー拘束ラッチ６０から解放されている。
なお、理解を容易にするためトレイは２枚とし、下方のトレイ１１０を最下段トレイ１１０と、上方のトレイ１２０を二段目トレイ１２０と、これらの両方を指す場合はトレイ１１０、１２０と称す。また、トレイ収納枠１０に設置された部位（昇降しない部位）に斜線を付す。
【００５９】
図３の（ｂ）において、図示しない昇降部（図１に示す昇降部２０参照、以下、昇降部と称す）が下降すると、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２は、ラッチ解放板７０の摺動面７２に摺動しながら下降し、テーパ状当たり面７３に摺動した後、ラッチ解放板７０から離れる。このとき、レバー拘束ラッチ６０は、押上用圧縮バネ（図示しない）により押し上げられ、先端部６２がラッチ係止ピン３６に当接する。なお、分離爪レバー３０はトレイ１１０、１２０を支持したままである。
【００６０】
図３の（ｃ）において、昇降部がさらに下降すると、最下段トレイ１１０の角部脚１１２の下面が、トレイ収納枠のトレイ載置部１２に当接し、トレイ１１０、１２０はトレイ載置部１２に載置される。このとき、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２はラッチ係止ピン３６に当接したまである。また、分離爪レバー３０は前進限の状態のままであるが、最早トレイ１１０、１２０の荷重を支持していない。
【００６１】
図３の（ｄ）において、昇降部がさらに下降すると、分離爪レバー３０のテーパ状内側面３４は、レバー退避用ドグ５０に当接し、分離爪レバー３０は外側に傾動（退避）される。このとき、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２はラッチ係止ピン３６から外れ、懐部６３にラッチ係止ピン３６が抱え込まれる。すなわち、分離爪レバー３０は、退避した状態でレバー拘束ラッチ６０により拘束されることになる。
【００６２】
図３の（ｅ）において、次に、昇降部が上昇した場合でも、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２がラッチ解放板７０に当接するまでは、分離爪レバー３０は退避状態でレバー拘束ラッチ６０により拘束されたままであるから、分離爪３２は最下段トレイ１１０に触れることなく、上昇することができる。
【００６３】
図３の（ｆ）において、昇降部がさらに上昇すると、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２がラッチ解放板７０のテーパ状当たり面７３に当接する。このとき、レバー拘束ラッチ６０は下方に押し下げられるから、ラッチ係止ピン３６はレバー拘束ラッチ６０の懐部６３から解放され、分離爪レバー３０は前進用圧縮バネ（図示しない）の反発力により内側に傾動（前進）する。
そして、分離爪３２は二段目トレイ１２０の顎部１２５の下方に侵入し、分離爪レバー３０のテーパ状内側面３４は最下段トレイ１１０の面取り１１４に当接する。すなわち、前進限の状態になる。
【００６４】
図３の（ｇ）において、昇降部がさらに上昇すると、分離爪レバー３０は前進限の状態のまま、分離爪３２は二段目トレイ１２０の顎部１２５に当接し、これを持ち上げる。すなわち、最下段トレイ１１０と二段目トレイ１２０が分離されたことになる。
【００６５】
図３の（ｈ）において、昇降部がさらに上昇して停止した状態で、最下段トレイ１１０は図示しない搬送手段により次工程に搬送され、さらに、二段目トレイ１２０の上に第三のトレイ１３０が載置される。そして、図３の（ａ）に戻ることになる。
なお、二段目トレイ１２０が複数枚になった場合も同様の動作により、最下段トレイがそれ以外のトレイと分離される。
【００６６】
［実施の形態２］
（分離動作）
図４は本発明の実施の形態２に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における分離動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。実施の形態１が最下段トレイのみ（１枚）を他のトレイから分離するのに対し、実施の形態２は、下段にある複数枚のトレイを他のトレイから分離するものである。なお、図１または図２と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【００６７】
図４の（ｃ）において、トレイ１１０、１２０、１３０、１４０はそれぞれ同一形状であって、図示しないトレイ収納枠（図１に示すトレイ収納枠１０参照）内に積み上けられている（積層されている）。分離爪３２が最下段のトレイ１１０の顎部１１５に係止し、分離爪レバー３０がトレイ１１０、１２０、１３０、１４０を支持している。すなわち、分離爪レバー３０は前進限の状態にある。このとき、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２は、ラッチ解放板７０の摺動面７２から離れ、ラッチ係止ピン３６に当接している。
【００６８】
そして、図示しない昇降部（図１に示す昇降部２０参照、以下、昇降部と称す）がさらに下降すると、最下段トレイ１１０の角部脚１１２の下面が、トレイ収納枠のトレイ載置部１２に当接して、トレイ１１０、１２０、１３０、１４０はトレイ載置部１２に載置され、分離爪レバー３０は最早トレイ１１０、１２０、１３０、１４０の荷重を支持しなくなる。このとき、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２はラッチ係止ピン３６に当接し、分離爪レバー３０は前進限の状態のままである。
【００６９】
図４の（ｄ）において、昇降部がさらに下降すると、分離爪レバー３０のテーパ状内側面３４は、レバー退避用ドグ５０に当接し、分離爪レバー３０は外側に傾動（退避）される。このとき、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２はラッチ係止ピン３６から外れ、懐部６３にラッチ係止ピン３６が抱え込まれる。すなわち、分離爪レバー３０は、退避した状態でレバー拘束ラッチ６０により拘束されることになる。
【００７０】
図４の（ｅ−１）および（ｅ−２）において、次に、図示しない昇降部２０が上昇した場合でも、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２がラッチ解放板７０に当接するまでは、分離爪レバー３０は退避状態にありレバー拘束ラッチ６０により拘束されたままであるから、分離爪３２は下方にあるトレイ１１０、１２０、１３０に触れることなく、上昇することができる。
【００７１】
図４の（ｆ）において、昇降部がさらに上昇すると、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２がラッチ解放板７０のテーパ状当たり面７３に当接する。
そして、先端部６２が下方に押し下げられるから、ラッチ係止ピン３６はレバー拘束ラッチ６０の懐部６３から解放され、分離爪レバー３０は前進用圧縮バネ（図示しない）の反発力により内側に傾動（前進）する。
そして、分離爪３２は四段目トレイ１４０の顎部１４５の下方に侵入し、分離爪レバー３０のテーパ状内側面３４は、三段目トレイ１３０の面取り１３４に当接する。すなわち、前進限の状態になる。
【００７２】
図４の（ｇ）において、昇降部がさらに上昇すると、前進限の状態のまま、分離爪３２は四段目トレイ１４０の顎部１４５に当接し、これを持ち上げる。すなわち、四段目トレイ１４０とそれより下方のトレイ１１０、１２０、１３０が分離されたことになる。
【００７３】
なお、四段目トレイ１４０が複数枚になった場合も同様の動作により、同様の分離が可能である。
さらに、実施の形態２は、下方のトレイ３枚を分離するものであるが、ラッチ解放板７０の設置位置を変更することにより、分離するトレイの枚数を容易に変更することができる。
【００７４】
［実施の形態３］
（積上げ動作）
図５および図６は本発明の実施の形態３に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における積上げ動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。
実施の形態１または２が、最下段トレイのみまたは下段にある複数枚のトレイを他のトレイから分離するものであるのに対し、実施の形態３は。積層されているトレイの下方に新たに所定の枚数の新規トレイを挿入し、該新規トレイを含む新たな積層されたトレイを形成するものである。
なお、段積みトレイの分離・積上げ機構については、実施の形態１における段積みトレイの分離・積上げ機構１（図１参照）を用い、トレイについては図２に示すトレイ１００に準じるため、同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。また、説明を容易にするため、ラッチ解放板（図１参照）の記載を省略している。
【００７５】
図５の（ａ）において、分離爪レバー３０の分離爪３２が最上段のトレイ１８０の顎部１８５に係止し、分離爪レバー３０が最上段のトレイ１８０を持ち上げている。このとき、分離爪レバー３０は前進限の状態にあり、ラッチ係止ピン３６はレバー拘束ラッチ６０の先端部６２の上面に当接したままである。また、分離爪レバー３０は図示しないストッパ手段により、前進限より内側に傾動しない。
なお、ラッチ係止ピン３６がレバー拘束ラッチ６０の先端部６２の上面に当接する代りに、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２を図示しないラッチ解放板に摺動させて先端部６２を下降することにより、分離爪レバー３０を傾動自在（解放状態）にしてもよい。
そして、図示しない搬送手段（図１に示す昇降部２０参照、以下、昇降部と称す）により、３段積みの新規トレイ１５０、１６０、１７０が、トレイ収納枠のトレイ載置部１２に載置される。
【００７６】
図５の（ｂ）において、図示しない昇降部（図１参照、以下、昇降部と称す）が下降すると、最上段トレイ１８０は三段目トレイ１７０の上に載置され、分離爪レバー３０は、最早最上段トレイ１８０の荷重を支持しなくなる。
【００７７】
図５の（ｃ）において、昇降部がさらに下降すると、分離爪レバー３０のテーパ状内側面３４は、三段目トレイ１７０の面取り１７４および側縁に摺動しながら外側に押し出される。このとき、ラッチ係止ピン３６はレバー拘束ラッチ６０の先端部６２の上面に当接したままであって、懐部６３に抱え込まれることはない。
なお、ラッチ係止ピン３６がレバー拘束ラッチ６０の先端部６２の上面に当接する代りに、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２を図示しないラッチ解放板に摺動させて先端部６２を下降することにより、分離爪レバー３０を傾動自在（解放状態）にしてもよい。
【００７８】
図５の（ｄ）において、そして、昇降部がさらに下降すると、テーパ状内側面３４が、三段目トレイ１７０の顎部１７５に侵入し、二段目トレイ１６０の面取り１６４および側縁に摺動し、二段目トレイ１６０の顎部１６５に侵入し、一段目トレイ１５０の面取り１５４および側縁に摺動し、やがて、一段目トレイ１５０の顎部１５５に侵入する。すなわち、分離爪レバー３０は前進限の状態になる。そして、分離爪レバー３０のテーパ状内側面３４がレバー退避用ドグ５０に当接する前に、昇降部は下降を停止する。このため、分離爪レバー３０は退避しないから、ラッチ係止ピン３６がレバー拘束ラッチ６０の懐部６３に抱え込まれることはない。すなわち、分離爪レバー３０は解放状態で前進限にある。
なお、ラッチ係止ピン３６がレバー拘束ラッチ６０の先端部６２の上面に当接する代りに、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２を図示しないラッチ解放板に摺動させて先端部６２を下降することにより、分離爪レバー３０を傾動自在（解放状態）にしてもよい。
【００７９】
図６の（ｅ）において、分離爪レバー３０は解放状態で前進限にあるまま、昇降部を上昇すると、分離爪３０が一段目トレイ１５０の顎部１５５に当接し、分離爪レバー３０がトレイ１５０、１６０、１７０、１８０を持ち上げる。
【００８０】
図６の（ｆ）において、昇降部が所定の高さまで上昇したところで、停止し、図示しない搬送手段により、新たなトレイ１２０、１３０、１４０を載置台１２上に載置する。そして、図５の（ａ）および（ｂ）の動作を繰り返すと、積上げトレイ１２０、１３０、１４０、１５０、１６０、１７０、１８０が形成される。なお、最上段トレイ１８０は複数枚の積上げトレイであってもよい。
【００８１】
したがって、実施の形態１における段積みトレイの分離・積上げ機構１と同じ機構を用いながら、下記により、これを積上げ機構にすることが可能になる。
（イ）昇降部の下降の最下点（下降限）を調整して、または、
（ロ）レバー退避用ドグの設置位置を下方に移動して、または、
（ハ）レバー退避用ドグを撤去して、
分離爪レバーがレバー退避用ドグに当接しないようにする。あるいは、
（ニ）ラッチ解放板を下方に延長して、レバー拘束ラッチの先端部をラッチ解放板に摺動させて該先端部を下降状態にし、分離爪レバーが退避した場合でも分離爪レバーのラッチ係止ピンがレバー拘束ラッチの懐部に抱え込まれないようにする。
なお、持ち上げられた積上げトレイの下方に載置される新規トレイの枚数は１以上の何れの枚数であってもよい。そして、昇降部の昇降する距離は、該新規トレイの枚数に応じて変更する。
【００８２】
（段積みトレイの分離・積上げ機構）
図７は本発明の実施の形態３に係る段積みトレイの分離・積上げ機構の構成を示す斜視図である。図７において、３は段積みトレイの分離・積上げ機構、１０は複数のトレイ（図示しない）を段積みして収納するトレイ収納枠、２０はトレイ収納枠１０に沿って（図中、Ｚ方向）昇降する昇降部、３０は昇降部２０に傾動自在（図中、Ｙ−Ｚ面内を傾動）に立設された分離爪レバー、４０は分離爪レバー３０をトレイ収納枠１０に向けて傾動させる（図中、プラスＹ方向（内側）、図示しない収納されたトレイの方向に前進するに同じ、以下、前進と称す）前進用圧縮バネである。
【００８３】
すなわち、実施の形態１における段積みトレイの分離・積上げ機構１から、昇降部２０（垂直部２１に同じ）に設置されたレバー拘束ラッチ６０および押上用圧縮バネ８０、分離爪レバー３０に設置されたラッチ係止ピン３６、さらに、トレイ収納枠１０に設置されたレバー退避用ドグ５０およびラッチ解放板７０を撤去したものである。
【００８４】
そして、ラッチ係止ピン３６に代えて連結棒９０を設置している。連結棒９０は一対の分離爪レバー（プラスＸ方向に設置された他方は図示しない）を連結し、連結棒９０の両端部は、それぞれトレイ収納枠１０に設置したストッパ面１３（プラスＸ方向に設置された他方は図示しない）に当接自在である。なお、実施の形態１と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
したがって、分離爪レバー３０は傾動が拘束されないから、段積みトレイの分離・積上げ機構３は図５および図６に示す積上げ機能を発揮する。
なお、前記撤去に代えて、レバー拘束ラッチ６０またはラッチ係止ピン３６の一方のみ撤去してもよい。また、押上用圧縮バネ８０のみ撤去して、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２が略延長下方に垂れ下がってもよい。さらに、ラッチ解放板７０を下方にまで延長して、レバー拘束ラッチ６０の先端部６２が常時摺動するようにしてもよい。
【００８５】
［実施の形態４］
（段積みトレイの分離・積上げ機構）
図８は本発明の実施の形態４に係る段積みトレイの分離・積上げ機構の構成を示す斜視図である。図８において、４は段積みトレイの分離・積上げ機構、１０は複数のトレイ（図示しない）を段積みして収納するトレイ収納枠、４２０はトレイ収納枠１０に沿って（図中、Ｚ方向）昇降する昇降部、４３０は昇降部４２０に傾動自在（図中、Ｙ−Ｚ面内を傾動）に立設された分離爪レバー、４４０は分離爪レバー４３０をトレイ収納枠１０に向けて傾動させる（図中、プラスＹ方向（内側）、図示しない収納されたトレイの方向に前進するに同じ、以下、前進と称す）前進用圧縮バネである。
【００８６】
さらに、４５０はトレイ収納枠１０に設置されて分離爪レバー４３０をトレイ収納枠１０の中央から遠ざける（図中、マイナスＹ方向（外側）、図示しない収納されたトレイから退避させるに同じ、以下、退避と称す）レバー退避用ドグ、４６０は昇降部４２０（垂直部２１に同じ）に設置されて前記遠ざけられた（退避した）分離爪レバー４３０の傾動を拘束するレバー拘束ラッチである。
なお、トレイ収納枠１０内に段積みされるトレイは図２に示すものに同じである。また、実施の形態１と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【００８７】
（トレイ収納枠）
トレイ収納枠１０は実施の形態１におけるものに同じである。
【００８８】
（昇降部）
昇降部４２０は、平面視略矩形状の板材または棒材を井桁状に形成したものであって、トレイ収納枠１０の下部を幅方向（図中、Ｙ方向）に貫通する水平部４２１と、水平部４２１の上面でトレイ収納枠１０の外側に位置する両側部に立設された垂直部４２２を有している。垂直部４２２は矩形状に４カ所配置されている。
垂直部４２２の端面（図中、マイナスＸ方向の面）にレバー拘束ラッチ４６０の懐部４６３が係止するラッチ係止ピン４２９が設置されている。
【００８９】
また、水平部４２１において垂直部４２２の内側に、分離爪レバー４３０の下端部を傾動自在に軸支するための分離爪レバー用溝４２３が設けられ、分離爪レバー用溝４２３に分離爪レバー支持軸４２４が長手方向（図中、Ｘ方向）に設置されている。
また、昇降部４２０の下面には昇降軸４２５が設置され、昇降軸４２５は図示しない昇降手段に連結されている。
【００９０】
（分離爪レバー）
分離爪レバー４３０の下端部には支持穴４３１が設けられ、支持穴４３１に分離爪レバー支持軸４２４が挿入されている。そして、分離爪レバー４３０は、幅方向（図中、Ｙ−Ｚ面内）で内側に向けて圧縮バネ４４０により加勢されながら、傾動自在に軸支されている。
分離爪レバー４３０の上端部は、内側に突出した分離爪４３２が形成されている。また、分離爪レバー４３０の端面４３５（図中、マイナスＸ方向の面）には、レバー拘束ラッチ４６０を回転自在に支持するための回転軸４３６、および、レバー退避用ドグ４５０に当接するための退避用ピン４３９が設置されている。
【００９１】
なお、分離爪レバー４３０が内側に傾動すると、分離爪４３２がトレイ収納枠１０内に侵入（以下、前進と称す）して、分離爪４３２の上面が図示しないトレイに当接する。このとき、分離爪４３２の上面は略水平になって、図示しないトレイの顎部（図２に示すトレイ１００の顎部１０５）に当接し、テーパ状内側面４３４はトレイの面取り（図２に示すトレイ１００の面取り１０４）と略平行になる（以下、前進限の状態と称す）。
【００９２】
また、分離爪レバー４３０が前進限を超えて傾動（前進）しないように、図示しないストッパを設けている。なお、分離爪レバー４３０の端面４３５とラッチ解放板７０の端面７１を近づけたり、退避用ピン４３９の高さを高くしたりして、退避用ピン４３９がトレイ収納枠１０（またはトレイ収納枠１０に設置したストッパ面（図示しない））に摺動するようにして、分離爪レバー４３０が前進限を超えて傾動（前進）しないようにしてもよい。このとき、分離爪レバー４３０の退避用ピン４３９より内側にある範囲（分離爪４３２を含む範囲）がトレイ収納枠１０内に侵入する。
【００９３】
（前進用圧縮バネ）
前進用圧縮バネ４４０の両端部は、それぞれ分離爪レバー４３０の外側の面４３７に設けた凹部４３８と、昇降部４２０の垂直部４２１の内側の面４２６に設けた凹部（図示しない）に挿入されている。
なお、前進用圧縮バネ４４０に替えて、分離爪レバー４３０と水平部４２１との間に引っ張りバネを配置してもよい。さらに、分離爪４３２の自重（偏荷重）により分離爪レバー４３０が内側に傾動するようにしてもよい。
【００９４】
（レバー退避用ドグ）
レバー退避用ドグ４５０は、トレイ収納枠１０の外側に設置された台形状の板材であって、下方になる程外側に広がるテーパ面４５１とテーパ面４５１の下端に繋がる鉛直方向の摺動面４５２とを有している。
したがって、昇降部４２０が下降した際、分離爪レバー４３０の退避用ピン４３９がテーパ面４５１に当接し、昇降部４２０がさらに下降すると、分離爪レバー４３０はテーパ面４５１により外側に押されて傾動することになる（以下、退避と称す）。
【００９５】
（レバー拘束ラッチ）
レバー拘束ラッチ４６０は、分離爪レバー４３０に設置された回転軸４３６に回転自在に設置されている。
レバー拘束ラッチ４６０は、回転軸４３６が挿入される回転穴４６１と、回転穴４６１から外側（図中、マイナスＹ方向）に所定の距離だけ離れた位置に下方に向けて折れ曲がった先端部４６２と、該折れ曲がりの開始部に懐部４６３と、回転穴４６１から内側（図中、プラスＹ方向）に所定の距離だけ離れた位置に後端部４６４とを有している。
【００９６】
したがって、昇降部４２０が上昇して、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４がラッチ解放板７０に当接した際、後端部４６４は押し下げられ、一方、先端部４６２は持ち上げられることになる。このとき、レバー拘束ラッチ４６０の懐部４６３に抱えられていたラッチ係止ピン４２９は、懐部４６３から解放されることになる。
【００９７】
また、昇降部４２０が下降して、分離爪レバー４３０の退避用ピン４３９がレバー退避用ドグ４５０のテーパ面４５１に摺動して、分離爪レバー４３０が外側に押し出されると、ラッチ係止ピン４２９はレバー拘束ラッチ４６０の先端部４６２の下面から外れ、懐部４６３に抱え込まれることになる。
なお、レバー拘束ラッチ４６０は、先端部４６２側の方が長くて重いため、自由な状態の場合、先端部４６２は下降してその下面がラッチ係止ピン４２９に当接している。
【００９８】
（ラッチ解放板）
ラッチ解放板７０は、トレイ収納枠１０の外側に設置され、鉛直方向の摺動面７２と、摺動面７２の下端部に傾斜したテーパ状当たり面７３とを有する板材である。したがって、昇降部４２０が上昇した際、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４がなめらかに当接して衝撃が緩和され、さらに摺動面７２を摺動して上昇する。
このとき、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４は押し下げられ、一方、先端部４６２は上方に押し上げられるから、ラッチ係止ピン４２９はレバー拘束ラッチ４６０の懐部４６３から解放され、分離爪レバー４３０は圧縮バネ４４０の反発力により、内側に傾動（前進）することになる。
【００９９】
（分離動作）
図９は本発明の実施の形態４に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における分離動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。実施の形態１と同様、最下段トレイのみを他のトレイから分離する場合について記載する。なお、図８と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【０１００】
図９の（ａ）において、トレイ１１０、１２０はそれぞれ図２に示すものであって、図示しないトレイ収納枠（図８に示すトレイ収納枠１０参照）内に積み上けられている（積層されている）。分離爪４３２が最下段のトレイ１１０の顎部１１５に係止し、分離爪レバー４３０がトレイ１１０、１２０を支持している。すなわち、分離爪レバー４３０は前進限の状態にある。
【０１０１】
このとき、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４はラッチ解放板７０の摺動面７２に摺動し、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４は下方に押し下げられているから、レバー拘束ラッチ４６０の先端部４６２は持ち上げられ、懐部４６３はラッチ係止ピン４２９から離れている。すなわち、分離爪レバー４３０はラッチ係止ピン４２９から解放されている。
なお、理解を容易にするためトレイは２枚とし、下方のトレイ１１０を最下段トレイ１１０と、上方のトレイ１２０を二段目トレイ１２０と、これらの両方を指す場合はトレイ１１０、１２０と称す。また、トレイ収納枠に設置された部位（昇降しない部位）に斜線を付す。
【０１０２】
図９の（ｂ）において、図示しない昇降部（図８に示す昇降部４２０参照、以下、昇降部と称す）が下降すると、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４は、ラッチ解放板７０の摺動面７２に摺動しながら下降し、テーパ状当たり面７３に摺動した後、ラッチ解放板７０から離れる。このとき、レバー拘束ラッチ４６０は、自重により回転して先端部４６２がラッチ係止ピン４２９に当接する。なお、分離爪レバー４３０はトレイ１１０、１２０を支持したままである。
【０１０３】
図９の（ｃ）において、昇降部がさらに下降すると、最下段トレイ１１０の角部脚１１２の下面が、トレイ収納枠のトレイ載置部１２に当接し、トレイ１１０、１２０はトレイ載置部１２に載置される。このとき、レバー拘束ラッチ４６０の先端部４６２はラッチ係止ピン４２９に当接したまである。また、分離爪レバー４３０は前進限の状態のままであるが、最早トレイ１１０、１２０の荷重を支持していない。
そして、昇降部４２０がさらに下降すると、分離爪レバー４３０の端面４３５に設置した退避用ピン４３９が、レバー退避用ドグ４５０のテーパ面４５１に当接することになる。
【０１０４】
図９の（ｄ）において、昇降部がさらに下降すると、退避用ピン４３９がレバー退避用ドグ４５０のテーパ面４５１を摺動して下降する。このとき、分離爪レバー４３０は外側に押し出されるから、レバー拘束ラッチ４６０の先端部４６２はラッチ係止ピン４２９よりも外側に移動して、懐部４６３にラッチ係止ピン４２９を抱え込むことになる。すなわち、分離爪レバー４３０は、退避した状態でレバー拘束ラッチ４６０により拘束されることになる。そして、昇降部４２０がさらに下降すると、退避用ピン４３９はレバー退避用ドグ４５０の摺動面４５２を摺動して下降する。
【０１０５】
図９の（ｅ）において、次に、昇降部が上昇した場合でも、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４がラッチ解放板７０に当接するまでは、分離爪レバー４３０は退避状態でレバー拘束ラッチ４６０により拘束されたままであるから、分離爪４３２は最下段トレイ１１０に触れることなく、上昇することができる。
【０１０６】
図９の（ｆ）において、昇降部がさらに上昇すると、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４がラッチ解放板７０のテーパ状当たり面７３に当接する。このとき、レバー拘束ラッチ４６０の後端部４６４は下方に押し下げられるから、先端部４６２は持ち上げられてラッチ係止ピン４２９はレバー拘束ラッチ４６０の懐部４６３から解放され、分離爪レバー４３０は前進用圧縮バネ（図示しない）の反発力により内側に傾動（前進）する。
そして、分離爪４３２は二段目トレイ１２０の顎部１２５の下方に侵入し、分離爪レバー４３０の内側面４３３は、最下段トレイ１１０の面取り１１４に当接する。すなわち、分離爪レバー４３０は前進限の状態になる。
【０１０７】
図９の（ｇ）において、昇降部がさらに上昇すると、分離爪レバー４３０は前進限の状態のまま、分離爪４３２は二段目トレイ１２０の顎部１２５に当接し、これを持ち上げる。すなわち、最下段トレイ１１０と二段目トレイ１２０が分離されたことになる。
【０１０８】
図９の（ｈ）において、昇降部がさらに上昇して停止した状態で、最下段トレイ１１０は図示しない搬送手段により次工程に搬送され、さらに、二段目トレイ１２０の上に第三のトレイ１３０が載置される。そして、図９の（ａ）に戻ることになる。
なお、二段目トレイ１２０が複数枚になった場合も同様の動作により、最下段トレイがその他のトレイと分離される。
【０１０９】
さらに、ラッチ解放板７０を高い位置に設置することにより、載置されたトレイの下方にある複数枚のトレイと、それ以外のトレイとを分離することができる（図４に準じる）。つまり、昇降部２０の上昇する距離は、分離するトレイの枚数に応じて変更する。
さらに、昇降部２０の下降の最下点（下降限）を調整するだけで、これを積上げ機構にすることが可能になる（実施の形態３に準じる）。また、レバー退避用ドグ５０の設置位置を下方に移動またはレバー退避用ドグ５０を撤去するだけで、これを積上げ機構にすることが可能になる（実施の形態３に準じる）。
【０１１０】
［実施の形態５］
（トレイ収納装置）
図１０は、本発明の実施の形態５に係るトレイ収納装置の構成を模式的に示す斜視図である。図１０において、トレイ収納装置５は、平行して設置されたトレイ下降部１６２０とトレイ上昇部１６４０とを有している。
トレイ下降部１６２０およびトレイ上昇部１６４０には、たとえば図２に示すトレイが段積み（積層）されて収納される。
トレイ下降部１６２０およびトレイ上昇部１６４０は、それぞれトレイ収納枠１６２１、１６４１によって囲まれ、トレイ収納枠１６２１、１６４１の下方には昇降部１６２２、１６４２が昇降自在に配置されている。
【０１１１】
そして、トレイ下降部１６２０の昇降部１６２２およびトレイ上昇部１６４０の昇降部１６４２には、それぞれ実施の形態１乃至４の何れかに示す段積みトレイの分離・積上げ機構が矩形状に配置されている（図中、斜線部１６２３、１６４３にて示す）なお、各機構の詳細は図示しない。
【０１１２】
さらに、トレイ収納枠１６２１、１６４１の下端の内側には、トレイを載置するトレイ載置部１６２４、１６４４が設置されている。
そして、トレイ下降部１６２０のトレイ載置部１６２４に載置された最下段のトレイを、トレイ上昇部１６４０のトレイ載置部１６４４に搬送する下部トラバーサ１６３０が、一対のトレイ載置部１６２４の間に設置されている。
また、トレイ下降部１６２０（トレイ上昇部１６４０に同じ）の所定の高さに上部トラバーサ１６５０が配置され、トレイ上昇部１６４０に収納された当該位置にあるトレイを、トレイ下降部１６２０側に搬送することが可能になっている。
【０１１３】
下部トラバーサ１６３０および上部トラバーサ１６５０は、それぞれトレイ収納枠１６２１およびトレイ収納枠１６４１を跨いで直線運動（図中、Ｘ方向）をするラック１６３１、１６５１と、ラック１６３１、１６５１に噛み合って回転するピニオン１６３２、１６５２を有している。ラック１６３１、１６５１にはそれぞれ図示しないトレイ係止部が設けられ、該係止部がトレイに係止してトレイを移動させるものである。
【０１１４】
なお、下部トラバーサ１６３０および上部トラバーサ１６５０は、ラック／ピニオン構造に限定するものではなく、チェーン／スプロケット構造、回転リンク構造、あるいは流体シリンダ構造であってもよい。
【０１１５】
以上より、トレイ下降部１６２０およびトレイ上昇部１６４０が、実施の形態１乃至４の何れかに示す段積みトレイの分離・積上げ機構を具備するから、トレイの分離が円滑且つ確実に実施される。
また、段積みトレイの分離・積上げ機構は、前記実施の形態３に記載した要領により、トレイ積上げ用またはトレイ分離用の何れにも使用できるから、段積みトレイの分離用およびトレイの積上げ用としてそれぞれ別個の装置を配置する必要がない。
【０１１６】
また、下部トラバーサ１６３０および上部トラバーサ１６５０を具備するから、当該トレイ収納装置内で、トレイを循環することができる。
さらに、段積みトレイの分離・積上げ機構は、前記実施の形態３に記載した要領により、それぞれトレイ積上げ用またはトレイ分離用に容易に変更することができるから、トレイの循環方向を容易に変更することができる。
【０１１７】
［実施の形態６］
（ＩＣテストハンドラ）
図１１および図１２は、本発明の実施の形態６に係るＩＣテストハンドラの構成を示す概略斜視図および概略透視斜視図である。ＩＣテストハンドラ６は、本体１２００と、検査前ＩＣを供給する供給部１３００と、ＩＣ検査ステージ３０００に接する恒温チャンバ１６００と、ホットプレート２０００と、検査済ＩＣを収納する排出部１９００を有し、恒温チャンバ１６００の中には、実施の形態５に示すトレイ収納装置５が配置されている。
【０１１８】
（供給部）
供給部１３００は、検査前ＩＣが載置された供給トレイを複数収納する供給トレイエレベータ１３１０と、空トレイを収容する空トレイエレベータ１３２０を有している。
【０１１９】
（恒温チャンバ）
恒温チャンバ１６００は、ＩＣを所定の検査温度に加熱または冷却するものであって、内部には、実施の形態５に示すトレイ収納装置５が配置され、検査前ＩＣを恒温チャンバ１６００内に供給する供給シャトル１５００と、検査済ＩＣを恒温チャンバ１６００外に排出する排出シャトル１７００と、検査ステージ３０００が併設されている。
そして、供給シャトル１５００上のＩＣをハンドリングする持ち上げ用ＩＣ吸着ハンド１６１０および検査中のＩＣを検査ステージに押圧する検査用ＩＣ吸着ハンド１６６０が設置されている。
【０１２０】
（ホットプレート）
ホットプレート２０００は、恒温チャンバ１６００において低温試験（たとえば摂氏１０度以下）を行った場合に、低温状態の検査済ＩＣを排出部１９００に搬送する前に、結露防止のために一時的に温めて常温に戻すためのものである。
【０１２１】
（排出部）
排出部１９００は、排出エレベータ１９１０、１９２０、１９３０、および排出トレイ置き場１９４０、１９５０、１９６０を有し、検査済ＩＣは当該ＩＣ検査の結果に応じて、所定の排出エレベータまたは排出トレイ置き場に収納された排出トレイに、分類して載置される。
【０１２２】
（検査済ＩＣ排出機構）
検査済ＩＣ排出機構は、検査済ＩＣを吸着して、排出部に搬送するものであり、排出走行部、排出横行部、排出昇降部、排出昇降部および排出用ＩＣ吸着パットとを有している。
【０１２３】
（検査前ＩＣ供給機構）
検査前ＩＣ供給機構は、検査前ＩＣを供給部１３００から供給シャトル１５００まで搬送するものであって、検査済ＩＣ排出機構に準じる。
【０１２４】
（持ち上げ用ＩＣ吸着ハンド）
持ち上げ用ＩＣ吸着ハンド１６１０は、ＩＣを吸着して、昇降および水平面内を移動自在である。したがって、供給シャトル１５００に載置された検査前ＩＣを吸着して、チャンバ内トレイに載置することができる。
【０１２５】
（検査用ＩＣ吸着ハンド）
検査用ＩＣ吸着ハンド１６６０は、ＩＣを吸着して、昇降および旋回自在である。したがって、水平姿勢の検査前ＩＣを吸着して、鉛直部に配置された検査ステージ３０００（位置Ｔ）に移送して水平方向に押圧することが可能になる。
【０１２６】
（ＩＣ搬送要領）
次に、図１１および図１２に基づいて、ＩＣの各ステージ間の搬送要領を簡単に説明する。なお、位置Ｐ１、Ｐ２等は、各ステージの略中心位置等を示し、ＩＣが実際に載置される位置と相違する場合がある。
【０１２７】
▲１▼検査前ＩＣは、供給部１３００から、供給シャトル１５００上に載置される（Ｐ１→Ｐ２）。次に、供給シャトル１５００が、恒温チャンバ１６００内に移動する（Ｐ２→Ｐ３）。
▲２▼そして、検査前ＩＣは、チャンバ内トレイに載置され（Ｐ３→Ｐ４）、トレイ収納装置内を略Ｕ字状に移動し、所定の温度に維持される（Ｐ４→Ｐ５→Ｐ６→Ｐ７）。
【０１２８】
▲３▼そして、所定の検査が実施された後（Ｐ７→Ｔ→Ｐ８）、検査済みＩＣは排出シャトル１７００により、恒温チャンバ１６００外に搬送される（Ｐ８→Ｐ９）。
▲４▼さらに、検査済ＩＣは、検査結果に応じて、所定の排出部１９００に収納される（Ｐ９→Ｐ１０）。
▲５▼なお、低温状態で検査を行った場合には、一旦ホットプレート２０００上に搬送して常温に戻し、その後、排出部１９００へ搬送する（Ｐ９→Ｐ１１→Ｐ１０）。
【０１２９】
以上より、恒温チャンバ１６００の中には、実施の形態５に示すトレイ収納装置５が配置され、トレイ収納装置５が、実施の形態１乃至４の何れかに示す段積みトレイの分離・積上げ機構１乃至４の何れかを具備するから、トレイの分離および積上げが円滑に実施される。
また、かかる段積みトレイの分離・積上げ機構は簡素な構造であるため、温度変化に対して損傷・劣化するおそれが少ない。
【０１３０】
【発明の効果】
以上より、本発明は以下の効果を奏する。
（１）段積みトレイの分離・積上げ機構は簡単な機構であるため、安価に製作することができ、保守が容易である。
（２）それぞれの分離爪の高さが同一に保持されるため、トレイをスムース且つ確実に分離または段積みすることができる。
【０１３１】
（３）分離爪レバーの拘束解放手段の設置位置を移動するだけで、分離するトレイの枚数を容易に変更することができる。
（４）昇降部の下降の最下点（下降限）の調整、レバー退避用ドグの設置位置の移動、レバー退避用ドグの撤去、ラッチ解放板の設置範囲の延長、またはレバー拘束手段の着脱等により、トレイの分離機構またはトレイの積上げ機構の何れにでも容易に切り替えることができる。
【０１３２】
（５）トレイ収納装置は簡単な機構であるため、安価に製作することができ、保守が容易であるとともに、トレイをスムース且つ確実に収納することができる。（６）また、段積みトレイを分離するトレイ収納装置を、段積みトレイを積上げるトレイ収納装置に容易に容易に変更することができる。一方、段積みトレイを積上げるトレイ収納装置を段積みトレイを分離するトレイ収納装置に容易に変更することができる。
（７）また、トレイ収納装置内に収納したトレイを循環することができ、さらに、該循環方向を容易に変更することができる。
【０１３３】
（８）さらに、ＩＣテストハンドラの恒温チャンバにおいて、チャンバ内トレイをスムース且つ確実に搬送することができる。
（９）したがって、載置されたＩＣまたはチャンバ内トレイの損傷、あるいはチャンバ内トレイの搬送トラブルがなくなり、ＩＣテストハンドラにおけるＩＣ検査の精度・信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施の形態１に係る段積みトレイの分離・積上げ機構の構成を示す斜視図である。
【図２】 本発明の実施の形態１に係る段積みトレイの分離・積上げ機構におけるトレイを示す斜視図である。
【図３】 本発明の実施の形態１に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における分離動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。
【図４】 本発明の実施の形態２に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における分離動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。
【図５】 本発明の実施の形態３に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における積上げ動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。
【図６】 本発明の実施の形態３に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における積上げ動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。
【図７】 本発明の実施の形態３に係る段積みトレイの分離・積上げ機構の構成を示す斜視図である。
【図８】 本発明の実施の形態４に係る段積みトレイの分離・積上げ機構の構成を示す斜視図である。
【図９】 本発明の実施の形態４に係る段積みトレイの分離・積上げ機構における分離動作を時系列的に説明する要部の正面図であって、左右対称であるものの右半分を記載する。
【図１０】 本発明の実施の形態５に係るトレイ収納装置の構成を模式的に示す斜視図である。
【図１１】 本発明の実施の形態６に係るＩＣテストハンドラの構成を示す概略斜視図である。
【図１２】 本発明の実施の形態６に係るＩＣテストハンドラの構成を示す概略透視斜視図である。
【図１３】 従来のＩＣハンドラのトレイ分離機構の構成を示す一部透視の概略斜視図である。
【図１４】 従来の縦積み部品の分離機構の要部斜視図である。
【符号の説明】
１ 段積みトレイの分離・積上げ機構 ５ トレイ収納装置
６ ＩＣテストハンドラ １０ トレイ収納枠
２０ 昇降部 ３０ 分離爪レバー
４０ 前進用圧縮バネ ５０ レバー退避用ドグ
６０ レバー拘束ラッチ ７０ ラッチ解放板
８０ 押上用圧縮バネ ９０ 連結棒
Claims (19)
- 複数のトレイを段積みして収納するトレイ収納枠と、該トレイ収納枠に沿って昇降する昇降部と、該昇降部に傾動自在に立設された分離爪レバーと、該分離爪レバーを前記トレイから退避させるレバー退避手段と、前記退避した分離爪レバーの傾動を拘束するレバー拘束手段と、該拘束を解放するレバー拘束解放手段とを有し、
前記分離爪レバーが前記トレイを支持した状態で、前記昇降部が上昇または下降し、
前記レバー拘束手段が前記分離爪レバーの傾動を拘束した状態で、前記昇降部が上昇し、
前記分離爪レバーが前記レバー拘束手段から解放された状態で、前記昇降部が下降すると共に、
前記レバー退避手段が、前記トレイ収納枠に設けられた下方になる程前記トレイ収納枠から遠ざかる収納枠側斜面と、前記分離爪レバーに設けられたレバー側案内部とにより構成され、
前記昇降部が下降した際、前記レバー側案内部が前記収納枠側斜面に当接することを特徴とする段積みトレイの分離・積上げ機構。 - 複数のトレイを段積みして収納するトレイ収納枠と、該トレイ収納枠に沿って昇降する昇降部と、該昇降部に傾動自在に立設された分離爪レバーと、該分離爪レバーを前記トレイの方向に傾動させるレバー加勢手段と、を有し、
前記分離爪レバーが前記トレイを支持した状態で、前記昇降部が上昇または下降すると共に、
前記レバー退避手段が、前記トレイ収納枠に設けられた下方になる程前記トレイ収納枠から遠ざかる収納枠側斜面と、前記分離爪レバーに設けられたレバー側案内部とにより構成され、
前記昇降部が下降した際、前記レバー側案内部が前記収納枠側斜面に当接することを特徴とする段積みトレイの分離・積上げ機構。 - 前記レバー拘束手段が、前記昇降部に回転自在に設置されたラッチと、前記分離爪レバーに設置されたラッチ係止部とにより構成され、
前記分離爪レバーが前記トレイから退避した際、前記ラッチが前記ラッチ係止部に係止することを特徴とする請求項１または２記載の段積みトレイの分離・積上げ機構。 - 前記ラッチ係止部が前記レバー拘束解放手段に当接し、該当接により前記分離爪レバーの前記トレイ収納枠側への傾動が規制されることを特徴とする請求項３記載の段積みトレイの分離・積上げ機構。
- 前記昇降部が、前記トレイ収納枠を横断する水平部と、該水平部の両側部にそれぞれ対峙して立設された一対の垂直部とを有し、
該垂直部より前記トレイ収納枠に近い位置で、前記水平部に前記分離爪レバーが設置され、また前記垂直部に前記ラッチが設置され、
前記ラッチが、一端部に設けた回転中心と、他端部の近傍に設けた略上方に開いた懐部とを具備し、前記分離爪レバーが前記トレイ収納枠から退避した際、前記ラッチ係止部が前記懐部に係止し、前記昇降部が上昇した際、前記他端部が前記レバー拘束解放手段に当接して下降することを特徴とする請求項３または４記載の段積みトレイの分離・積上げ機構。 - 前記レバー拘束手段が、前記分離爪レバーに回転自在に設置されたラッチと、前記昇降部に設置されたラッチ係止部とにより構成され、
前記分離爪レバーが前記トレイから退避した際、前記ラッチが前記ラッチ係止部に係止することを特徴とする請求項１または２記載の段積みトレイの分離・積上げ機構。 - 前記昇降部が、前記トレイ収納枠を横断する水平部と、該水平部の両側部にそれぞれ対峙して立設された一対の垂直部とを有し、該垂直部より前記トレイ収納枠に近い位置で、前記水平部に前記分離爪レバーが設置され、また前記垂直部に前記ラッチ係止部が設置され、
前記ラッチが、一端部から所定の距離だけ離れた位置に設けた回転中心と、他端部の近傍に設けた略下方に開いた懐部とを具備し、前記分離爪レバーが前記トレイ収納枠から退避した際、前記ラッチ係止部が前記懐部に係止し、前記昇降部が上昇した際、前記一端部が前記レバー拘束解放手段に当接して前記他端部が上昇することを特徴とする請求項６記載の段積みトレイの分離・積上げ機構。 - 前記レバー側案内部が前記トレイ収納枠に当接し、該当接により前記分離爪レバーの前記トレイ収納枠側への傾動が規制されることを特徴とする請求項１または２記載の段積みトレイの分離・積上げ機構。
- 前記レバー拘束解放手段が、前記トレイ収納枠に設置したラッチ解放板であって、
前記昇降部が所定位置に上昇した際、前記ラッチが前記ラッチ解放板に当接して回転することを特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構。 - 前記分離爪レバーの上部に前記トレイ収納枠側に突出する分離爪が設置され、前記トレイ収納枠に収納されたトレイを支持する際、該分離爪の上面が水平になることを特徴とする請求項１乃至９の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構。
- 前記分離爪レバーの傾動中心が、前記トレイ収納枠に収納されたトレイの側縁よりも、前記トレイ収納枠の中心に近い位置にあることを特徴とする請求項１乃至１０の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構。
- 前記レバー加勢手段が、前記分離爪レバーと前記垂直部の間に介設した圧縮バネであることを特徴とする請求項７乃至１１の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構。
- 前記レバー退避手段が着脱自在またはその設置位置が変更自在であることを特徴とする請求項１乃至１２の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構であって、
前記分離爪レバーが前記レバー拘束手段から解放された状態で、前記昇降部が上昇および下降する段積みトレイの分離・積上げ機構。 - 前記レバー拘束手段が着脱自在であることを特徴とする請求項１乃至１２の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構であって、
前記レバー拘束手段が撤去された状態で、前記分離爪レバーが前記トレイを支持して前記昇降部が上昇し、さらに、前記昇降部が下降する際、前記分離爪レバーが前記トレイの側縁に当接して前記トレイ収納枠の外側に向けて傾動される段積みトレイの分離・積上げ機構。 - 前記トレイ収納枠の上部に設置したトレイ供給手段と、
前記トレイ収納枠の下部に設置したトレイ排出手段と、
請求項１乃至１２の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構とを有することを特徴とするトレイ収納装置。 - 前記トレイ収納枠の下部に設置したトレイ供給手段と、
前記トレイ収納枠の上部に設置したトレイ排出手段と、
請求項１乃至１４の何れかに記載の段積みトレイの分離・積上げ機構とを有することを特徴とするトレイ収納装置。 - 請求項１５記載の第一の段積みトレイの分離・積上げ機構と、
請求項１６記載の第二の段積みトレイの分離・積上げ機構と、
第一の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠の下部に収納されたトレイを、第二の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠の下部に移送する下部トラバーサと、
第二の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠の上部に収納されたトレイを、第一の段積みトレイの分離・積上げ機構のトレイ収納枠の上部に移送する上部トラバーサとを有することを特徴とするトレイ収納装置。 - 前記下部トラバーサまたは前記上部トラバーサが、水平方向に移動自在なラックと、該ラックに噛み合って回転するピニオンと、該ピニオンを回転するピニオン回転手段と、前記ラックに設置されて前記トレイ収納枠内に収納されたトレイに係止する係止用突起とを具備することを特徴とする請求項１７記載のトレイ収納装置。
- 検査前ＩＣが載置される検査前ＩＣステージと、
所定の検査を終えた検査済ＩＣが載置される検査済ＩＣステージと、
検査前ＩＣを所定の温度に維持する恒温チャンバと、
該恒温チャンバに収容されまたは該恒温チャンバに隣接して、検査前ＩＣに所定の検査を実施する検査ステージと、
検査前ＩＣを、前記検査前ＩＣステージから前記恒温チャンバに搬送する検査前ＩＣ搬送手段と、
前記恒温チャンバにおいて、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣを搬送する恒温チャンバ内ＩＣ搬送手段と、
検査済ＩＣを、前記恒温チャンバから前記検査済ＩＣステージに搬送する検査済ＩＣ搬送手段とを有し、
前記恒温チャンバ内に、請求項１５乃至１８の何れかに記載のトレイ収納装置が設置されていることを特徴とするＩＣテストハンドラ。
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