JP3865571B2 - トリフルオロメチルハイポフルオライトの製造方法 - Google Patents
トリフルオロメチルハイポフルオライトの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3865571B2 JP3865571B2 JP2000193045A JP2000193045A JP3865571B2 JP 3865571 B2 JP3865571 B2 JP 3865571B2 JP 2000193045 A JP2000193045 A JP 2000193045A JP 2000193045 A JP2000193045 A JP 2000193045A JP 3865571 B2 JP3865571 B2 JP 3865571B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorine
- reaction
- carbon dioxide
- temperature
- producing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P20/00—Technologies relating to chemical industry
- Y02P20/50—Improvements relating to the production of bulk chemicals
- Y02P20/52—Improvements relating to the production of bulk chemicals using catalysts, e.g. selective catalysts
Landscapes
- Catalysts (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Low-Molecular Organic Synthesis Reactions Using Catalysts (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機合成の試薬、半導体製造装置のクリーニングガス、エッチングガス等に有用なトリフルオロメチルハイポフルオライト(以下、CF3OF)の製造法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
CF3OFは、一般に、二フッ化カルボニルとフッ素を金属フッ化物触媒の存在下で反応させることにより合成される。例えば、J.Fluorine Chem.,3,41(1973/74)には、種々の金属フッ化物触媒の存在下で二フッ化カルボニルとフッ素を反応させてCF3OFを合成する方法が記載されている。また、Inorg.Synth.,8,165(1966)には、一酸化炭素とフッ素を反応させることによりCF3OFを合成する方法が記載されている。一方、米国特許第4499024号には、フッ化セシウムを充填した管に二酸化炭素とフッ素の混合ガスを流すことによりジフルオロメチレンビスハイポフルオライト(以下、CF2(OF)2)を製造する際に、副生成物としてCF3OFが混入することが開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、二フッ化カルボニルとフッ素を触媒としての金属フッ化物の存在下で反応させる方法においては、毒性の高い二フッ化カルボニルを原料として用いる必要があり、また一酸化炭素とフッ素を反応させる方法では、強力な支燃性ガスであるフッ素と可燃性ガスである一酸化炭素を混合しなければならず、爆発等の危険性が生じる。さらに、米国特許第4499024号記載の方法は、CF2(OF)2を製造する方法について開示されているものであって、本発明のCF3OFを製造する方法とは異なるものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、鋭意検討の結果、毒性及び反応性の面において安全な二酸化炭素とフッ素との反応により、CF3OFを選択的に収率よく製造できる方法を見出し、本発明に至ったものである。
【0005】
すなわち、本発明は、二酸化炭素とフッ素を200〜500℃の温度で反応させることを特徴とするトリフルオロメチルハイポフルオライトの製造方法で、さらに、二酸化炭素とフッ素を200〜500℃の温度で金属フッ化物の存在下で反応させることを特徴とするトリフルオロメチルハイポフルオライトの製造方法を提供するものである。
【0006】
本発明において、二酸化炭素とフッ素を反応させる反応器としては、反応器を加熱できるような構造の反応器を用い、反応器の材質には高温のフッ素に耐え得るようなニッケル、ニッケル合金、銅、白金、銀等を用いる。反応形式は、バッチ式、流通式のどちらの反応形式を用いても良いが、工業的製法としては後者の方法が簡便であり好ましい。
【0007】
本発明において、反応温度は200℃以上であることが好ましい。二酸化炭素とフッ素との反応においては、150℃以下の反応温度では、米国特許第4499024号に記載されているようにCF2(OF)2が主生成物として得られるようになる。CF2(OF)2の沸点は−64℃であるため、CF3OFの沸点−97℃に近く、また両者の化学的性質も似ているため分離することは容易ではない。したがって、二酸化炭素とフッ素との反応においては、反応の段階でCF3OFを選択的に合成することが重要である。本発明者らは、この観点から鋭意検討した結果、反応温度を150℃以上にすることによりCF2(OF)2がほとんど生成せずにCF3OFが選択的にかつ収率よく製造できることを見出し、本発明に至ったものである。反応温度の上限については、反応器材質のフッ素に対する耐蝕性を考慮して500℃以下が好ましい。さらに本発明における最適な反応温度は、低温側では反応速度が低く、また高温側になるとCF4の生成が多くなるため、200〜300℃の範囲が好ましい。
【0008】
本発明において、二酸化炭素とフッ素との混合比(フッ素/二酸化炭素のモル比)は、1〜10の範囲、好ましくは2〜4の範囲で適宜選択する。混合比が低い場合、すなわちフッ素が少ない場合には、未反応の二酸化炭素や二フッ化カルボニルの副生が多くなり好ましくない。一方、混合比が高い場合には未反応フッ素が残るために収率が低下する。しかし、未反応フッ素を反応系に循環させることにより収率低下は防ぐことは可能である。
【0009】
反応圧力は、反応温度、混合比に合わせて適宜選択すれば良いが、通常は取り扱いが容易な大気圧付近を選択するのが好ましい。
【0010】
本発明によれば、無触媒の系でも比較的収率よくCF3OFを製造することができるが、反応速度が遅いため触媒存在下で反応させることが好ましい。使用可能な触媒としては、反応温度において不揮発性の固体であり、フッ素と反応しない触媒が好ましい。具体的には金属フッ化物の触媒が好ましく、Li、Na、K、Rb、Cs、Be、Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Er、Yb、Ti、Zr、V、Nb、Ta、Cr、Mn、Fe、Co、Rh、Ir、Ni、Cu、Ag、Zn、Hg、Al、Ga、In、Sn、Pb、Bi等のフッ化物が挙げられる。また、K2NiF6、KF・HF、CsF・HF、BaF2・HF等の金属フッ化物の錯塩も使用できる。これらの触媒の中でもCsFは特に好ましく、反応速度、反応率が飛躍的に向上する。触媒は、粉状で表面積が十分大きいものが好ましく、仕込量が、反応率、反応速度に大きく影響するため、できるかぎり多く仕込むことが必要である。また市販の金属フッ化物の中には、フッ化物以外の水分、炭酸塩、硫酸塩等の不純物が混入しているため、あらかじめ反応温度以上の温度でフッ素処理をすることが好ましい。
【0011】
【実施例】
以下、本発明を実施例により詳細に説明するが、本発明はかかる実施例に限定されるものではない。
【0012】
実施例1
ヒータと撹拌器を取り付けた容量4LのNi反応器(φ50mm×400mm)を300℃に昇温し、反応器内を真空状態とした後、二酸化炭素を20KPa、フッ素を80KPa導入し、30hr放置した。反応後のガスをGC−MS(質量分析計)、FT−IR(FT赤外分光光度計)で分析した結果、CF3OFが20vol%生成しており、CF2(OF)2は、全く生成していないかった。
【0013】
比較例1
反応温度を室温(約20℃)にする以外は実施例1と同様の反応条件で二酸化炭素とフッ素を混合したが、全く反応せず二酸化炭素とフッ素のままであった。
【0014】
実施例2〜9、比較例2〜5
実施例1と同様の反応器内にCsF触媒を1kg仕込み、表1,表2に示した所定条件で反応させた。反応後のガスをGC−MS、FT−IRで分析し、その結果を表1、表2に示した。
【0015】
【表1】
【0016】
【表2】
【0017】
以上の実施例2〜9および比較例2〜3の結果から、CsF触媒の存在下での二酸化炭素とフッ素との反応においては、反応温度が25〜100℃の範囲ではCF2(OF)2の生成が顕著であり、CF3OFの生成が抑えられているが、200℃以上の温度範囲では全くCF2(OF)2が生成しなくなっている。したがって、200℃以上の反応温度においては、CF2(OF)2が副生することなくCF3OFが選択的に得られることがわかる。
【0018】
実施例10
実施例1と同様の反応器内にCsF触媒を1kg仕込み、反応温度250℃で二酸化炭素20KPa、フッ素を80KPa導入し2hr放置した。反応後のガスを液体窒素の温度で冷却したトラップ内に捕集し、未反応のフッ素や副生する酸素等の低沸点成分を除去した。トラップ内のガスをGC−MS、FT−IRで分析した結果、純度99.5%のCF3OFが収率95%(CO2ベース)で製造できた。
【0019】
実施例11
実施例1と同様の反応器内にBaF2触媒を1kg仕込み、反応温度250℃で二酸化炭素20KPa、フッ素を80KPa導入し8hr放置した。反応後のガスをGC−MS、FT−IRで分析した結果、CF3OFが25vol%生成しており、CF2(OF)2は、全く生成していなかった。
【0020】
【発明の効果】
本発明の方法により、安価で毒性が低く不燃性の二酸化炭素を原料に用いて、フッ素と反応させることにより、選択的にかつ高収率でCF3OFが製造できる。
Claims (2)
- 二酸化炭素とフッ素を、混合比(フッ素/二酸化炭素のモル比)を1〜10の範囲とし、200〜500℃の温度で反応させて、ジフルオロメチレンビスハイポフルオライトを副生することなくトリフルオロメチルハイポフルオライトを生成させることを特徴とするトリフルオロメチルハイポフルオライトの製造方法。
- 金属フッ化物の存在下で反応させることを特徴とする請求項1記載のトリフルオロメチルハイポフルオライトの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000193045A JP3865571B2 (ja) | 2000-06-27 | 2000-06-27 | トリフルオロメチルハイポフルオライトの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000193045A JP3865571B2 (ja) | 2000-06-27 | 2000-06-27 | トリフルオロメチルハイポフルオライトの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002003451A JP2002003451A (ja) | 2002-01-09 |
JP3865571B2 true JP3865571B2 (ja) | 2007-01-10 |
Family
ID=18692102
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000193045A Expired - Fee Related JP3865571B2 (ja) | 2000-06-27 | 2000-06-27 | トリフルオロメチルハイポフルオライトの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3865571B2 (ja) |
-
2000
- 2000-06-27 JP JP2000193045A patent/JP3865571B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002003451A (ja) | 2002-01-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2165973B1 (en) | Method for production of iodine heptafluoride | |
TWI324147B (en) | Method for producing carbonyl fluoride | |
JP3865571B2 (ja) | トリフルオロメチルハイポフルオライトの製造方法 | |
JP4922181B2 (ja) | 1,2,2,2−テトラフルオロエチルジフルオロメチルエーテルの製造のための方法 | |
JP3707917B2 (ja) | フッ化カルボニルの製造方法 | |
JP2004516241A (ja) | フッ化ベンゼンの製造方法 | |
JPS5842849B2 (ja) | 低級パ−フルオロアルカンの製造方法 | |
JP3847358B2 (ja) | 1,1,1−トリフルオロエタンの製造方法 | |
JPS60186407A (ja) | 窒化ジルコニウム微粉末の製造法 | |
WO2007004409A1 (ja) | ハロゲン化窒素の合成方法 | |
JP4205325B2 (ja) | トリフルオロメチルハイポフルオライトの製造方法 | |
US20100121117A1 (en) | Process for preparing decafluorocyclohexene | |
JP2568093B2 (ja) | ペルハロ炭化水素次亜塩素酸エステルの製造方法 | |
JP3869498B2 (ja) | フルオロキシ−またはクロロキシ−ペルフルオロアシルフルオリドの製造方法 | |
JP2903109B2 (ja) | モノ又はテトラフルオロエチルトリフルオロメチルエーテルの製造方法 | |
JP2856636B2 (ja) | アンモニウム氷晶石の製造法 | |
JP3214065B2 (ja) | ジフルオロブロモアセチルフロライドの製造法 | |
JP2003146620A (ja) | 二フッ化カルボニルの製造方法 | |
JP4026521B2 (ja) | 亜硝酸アルキルの製造方法 | |
US20020156321A1 (en) | Continuous preparation of high purity Bis(fluoroxy)difluoromethane (BDM) at elevated pressure | |
JP2024054626A (ja) | カルボニルフロライドの製造方法および製造装置 | |
DE60014717T2 (de) | Fluorkohlenwasserstoffherstellungsverfahren | |
RU2224812C2 (ru) | Способ получения оксидной титановой бронзы | |
JP2759182B2 (ja) | パーフルオロエチルメチルエーテルの製造方法 | |
JPH05345739A (ja) | 3,4’−ジクロロジフェニルエーテルの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20060421 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060510 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060711 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060831 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060926 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061003 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091013 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091013 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101013 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101013 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111013 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111013 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111013 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121013 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121013 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121013 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131013 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |