JP3863623B2 - 回転装置 - Google Patents
回転装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3863623B2 JP3863623B2 JP4372297A JP4372297A JP3863623B2 JP 3863623 B2 JP3863623 B2 JP 3863623B2 JP 4372297 A JP4372297 A JP 4372297A JP 4372297 A JP4372297 A JP 4372297A JP 3863623 B2 JP3863623 B2 JP 3863623B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating
- cylindrical
- peripheral surface
- outer peripheral
- inner peripheral
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は回転装置に関し、更に詳細には回転軸の先端部近傍に設けられた回転テーブルの下方に、前記回転テーブルに流体を供給及び/又は排出するディストロビュータを具備する回転装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図7に示すシリコンウェーハ等のワークを研磨する研磨装置においては、互いに反対方向に回転する回転テーブルである下定盤200と上定盤202との間に、インターナルギア204と太陽ギア206とにより駆動されるキャリア208が配設される。このキャリア208には、研磨対象のワークを担持する透孔(図示せず)が穿設されている。かかる透孔に担持されたワークの両面は下定盤200と上定盤202とによって同時に研磨される。
尚、インターナルギア204は、下定盤200とは異なる回転数ではあるものの、下定盤200と同方向に回転され、且つ太陽ギア206も、上定盤202とは異なる回転数ではあるものの、上定盤202と同方向に回転される。
【0003】
図7に示す両面研磨用の研磨装置において、下定盤200、インターナルギア204、及び太陽ギア206の各々は、筒状回転軸200a、204a、206aによって回転され、上定盤202は筒状回転軸206aの中空部に挿入された棒状回転軸202aによって回転されている。これら回転軸の各々を回転する動力は、電動モータ210からの動力をウォーム減速装置212によって所定速度に減速した後、各回転軸に動力を伝達する動力伝達ギアの各々を介して各回転軸に伝達される。
ところで、図7に示す研磨装置においては、研磨中に摩擦熱等に因り発熱することがあり、下定盤200の研磨面に対して裏面側に冷却水を流して下定盤200を冷却したり、或いは下定盤200に載置されたワークに、研磨材を含有する研磨液を供給することが必要となる場合がある。
【0004】
本発明者等は、下定盤200の研磨面の裏面側に形成された冷却水用通路に冷却水を流して下定盤200を冷却する場合、図8に示す様に、矢印M方向に回転する回転軸202a内に、下定盤200に冷却水を供給する供給通路214と、下定盤200からの排出水を排出する排出通路216とを形成すると共に、回転軸202aの下端部に、ディストロビュータ218を設けた。
このディストロビュータ218には、矢印M方向に回転する回転軸202aの下端部外周面に、冷却水の供給口226と排出水の排出口228とが形成された非回転の筒状体220が、ベアリング222a、222b及びシール部224を介して設けられている。更に、シール部224には、回転軸202aに形成された供給通路214及び排出通路216と、非回転の筒状体220に形成された供給口226及び排出口228とを接続する接続部材230、230が設けられている。
かかる接続部材230は、筒状体220の供給口226及び排出口228に対応する位置に、筒状体の外周面に沿って周設された溝部の底面に、内周面に一端が開口する貫通孔の他端が開口するものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
この様な、図8に示すディストロビュータ218を回転軸202aの下端部に設けることによって、回転軸202aの供給通路214に冷却水を研磨装置の外部から供給できると共に、排出通路216からの排出水を研磨装置の外部に排出できる。
しかし、最近では、研磨装置で研磨するシリコンウェーハ等のワークが大型化してきており、下定盤200及び上定盤202等も大型化してきている。このため、下定盤200等を回転する電動モータ210も大型化せざる得ない。
更に、上定盤202は、ワークの取り出し等のために上下方向に昇降可能に設けられているが、上定盤202の大型化に伴い、上定盤202が降下して下定盤200に着地する着地スピードを調整すべく、回転軸202aの下端下方に油圧又は圧空のアクチュエータを設けることが必要となってくる。
【0006】
このため、電動モータ210の大型化と相俟って、床面から下定盤200の上面までの高さが高くなりつつある。この様に、下定盤200等の大型化に伴って床面から下定盤200等の回転テーブルの上面までの高さが高くなり、回転テーブル上での種々の作業性が低下し易くなる傾向がある。
一方、床面から回転テーブルの上面までの高さを一定に保持するように、電動モータ等が挿入される凹部を床に形成することが考えられるが、回転装置の設置コストが高くなる。
そこで、本発明の課題は、回転テーブル等が大型化しても、床面から回転テーブルの上面までの高さを可及的に低くし得ることのできる回転装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、前記課題を解決すべく検討を重ねた結果、回転軸202aとは別体に形成した固定部と回転部との各々に流体通路を形成して成るディストロビュータを、下定盤200の直下に配設することによって、床面から下定盤200の上面までの高さを可及的に低くし得ることを見出し、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、回転軸に連結されて回転する回転テーブルを有する回転装置において、基台に連結され、前記回転テーブルの直下に位置する筒状固定部と、該筒状の固定部にベアリングを介して回転自在に支持された前記回転軸と、該回転軸を回転駆動するモ ータと、前記回転テーブルの直下に位置し、前記回転軸に連結され、回転軸と共に回転するとともに、内周面が前記筒状固定部の外周面に複数のシール部材を介して摺接する筒状回転部と、該筒状回転部に回転ホルダーを介して固定された回転テーブルと、前記筒状回転部と筒状固定部との各々に形成され、前記回転テーブルに流体を供給する流体供給通路と、前記筒状回転部と筒状固定部との各々に形成され、前記回転テーブルから流体を排出する流体排出通路と、前記筒状固定部の外周面と前記筒状回転部の内周面との間に、前記複数のシール部材間に挟まれて設けられ、外周面および内周面に、前記筒状回転部と筒状固定部との各々に形成された流体供給通路の各開口部と接続する溝部が周設され、かつ該外周側の溝部と内周側の溝部とを連結する貫通孔が形成されたリング状の接続部材と、前記筒状固定部の外周面と前記筒状回転部の内周面との間に、前記複数のシール部材間に挟まれて設けられ、外周面および内周面に、前記筒状回転部と筒状固定部との各々に形成された流体排出通路の各開口部と接続する溝部が周設され、かつ該外周側の溝部と内周側の溝部とを連結する貫通孔が形成されたリング状の接続部材とを具備し、前記筒状固定部と前記筒状回転部とによってディストロビュータを構成することを特徴とする。
【0008】
本発明の回転装置によれば、回転軸とは別体に形成した回転部と固定部とから成るディストロビュータを設ける。このため、流体通路を、ディストロビュータの回転部と固定部とに形成でき、回転軸に流体通路を形成する場合の如く、ディストロビュータの設置位置が限定されず、しかもディストロビュータの回転部と固定部との高さ等は調整可能である。このため、本発明に係る回転装置では、回転テーブルの直下の空間部にディストロビュータを設けることができ、回転軸に流体通路を形成する場合の如く、床面から回転テーブルの上面までの高さを高くしてディストロビュータを設けるためのスペースを確保することを要しない。その結果、床面から回転テーブルの上面までの高さを可及的に低くできる。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明について、図1に示す研磨装置を用いて説明する。図1は、両面研磨装置の下部構造を示すものであり、下定盤10、太陽ギア12、及びインターナルギア14の各々は、単独で回転可能に設けられている。
このうち、下定盤10は、基台16上に回転可能に設けられた回転ホルダー18に放射状に形成されたリブ20、20上に回転テーブル22が固着されているものである。この回転ホルダー18は、モータ24によって回転駆動される中空回転軸26に連結されている。
また、太陽ギア12は、中空回転軸26に挿通され、図示しないモータによって回転駆動される中空回転軸30に連結され、インターナルギア14も、図示しないモータによって回転駆動されている。
この様に、下定盤10、太陽ギア12、及びインターナルギア14の各々を回転駆動するモータには、電動モータを用いて1個のインバータによって互いの同期を取ってもよく、モータを小型化することができ且つ互いの同期を取り易い油圧モータを用いてもよい。
尚、太陽ギア12とインターナルギア14とは、下定盤10の回転テーブル22の磨耗程度に応じて位置調整が可能となるように、油圧シリンダ又は圧空シリンダ等の駆動装置によって上下動可能に設けられている。
【0010】
図1に示す下定盤10の回転テーブル22には、研磨するワークが透孔内に挿入されるキャリア(図示せず)を介して上定盤が載置されるが、上定盤が傾斜した状態で載置されることがある。このため、傾斜状態の上定盤を水平状態として回転テブーブル22上に載置すべく、中空回転軸30内に挿通された中実シャフト32の上端部に、回転テーブル22よりも先に上定盤が当接する当接部34が設けられている。この当接部34には、上定盤と当接する水平な当接面が形成されているため、上定盤は当接部34の水平面に当接して水平状態となってから回転テーブル22上に載置される。
尚、中実シャフト32の下端側には、当接部34に上定盤が当接した後、上定盤の着地スピードを制御すべく、油圧又は圧空のアクチュエータ36が設けられている。
【0011】
この様な、図1に示す研磨装置の下定盤10を構成する回転テーブル22は、研磨中にワークとの摩擦熱等に因り加熱される。このため、回転テーブル22の背面側には、回転テーブル22を冷却するための冷却水を通水する冷却水用通路38、38が形成されている。
かかる冷却水用通路38、38に冷却水を供給すると共に、冷却水用通路38、38から排出される排出水が排出されるディストロビュータ40が、下定盤10の直下に設けられている。
このディストロビュータ40の構造を図2に示す。ディストロビュータ40は、中空回転軸26に連結され、中空回転軸26の回転力を回転ホルダー18に伝達する筒状の回転部42と、基台16に連結されて成る筒状の固定部44とから構成されている。更に、回転部42は、図2に示す様に、筒状の固定部44の外周面側を中空回転軸26に伴って回転するように配設されている。
【0012】
かかる筒状の固定部44の内周面は、中空回転軸26と回転部42とを連結する連結部と摺接するベアリング46、46に摺接され、且つ固定部44の外周面には、回転部42の内周面が摺接して回転するシール部材48、48・・が設けられている。
この様な、回転部42と固定部44とには、流体通路として、下定盤10に設けられた冷却水用通路38に冷却水を供給する供給通路50a、50bが形成されていると共に、冷却水用通路38から排出される排出水が排出される排出通路52a、52bが形成されている。
この供給通路50a、50bは、シール部材48に挟まれた接続部材54aによって接続され、排出通路52a、52bも、シール部材48に挟まれた接続部材54bによって接続されている。
尚、シール部材48は、図3に示す様に、ゴム製のV字状リングであって、固定部44の外周面に沿って上下方向に複数段積層されている。
【0013】
かかる接続部材54a(54b)の斜視図を図4に示すと共に、その部分断面側面図を図5に示す。接続部材54a(54b)は、図4及び図5に示す様に、鼓状であって、筒状部の外周面及び内周面の各周面に溝部56a、56bが周設されていると共に、外周面側の溝部56aの底面と内周面側の溝部56bの底面とを連結する貫通孔58、58・・が放射状に形成されているものである。
かかる接続部材54aは、図3に示す様に、溝部56a、56bが回転部42と固定部44との各々に形成された供給通路50a、50bの各開口部と接続される位置となるように、シール部材48に挟まれて配設される。
このため、接続部材54aの外周面に周設された溝部56aには、回転部42に形成された供給通路50aの開口部が常に接続され、且つ接続部材54aの内周面に周設された溝部56bにも、固定部44に形成された供給通路50bの開口部が常に接続されている。
従って、固定部44に形成された供給通路50bを経由した冷却水は、接続部材54aの溝部56b、貫通孔58、58・・、及び溝部56aを経由して回転部42に形成された供給通路50aに供給される。
【0014】
また、接続部材54aの下方にシール部材48に挟まれて配設されている接続部材54bは、回転部42に形成された排出通路52aと固定部44に形成された52bとを接続するためのものである。この接続部材54bの外周面に周設された溝部56aには、排出通路52aの開口部が常に接続され、且つ接続部材54bの内周面に周設された溝部56bにも、固定部44に形成された排出通路52bの開口部が常に接続されている。
このため、回転部42に形成された排出通路52aを通過した排出水は、接続部材54bの溝部56a、貫通孔58、58・・、及び溝部56bを経由して固定部44に形成された排出通路52aに排出される。
尚、接続部材54a、54bは、その周面の一部が回転部42や固定部44に摺接し且つシール部材48によって挟まれているため、溝部56a、56bから冷却水や排出水が漏出することはない。
【0015】
図3に示す供給通路50aに供給された冷却水は、図6に示す様に、下定盤10を構成する回転テーブル22の背面側に形成された冷却水用通路38に供給される。かかる供給通路50aが形成された回転部42と回転テーブル22とは、同一方向に同一速度で回転しているため、供給通路50aの出口に設けられた継手60と冷却水用通路38の入口に設けられた継手62とをホース等で容易に接続することができる。
また、冷却水用通路38の出口に設けられた継手と排出通路52aの入口に設けられた継手とをホース等で接続することによって、冷却水用通路38から排出される排出水を排出通路52aに排出できる。
更に、外部から冷却水を供給通路50bに供給するための外部供給口及び排出水を排出通路52bから外部に排出するための外部排出口は、固定部44の外周面に設けることができ、冷却水を供給するホース或いは排出水を排出するホース等を容易に装着できる。
【0016】
図1〜図6に示すディストロビュータ40は、下定盤10を構成する回転テーブル22の直下の空間部に配設すべく、その固定部44及び回転部42の高さを調整可能である。このため、図1に示す研磨装置においては、回転軸の下端部にディストロビュータを設ける場合(図8)の如く、回転軸にディストロビュータを設けるスペースを確保することを要せず、回転テーブル22等が大型化しても、床面から回転テーブル22の上面までの高さを抑制することができ、研磨作業等の作業性を維持できる。
また、回転テーブル22等を回転する回転軸に流体通路を形成することを要しないため、回転軸に流体通路を掘削する面倒な作業を省略できる。
【0017】
以上、図1〜図6においては、研磨装置の回転テーブル22を冷却する冷却水を供給・排出するディストロビュータについて説明してきたが、回転テーブル22に載置されたワークに供給する研磨材を含む研磨液用のディストロビュータとして使用してもよい。この場合、ディストロビュータには、研磨液供給用の流体通路のみを形成することで足りる。
更に、ディストロビュータに、研磨液供給用の流体通路と、冷却水を供給・排出する流体通路とを併設してもよい。
また、回転テーブル22の下面側に真空室を設け、ワークの下面側を真空にして固定すべく、ディストロビュータに真空室の排気を行う排気用の流体通路を形成してもよい。
尚、研磨装置以外の回転テーブルを具備する回転装置においても、図1〜図6に示すディストロビュータ40を採用できることは勿論のことである。
【0018】
【発明の効果】
本発明の回転装置によれば、回転軸とは別体に形成した、筒状回転部および筒状固定部からなるディストロビュータを設けたので、流体供給通路および流体排出通路を該筒状固定部と筒状回転部とに形成でき、回転軸に流体通路を形成する場合のごとく、ディストロビュータの設置位置が限定されない。また、筒状固定部と筒状回転部は、回転軸とは別体であるから、回転軸とは無関係に床面からの高さが設定できる。そして、回転テーブルの直下の空間部に筒状回転部および筒状固定部からなるディストロビュータを設けたので、床面から回転テーブルの上面までの高さを可及的に低くできる。
したがって、回転テーブル等が大型化しても、床面から回転テーブルの上面までの高さを可及的に抑制でき、回転テーブルへのワークの載置又は取り出し等の回転テーブル上の各種作業を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一例である研磨装置の下部構造を示す部分断面図である。
【図2】 図1に示す研磨装置に設けられたディストロビュータを説明する部分断面図である。
【図3】 図2に示すディストロビュータの部分拡大断面図である。
【図4】 図2に示すディストロビュータに用いられている接続部材の斜視図である。
【図5】 図2に示すディストロビュータに用いられている接続部材の部分断面側面図である。
【図6】 図2に示すディストロビュータの上部構造を示す部分断面図である。
【図7】 研磨装置を説明するための説明図である。
【図8】 従来のディストロビュータを説明するための部分断面図である。
【符号の説明】
10 下定盤
22 回転テーブル
38 冷却水用通路
40 ディストロビュータ
42 回転部
44 固定部
48 シール部材
50a、50b 供給通路(流体通路)
52a、52b 排出通路(流体通路)
54a、54b 接続部材
56a、56b 溝部
58 貫通孔
Claims (1)
- 回転軸に連結されて回転する回転テーブルを有する回転装置において、
基台に連結され、前記回転テーブルの直下に位置する筒状固定部と、
該筒状の固定部にベアリングを介して回転自在に支持された前記回転軸と、
該回転軸を回転駆動するモータと、
前記回転テーブルの直下に位置し、前記回転軸に連結され、回転軸と共に回転するとともに、内周面が前記筒状固定部の外周面に複数のシール部材を介して摺接する筒状回転部と、
該筒状回転部に回転ホルダーを介して固定された回転テーブルと、
前記筒状回転部と筒状固定部との各々に形成され、前記回転テーブルに流体を供給する流体供給通路と、
前記筒状回転部と筒状固定部との各々に形成され、前記回転テーブルから流体を排出する流体排出通路と、
前記筒状固定部の外周面と前記筒状回転部の内周面との間に、前記複数のシール部材間に挟まれて設けられ、外周面および内周面に、前記筒状回転部と筒状固定部との各々に形成された流体供給通路の各開口部と接続する溝部が周設され、かつ該外周側の溝部と内周側の溝部とを連結する貫通孔が形成されたリング状の接続部材と、
前記筒状固定部の外周面と前記筒状回転部の内周面との間に、前記複数のシール部材間に挟まれて設けられ、外周面および内周面に、前記筒状回転部と筒状固定部との各々に形成された流体排出通路の各開口部と接続する溝部が周設され、かつ該外周側の溝部と内周側の溝部とを連結する貫通孔が形成されたリング状の接続部材とを具備し、
前記筒状固定部と前記筒状回転部とによってディストロビュータを構成することを特徴とする回転装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4372297A JP3863623B2 (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | 回転装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4372297A JP3863623B2 (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | 回転装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10235557A JPH10235557A (ja) | 1998-09-08 |
JP3863623B2 true JP3863623B2 (ja) | 2006-12-27 |
Family
