JP3871433B2 - ウエハ平坦化方法及び記録媒体 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、活性種ガスにより、ウエハ表面の凸部を局所的にエッチングして平坦化し、あるいはウエハの相対的に厚い部分を局所的にエッチングしてウエハの厚さ分布を均一にするためのウエハ平坦化方法及び記録媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図9は、従来のウエハ平坦化方法の一例を示す概略断面図である。
図9において、符号100はプラズマ発生部であり、プラズマ発生部100で発生したプラズマ中の活性種ガスGを、ノズル101からウエハとしてのウエハWの表面に噴射する。
ウエハWはステージ120上に載置固定されており、ステージ120を水平方向に移動させることで、ウエハWの表面の内規定厚さよりも相対的に厚い部分(以下、「相対厚部」という)Waをノズル101の真下に導く。
これにより、活性種ガスGをノズル101から凸状の相対厚部Waに噴射し、相対厚部Waを局所的にエッチングすることで、ウエハWの表面厚さ分布を均一化する。
しかしながら、ウエハW上の相対厚部Waの厚さは一様ではなく、多種多様である。
このため、相対厚部Waの厚さに対応して、ウエハWに対するノズル101の相対速度を制御する技術が考案されている(例えば特開平9−27482号公報記載の技術)。
この技術は、まずウエハWの全表面にわたって、相対厚部Waの位置と厚さとをウエハ平坦度測定器により測定して、その位置−厚さの2次元データを作る。そして、このデータを相対厚部Waの位置と、エッチング処理後にその相対厚部Waが所望の平坦度になるようなノズル101の相対速度とを示す位置−相対速度データに変換する。
次に、この位置−相対速度データに基づいて、ステージ120を制御し、ノズル101を所定の相対厚部111の真上まで移動させながらウエハWの全面をエッチング処理する。
すなわち、厚みが大きい相対厚部Waのところでは、ノズル101の相対速度を遅くして、エッチング量を増やし、厚みが小さい相対厚部Waのところでは、ノズル101の相対速度を速くして、エッチング量を少なくすることで、ウエハWの全面を平坦化する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記した従来のウエハ平坦化方法では、次のような問題がある。
図10は、ノズル101からの活性種ガスGの噴射状態図であり、図11は、活性種ガスGの重畳による平坦化動作を説明するための概略図であり、図12は従来のウエハ平坦化方法が有する問題点を説明するための概略断面図である。
図10に示すように、ノズル101から噴射された活性種ガスGは、下方で広がり、ウエハWのノズル101真下部分が深くエッチングされ、この部分から外側に行くに従って浅くエッチングされることとなる。
したがって、ノズル101の走査中においては、図11に示すように、ウエハWの領域Wbは、領域Wbに向かってくるノズル101から噴射された活性種ガスGによってエッチングされ始めることとなる。
例えば、ノズル101が図11の左から右に移動し、領域Wbの左端からエッチング半径rの位置Q1に至ったノズル101から噴射されている活性種ガスGの裾野の端が領域Wbの端に接したとすると、領域Wbは、この位置Q1から位置Q2に向かって移動するノズル101からの活性種ガスGによってエッチングされ、ノズル101が位置Q2に至った時点で活性種ガスGの影響を受けなくなる。
すなわち、領域Wbは位置Q1〜Q2間を移動するノズル101の活性種ガスGの重畳によってエッチングされることとなる。このとき、領域Wbの上記相対厚部が厚い場合には、位置Q1〜Q2間を移動するノズル101の相対速度がその厚さに応じて遅くなり、領域Wbの相対厚部の厚さが薄い場合には相対速度が速くなって、領域Wbが平坦にエッチングされることとなる。
しかしながら、このウエハ平坦化方法では、ウエハWの外縁部が厚く残ってしまう問題があった。
すなわち、図12に示すように、ノズル101の走査をウエハWの外縁Wcの外側から内側に向かって行う際、ノズル101を外縁Wc外側のところで高速に移動させ、外縁Wcの位置に至ったところで、外縁Wcの厚さに応じてその相対速度を変化させることとなるので、外縁Wcが左から移動してくるノズル101の活性種ガスGによる影響をほとんど受けない。このため、外縁部が上記相対厚部でない場合には、この外縁部の平坦化にさ程問題が生じないが、外縁部が相対厚部である場合には、外縁部のエッチング量が半減し、所望のエッチング量に至らず、図12に示すように、外縁Wcの近傍がウエハWの内側部分に比べて著しく厚くなってしまう。
【0004】
この発明は上述した課題を解決するためになされたもので、ウエハの外側のデータにウエハ外縁部のデータに対応したダミーデータを挿入することにより、ウエハ外縁部を含めたウエハ全面の平坦化を図ったウエハ平坦化方法及び記録媒体を提供することを目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1の発明は、ウエハ表面を含む平面上の各座標及び各座標におけるウエハの厚さ値に略逆比例して設定されたノズル相対速度でなる位置−速度データに基づいて、ノズルをウエハ全面に走査させることにより、ノズルから噴射する活性種ガスによってウエハを平坦化するウエハ平坦化方法において、ウエハ上に設定された所定領域より外側の位置−速度データであって且つウエハ中心から径方向に延出した仮想直線に最も近い位置−速度データをダミーデータとし、このダミーデータのノズル相対速度を、所定領域の外縁部の位置−速度データであって且つ仮想直線上の位置−速度データのノズル相対速度と略同一に設定した構成としてある。
かかる構成により、位置−速度データに基づいて、ノズルがウエハ全面を走査していくと、ノズルの相対速度がウエハ各部の厚さ値に略逆比例した状態で変化する。このとき、所定領域より外側位置であって仮想直線に最も近い位置にあるノズルは、ダミーデータにより、所定領域の外縁部であって仮想直線上の位置−速度データのノズル相対速度と略同一速度で走査するので、当該外縁部は、あたかも、所定領域外側から仮想直線に沿って同一相対速度で向かってくるノズルの活性種ガスによってエッチングされることとなる。
【0006】
ウエハによっては内側のある領域ののみを高精度に平坦化することができれば良く、ウエハ全面の高精度な平坦化を必要としないものがある。
そこで、請求項2の発明は、請求項1に記載のウエハ平坦化方法において、所定領域は、ウエハの内側に設定された平坦度適用領域である構成とした。
【0007】
また、請求項3の発明は、請求項1に記載のウエハ平坦化方法において、所定領域は、ウエハの表面全域である構成とした。
かかる構成により、ウエハの外縁部が、あたかも外側から仮想直線に沿って、当該外縁部に設定されたノズル相対速度で向かってくるノズルからの活性種ガスの影響を受けるようにすることができるので、当該外縁部もウエハ内部と同様に平坦化することができる。
【0008】
さらに、請求項4の発明は、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のウエハ平坦化方法において、ダミーデータは、所定領域の外縁から活性種ガスのエッチング径の略半分の距離内にのみ存在する構成とした。
かかる構成により、所定領域の外側のノズルが所定領域の外縁から活性種ガスのエッチング径の略半分の距離内に至ったときにのみ、ノズル相対速度が当該外所定領域の外縁部に設定されたノズル相対速度と略同一になる。
【0009】
ところで、上記のような位置−速度データを格納した記録媒体も発明としてとらえることができる。
そこで、請求項5の発明は、ウエハ表面を含む平面上の各座標及び各座標におけるウエハの厚さ値に略逆比例して設定されたノズル相対速度でなる位置−速度データを格納した記録媒体であって、ウエハ上に設定された所定領域より外側の位置−速度データであって且つウエハ中心から径方向に延出した仮想直線に最も近い位置−速度データをダミーデータとし、このダミーデータのノズル相対速度が、所定領域の外縁部の位置−速度データであって且つ仮想直線上の位置−速度データのノズル相対速度と略同一に設定されている構成とした。
また、請求項6の発明は、請求項1に記載の記録媒体において、所定領域は、ウエハの内側に設定された平坦度適用領域である構成とした。また、請求項7の発明は、請求項1に記載の記録媒体において、所定領域は、ウエハの表面全域である構成とした。さらに、請求項8の発明は、請求項5ないし請求項7のいずれかに記載の記録媒体において、ダミーデータは、所定領域の外縁から活性種ガスのエッチング径の略半分の距離内にのみ存在する構成とした。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図1は、この発明のウエハ平坦化方法を具体的に実行するためのエッチング装置の概略斜視図である。
図1に示すように、このエッチング装置は、コンピュータ1と、コンピュータ1の制御により、ウエハWを載置固定したステージ20を平面上で移動させるX−Y駆動機構2と、ノズル3とを具備している。
【0011】
コンピュータ1は、記録媒体としてのCD−ROM11を駆動させるCD−ROMドライブ10を有しており、CD−ROM11内の位置−速度データDに基づいて、制御信号CをX−Y駆動機構2に出力する機能を有している。
【0012】
X−Y駆動機構2は、コンピュータ1からの制御信号Cに基づいて、ステージ20を所定位置に所定速度で移動させるための機構である。すなわち、X−Y駆動機構2は、ノズル3をウエハWに対して所定の相対位置に所定の相対速度で走査させるものである。
【0013】
ノズル3は、図示しないプラズマ発生部で生成した活性種ガスGをウエハWに向けて噴射するためのものであり、ウエハWの上方所定個所に固定されている。これにより、ノズル3の真下に位置するウエハWのエッチング半径rの部分がノズル3からの活性種ガスGによってエッチングされることとなる。
【0014】
ここで、CD−ROM11内に格納されている位置−速度データDについて具体的に説明する。
図2は、ウエハWの位置−厚さデータD′を示す平面図であり、図3は位置−速度データDを示す平面図であり、図4はノズル3の相対速度とウエハWの厚さ値との関係を示す線図である。なお、図2及び図3においては、理解を容易にするため、方眼を大きく描いている。
図2に示すように、ウエハWを含む平面を1mm〜2mm程度の方眼状に区分してX−Y座標を形成し、位置−厚さデータD′は、各点PのX−Y座標(x,y)と、各点PにおけるウエハWの厚さ値Tとでなる。
これに対して位置−速度データDは、図示しない変換装置によって位置−厚さデータD′(x,y,T)のうちの厚さ値Tを厚さ値Tに逆比例したノズル3の相対速度Vに変換したデータD(x,y,V)である。
例えば、図2に示すように、座標(x1,y1)の点P1における位置−厚さデータD′1の厚さ値T1が一定の基準厚さ値T0よりも厚い場合には(以下、かかる部分を「相対厚部」という)、相対厚ΔT=T1−T0を求め、図4に示す関係式に基づいて、厚さ値T1を点P1の位置−速度データD1の相対速度V1に変換し、図3に示すように、点P1のデータをD1(x1,y1,V1)とする。また、図2に示すように座標(x2,y2)の点P2における位置−厚さデータD′2のように、厚さ値T2が基準厚さ値T0以下の場合には、相対速度を高速度Vmaxとし、図3に示すように、点P2のデータをD2(x2,y2,Vmax)とする。
【0015】
ところで、図2に示すように、ウエハWの外側にある座標(x3,y3)の点P3においては、ウエハWが存在しないので、この点P3の位置−厚さデータD′3の厚さ値T3は例えば「0」とされる。
したがって、この点P3の位置−速度データD3の相対速度は高速度Vmaxとして決定されることとなる。
しかしながら、図3に示すように、ウエハWの外縁Wcからエッチング半径r内の領域S内にある位置−速度データDにおいては、位置−速度データD3のようにその相対速度を一律に高速度Vmaxとせず、その相対速度をウエハW内のデータであって且つ外縁Wc近傍の点の位置−速度データDに対応させて変換する。
【0016】
図5は、領域S内の位置−速度データDの決定方法を示す平面図である。
図5に示すように、ウエハWの外縁Wc近傍(ウエハWの外縁部)に位置する点P4の部分が相対厚部Waである場合には、この点P4における位置−速度データD4は(x4,y4,V4)であり、相対速度V4はVmaxではない。かかる場合には、ウエハWの中心から径方向に延出して点P4を通る仮想直線Lを想定し、この領域S内の点であってこの仮想直線Lに最も近い点P4−1〜P4−3の位置−速度データDの相対速度を全て位置−速度データD4の相対速度V4と同一にする。
また。点P5のように、その部分が相対厚部でない場合にも、この点P5を通る仮想直線L′に最も近い点P5−1〜P5−3の位置−速度データDの相対速度を位置−速度データD5の高速度Vmaxと同一にする。
すなわち、外縁Wc近傍の点の位置−速度データDの相対速度を外縁Wc外で領域S内に含まれる点の位置−速度データDにコピーして、当該領域にいわゆるダミーデータを設定する。
【0017】
次に、上記エッチング装置が示す動作について説明する。
図6は、ノズル3の走査状態を示す平面図である。
図1において、CD−ROM11をコンピュータ1のCD−ROMドライブ10に挿入すると、コンピュータ1が位置−速度データDを読み出し、各点の位置−速度データDに対応した制御信号CをX−Y駆動機構2に出力する。
すると、X−Y駆動機構2が制御信号Cに基づいて、ステージ20をX−Y方向に移動させ、図6に示すように、ノズル3がX−Y平面上をジグザクに走査する。
領域Sの外側の各点の位置−速度データDにおけるノズル相対速度は高速度Vmaxであるので、ノズル3は領域Sの外側では高速度Vmaxで移動する状態になる。
また、外縁部を除くウエハWの内側では、各点の厚さ値Tに対応して位置−速度データDの相対速度Vが設定されているので、相対厚部上を通過するノズル3は相対厚部の厚さに対応して遅く移動し、相対厚部ではない部分の上を通過するノズル3は高速度Vmaxで移動する。
そして、これら各部は、当該各部に向かってくるノズル3の活性種ガスGによる影響を受けるので、平坦にエッチングされることとなる。
【0018】
これに対して外縁Wcの近傍においては、従来の技術では、ノズル3が一律に高速度Vmaxで向かってくるので、平坦にエッチングされなかった。
しかし、この実施形態のウエハ平坦化方法では、図5に示したように、外縁Wc近傍の各点を通る仮想直線Lに最も近い領域S内の各点の位置−速度データDのノズル相対速度を外縁Wc近傍の各点の位置−速度データDのノズル相対速度と同一に設定して、当該各点の位置−速度データDをダミーデータとしたので、外縁部がノズル3の活性種ガスGの影響を受けることとなる。
例えば、図5に示したように、相対厚部Wa上の点P4に対応する点P4−1〜P4−3のダミーデータDのノズル相対速度は、点P4の位置−速度データDの「V4」である。したがって、点P4−1〜P4−3,点P4,点P6上をノズル相対速度V4で通過することとなる。
すなわち、図7及び図8に示すように、点P4の相対厚部Waは、あたかも仮想直線Lに沿って相対速度V4で近づいてくるノズル3の活性種ガスGと、同速度で点P4を通過して点P6に至るノズル3からの活性種ガスGとの重畳効果によってエッチングされることとなる。このため、ウエハW内部の相対厚部と同様のエッチング処理が点P4の相対厚部Waに対して行われ、同様に平坦化される。
また、図5に示した点P5のように相対厚部でない部分については仮想直線L′に近い点P5−1〜P5−3のダミーデータDのノズル相対速度が高速度Vmaxに設定されているので、高速度Vmaxのノズル3が仮想直線L′に沿って点P5に近づいた後、同速度で通過していくこととなり、ウエハW内部の相対厚部でない部分と同様のエッチング処理が行われる。
【0019】
このように、この実施形態のウエハ平坦化方法によれば、ウエハWの外縁部の含めてウエハW全面を平坦化することが可能となり、この結果、TTV(Total Thickness Variation)が0.2μm以下の高品質のウエハWを安定して得ることができる。
【0020】
なお、この発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変形や変更が可能である。
例えば、上記実施形態では、位置−速度データDを格納する記録媒体としてCD−ROMを用いたが、フロッピィディスク,ミニディスク,ディジタルビデオディスク,ハードディスクなど、各種の記録媒体に位置−速度データDを格納しても良いことは勿論である。
また、上記実施形態では、ウエハW全面の平坦化を行う方法について説明したが、ウエハWによってはウエハW内部の平坦度適用領域(Flatness Quarity Area)のみを高精度に平坦化すれば足りるものもある。このようなウエハWについては、当該平坦度適用領域外縁からエッチング半径rだけ離れた領域Sを設定し、上記実施形態と同様に、この領域S内の位置−速度データDのノズル相対速度を外縁部の位置−速度データDのノズル相対速度と同一にすることで、当該平坦度適用領域全体を高精度に平坦化することができる。
また、領域S内の仮想直線Lに最も近い点の位置−速度データDのノズル相対速度をウエハ外縁部の位置−速度データDのノズル相対速度と同一にしたが、領域S内に限定せず、外縁Wc外側の仮想直線Lに最も近い全ての点の位置−速度データDのノズル相対速度を当該外縁部の位置−速度データDのノズル相対速度と同一としても良い。
【0021】
【発明の効果】
以上詳しく説明したように、請求項1及び請求項5のこの発明によれば、所定領域の外縁部が、あたかも外側から仮想直線に沿って、当該外縁部に設定されたノズル相対速度で向かってくるノズルからの活性種ガスによって影響を受けるので、当該外縁部も所定領域の内部と同様に平坦化することができるという優れた効果がある。
また、請求項2及び請求項6の発明によれば、平坦度適用領域のみを高精度に平坦化することができる。
また、請求項3及び請求項7の発明によれば、ウエハの全面を確実に平坦化することができる。
さらに、請求項4及び請求項8の発明によれば、所定領域の外側のノズルが所定領域の外縁から活性種ガスのエッチング径の略半分の距離内に至ったときにのみ、ノズルのノズル相対速度が当該外所定領域の縁部に設定されたノズル相対速度と略同一のになるので、エッチング処理時間の短縮化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のウエハ平坦化方法を具体的に実行するためのエッチング装置の概略斜視図である。
【図2】ウエハの位置−厚さデータを説明するための平面図である。
【図3】位置−速度データを説明するための平面図である。
【図4】ノズル相対速度とウエハの厚さ値との関係を示す線図である。
【図5】所定領域内の位置−速度データの決定方法を示す平面図である。
【図6】ノズルの走査状態を示す平面図である。
【図7】ウエハ外縁部のエッチング動作を説明するための平面図である。
【図8】図7の矢視A−A断面図である。
【図9】従来のウエハ平坦化方法の一例を示す概略断面図である。
【図10】ノズルからの活性種ガスの噴射状態図である。
【図11】活性種ガスの重畳による平坦化動作を説明するための概略図である。
【図12】従来のウエハ平坦化方法が有する問題点を説明するための概略断面図である。
【符号の説明】
1…コンピュータ、 2…X−Y駆動機構、 3…ノズル、 11…CD−ROM、 L,L′…仮想直線、 T…厚さ値、 V…相対速度、 W…ウエハ、Wc…外縁。
Claims (8)
- ウエハ表面を含む平面上の各座標及び各座標におけるウエハの厚さ値に略逆比例して設定されたノズル相対速度でなる位置−速度データに基づいて、ノズルをウエハ全面に走査させることにより、ノズルから噴射する活性種ガスによってウエハを平坦化するウエハ平坦化方法において、
上記ウエハ上に設定された所定領域より外側の上記位置−速度データであって且つウエハ中心から径方向に延出した仮想直線に最も近い位置−速度データをダミーデータとし、このダミーデータのノズル相対速度を、上記所定領域の外縁部の位置−速度データであって且つ上記仮想直線上の位置−速度データのノズル相対速度と略同一に設定した、
ことを特徴とするウエハ平坦化方法。 - 請求項1に記載のウエハ平坦化方法において、
上記所定領域は、上記ウエハの内側に設定された平坦度適用領域である、
ことを特徴とするウエハ平坦化方法。 - 請求項1に記載のウエハ平坦化方法において、
上記所定領域は、上記ウエハの表面全域である、
ことを特徴とするウエハ平坦化方法。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のウエハ平坦化方法において、
上記ダミーデータは、上記所定領域の外縁から活性種ガスのエッチング径の略半分の距離内にのみ存在する、
ことを特徴とするウエハ平坦化方法。 - ウエハ表面を含む平面上の各座標及び各座標におけるウエハの厚さ値に略逆比例して設定されたノズル相対速度でなる位置−速度データを格納した記録媒体であって、
上記ウエハ上に設定された所定領域より外側の上記位置−速度データであって且つウエハ中心から径方向に延出した仮想直線に最も近い位置−速度データをダミーデータとし、このダミーデータのノズル相対速度が、上記所定領域の外縁部の位置−速度データであって且つ上記仮想直線上の位置−速度データのノズル相対速度と略同一に設定されている、
ことを特徴とする記録媒体。 - 請求項1に記載の記録媒体において、
上記所定領域は、上記ウエハの内側に設定された平坦度適用領域である、
ことを特徴とする記録媒体。 - 請求項1に記載の記録媒体において、
上記所定領域は、上記ウエハの表面全域である、
ことを特徴とする記録媒体。 - 請求項5ないし請求項7のいずれかに記載の記録媒体において、
上記ダミーデータは、上記所定領域の外縁から活性種ガスのエッチング径の略半分の距離内にのみ存在する、
ことを特徴とする記録媒体。
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