JP3831947B2 - 樹脂組成物、カラーフィルタの保護膜およびその形成方法 - Google Patents
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Description
本発明に用いられる高分子量体(A)は、カルボン酸のアセタールエステル構造およびカルボン酸のケタールエステル構造からなる群から選ばれる少なくとも一種の構造ならびにエポキシ構造を有し且つゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定したポリスチレン換算重量平均分子量が2,000以上である。
2,3−ジ−トリメチルシラニルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−トリエチルシラニルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−t−ブチルジメチルシラニルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−トリメチルゲルミルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−トリエチルゲルミルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−t−ブチルジメチルゲルミルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−t−ブチルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−ベンジルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニル−5−ノルボルネン
2,3−ジ−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニル−5−ノルボルネン
2,3−ジ−シクロブチルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−シクロペンチルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−シクロヘキシルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−シクロヘプチルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−1−メトキシエトキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−1−t−ブトキシエトキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−1−ベンジルオキシエトキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−(シクロヘキシル)(エトキシ)メトキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−1−メチル−1−メトキシエトキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−1−メチル−1−i−ブトキシエトキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2,3−ジ−(ベンジル)(エトキシ)メトキシカルボニル−5−ノルボルネン等;
不飽和ジカルボン酸ジエステルとして、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等;
マレイミド化合物類として、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミド、ベンジルマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(9−アクリジニル)マレイミド等;
共役ジエン系化合物として、1,3−ブタジエン、イソプレン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン等;
不飽和ジカルボン酸として、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等;
その他の不飽和化合物として、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル等を挙げることができる。
スチレン/1−(シクロヘキシルオキシ)エチル(メタ)アクリレート/メタリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
スチレン/テトラヒドロ−2H−ピラン−2−イル(メタ)アクリレート/フェニルマレイミド/メタクリル酸グリシジル共重合体、
ブタジエン/スチレン/1−(シクロヘキシルオキシ)エチル(メタ)アクリレート/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
スチレン/テトラヒドロ−2H−ピラン−2−イル(メタ)アクリレート/メタクリル酸メチル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
p−メトキシスチレン/テトラヒドロ−2H−ピラン−2−イル(メタ)アクリレート/シクロヘキシルアクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体等、
t−ブチルメタクリレート/スチレン/メタクリル酸グリシジル/シクロヘキシルマレイミド共重合体、
スチレン/テトラヒドロ−2H―ピラン−2−イル(メタ)アクリレート/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
スチレン/2,3−ジ−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニル−5−ノルボルネン/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
スチレン/テトラヒドロ−2H−ピラン−2−イル(メタ)アクリレート/シクロヘキシルマレイミド/メタクリル酸グリシジル共重合体、
が挙げられる。
(メタ)アクリル酸グリシジル/無水マレイン酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン共重合体にエチルビニルエーテルを酸無水物基に対して2倍モル付加させた共重合体、
(メタ)アクリル酸グリシジル/無水マレイン酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン共重合体にn−プロピルビニルエーテルを酸無水物基に対して2倍モル付加させた共重合体、
(メタ)アクリル酸グリシジル/無水マレイン酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン共重合体にn−ブチルビニルエーテルを酸無水物基に対して2倍モル付加させた共重合体、
(メタ)アクリル酸グリシジル/無水マレイン酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン共重合体にt−ブチルビニルエーテルを酸無水物基に対して2倍モル付加させた共重合体、
(メタ)アクリル酸グリシジル/無水イタコン酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン共重合体にエチルビニルエーテルを酸無水物基に対して2倍モル付加させた共重合体、
(メタ)アクリル酸グリシジル/無水イタコン酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン共重合体に3,4−ジヒドロ−2H−ピランを酸無水物基に対して2倍モル付加させた共重合体、
(メタ)アクリル酸グリシジル/無水シトラコン酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン共重合体にi−プロピルビニルエーテルを酸無水物基に対して2倍モル付加させた共重合体、
(メタ)アクリル酸グリシジル/シス−1,2,3,4−テトラヒドロフタル酸無水物/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン共重合体にエチルビニルエーテルを酸無水物基に対して2倍モル付加させた共重合体、
(メタ)アクリル酸グリシジル/シス−1,2,3,4−テトラヒドロフタル酸無水物/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン共重合体に3,4−ジヒドロ−2H−ピランを酸無水物基に対して2倍モル付加させた共重合体
等を挙げることができる。
(メタ)アクリル酸グリシジル/無水マレイン酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン共重合体にエチルビニルエーテルを酸無水物基に対して2倍モル付加させた共重合体、
(メタ)アクリル酸グリシジル/無水マレイン酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン共重合体にn−プロピルビニルエーテルを酸無水物基に対して2倍モル付加させた共重合体、
(メタ)アクリル酸グリシジル/無水マレイン酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン共重合体にn−ブチルビニルエーテルを酸無水物基に対して2倍モル付加させた共重合体、
(メタ)アクリル酸グリシジル/無水イタコン酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン共重合体にエチルビニルエーテルを酸無水物基に対して2倍モル付加させた共重合体、
(メタ)アクリル酸グリシジル/無水イタコン酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン共重合体に3,4−ジヒドロ−2H−ピランを酸無水物基に対して2倍モル付加させた共重合体、
(メタ)アクリル酸グリシジル/シス−1,2,3,4−テトラヒドロフタル酸無水物/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン共重合体にエチルビニルエーテルを酸無水物基に対して2倍モル付加させた共重合体、
等である。
本発明に使用されるエポキシ化合物(B)は、分子内に2個以上のエポキシ構造を有する化合物(ただし前記(A)成分を除く。)である。
エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリンなどの脂肪族多価アルコールに1種または2種以上のアルキレンオキサイドを付加することにより得られるポリエーテルポリオールのポリグリシジルエーテル類;
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂;
ポリフェノール型エポキシ樹脂;
脂肪族長鎖二塩基酸のジグリシジルエステル類;
高級脂肪酸のグリシジルエステル類;
エポキシ化大豆油、エポキシ化アマニ油等を挙げることができる。
フェノールノボラック型エポキシ樹脂として、エピコート152、同154、同157S65(以上、ジャパンエポキシレジン(株)製)、EPPN201、同202(以上、日本化薬(株)製)等;
ポリフェノール型エポキシ樹脂として、エピコート1032H60、同XY−4000(以上、ジャパンエポキシレジン(株)製)等;
脂肪族ポリグリシジルエーテルとしてエポライト100MF(共栄社化学(株)製)、エピオールTMP(日本油脂(株)製)等が挙げられる。
感放射線性酸発生剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の照射により酸を発生することができる化合物である。
感熱酸発生剤としては、スルホニウム塩類(前述のトリアリールスルホニウム塩類を除く)、ベンゾチアゾニウム塩類、アンモニウム塩類、ホスホニウム塩類等が挙げられ、これらのうちでもスルホニウム塩類(前述のトリアリールスルホニウム塩類を除く)、ベンゾチアゾニウム塩類が好ましく用いられる。
ート等が好ましく用いられる。
本発明の樹脂組成物は、上記したとおり、高分子量体(A)およびエポキシ化合物(B)を必須成分として含有し、場合により(C)感放射線性酸発生剤または(D)感熱性酸発生剤を含有するものであるが、さらに必要に応じてその他の成分を含有することもできる。このようなその他の成分としては、(E)界面活性剤、(F)接着助剤等を挙げることができる。
上記界面活性剤は、本発明の樹脂組成物の塗布性能を向上させるために添加することができる。
上記(F)接着助剤は、形成される保護膜と基板との密着性を向上させるために添加することができる。
本発明の樹脂組成物は、上記の高分子量体(A)およびエポキシ化合物(B)を必須成分とし、場合により(C)感放射線性酸発生剤または(D)感熱性酸発生剤を含有するものであるが、さらに任意的に(E)界面活性剤および/または(F)接着助剤を含有するものである。
エーテル類として、テトラヒドロフランなど;
グリコールエーテル類として、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルなど;
ジエチレングリコールモノアルキルエーテル類として、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルなど;
ジエチレングリコールジアルキルエーテル類として、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテルなど;
プロピレングリコールアルキルエーテルアセテート類として、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテートなど;
芳香族炭化水素類として、トルエン、キシレンなど;
ケトン類として、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン、メチルイソアミルケトンなど;
次に、本発明の組成物を用いてカラーフィルタの保護膜を形成する方法について説明する。
このように形成された保護膜は、その膜厚が好ましくは0.1〜8μm、より好ましくは0.1〜6μm、さらに好ましくは0.1〜4μmである。なお、本発明の保護膜がカラーフィルタの段差を有する基板上に形成される場合には、上記の膜厚は、カラーフィルタの最上部からの厚さとして理解されるべきである。
合成例1
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)2重量部、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル200重量部を仕込んだ。引き続きスチレン25重量部、1−(シクロヘキシルオキシ)エチルメタクリレート20重量部、メタクリル酸グリシジル45重量部およびメタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル10重量部を仕込み窒素置換した後、ゆるやかに撹拌を始めた。溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体(A−1)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、33.0%であった。また、共重合体(A−1)の重量平均分子量(Mw)、数平均分子量(Mn)およびMw/Mnを表1に示した。
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5重量部、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル200重量部を仕込んだ。引き続きスチレン18重量部、テトラヒドロー2H―ピラン−2−イルメタクリレート20重量部、メタクリル酸グリシジル40重量部およびシクロヘキシルマレイミド22重量部を仕込み窒素置換した後ゆるやかに撹拌を始めた。溶液温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体(A−2)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、33.0%であった。また、共重合体(A−2)のMw、MnおよびMw/Mnを表1に示した。
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)10重量部、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル200重量部を仕込んだ。引き続きスチレン18重量部、1−(シクロヘキシルオキシ)エチルメタクリレート20重量部、メタクリル酸グリシジル40重量部およびシクロヘキシルマレイミド22重量部を仕込み窒素置換した後ゆるやかに撹拌を始めた。溶液温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体(A−3)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、32.7%であった。また、共重合体(A−3)のMw、MnおよびMw/Mnを表1に示した。
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5重量部、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル200重量部を仕込んだ。引き続きスチレン13重量部、1−(シクロヘキシルオキシ)エチルメタクリレート40重量部、メタクリル酸グリシジル30重量部およびシクロヘキシルマレイミド17重量部を仕込み窒素置換した後ゆるやかに撹拌を始めた。溶液温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体(A−4)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、33.0%であった。また、共重合体(A−4)のMw、MnおよびMw/Mnを表1に示した。
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5重量部、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル200重量部を仕込んだ。引き続きスチレン18重量部、2,3−ジカルボン酸テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニル−5−ノルボルネン20重量部、メタクリル酸グリシジル40重量部およびシクロヘキシルマレイミド22重量部を仕込み窒素置換した後ゆるやかに撹拌を始めた。溶液温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体(A−6)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、33.0%であった。また、共重合体(A−6)のMw、MnおよびMw/Mnを表1に示した。
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5部およびジエチレングリコールエチルメチルエーテル200部を仕込み、引き続き、メタクリル酸グリシジル45部、無水マレイン酸15部、N−シクロヘキシルマレイミド15部およびスチレン25部を仕込んで窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌して、反応溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を保持して5時間重合した。その後、i−プロピルビニルエーテル30部を滴下し、攪拌しつつ、2時間反応させることにより、共重合体(A−7)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、33.2%であった。また、共重合体(A−7)のMw、MnおよびMw/Mnを表1に示した。
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)2重量部、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル200重量部を仕込んだ。引き続きスチレン25重量部、メタクリル酸20重量部、メタクリル酸グリシジル45重量部およびメタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル10重量部を仕込み窒素置換した後、ゆるやかに撹拌を始めた。溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体(A−1)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、33.0%であった。また、共重合体(a−1)のMw、MnおよびMw/Mnを表1に示した。
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)20重量部、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル200重量部を仕込んだ。引き続きスチレン25重量部、1−(シクロヘキシルオキシ)エチルメタクリレート20重量部、メタクリル酸グリシジル45重量部およびメタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル10重量部を仕込み窒素置換した後、ゆるやかに攪拌を始めた。溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体(a−2)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、32.8%であった。また、共重合体(a−2)のMw、MnおよびMw/Mnを表1に示した。
実施例1
上記合成例1で得られた共重合体(A−1)を含む溶液(共重合体(A−1)100重量部(固形分)に相当する量)と、エポキシ化合物(B)としてビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂「エピコート157S65」(ジャパンエポキシレジン(株)製)10.0重量部、(E)界面活性剤としてSH−28PA(東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製)0.1重量部および(F)接着助剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン15重量部を加え、さらに固形分濃度が20%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加した後、孔径0.5μmのミリポアフィルタで濾過して樹脂組成物を調製した。
上記のようにして調製した組成物に、(D)感熱性酸発生剤としてベンジル−2−メチル−4−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート1重量部をジエチレングリコールエチルメチルエーテル65重量部に溶解させたものを加え、保護膜形成用の樹脂組成物を調製した。ここで調製した組成物は、無色透明であった。
(1)透明性の評価
上記のようにして形成した保護膜を有する基板について、分光光度計(150−20型ダブルビーム(日立製作所(株)製))を用いて400〜800nmの透過率を測定した。400〜800nmの透過率の最小値を表2に示した。この値が95%以上のとき、保護膜の透明性は良好といえる。
上記のようにして形成した保護膜を有する基板について、オーブン中250℃で1時間の条件および270℃で1時間の条件のそれぞれの条件で加熱し、加熱前後の膜厚を測定した。下記式にしたがって算出した耐熱寸法安定性を表2に示した。この値が95%以上のとき、耐熱寸法安定性は良好といえる。
上記のようにして形成した保護膜を有する基板について、オーブン中250℃で1時間加熱し、加熱前後の透明性を、上記(1)と同様にして測定した。下記式にしたがって算出した耐熱変色性を表2に示した。この値が5%以下のとき、耐熱変色性は良好といえる。
上記のようにして形成した保護膜を有する基板について、JIS K−5400−1990の8.4.1鉛筆引っかき試験により保護膜の表面硬度を測定した。この値を表2に示す。この値が4Hまたはそれより硬いとき、表面硬度は良好といえる。
上記のようにして形成した保護膜を有する基板について、島津ダイナミック微小硬度計DUH−201((株)島津製作所製)を用い、稜角115°三角圧子(ヘルコビッチ型)の押し込み試験により、保護膜のダイナミック微小硬度を、荷重:0.1gf、速度:0.0145gf/sec.、保持時間:5sec.、温度は23℃および140℃の測定条件で測定した。結果を表2に示す。
上記のようにして形成した保護膜を有する基板について、プレッシャークッカー試験(120℃、湿度100%、4時間)を行った後、JIS K−5400−1990の8.5.3付着性碁盤目テープ法により保護膜の密着性(SiO2に対する密着性)を評価した。碁盤目100個中、残った碁盤目の数を表2に示した。
SiO2ディップガラス基板上に、顔料系カラーレジスト(商品名「JCR RED 689」、「JCR GREEN 706」、「CR 8200B」、以上、JSR(株)製)をスピンナーにより塗布し、ホットプレート上で90℃、150秒間プレベークして塗膜を形成した。その後、所定のパターンマスクを介して、露光機Canon PLA501F(キャノン(株)製)を用いてghi線(波長436nm、405nm、365nmの強度比=2.7:2.5:4.8)をi線換算で2,000J/m2の露光量で照射し、0.05%水酸化カリウム水溶液を用いて現像し、超純水にて60秒間リンスした後、さらにオーブン中で230℃にて30分間加熱処理して、赤、緑、および青の3色のストライプ状カラーフィルタ(ストライプ幅100μm)を形成した。
実施例1で調製した保護膜形成用の樹脂組成物((D)感熱性酸発生剤を加えた後のもの)における粘度を、東京計器(株)製 ELD型粘度計を用いて測定した。その後、該組成物を25℃にて静置しつつ、25℃における溶液粘度を毎日測定した。調製直後の粘度を基準に5%増粘するのに要した日数を求め、この日数を表2に示した。この日数が30日以上のとき、保存安定性は良好といえる。
組成物の各成分の種類および量を表2に記載の通りとし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの代わりに表2に記載の溶媒を使用して表2記載の固形分濃度に合わせた他は、実施例1と同様にして樹脂組成物を調製した。
組成物の各成分の種類および量を表2に記載の通りとし、スピンコーターの代わりに、スリットダイコーターを用いて塗布した以外は、実施例1と同様に樹脂組成物を調整し、保護膜を形成し、評価した。結果を表2に示した。
B−2:トリメチロールプロパントリス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル
D−1:ベンジル−2−メチル−4−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート
S−1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
S−2:ジエチレングリコールジメチルエーテル
S−3:ジエチレングリコールエチルメチルエーテル
実施例11
上記合成例1で得られた共重合体(A−1)を含む溶液(共重合体(A−1)100重量部(固形分)に相当する量)と、エポキシ化合物(B)としてビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂「エピコート157S65」(ジャパンエポキシレジン(株)製)10.0重量部、(E)界面活性剤としてSH−28PA(東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製)0.1重量部および(F)接着助剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン15重量部を加え、さらに固形分濃度が20%になるようにジエチレングリコールジメチルエーテルを添加した後、孔径0.5μmのミリポアフィルタで濾過して樹脂組成物を調製した。
上記のようにして調製した組成物に、(C)感放射線性酸発生剤としてベンジル−2−メチル−4−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート1重量部をジエチレングリコールエチルメチルエーテル65重量部に溶解させたものを加え、保護膜形成用の樹脂組成物を調製した。ここで調製した組成物は、無色透明であった。
上記のようにして形成した保護膜を有する基板を用い、実施例1と同様にして、(1)透明性の評価、(2)耐熱寸法安定性の評価、(3)耐熱変色性の評価、(4)表面硬度の測定、(5)ダイナミック微小硬度の測定および(6)密着性の評価を行った。結果を表3に示す。
SiO2ディップガラス基板上に、顔料系カラーレジスト(商品名「JCR RED 689」、「JCR GREEN 706」、「CR 8200B」、以上、ジェイエスアール(株)製)をスピンナーにより塗布し、ホットプレート上で90℃、150秒間プレベークして塗膜を形成した。その後、所定のパターンマスクを介して、露光機Canon PLA501F(キャノン(株)製)を用いてghi線(波長436nm、405nm、365nmの強度比=2.7:2.5:4.8)をi線換算で2,000J/m2の露光量で照射し、0.05%水酸化カリウム水溶液を用いて現像し、超純水にて60秒間リンスした後、さらにオーブン中で230℃にて30分間加熱処理して、赤、緑、および青の3色のストライプ状カラーフィルタ(ストライプ幅100μm)を形成した。
実施例10で調製した保護膜形成用の樹脂組成物((C)感放射線性酸発生剤を加えた後のもの)の25℃における粘度を、東京計器(株)製 ELD型粘度計を用いて測定した。その後、該組成物を25℃にて静置しつつ、25℃における溶液粘度を毎日測定した。調製直後の粘度を基準に5%増粘するのに要した日数を求め、この日数を表3に示した。この日数が30日以上のとき、保存安定性は良好といえる。
組成物の各成分の種類および量を表3に記載の通りとし、ジエチレングリコールジメチルエーテルの代わりに表3に記載の溶媒を使用して表3記載の固形分濃度に合わせた他は、実施例11と同様にして樹脂組成物を調製した。
組成物の各成分の種類および量を表3に記載の通りとし、スピンコーターの代わりに、スリットダイコーターを用いて塗布した以外は、実施例11と同様に樹脂組成物を調整し、保護膜を形成し、評価した。結果を表3に示した。
C−1:トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート
S−1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
S−2:ジエチレングリコールジメチルエーテル
S−3:ジエチレングリコールエチルメチルエーテル
S−4:エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート
Claims (8)
- (A)カルボン酸のアセタールエステル構造およびカルボン酸のケタールエステル構造からなる群から選ばれる少なくとも一種の構造ならびにエポキシ構造を有し且つゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定したポリスチレン換算重量平均分子量が2,000以上である高分子量体、ならびに(B)分子内に2個以上のエポキシ構造を有する化合物(ただし前記(A)成分を除く。)を含有する樹脂組成物。
- (C)感放射線性酸発生剤をさらに含有する請求項1に記載の樹脂組成物。
- (D)感熱性酸発生剤をさらに含有する請求項1に記載の樹脂組成物。
- 樹脂組成物がカラーフィルタの保護膜形成用である請求項2に記載の樹脂組成物。
- 樹脂組成物がカラーフィルタの保護膜形成用である請求項1または3に記載の樹脂組成物。
- 請求項4に記載の樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程および該塗膜に放射線を照射する工程を含むことを特徴とする、カラーフィルタの保護膜の形成方法。
- 請求項5に記載の樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程および該塗膜を加熱する工程を含むことを特徴とする、カラーフィルタの保護膜の形成方法。
- 請求項4または5に記載の樹脂組成物から形成された、カラーフィルタの保護膜。
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