ID=12671694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4372297A Expired - Lifetime JP3863623B2 (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | 回転装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3863623B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5388212B2 (ja) * | 2009-03-06 | 2014-01-15 | エルジー・ケム・リミテッド | フロートガラス研磨システム用下部ユニット |
CN104812529B (zh) * | 2012-12-28 | 2017-04-05 | Hoya株式会社 | 信息记录介质用玻璃基板的制造方法 |
CN109571239B (zh) * | 2018-12-25 | 2024-03-29 | 刘海 | 一种均匀散热动态研磨机的下磨机构 |
-
1997
- 1997-02-27 JP JP4372297A patent/JP3863623B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10235557A (ja) | 1998-09-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6856407B2 (ja) | ウエハ加工装置 | |
JP3863623B2 (ja) | 回転装置 | |
JPS61109656A (ja) | 表面研削装置 | |
US7201638B2 (en) | Environmental control system for a centrifugal processor | |
US6729946B2 (en) | Polishing apparatus | |
JP2000074066A (ja) | 回転体支持装置 | |
KR19980032714A (ko) | 화학 기계적 연마 장치용 재료 층을 갖춘 캐리어 헤드 | |
KR100490266B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 표면연마장비의 폴리싱 캐리어 및 컨디셔너캐리어용 다중 유체공급장치 | |
WO2023104586A1 (en) | Floor grinding machine | |
US20030060136A1 (en) | System for high speed centrifugal welding | |
JP7221739B2 (ja) | ウエハ保持装置 | |
JP2008044063A (ja) | 研磨装置 | |
JP4060043B2 (ja) | 研磨装置 | |
JP2512754Y2 (ja) | 回転ノズル | |
JP2000061836A (ja) | 回転体支持装置 | |
JP2004188546A (ja) | 平行平面研磨装置 | |
JP3749305B2 (ja) | ウェーハの研磨装置 | |
JP2005349540A (ja) | スピンドル装置 | |
JP2602327Y2 (ja) | 乾式バレル研磨装置 | |
JP2004330384A (ja) | 回転主軸装置および加工装置 | |
JP2000299301A (ja) | 半導体研磨装置 | |
KR100539458B1 (ko) | 오염물 흡입기를 갖는 화학 기계적 폴리싱 장치 및 이를이용한 방법 | |
KR100567977B1 (ko) | 스핀처리장치 | |
KR101815396B1 (ko) | 선반용 공구대 | |
JP2002213184A (ja) | 多重カッタの駆動構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060608 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060620 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060821 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060919 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060929 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101006 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111006 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121006 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121006 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131006 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |