JP3843112B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3843112B2 JP3843112B2 JP2004245526A JP2004245526A JP3843112B2 JP 3843112 B2 JP3843112 B2 JP 3843112B2 JP 2004245526 A JP2004245526 A JP 2004245526A JP 2004245526 A JP2004245526 A JP 2004245526A JP 3843112 B2 JP3843112 B2 JP 3843112B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- bridge
- semiconductor device
- manufacturing
- wirings
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02057—Cleaning during device manufacture
- H01L21/02068—Cleaning during device manufacture during, before or after processing of conductive layers, e.g. polysilicon or amorphous silicon layers
- H01L21/02074—Cleaning during device manufacture during, before or after processing of conductive layers, e.g. polysilicon or amorphous silicon layers the processing being a planarization of conductive layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Weting (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
図1は本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法の工程フローを示している。また、図2は化学機械研磨(CMP)工程の終了直後における半導体基板の断面を示している。以下にまず、本実施形態の銅(Cu)配線の形成方法について説明する。
以下に本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法について図を参照しながら第1の実施形態との差異のみについて説明を行う。
2 配線間絶縁膜
3 バリア膜
4 Cuシード膜
5 Cu膜
6 Cu配線
7 パーティクル
8 金属汚染
9 配線間ブリッジ
11 酸化膜
12 自然酸化膜
21 スクラッチ
22 凹状欠陥
Claims (5)
- 半導体基板の上に形成した銅からなる金属膜を化学機械研磨することにより、前記半導体基板の上に前記金属膜からなる配線を形成する配線工程と、
前記配線工程において発生し且つ前記半導体基板の上に残存し、互いに隣接する前記配線間に不要な導通を生じさせる配線間ブリッジの表面に生成した自然酸化膜をシュウ酸により溶解して除去する自然酸化膜除去工程と、
前記自然酸化膜除去工程よりも後に、前記配線間ブリッジを除去する洗浄工程とを備え、
前記洗浄工程は、前記配線間ブリッジを過酸化水素水により酸化して酸化銅とする酸化工程と、
前記酸化銅をシュウ酸により溶解して除去する酸化物除去工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記洗浄工程は同一のチャンバ内において連続して行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記洗浄工程は、前記酸化工程と前記酸化物除去工程とを順次2回以上繰り返すことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記過酸化水素水の濃度は、0.1%以上且つ5%以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シュウ酸の濃度は、0.01%以上且つ3%以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004245526A JP3843112B2 (ja) | 2003-08-27 | 2004-08-25 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003302590 | 2003-08-27 | ||
JP2004245526A JP3843112B2 (ja) | 2003-08-27 | 2004-08-25 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005101575A JP2005101575A (ja) | 2005-04-14 |
JP3843112B2 true JP3843112B2 (ja) | 2006-11-08 |
Family
ID=34467203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004245526A Expired - Fee Related JP3843112B2 (ja) | 2003-08-27 | 2004-08-25 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3843112B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105359257B (zh) * | 2013-07-09 | 2018-03-06 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 从由铟、镓、锌以及氧组成的氧化物(igzo)的表面清洗和去除含铜附着物的液体组合物以及使用了该液体组合物的igzo表面的清洗方法,以及利用该清洗方法清洗的基板 |
-
2004
- 2004-08-25 JP JP2004245526A patent/JP3843112B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005101575A (ja) | 2005-04-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4221191B2 (ja) | Cmp後洗浄液組成物 | |
US7562662B2 (en) | Cleaning solution and cleaning method of a semiconductor device | |
JP3667273B2 (ja) | 洗浄方法および洗浄液 | |
JP3111979B2 (ja) | ウエハの洗浄方法 | |
JP3003684B1 (ja) | 基板洗浄方法および基板洗浄液 | |
JP3307375B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US6127282A (en) | Method for removing copper residue from surfaces of a semiconductor wafer | |
CN1444259A (zh) | 半导体器件的制造方法 | |
KR100512500B1 (ko) | 반도체 장치의 제조 방법 | |
US6992006B2 (en) | Method for fabricating semiconductor device | |
JP2006210778A (ja) | 半導体装置の製造方法およびエッチング液 | |
JPH07183264A (ja) | 半導体基板の洗浄方法 | |
JP3843112B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2003510838A (ja) | 化学機械研磨後に半導体ウエハを洗浄および処理するための方法 | |
JP3925511B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2005191034A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3688650B2 (ja) | 電子デバイスの製造方法 | |
JP4086567B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US20050247675A1 (en) | Treatment of dies prior to nickel silicide formation | |
TW200305922A (en) | Method of cleaning damascene structure of semiconductor wafer during fabrication of semiconductor device | |
JP4044296B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
TW424002B (en) | A cleaning method after finishing polishing process of Cu interconnection | |
JP3680063B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2004063735A (ja) | 半導体装置の製造方法および製造装置 | |
JPH04356927A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060511 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060516 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060710 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060801 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060811 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090818 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100818 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110818 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110818 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120818 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |