JP3825504B2 - 集積回路チップ用トレー - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、集積回路チップを収容するトレーに関する。
【0002】
【従来の技術】
近時、完成した集積回路チップ(ICチップ)の売買のような取り引きに起因する受渡しが多く行われている。そのような受渡しに供されるICチップの電気的特性試験は、提供者または販売者の側で行われるのみならず、また使用者または購入者の側においても行われる。電気的特性試験は、一般に、ICチップをプローバ(特に、そのチャックトップ)にセットし、プローブカード、プローブボード等の検査ヘッドに対するICチップのプリアライメントをし、次いでファインアライメントをした後に、行われる。
【0003】
この種の集積回路チップの運搬に用いるトレーの1つとして、箱状の容器本体の直方体状の内部空間すなわち内側空間を格子状に組み合わされた複数の仕切り板により複数の収納空間に区画し、各収納空間にICチップを収納するものがある。
【0004】
ICチップの大きさは、一般に、高精度に維持されているが、ICチップと各収納空間との間に遊びを設けないと、収納空間に対するICチップの出し入れが面倒になる。このことから、ICチップ用トレーにおいては、収納空間の面積をICチップより大きくせざるを得ない。しかし、そのようにすると、収納空間内におけるICチップの位置がICチップ毎に異なってしまう。
【0005】
このため、従来のトレーでは、電気的特性試験をするときに、運搬用トレーとプローバとの間でICチップの移し換えをしなければならない。また、たとえ、ICチップの移し換えをしたとしても、ICチップが正しい位置に配置されるとは限らないから、上記したようにプリアライメントをし、次いでファインアライメントをした後に、電気的特性試験をしなければならない。
【0006】
ICチップの移し換えを省略すべく、ICチップを収納しているトレーをプローバのチャックトップに設置すると、トレーに対するICチップの位置が一定でないから、たとえトレーをチャックトップに正しく装着しても、ICチップが検査用ヘッドに対し許容値以上にずれていることが多く、したがって上記したようにプリアライメントをし、次いでファインアライメントをした後に、電気的特性試験をしなければならない。
【0007】
【解決しようとする課題】
本発明の目的は、ICチップの移し換えをなくし、ICチップを正しい位置に容易に位置決めることができるようにすることにある。
【0008】
【解決手段、作用、効果】
本発明の集積回路チップ用トレーは、上方に開口する内側空間を有する箱状の容器本体と、内側空間内に第1の方向へ間隔をおいて配置された細長い複数の第1の仕切り板と、内側空間内に第1の方向と直角の第2の方向へ間隔をおいて配置された細長い複数の第2の仕切り板とを含む。第1および第2の仕切り板は、共同して内側空間を複数の収納空間に区画するように組み合わされている。各第1の仕切り板および各第2の仕切り板は、それぞれ、第2の仕切り板および第1の仕切り板の長手方向へ移動可能である。
【0009】
集積回路チップは、トレーの収納空間に収納される。集積回路チップをトレーの各収納空間に収納した状態で、第1の仕切り板同士および第2の仕切り板同士が接近するように、第1および第2の仕切り板をそれぞれ第2および第1の仕切り板の長手方向へ移動させると、各集積回路チップは、第1および第2の仕切り板により第1および第2の仕切り板の長手方向へ移動されて、隣り合う第1の仕切り板および隣り合う第2の仕切り板に挟まれる。
【0010】
これにより、各集積回路チップがトレーに対して位置決められる。このため、集積回路チップを収納しているトレーをプローバに正しく装着した状態で、第1および第2の仕切り板をそれぞれ第2および第1の仕切り板の長手方向へ移動させるだけで、各集積回路チップをトレーおよびプローバに対して位置決めることができる。
【0011】
本発明によれば、第1および第2の仕切り板をそれぞれ第2および第1の仕切り板の長手方向へ移動可能に容器本体内に配置したから、集積回路チップの移し換えをすることなく、集積回路チップを正しい位置に容易に位置決めることができる。
【0012】
容器本体は、さらに、内側空間の側と前記内側空間の開放端の側とに開口する1以上の切欠部を四角形の隣り合う2つの辺に対応する部位に有することができる。このようにすれば、工具の一部を切欠部に差し込み、その状態で工具を所定の方向へ移動させることにより、第1および第2の仕切り板を移動させることができるから、第1および第2の仕切り板の移動が容易になる。
【0013】
さらに、90度の角度でL字状に組み合わされた一対の基準板を含み、第1および第2の仕切り板をそれぞれ一方および他方の基準板に移動可能に結合させることができる。このようにすれば、第1および第2の仕切り板を基準板の側へ移動させることにより、集積回路チップがトレーおよびプローバに対して位置決められるから、容器本体の内面が高精度に仕上げられていなくても、集積回路チップは高精度で位置決められる。
【0014】
第1および第2の仕切り板のそれぞれを楔状の断面形状とし、また小さい厚さ寸法の側を下側とすることができる。このようにすれば、集積回路チップにバリが存在していても、トレーおよびプローバに対する集積回路チップの位置決めをすることができる。
【0015】
容器本体は、それぞれが隣り合う第1の仕切り板および隣り合う第2の仕切り板を接近させたときに形成される収納空間に連通する複数の貫通穴を底部に有することができる。このようにすれば、試験時、集積回路チップを真空吸着により、トレーおよびプローバに対し移動不能に維持することができる。
【0016】
さらに、内側空間の底に配置された網状部材と、該網状部材の上に配置されたシート状部材であって粘着剤を上面に有するシート状部材とを含み、容器本体はその内部内側空間に連通する1以上の貫通穴を底部に有することができる。このようにすれば、集積回路チップがシート状部材に粘着されるから、運搬時に各集積回路チップがトレーに対して移動しない。しかし、内側空間の底とシート状部材との間の空気を前記貫通穴から吸引すると、シート状部材が編目の部分で湾曲し、集積回路チップとシートとの粘着面積が少なくなる。したがって、その状態で、仕切り板を移動させることができるから、集積回路チップをトレーおよびプローバに対して容易に位置決めることができる。
【0017】
容器本体は、該容器本体が同種の他の容器本体に重ねられたとき、他の容器本体の内側空間に嵌合される凸部を底部に有することができる。このようにすれば、重ねられた複数のトレーが水平方向へ相対的に移動しないから、トレーの運搬が容易になる。
【0018】
好ましい実施例においては、第1および第2の仕切り板は、その長手方向に伸びる凹所において互いに係合する。また、容器本体の内部内側空間は、直方体の形状を有する。
【0019】
【発明の実施の形態】
図1〜図6を参照するに、トレー10は、四角形の形状を有する複数のICチップすなわち集積回路チップ12の収納に用いられる。
【0020】
トレー10は、上方に開口する直方体状の内部空間すなわち内側空間を有する箱状の容器本体14と、該容器本体の内側空間内に第1の方向へ間隔をおいて配置された細長い複数の第1の仕切り板16と、容器本体14の内部内側空間内に第1の方向と直角の第2の方向へ間隔をおいて配置された細長い複数の第2の仕切り板18と、90度の角度でL字状に組み合わされた一対の基準板20,22とを含む。
【0021】
容器本体14の内部空間は、四角形の平面形状を有する。容器本体14の内部空間の底面は、平坦面である。容器本体14は、容器本体14の上方と内側空間とに開口しかつ内側空間の底に達する一対の切欠部すなわち溝24を四角形の隣り合う2つの辺に対応する部位のそれぞれに有する。
【0022】
図4に示すように、各第1の仕切り板16および各第2の仕切り板18は、それぞれ、突出部26および28を一端に有しており、また長手方向に一定の間隔L1 およびL2 をおいて形成された複数の凹所30および32を有する。第1の仕切り板16の各凹所30は長方形の穴であり、第2の仕切り板18の各凹所32は下方に開口するコ字状すなわち長方形の切欠部である。凹所30および32の長さ寸法は、それぞれ、突出部26および28の側の凹所ほど小さい。
【0023】
凹所30および32は、それぞれ、第2および第1の仕切り板18および16の部位のうち、凹所32および30に対応する部位を移動可能に受け入れている。これにより、第1および第2の仕切り板16,18は、相対的移動可能に格子状に組み合わされている。
【0024】
各第1の仕切り板16は、図4において破線34より上の部材16aを製作するとともに、凹所30に対応する箇所に下方に開口する長方形の切欠部を有する下の部材16bを製作し、下の部材16bと第2の仕切り板18とを上記のように格子状に組み合わせた後、上の部材16aを下の部材16bの上に固定することにより、形成することができる。しかし、各凹所30を上方へ開口する長方形の切欠部としてもよい。
【0025】
基準板20,22は、両者が90度の角度を維持するように相対的変位不能に結合されている。基準板20および22も、それぞれ、第1および第2の仕切り板16の凹所30および32に対応する凹所36および38(図3、図5および図6参照)を有する。凹所36および38の長さ寸法も、L字形の角部の側の凹所ほど小さい。
【0026】
基準板20および22は、それぞれ、第1および第2の仕切り板16および18の突出部26および28を凹所36および38に移動可能に受け入れている。第1および第2の仕切り板16および18、ならびに、基準板20および22は、格子状に組み合わされて、基準板20および22が溝24と反対の側となるように容器本体14の内側空間内に配置され、それにより容器本体14の内側空間を複数の収納空間に共同して区画する。
【0027】
第1および第2の仕切り板16および18は、それぞれ、容器本体14の内側空間内に第2および第1の仕切り板18および16の長手方向へ移動可能に配置されている。これに対し、基準板20,22は、容器本体14の内側空間内に移動不能に維持されている
【0028】
溝24に最も近い位置にある第2の仕切り板18は、突出部28からこれと反対の側の端部までの厚さ寸法を上下方向における突出部28の幅寸法に対応する範囲にわたって他の部位の厚さ寸法の2分の1に減じられている。これにより、その仕切り板18は、基準板22から最遠の位置に移動されたとき、容器本体14の内壁面に当接する。しかし、そのような構造にしなくてもよいし、またその第2の仕切り板18の厚さ寸法をその全長さ範囲および全幅範囲にわたって他の第2の仕切り板18の厚さ寸法より小さくしてもよい。
【0029】
容器本体14は、該容器本体が同種の他の容器本体に重ねられたとき、他の容器本体の内側空間に嵌合される凸部40を底部に有する。凸部40の平面形状およびその大きさは、容器本体14の内側空間のそれらと同じである。凸部40には、凹部42が形成されている。凹部42は、下方に開口する長方形の座ぐりである。
【0030】
容器本体14は、さらに、容器本体14の内側空間と凹部42とに連通する吸引用の複数の穴44を底部に有する。各穴44は、第1および第2の仕切り板16および18がそれらにより形成される収納空間に集積回路チップ12を収納した状態で基準板20および22の側へ移動されたときの収納空間を凹部42に連通させる貫通穴である。
【0031】
トレー10において、集積回路チップ12は、図1、図5(A)および図6(A)に示すように、仕切り板16,18を溝24の側へ移動させた状態で、仕切り板16,18により形成される各収納空間に収納される。
【0032】
上記の状態で、溝24に最も近い仕切り板16および18をそれぞれ基準板20および22の側へ移動させると、両仕切り板16,18が集積回路チップ12を介して隣の仕切り板16,18を押すから、他の仕切り板16,18および各集積回路チップ12も基準板20,22の側へ移動される。
【0033】
これにより、図2、図5(B)および図6(B)に示すように、各集積回路チップ12は、基準板20,22とこれの隣の仕切り板16,18または隣り合う仕切り板16,18に挟まれ、トレー10に対して位置決められる。
【0034】
このため、トレー10は、集積回路チップ12を図1、図5(A)および図6(A)に示すように各収納空間に収納した状態で、プローバに装着され、次いで仕切り板16および18をそれぞれ基準板20および22の側へ移動される。これにより、各集積回路チップは、トレーおよびプローバに対して位置決めされる。その後、各集積回路チップの試験が行われる。
【0035】
トレー10を用いるプローバは、図7に示すように、真空式のチャックトップ50と、仕切り板16,18を基準板20,22の側へ移動させる一対の移動機構52(図7は、一方の移動機構のみを示している。)と、試験のための複数のプローブを有する検査用ヘッド54とを備える。
【0036】
チャックトップ50は、トレー10の凸部40を嵌合させる凹部56と、トレー10を真空吸着する1以上の吸引穴58と、集積回路チップ12をトレー10に真空吸着するための1以上の吸引穴60とを有する。吸引穴58は凹部56の外側上面に開口し、吸引穴60は凹部56に開口する。吸引穴58,60は、電磁弁を介してサクションポンプに連通されている。
【0037】
各移動機構52は、ソレノイド機構、シリンダ機構等のプランジャ機構であり、駆動回路により駆動される。移動機構52の可動子の先端は、チャックトップ50に装着されたトレー10の溝24に挿入される工具62とされている。
【0038】
検査用ヘッド54は、プローブカード、プローブボード等と称されている公知のヘッドであり、通電回路、信号処理回路等に電気的に接続されている。
【0039】
トレー10は、その凸部40が凹部56に嵌合されることにより、チャックトップ50に正しく装着され、また凹部56の外側上面の空気が吸引穴58により吸引されることにより、チャックトップ50に吸着されて、チャックトップ50に移動不能に維持される。
【0040】
上記の状態で、先ず各移動機構52の工具62がトレー10の溝24に差し込まれ、次いで各移動機構52の可動子が突出される。これにより、工具62が溝24に最も近い仕切り板16,18を押すから、各仕切り板および各集積回路チップは基準板の側へ移動され、各集積回路チップはプローバによる試験のための正しい位置へ移動される。その結果、仕切り板を容易に移動させることができ、集積回路チップを正しい位置へ容易に移動させることができる。
【0041】
次いで、凹部56内の空気が吸引穴60を介して吸引されることにより、各集積回路チップ12がトレー10に真空吸着され、その状態で各集積回路チップ12の試験が検査用ヘッド54を用いて行われる。各集積回路チップ12がトレー10に真空吸着された状態においては、各集積回路チップ12がトレー10に対して移動不能に維持されるから、各移動機構52の作動を中止してもよい。
【0042】
上記のように、トレー10によれば、集積回路の移し換えをすることなく、集積回路チップを正しい位置に容易に位置決めることができる。また、上側の容器本体の凸部を下側の容器本体の内側空間に嵌合させた状態に同種の複数のトレーを重ねて運搬することができ、そのとき重ねられた複数のトレーが水平方向へ相対的に移動せず、トレーの運搬が容易になる。さらに、溝24に最も近い仕切り板と溝側の容器本体内壁との間に詰め物をすることにより、各集積回路チップを隣り合う仕切り板で移動不能に把持することができ、トレーの運搬がより容易になる。
【0043】
図8(A)および(B)に示すトレー70は、前記した実施例における凹部42と貫通穴44とを設ける代わりに、糸のように細いで線材で大きい編目に編成された目の粗い網状部材72を容器本体14の内側空間の底に配置し、粘着剤を上面に有するシート状部材74を網状部材72の上に配置し、容器本体14の内側空間と底部の下方とを連通させる吸引用の貫通穴76を底部に形成している。仕切り板16,18と基準板20,22(実際には、20は図面に現れないため、図示しない)とは、シート状部材74の上に移動可能に配置される。
【0044】
トレー70は、先ず、図8(A)に示すように、各集積回路チップ12を収納空間に収納した状態で、運搬され、プローバのチャックトップに装着される。この際、各集積回路チップ12がシート状部材74に粘着されているから、各集積回路チップ12および各仕切り板16,18がトレー70内で移動するおそれがなく、トレーの運搬および着脱が容易である。
【0045】
次いで、各容器本体14内の空気が吸引穴76を介して吸引される。これにより、シート状部材74の多くの部位が網状部材72の編目内に引き込まれるようにシート状部材が変形されるから、各集積回路チップ12の大部分がシート状部材74から離され、各集積回路チップおよび各仕切り板が収納空間内で移動可能になる。
【0046】
次いで、上記のように各集積回路チップおよび各仕切り板を移動可能に維持した状態で、図8(B)に示すように、各仕切り板および各集積回路チップが基準板の側へ移動される。これにより、各仕切り板および各集積回路チップを容易に移動させることができ、それによりトレーおよびプローバに対する集積回路チップ12の位置決めをすることができる。
【0047】
その後、上記の状態で、各集積回路チップ12についての試験が行われる。なお、図8(B)では、シート状部材74をこれが網状部材72の編目内に引き込まれた状態に示していない。
【0048】
上記の実施例は、いずれも、基準板20,22がトレー10に対する各集積回路チップ12の基準位置として作用するから、容器本体の内面が高精度に仕上げられていなくても、各集積回路チップは正しく位置決められる。しかし、、容器本体の対応する2つ内面を高精度に仕上げることにより、図9および図10(A),(B)に示す実施例のように基準板を設けなくてもよい。
【0049】
また、図11に示すように、集積回路チップ12は、一般に、切断によるバリ80を有することから、各仕切り板16,18および各基準板(図示せず)を楔状の断面形状とし、また小さい厚さ寸法の側を下側とすることが好ましい。このようにすれば、集積回路チップ12にバリ80が存在していても、トレーおよびプローバに対する集積回路チップの位置決めが正確に行われる。なお、基準板を設けない場合は、図9に示すように、容器本体14の対応する2つの内壁面の下端縁に切欠部82を形成すればよい。
【0050】
さらに、仕切り板および基準板により区画された各収納空間が正方形の平面形状を有するものとして示しているが、各収納空間の平面形状は、凹所30,32の長さ寸法、凹所30,32の配置ピッチ等を変更することにより、適宜な長方形とすることができる。しかし、各収納空間の平面形状およびその大きさは、収納すべき集積回路チップの平面形状およびその大きさにより決定される。
【0051】
図12は、複数のトレー10を上下方向に重ねた状態を示す。各トレーの容器本体14は、上側の容器本体の凸部40の底を受ける複数の受け部材90を内側空間内に有する。各受け部材90は、細長い板の形状をしており、また容器本体に固定されている。各トレー10は、上側の容器本体の凸部40を下側の容器本体の内側空間に分離可能に上側から嵌合させた状態に重ねられる。これにより、重ねられた複数のトレーが水平方向へ相対的に移動しないから、トレーの運搬が容易になる。
【0052】
受け部90は、上側の容器本体の凸部40の底を受ける機能のみならず、補強部材としても機能する。図12では、図5および図6における凹部44および貫通穴44を省略しているが、これら凹部44および貫通穴44は、設けてもよいし、設けなくてもよい。また、受け部材90は、必ずしも必要ではない。
【0053】
本発明は、上記実施例に限定されない。たとえば、凹所30,32,36,38は、切欠部、開口および長穴のいずれであってもよい。また、容器本体14、仕切り板16,18、基準板26,28および受け部90は、金属および合成樹脂のいずれにより形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のトレーの一実施例を示す平面図である。
【図2】図1に示すトレーにおいて、各仕切り板および各集積回路チップを基準板の側へ移動させた状態を示す平面図である。
【図3】図1および図2に示すトレーにおける仕切り板および基準板を格子状に組み合わせた状態の一実施例を示す斜視図である。
【図4】図1および図2に示すトレーで用いる仕切り板の一実施例を示す正面図であって、(A)は第1の仕切り板を示す図であり、(B)は第2の仕切り板を示す図である。
【図5】図1および図2に示すトレーの縦断面図であって、(A)は図1の5A−5A線に沿って得た断面図であり、(B)は図2の5B−5B線に沿って得た断面図である。
【図6】図1および図2に示すトレーの縦断面図であって、(A)は図1の6A−6A線に沿って得た断面図であり、(B)は図2の6B−6B線に沿って得た断面図である。
【図7】図1および図2に示すトレーをテスタのチャックトップに装着した状態を示す断面図であって、(A)は仕切り板を移動させる前の状態を示す図であり、(B)は仕切り板を移動させた後の状態を示す図であり、(C)は試験開始時の状態を示す図である。
【図8】本発明のトレーの他の実施例を示す縦断面図であって、(A)は仕切り板を移動させる前の状態を示す図であり、(B)は仕切り板を移動させた後の状態を示す図である。
【図9】本発明のトレーで用いる仕切り板の組み合わせ状態の他の実施例を示す斜視図である。
【図10】仕切り板を図9に示す状態に組み合わせたトレーの縦断面図であって、(A)は仕切り板を移動させる前の状態を示す図であり、(B)は仕切り板を移動させた後の状態を示す図である。
【図11】仕切り板の断面形状の他の実施例を示す図である。
【図12】複数のトレーを重ねた状態の一実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
10,70 トレー
12 集積回路チップ
14 容器本体
16,18 仕切り板
20,22 基準板
24 溝
26,28 仕切り板の突出部
30,32 仕切り板の凹所
36,38 基準板の凹所
40 容器本体の凸部
44,76 容器本体の貫通穴
72 網状部材
74 シート状部材
Claims (7)
- 上方に開口する内側空間を有する箱状の容器本体と、前記内側空間内に第1の方向へ間隔をおいて配置された細長い複数の第1の仕切り板と、前記内側空間内に前記第1の方向と直角の第2の方向へ間隔をおいて配置された細長い複数の第2の仕切り板とを含み、前記第1および第2の仕切り板は共同して前記内側空間を複数の収納空間に区画すべく組み合わされており、各第1の仕切り板および各第2の仕切り板はそれぞれ第2の仕切り板および第1の仕切り板の長手方向へ移動可能である、集積回路チップ用トレー。
- 前記容器本体は、さらに、前記内側空間の側と前記内側空間の開放端の側とに開口する1以上の切欠部を四角形の隣り合う2つの辺に対応する部位に有する、請求項1に記載のトレー。
- さらに、90度の角度でL字状に組み合わされた一対の基準板を含み、前記第1および第2の仕切り板はそれぞれ一方および他方の基準板に結合されている、請求項1または2に記載のトレー。
- 前記第1および第2の仕切り板のそれぞれは、楔状の断面形状を有しており、また小さい厚さ寸法の側を下側としている、請求項1,2または3に記載のトレー。
- 前記容器本体は、それぞれが隣り合う第1の仕切り板および隣り合う第2の仕切り板を接近させたときの前記収納空間に連通する複数の貫通穴を底部に有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載のトレー。
- さらに、前記内側空間の底に配置された網状部材と、該網状部材の上に配置されたシート状部材であって粘着剤を上面に有するシート状部材とを含み、前記容器本体は前記内側空間に連通する1以上の貫通穴を底部に有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載のトレー。
- 前記容器本体は、該容器本体が同種の他の容器本体に重ねられたとき、前記他の容器本体の内側空間に嵌合される凸部を底部に有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載のトレー。
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1996
- 1996-07-12 JP JP20105396A patent/JP3825504B2/ja not_active Expired - Fee Related
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