JP3876449B2 - ディスク研磨装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスクその他の円環状記憶媒体を構成するディスクを、回転軸に装着して、回転駆動する間に、その表面を研磨するディスク研磨装置に関し、特に表面に交差する微細な溝を形成する、所謂テクスチャ加工を行うためのディスク研磨装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
磁気ディスク等の円環状記憶媒体を構成するディスクは、磁気ヘッドの浮上特性を良好にならしめ、また磁気の配向性を改善するために、その表面に微細な溝を形成する、所謂テクスチャ加工が施される。このテクスチャ加工における溝は、ディスクの回転中心に対して同心円状のものとしたものの他、交差する溝を形成するクロスパターン溝加工が行われる。このクロスパターン溝加工を行えば、ディスク表面の全面に均一な状態の潤滑膜を形成できることから、特に磁気ヘッドの浮上特性の点から有利である。
【0003】
回転軸にディスクを装着して、この回転軸を高速で回転させる間に、研磨テープを所定の荷重でディスク表面に摺接させ、この研磨テープを送りながら研磨加工が行われるが、クロスパターン溝を形成するには、回転軸または研磨テープの少なくともいずれか一方を所定のピッチ幅で往復動させる。回転軸には、それを回転駆動するために、支持部材に軸受を介して回転軸を取り付け、かつこの支持部材には、モータ等の駆動手段を備える必要があることから、また研磨テープは、供給リール,巻き取りリール及びガイドローラ等をやはり支持部材に装着し、しかも研磨テープの送り用及び供給リールのテンション調整用のモータ等が設けられることから、いずれも重量部材であり、このような重量部材を往復動させると、そのストロークエンドで大きな慣性力が働く等により振動が生じて、均一な溝を形成することができない場合がある。特に、微細溝を迅速に形成するには、ディスクの回転速度を速くし、しかも回転軸または研磨テープの往復動も速くする必要があり、この往復動の速度を速くすると、そのストロークエンドでの慣性力はより大きくなり、極めて大きな振動が生じ、加工むらが大きくなる問題点がある。
【0004】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、加工中におけるディスクの振動を極力抑制して、微細なクロスパターン溝を高精度に、しかも効率的に形成できるようにすることにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、本発明は、ディスクが装着される回転軸には、このディスクを着脱可能にクランプするクランプ部を設け、回転軸の回転軸芯をディスクの中心から所定量だけ離した位置とすることによって、このディスクを自転させながら公転するようになし、かつディスクを一定の公転位置で停止させるために、回転軸の回転停止時の公転位置を検出する手段を設ける構成としたことをその特徴とするものである。
【0006】
【発明の実施の形態】
ディスクを回転軸に装着して、モータ等の回転駆動手段により回転軸を回転駆動する。これによって、ディスクが回転するが、このディスクの表面、好ましくは表裏両面に研磨テープを摺接させることによって、ディスクの表面が研磨加工される。回転軸における回転軸芯は、ディスクの中心から離して、所定の間隔だけオフセットしているから、ディスクは回転軸の回転軸芯に対して旋回しながら回転することになる。この結果、研磨テープによりディスクに形成される溝は同心円状とはならず、ジグザグ状になり、多数形成される溝が相互に交差したクロスパターン溝が形成される。
【0007】
クロスパターン溝を形成するに当って、特定の部材を往復動させるものではないから、慣性力が作用することはない。従って、加工中における振動が抑制されて、微細で均一な溝を高精度に形成できる。
【0008】
回転軸の回転軸芯とディスクの中心とをオフセットさせて、ディスクを旋回しながら回転させるには、1軸方式と2軸方式とを用いることができる。1軸方式においては、回転軸の回転軸芯と、この回転軸に装着されるディスクの中心とをずらすように構成する。これによって、ディスクは回転軸の回転軸芯を中心として旋回しながら回転する。また、2軸方式においては、ディスクの回転駆動を行う回転軸は、ディスクの中心を回転軸芯として回転駆動するものであり、またこの回転軸を、その回転軸芯から離れた位置を回転中心として回転する旋回駆動手段に装着して、この旋回駆動手段により回転軸を旋回させる。ここで、回転軸の回転駆動や旋回駆動は、モータ等の駆動手段を用いて行うが、伝達ベルトやギア等のような伝達手段を介して駆動するか、または駆動手段に回転軸等を直結することも可能である。
【0009】
前述した2つの方式のうち、1軸方式は、2軸方式より駆動機構の構成が簡単になる。一方、2軸方式では、回転軸の回転速度と旋回駆動手段による回転軸の旋回速度とを制御することによって、クロスパターン溝の形状、即ち溝の交差角度の調整が可能となる。
【0010】
1軸方式であれ、2軸方式であれ、ディスクは旋回するのであるから、ディスクに遠心力が働かないようにする。このために、回転軸の重心をディスクの中心に一致させる。この重心位置の調整は、回転軸の一部を切削したり、荷重を付加したりする等により行うことができる。
【0011】
【実施例】
以下、図面に基づいて本発明の実施例について説明する。まず、図1にクロスパターン溝を形成するテクスチャ装置の全体構成を示す。
【0012】
図中において、1はディスクであって、このディスク1はスピンドル2(図2及び図3参照)に装着されて、このスピンドル2を回転駆動することによって、ディスク1を回転させることができる。そして、このディスク1の回転中において、研磨テープ3がディスク1の表裏両面に摺接させることによりテクスチャ加工が行われる。研磨テープ3は、供給リール4から送り出されて、複数のガイドローラ5により引き回されて、加圧ローラ6によりディスク1の表面に所定の荷重をもって当接される。そして、研磨テープ3の加圧ローラ6ディスク1への当接部より下流側には送りローラ7が設けられ、さらにガイドローラ5により引き回されて、巻き取りリール8により巻き取られるようになっている。
【0013】
次に、図2にスピンドル2及びその駆動機構の構成を示す。図中において、10は支持板であって、この支持板10には軸受ブロック11が取り付けられている。そして、この軸受ブロック11内には旋回体12が回転可能に設けられており、この旋回体12は中空筒状の部材であり、その回転軸芯A1 からΔDだけオフセットした位置に回転軸芯A2 を有する回転軸13が回転自在に挿通されている。
【0014】
回転軸13の先端にはディスク1のクランプ機構を備えている。このクランプ機構は、回転軸13は金属等の弾性部材で中空の部材からなり、太径化されてディスク保持部14となっている。このディスク保持部14には、図3から明らかなように、段差壁14aが設けられて、その先端部はディスク1の内径とほぼ一致する直径を有し、ディスク1を実質的にがたなく嵌合させるディスク受け部15となっている。また、回転軸13の先端部には、クランプ部材16が挿嵌される凹部17が設けられている。
【0015】
クランプ部材16は、凹部17内に挿嵌される挿嵌部18と、この挿嵌部18に連設され、大径となったディスク受け部19及びこのクランプ部材16の凹部17への着脱操作を行うための把持部20から構成される。挿嵌部18は、その先端部が凹部17内に円滑に呼び込むための呼び込みテーパ部18aとなっており、またその中間部には円環状の凹溝18bが形設されている。ディスク受け部19は、その外径が回転軸13のディスク保持部14の外径と略同じものであり、ディスク1は、その内周縁部がディスク保持部14とディスク受け部19との間に挾持されるようになっている。把持部20はクランプ部材16を凹部17に挿脱するためのものであり、このために図2に仮想線で示したように、クランプ部材16を把持して、軸線方向に変位させる挿脱手段21を備えている。
【0016】
挿脱手段21によって、クランプ部材16を凹部17内に挿入した状態で係止するために、回転軸13には、凹部17の内壁に臨むクリック機構22が装着されている。このクリック機構22は、クランプ部材16の挿嵌部18に設けた凹溝18bに係脱する鋼球22aと、この鋼球22aを所定量凹部17内に突出させるように付勢するクリックばね22bとから構成される。
【0017】
前述したように、スピンドル2は、回転軸13及び旋回体12の2軸回転機構を備えている。しかも、回転軸13の回転軸芯A2 と旋回体12の回転軸芯A1 とはΔDだけオフセットしているから、ディスク1を回転軸13に装着してこの回転軸13及び旋回体12を同時に同じ方向に回転駆動すると、ディスク1は回転軸13の回転軸芯A2 を中心として回転(自転)し、かつ旋回体12の回転軸芯A1 を中心として旋回(公転)することになる。そこで、図4にこれら回転軸13及び旋回体12の回転駆動機構を示す。
【0018】
同図に示したように、回転軸13及び旋回体12をそれぞれ回転駆動するために、第1のモータ23,24を備えている。回転軸13と第1のモータ23とにはそれぞれプーリ25,26が設けられ、これらプーリ25,26間には第1の伝達ベルト27が巻回して設けられている。また旋回体12と第2のモータとにもプーリ28,29が設けられ、両プーリ28,29間にも第2の伝達ベルト30が巻回して設けられている。さらに、旋回体12が回転すると、回転軸13はΔDの2倍の範囲で回転中心位置が変位するから、第1の伝達ベルト27が伸縮しなければならない。このために、第1の伝達ベルト27にカム部材31が当接しており、このカム部材31は、回転軸32に回転自在に支承されて、旋回体12の回転に追従して回転して、第1の伝達ベルト27の張力を変化させる。このために、第2の伝達ベルト27は回転軸32を回転駆動するためのプーリ33にも巻回されて、カム部材31は旋回体12と同期して回転することになる。
【0019】
これにより、第1,第2のモータ25,26を同時に作動させると、回転軸13が回転すると共に、旋回体12も回転することから、回転軸13に装着したディスク1は、回転しながらΔDを半径として、旋回体12の回転中心の回りを旋回する。ここで、回転軸13は旋回体12に対して偏心しているから、ディスク1を回転軸13に装着させた状態では、この旋回体12の重心位置と回転中心とが一致しなくなる結果、円滑な回転が損なわれる場合がある。このような場合には、旋回体12の重量バランスを取るように、重量調整を行う。この重量調整は、旋回体12の一部に重量物を取り付けるか、または旋回体12の外面の一部を切削等の加工を施すようにして、部分的に軽量化する等により行える。
【0020】
回転軸13は、自公転を行うことから、旋回体12の停止位置によっては、その位置が変わってくる。クランプ部材16の挿脱及びディスク1の着脱を円滑に行うには、旋回体12常に同じ位置で停止させる。このために、旋回体12には位置検出用円板34が取り付けられており、この位置検出用円板34の外周部には所定の位置にスリット34aが設けられている。また、支持板10には、この位置検出用円板34のスリット34aの位置を検出するためのセンサ35が設けられている。そして、このセンサ35からの信号に基づいて第2のモータ24の作動制御が行われ、旋回体12を常に一定の回転位置で停止させるようにしている。
【0021】
本実施例は以上のように構成されるものであって、回転軸13の先端に連設したディスク保持部14に対して、クランプ部材16を分離した状態で、適宜のハンドリング手段にディスク1をハンドリングさせて、その内径部をディスク保持部14におけるディスク受け部15に嵌合させて、段差壁14aに当接させる。この状態で、挿脱手段21によりクランプ部材16を凹部17内に挿入し、その挿嵌部18における凹溝18bにクリック機構22を構成する鋼球22aを係合させる。これによって、ディスク1はディスク受け部19とクランプ部材16との間に挾持された状態に保持されることになる。この状態で、ハンドリング手段及び挿脱手段21を退避させることによって、ディスク1はスピンドル2に移載される。
【0022】
そこで、第1,第2のモータ23,24を作動させて、回転軸13を回転駆動すると共に、旋回体12を回転させる。この状態で、加圧ローラ6をディスク1の表裏両面に当接させて、送りローラ7により研磨テープ3を送りながら、ディスク1の表面研磨を行う。なお、この時に、必要に応じて、研磨テープ3のディスク1への摺接部の直前の部位で研磨液を供給して、この研磨液を研磨テープ3に含浸させるようにする。これによって、ディスク1の表面には、微細な溝が形成される。
【0023】
ここで、回転軸13によりディスク1が回転駆動されるが、この回転軸13は旋回体12の回転によって、ΔDを半径とした旋回動作が行われる。即ち、ディスク1は回転軸13により自転すると共に、旋回体12の回転軸芯A1 に対して半径ΔDをもって公転することになる。この結果、ディスク1の表面に形成される溝はディスク1の中心に対して同心円状ではなく、ジグザグ状となり、多数形成される溝は相互に交差した、クロスパターン溝となる。
【0024】
このように、クロスパターン溝を形成するに当って、ディスク1または研磨テープ3を往復動させる必要がないので、振動が生じることがなく、従って回転軸13によるディスク1の回転速度(自転速度)及び旋回体12によるディスク1の旋回速度(公転速度)を高速化させても、安定した高精度の溝加工が行われることになり、極めて精度が高く、しかも微細なクロスパターン溝を効率的に形成できる。また、旋回体12において、ディスク1が装着されている回転軸13は偏心した位置に設けられているにも拘らず、この旋回体12の重心位置と回転中心とが一致するように重量バランスが取られているから、さらに振動が抑制できる。そして、クロスパターン溝の形状、例えば溝の交差角等は、回転軸13の回転速度と旋回体12の回転速度との比により容易に、しかも微細に制御できる。旋回体12の回転速度を回転軸13の回転速度に対して高速化すると、溝の交差角が大きくなり、また旋回体12の回転速度を低速にすると、溝の交差角が小さくなる。
【0025】
次に、図5は本発明の第2の実施例を示すものであって、本実施例は1軸方式のものが示されている。図中において、40は回転軸であって、ディスク1は、この回転軸40に先端部にその内径部が着脱可能にクランプされるものである。そして、回転軸40は軸受部材41に回転自在に支承されており、この回転軸40の他端には、前述した第1の実施例と同様、プーリ42が取り付けられて、このプーリ42に巻回して設けた伝達ベルト43によって、図示しないモータからの回転が回転軸40に伝達される。ここで、回転軸40でディスク1をクランプした時に、その中心位置cは回転軸芯aに対してΔdだけ偏心している。このように構成しても、ディスク1は回転すると共にΔdを半径として旋回することになるから、クロスパターン溝が形成される。
【0026】
この1軸方式の場合には、ディスク1の回転速度と旋回速度とに差を持たせることができないので、溝のパターンを変えることができないが、駆動機構の構成を著しく簡略化できる。勿論、この1軸方式でも、クロスパターン溝を形成するために、ディスク1または研磨テープ3を往復動させるものではないことから、振動の発生が抑制される。また、ディスク1の装着部の位置が回転軸40の回転軸芯からずれているので、この回転軸40に重量バランスを持たせるために、回転軸40の一部に重量物を取り付ける等により重量調整を行えば良い。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、回転軸の回転軸芯を、ディスクの中心から所定量だけオフセットするように構成したので、加工中におけるディスクの振動を極力抑制して、微細なクロスパターン溝を高精度に、しかも効率的に形成でき、かつディスクの回転停止時には、常に一定の公転位置で停止するように制御されるので、ディスクの着脱が容易になる等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示すテクスチャ装置の構成説明図である。
【図2】ディスクの回転及び旋回機構の構成を示す断面図である。
【図3】ディスク保持部の構成説明図である。
【図4】ディスクの回転及び旋回駆動機構の構成説明図である。
【図5】本発明の第2の実施例におけるディスクの回転及び旋回機構の構成を示す要部断面図である。
【符号の説明】
1 ディスク
2 スピンドル
3 研磨テープ
6 加圧ローラ
12 旋回体
13,40 回転軸
14 ディスク保持部
16 クランプ部材
23 第1のモータ
24 第2のモータ
24,25,28,29 プーリ
27 第1の伝達ベルト
30 第2の伝達ベルト
31 カム部材

Claims (4)

  1. ディスクを回転軸に装着して、このディスクを回転駆動しながら、その表面に研磨テープを当接させて、この研磨テープによりディスクの表面研磨を行うものにおいて、
    前記回転軸には、前記ディスクを着脱可能にクランプするクランプ部を設け、
    前記回転軸の回転軸芯を前記ディスクの中心から所定量だけ離した位置とすることによって、このディスクを自転させながら公転するようになし、
    前記ディスクを一定の公転位置で停止させるために、前記回転軸の回転停止時の公転位置を検出する手段を設ける
    構成としたことを特徴とするディスク研磨装置。
  2. 前記回転軸を、その回転軸芯に前記ディスクの中心が位置するようにクランプさせ、この回転軸をその回転軸芯から離れた位置を回転中心として回転する旋回駆動手段に装着し、この旋回駆動手段に、所定の位置にスリットを形成した位置検出用円板を設け、この位置検出用円板のスリットをセンサにより検出させて、このセンサからの信号に基づいて前記旋回駆動手段の回転停止位置を制御する構成としたことを特徴とする請求項1記載のディスク研磨装置。
  3. 前記回転軸は、モータにより回転駆動されるものであり、このモータと回転軸との間には、伝達ベルトを巻回して設け、前記旋回駆動手段により回転軸が旋回しながら回転する際に、前記伝達ベルトの張力が変化しないように保持する張力調整手段を備える構成としたことを特徴とする請求項2記載のディスク研磨装置。
  4. 前記旋回駆動手段の重心位置をその回転中心に位置させるように重量バランスを持たせる構成としたことを特徴とする請求項1記載のディスク研磨装置。
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