JP3845077B2 - 音波発生装置の製造方法 - Google Patents
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Description
P型(100)単結晶シリコン基板(80〜120Ω)の裏面に陽極酸化処理時のコンタクト電極としてAlを真空蒸着で300nm成膜した。その後、この基板をHF(フッ酸)(55%):EtOH(エタノール)=1:2の溶液中で白金を対極として電流密度150mA/cm2で8分間陽極酸化処理を行い、厚み約50μmのナノ結晶シリコン層を形成した。
<実施例2>
陽極酸化処理をHF(55%):EtOH=1:1.5の溶液中で、白金を対極として電流密度100mA/cm2で行ったこと以外は実施例1と同様にしてナノ結晶シリコンを形成し、音波発生装置を作製した。
<実施例3>
陽極酸化処理を電流密度50mA/cm2で行ったこと以外は実施例2と同様にしてナノ結晶シリコンを形成し、音波発生装置を作製した。
<比較例1>
系内の超臨界乾燥を行わず自然乾燥を行ったこと以外、実施例1と同様にしてナノ結晶シリコンを形成し、音波発生装置を作製した。この場合ナノ結晶シリコン層の収縮破壊により表面に亀裂が入り、発熱金属薄膜に給電することは不可能であった。
<比較例2>
陽極酸化処理をHF(55%):EtOH=1:1の溶液中で、白金を対極として電流密度20mA/cm2で行い、系内の超臨界乾燥を行わず自然乾燥を行ったこと以外、実施例1と同様にしてナノ結晶シリコンを形成し、音波発生装置を作製した。
<比較例3>
陽極酸化処理を電流密度50mA/cm2で行ったこと以外、比較例2と同様にしてナノ結晶シリコンを形成し、音波発生装置を作製した。
2 基板
3 断熱層
4 発熱体薄膜
5 信号源
Claims (4)
- 熱導電性の基板と、その基板上の一方の面に形成されたナノ結晶シリコンからなる断熱層と、断熱層上に形成され、金属膜からなり電気的に駆動される発熱体薄膜とを有する音波発生装置の製造方法であって、ナノ結晶シリコンを、陽極酸化処理により単結晶シリコンに多数の孔を形成した後、超臨界乾燥により乾燥させることで形成することを特徴とする音波発生装置の製造方法。
- 超臨界乾燥を行う前に、ナノ結晶シリコン層中の陽極酸化処理で用いた溶媒を、超臨界乾燥の媒体として用いる分散媒に予め置換しておくことを特徴とする請求項1記載の音波発生装置の製造方法。
- 超臨界乾燥の媒体として用いる分散媒として、ナノ結晶シリコン層中の陽極酸化処理で用いた溶媒よりも臨界点の低い化合物からなるものを用いることを特徴とする請求項2記載の音波発生装置の製造方法。
- 多孔度が75%以上のナノ結晶シリコンを形成することを特徴とする請求項1ないし3いずれかに記載の音波発生装置の製造方法。
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