JP3858857B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップの電極部が半田と接合された構成を有する半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図4に半導体チップの電極部が半田と接合された構成を有する半導体装置の一例を示す。図4に示す半導体装置1は、半導体チップの表裏両面から放熱して表裏両面に電流を流す構成の半導体装置であり、例えば、半導体チップ2と、下側ヒートシンク3と、上側ヒートシンク4と、ヒートシンクブロック5とを備えている。
【0003】
半導体チップ2の下面と下側ヒートシンク3の上面との間は、半田6aによって接合されている。また、半導体チップ2の上面とヒートシンクブロック5の下面との間も、半田6bによって接合されている。更に、ヒートシンクブロック5の上面と上側ヒートシンク4の下面との間も、半田6cによって接合されている。
【0004】
そして、下側ヒートシンク3と上側ヒートシンク4の各外面が露出するように、全体が封止用樹脂7により封止されている(例えば、特許文献1、2参照)。
このような構成の半導体装置では、一般的に、半導体チップ2、ヒートシンク3、4、ヒートシンクブロック5、封止用樹脂7の熱膨張係数差が大きい。このため、半導体装置が冷熱サイクルに曝されたとき、半導体チップ2に熱応力が作用し、この熱応力により半導体チップ2が破壊されてしまうという問題がある。
【0005】
そこで、従来では、熱応力による半導体チップの破壊2を抑制するために、熱膨張係数差が小さくなるように材料の選定を行っている。
【0006】
また、熱応力による半導体チップの破壊を抑制するための他の手段として、例えば、半導体チップ2の厚さ寸法をt1とし、ヒートシンク3、4の厚さ寸法をt2としたときに、t2/t1≧5が成立するように半導体装置を構成しているものもある(特許文献1参照)。これは、このような構成とすることで、半導体チップ2を保持するための圧縮応力を大きくすると共に、半導体チップ2の表面のせん断応力を低減できるものである。
【0007】
【特許文献1】
特開2003−110064号
【0008】
【特許文献2】
特開2002−110893号
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前者のように、熱膨張係数差を小さくするように材料の選定を行っても、半導体チップ2への熱応力を十分に緩和できないため、半導体チップ2が破壊されてしまう場合がある。
【0010】
また、本発明者らが後者の半導体装置1を評価したところ、半導体チップ中の半導体基板での破壊を抑制することができるが、以下にて説明するように、半導体チップ中の電極部で破壊が発生する恐れがあることがわかった。
【0011】
ここで、図5に本発明者らが評価した半導体装置の断面図を示す。図5は主に半導体チップ2と半田6の部分を拡大したものである。半導体チップは、パワー半導体素子を有して構成されており、パワー半導体素子としては、例えば、いわゆるトレンチゲート型のIGBTを用いている。
【0012】
具体的には、この半導体チップは、P+型基板11と、ドリフト層としてのN-型層12と、ベース層としてのP型層13と、エミッタ層としてのN+型層14とを備える半導体基板15を有している。
【0013】
そして、半導体基板15の主表面(素子形成面)側には、半導体基板15の表面からP型層13を貫通し、N-型層12に到達する深さのトレンチの内壁にゲート絶縁膜(図示せず)を介して、ゲート電極16が形成されている。
【0014】
ゲート電極16の表面上を含む半導体基板15の表面上には、層間絶縁膜17を介してエミッタ電極としてのAl電極19が形成されており、層間絶縁膜17に形成されたコンタクトホール18を介してN+型層14とAl電極19とが電気的に接続されている。Al電極19の表面上には、Niメッキ層20が形成されている。なお、このAl電極19及びNiメッキ層20が形成されている部分が電極部21である。
【0015】
また、Al電極19の表面上のうち、Niメッキ層20を除く領域にはポリイミド系樹脂等の保護膜22が形成されている。一方、半導体基板15の裏面側にはコレクタ電極23が形成されている。半導体チップ2の上面では、Niメッキ層20が半田6と接合されており、このNiメッキ20及び半田6bを介して、Al電極19がヒートシンクブロック5と接続されている。なお、Al電極19及びNiメッキ20は、半導体基板15や半田6よりも非常に薄いものである。
【0016】
このように構成されている半導体装置では、冷熱サイクルに曝されたとき、半田6は半導体基板15よりも膨張収縮が大きく、また、電極部21が半導体基板15や半田6よりも非常に薄いため、半田6bから電極部21に応力が負荷される。このため、電極部21内にクラックが発生したり、半田6bが収縮する際、電極部が半田6bに引っ張られ、半導体基板15に対して電極部21の位置がずれたりする等の恐れがある。
【0017】
本発明は上記点に鑑みて、熱応力による半導体チップの破壊を抑制することができる新規な構造の半導体装置を提供することを第1の目的とする。
【0018】
また、半導体チップの表裏両面から放熱して表裏両面に電流を流す構成で、かつ、半導体チップの厚さ寸法をt1とし、一対の導体部材のうちの少なくとも一方の導体部材の厚さ寸法をt2としたときに、t2/t1≧5が成立するように構成された半導体装置において、熱応力による電極部の破壊を抑制することができる半導体装置を提供することを第2の目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、半導体基板(15)上に形成された電極部(21)と導体部材(5)とが接合部材(6b)により接合されてなる半導体装置において、電極部(21)中に空孔(25)を設けたことを特徴としている。
【0020】
このように電極部に空孔が存在しているため、外部から応力を加えられたとき、電極部のたわみ量を従来よりも大きくすることができる。このため、半導体装置が冷熱サイクルに曝されることで接合部材が膨張収縮し、電極部に応力が負荷されても、電極部がたわむことで、電極部が接合部材及び半導体基板と接合した状態のままで、電極部に負荷される応力を緩和することができる。この結果、熱応力による半導体チップの破壊を抑制することができる。
【0021】
請求項2に記載の発明では、半導体チップ(2)の厚さ寸法をt1とし、第2の導体部材(3)と第3の導体部材(4)のうち、少なくとも一方の厚さ寸法をt2としたときに、t2/t1≧5が成立するように構成した半導体装置において、電極部(21)中に空孔を設けたことを特徴としている。
【0022】
このように電極部に空孔が存在しているため、外部から応力を加えられたとき、電極部のたわみ量を従来よりも大きくすることができる。このため、半導体装置が冷熱サイクルに曝されることで第1の接合部材が膨張収縮し、電極部に応力が負荷されても、電極部がたわむことで、電極部が第1の接合部材及び半導体基板と接合した状態のまま、電極部に負荷される応力を緩和することができる。
【0023】
これにより、電極部に加えられる熱応力を従来よりも低減できるので、電極部内にクラックが発生したり、第1の接合部材が収縮する際、電極部に負荷された応力により、半導体基板に対して電極部の位置がずれたりする等の電極部の破壊を抑制することができる。
【0024】
なお、請求項3に示すように、空孔(25)を電極部(21)のうち、コンタクトホール(18)の上方の部位に設けることができる。また、請求項4に示すように、Al電極(19)内に空孔(25)を設けることもできる。
【0025】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【0026】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
本実施形態では、上記した従来技術の欄での説明と同様に、半導体チップの表裏両面から放熱して表裏両面に電流を流す構成の半導体装置を例として説明する。本実施形態の半導体装置1、以下にて説明するように、半導体基板上に形成されているAl電極19の形状が図4、図5に示す半導体装置1異なり、その他の構造は図4、図5に示す半導体装置1同様である。
【0027】
また、本実施形態においても、半導体チップ2の厚さ寸法をt1とし、ヒートシンク3、4の厚さ寸法をt2としたときに、t2/t1≧5が成立するように半導体装置を構成している。
【0028】
なお、本発明の半導体装置と本実施形態の半導体装置1の対応関係は以下の通りである。図4中の下側ヒートシンク3が第2の導体部材であり、上側ヒートシンク4が第3の導体部材であり、ヒートシンクブロック5が第1の導体部材に相当する。そして、半導体チップ2の下面と下側ヒートシンク3の上面との間の半田6aが第2の接合部材であり、半導体チップ2の上面とヒートシンクブロック5の下面との間の半田6bが第1の接合部材であり、ヒートシンクブロック5の上面と上側ヒートシンク4の下面との間の半田6cが第3の接合部材に相当する。また、封止用樹脂7が封止部材に相当する。
【0029】
半導体チップ2は、上記発明が解決しようとする課題の欄にて説明したように、パワー半導体素子、例えば、トレンチゲート型のIGBTにより構成されている。なお、半導体基板15の内部構造は図5に示す構造と同一であるため、本実施形態では半導体基板15の内部構造の説明を省略する。
【0030】
図1に本実施形態における半導体装置の部分断面図を示す。図1は、図4中の領域Aの拡大図であり、半導体基板15の上に形成されているAl電極19、Niメッキ層20を拡大した図である。
【0031】
図1に示すように、半導体基板15の上(素子形成面上)には層間絶縁膜17を介してAl電極19が形成されており、Al電極19は層間絶縁膜17に形成されたコンタクトホール18を介してP型層13及びN+型層14と電気的に接続されている。Al電極19の上にはNiメッキ層20が形成されており、Niメッキ層20と半田6bとが接合されている。
【0032】
そして、Al電極19のうち、コンタクトホール18の上側に位置する部位に、空孔25が設けられている。本実施形態では、この空孔25の数はコンタクトホール18の数と同じである。
【0033】
本実施形態では、半導体基板15の厚さは例えば250μm以下であり、Al電極19の厚さは5μm程度、Niメッキ層20の厚さは5μm程度であり、Niメッキ層20と接合している半田6bの厚さは100μm程度である。
【0034】
また、このように構成された半導体チップ2の表面上には、図示しないゲートパッド等の制御電極が形成されており、この制御電極とリードフレーム9とがボンディングワイヤ10を介して電気的に接続されている。
【0035】
そして、図4に示すように、半導体チップ2、下側ヒートシンク3の半導体チップ2と接合している面3a、上側ヒートシンク4の半導体チップと接合している面4a、ヒートシンクブロック5,ボンディングワイヤ10、及びリードフレーム9の一部が一括して、封止用樹脂7により封止されている。
【0036】
次に、この半導体装置の製造方法を説明する。図2(a)、(b)、図3(a)、(b)、(c)に本実施形態における半導体装置の製造工程を示す。
【0037】
まず、図2(a)、(b)に示すように半導体チップ2を形成する工程を行う。すなわち、図2(a)に示すように、P+型基板11と、N-型層12と、P型層13と、N+型層14とを備える半導体基板15を形成する。そして、半導体基板15の表面からP型層13を貫通し、N-型層12に到達する深さのトレンチを形成し、トレンチ内にゲート絶縁膜を介して、ゲート電極16を形成する。その後、半導体基板15の表面上に層間絶縁膜17を形成する。層間絶縁膜17を形成した後、層間絶縁膜17にコンタクトホール18を形成する。
【0038】
続いて、例えば、スパッタ法若しくは蒸着法にて、コンタクトホール18の内部から層間絶縁膜17上にかけてAl−Si合金膜を成膜することで、Al電極19を形成する。このとき、成膜温度を例えば150℃とし、Al−Si合金膜の膜厚を内部に空孔が生じるような膜厚とする。なお、Al−Si合金膜に限らず、Al膜のみ、若しくは他のAl合金膜を成膜することもできる。
【0039】
Al−Si合金膜を成膜するときでは、コンタクトホール18の形状に沿ってAl−Si合金膜が成膜されるので、成膜初期のAl−Si合金膜が薄いときでは、Al−Si合金膜はコンタクトホール18の上方にて窪みを有する形状となる。そして、Al−Si合金膜が厚くなるにつれ、窪みを構成する側壁の下部19aでは膜厚が変わらず、窪みを構成する側壁の上部19bでの膜厚のみが大きくなり、窪みを構成する側壁の上部19bにて、向かい合う側壁同士が接触する。これにより、Al−Si合金膜中に空孔25が形成される。なお、Al電極19における空孔25の上方の側壁19b同士は化学的に結合していても、化学的に結合していなくても良い。
【0040】
具体的に本発明者らの実験では、層間絶縁膜17の厚さ17aを1μm程度、コンタクトホール18の開口幅18aを1.2μm程度とし、Al電極19の厚さが5μm以上となるように、Al−Si合金膜を形成したとき、Al電極19中に空孔25が存在することを確認している。したがって、Al電極19の厚さが5μm以上となるように、Al−Si合金膜を成膜することが望ましい。なお、成膜温度は150℃に限らず室温から350℃以内であれば他の温度とすることもできる。
【0041】
このようにコンタクトホール18の形状を利用し、内部に空孔25が存在するような膜厚にてAl−Si合金膜を成膜する。なお、コンタクトホール18の開口幅や深さ等を変更することで、空孔25の形状、大きさ等を変更することができる。
【0042】
その後、Al電極19上にポリイミド系樹脂等により保護膜22を形成する。そして、図2(b)に示すように、保護膜22のうち、電極部21の形成予定領域を除去し、Al電極19上にNiメッキ層20を形成する。このとき、Al電極19中の空孔25の上方にて側壁19b同士が接触しているため、Niメッキ層20がAl電極19中の空孔25に入り込むことがない。
【0043】
これにより、Al電極19に空孔25が存在した状態のまま、Niメッキ層20が形成される。なお、Niメッキ層20を形成したとき、Al電極19の表層の一部がNiメッキ層20と置換されため、図2(b)中の破線で示す形状よりも、Al電極19は薄くなる。このため、先のAl電極19の形成の際では、Al電極19の膜厚を完成後における所望の厚さよりも厚く設定しておく必要がある。
【0044】
そして、Niメッキ層20の表面が酸化することで半田の濡れ性が低下しないように、Niメッキ層20の上に酸化防止用のAuメッキ層26を形成することで、半導体チップ2が完成する。なお、このAuメッキ層23は、半田6bとの接合の際、半田6bに取り込まれる。
【0045】
なお、本実施形態では、Ni層20とAu層26とをメッキ法により形成したが、スパッタ法、蒸着法等の他の方法によりNi層20とAu層26とを形成することもできる。
【0046】
次に、特許文献1に記載されている製造方法と同様に、半導体チップ2をヒートシンク3、4及びヒートシンクブロック5と接合し、封止用樹脂7により封止する工程を行う。
【0047】
具体的には、まず、図3(a)に示すように、下側ヒートシンク3の上面に、半導体チップ2とヒートシンクブロック5とを半田付けする工程を行う。この場合、下側ヒートシンク3の上面に半田箔8を介してチップ2を積層すると共に、このチップ2の上に半田箔8を介してヒートシンクブロック5を積層する。この後、加熱装置(リフロー装置)によって半田箔8を溶融させてから、硬化させる。なお、半田としては、例えばSn系Pbフリー半田を用いることができる。
【0048】
続いて、図3(b)に示すように、チップ2の制御電極とリードフレーム9とをワイヤーボンディングする工程を行う。これにより、例えばAlやAu等製のワイヤー10によってチップ2の制御電極とリードフレーム9とが接続される。
【0049】
次いで、図3(c)に示すように、ヒートシンクブロック5の上に上側ヒートシンク4を半田付けする工程を行う。ヒートシンクブロック5の上に半田箔8を介して上側ヒートシンク4を載せる。そして、加熱装置によって半田箔8を溶融させてから、硬化させる。
【0050】
そして、図示しない成形型を使用して、ヒートシンク3、4の隙間及び外周部に封止用樹脂7を充填する工程(モールド工程)を行う。これにより、図4に示すように、ヒートシンク3、4の隙間及び外周部等に、封止用樹脂7が充填封止される。このようにして、半導体装置1が完成する。
【0051】
本実施形態の半導体装置は、上記したように、Al電極19に空孔25が存在していることから、電極部21に対して外力が作用したとき、Al電極19はたわむことができる。このため、この半導体装置が冷熱サイクルに曝され、Niメッキ層20と接合している半田6bが膨張収縮しても、Al電極19がたわむことで、Al電極19が半導体基板15と接合した状態で、かつ、Niメッキ層20が半田6bと接合した状態のまま、半田6bから電極部21に負荷される応力を緩和することができる。
【0052】
このようにして、電極部21に加えられる熱応力を従来よりも低減できるので、電極部21内にクラックが発生したり、半田6bが収縮する際、電極部21に負荷された応力により、半導体基板15の上での電極部21の位置がずれたりする等の電極部21の破壊を抑制することができる。
【0053】
なお、本実施形態では、ヒートシンク3、4と半導体チップ2とヒートシンクブロック5とを接合する接合部材として半田箔8を用いたが、これに代えて、半田ペースト等を用いるように構成しても良い。
【0054】
また、本実施形態では、ヒートシンク3、4間に半導体チップ2を1個挟むように構成したが、これに限られるものではなく、2個以上のチップ(または2種類以上のチップ)を挟むように構成しても良い。
【0055】
また、本実施形態では、電極部21として、Al電極19を用いる場合を説明したが、電極部21をCu等にて構成することもできる。なお、この場合、Niメッキ層20は不要である。
【0056】
(他の実施形態)
第1実施形態では、半導体チップの表裏両面から放熱して表裏両面に電流を流す構成の半導体装置を例として説明したが、半導体チップの電極部に半田が接合された構成である他の実装構造の半導体装置においても本発明を適用することができる。
【0057】
例えば、フリップチップ方式等のワイヤレスボンディングにより、半導体チップの電極とリードとが半田により接合された半導体装置においても本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態における半導体装置の部分断面図である。
【図2】図1に示す半導体装置の製造工程を示す図である。
【図3】図2に続く半導体装置の製造工程を示す図である。
【図4】従来及び第1実施形態における半導体装置の断面図である。
【図5】従来における図4に示す半導体装置のうち、半導体チップの部分を拡大した図である。
【符号の説明】
1…半導体装置、2…半導体チップ、3…下側ヒートシンク、
4…上側ヒートシンク、5…ヒートシンクブロック、6…半田、
7…封止用樹脂、9…リードフレーム、10…ボンディングワイヤ、
11…P+型基板、12…N-型層、13…P型層、14…N+型層、
15…半導体基板、16…ゲート電極、17…層間絶縁膜、
18…コンタクトホール、19…Al電極、20…Niメッキ層、
21…電極部、22…保護膜、23…コレクタ電極、25…空孔、
26…Auメッキ層。
Claims (4)
- 半導体基板(15)上に形成された電極部(21) と導体部材(5)とが電気伝導性を有する接合部材(6b)により接合されてなる半導体装置において、
前記電極部(21)中に空孔(25)を設けたことを特徴とする半導体装置。 - 半導体基板(15)の素子形成面上に形成された電極部(21)を有する半導体チップ(2)と、
電気伝導性を有する第1の接合部材(6b)を介して、前記電極部(21)に接合された第1の導体部材(5)と、
電気伝導性を有する第2の導体部材(6a)を介して、前記半導体基板(15)の前記素子形成面とは反対側の面に接合された第2の導体部材(3)と、
前記第1の導体部材(5)における前記電極部(21)が接合された面とは反対側の面に電気伝導性を有する第3の接合部材(6c)を介して接合された第3の導体部材(4)と、
前記半導体チップ(2)、前記第1の導体部材(5)、前記第2の導体部材(3)における前記半導体チップ(2)と接合している面(3a)、及び前記第3の導体部材(4)における前記第1の導体部材(5)と接合している面(4a)を封止する封止部材(7)とを有し、
前記半導体チップ(2)の厚さ寸法をt1とし、前記第2の導体部材(3)と前記第3の導体部材(4)のうち、少なくとも一方の厚さ寸法をt2としたときに、t2/t1≧5が成立するように構成した半導体装置において、
前記電極部(21)中に空孔(25)を設けたことを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体基板(15)と前記電極部(21)との間に位置する層間絶縁膜(17)に形成されたコンタクトホール(18)を介して、前記半導体基板(15)と前記電極部(21)とが電気的に接続されており、前記空孔(25)は、前記コンタクトホール(18)の上方に位置することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記電極部(21)は、前記半導体基板(15)上に形成され、Al若しくはAl合金により構成されたAl電極(19)と、前記Al電極(19)上に形成されたNi層(20)とにより構成されており、前記Al電極(19)内に前記空孔(25)が存在していることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の半導体装置。
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