JP3811945B2 - ダイシングマシン - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はダイシングマシンに係り、特に半導体ウェーハ等のワークを切削加工するダイシングマシンに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のダイシングマシン10を図3に示す。ダイシングマシン10は主に筐体12,加工部90,顕微鏡16、操作部18、モニタ部20等から構成されている。筐体12には加工部90と顕微鏡16が設けられ、顕微鏡16で加工部90内のワークWを撮像する。顕微鏡16は下部に対物レンズが設けられ、ワークWの上面の画像を取り込んで電気信号に変換するCCDカメラ等とから構成されている。モニタ部20では、顕微鏡16により撮像されたワークWが映し出される。撮像されたワークWの様子をモニタ部20にて確認しながら操作部18を操作し、後述するワークWのアライメント等を行う。また、加工されたワークWの加工品質等をモニタ部20で確認することもできる。
【0003】
従来のダイシングマシンの加工部90詳細図を図4に示す。加工部90は上部にワークWが載置されたワークテーブル80,回転刃82,高周波モータ内蔵型のスピンドル84等から構成されている。
【0004】
ワークテーブル80上に載置されたワークWを切削加工する回転刃82がスピンドル84の先端に取り付けられている。スピンドル84近傍には図示しない顕微鏡が設けられ、ワークWを撮像可能である。
【0005】
切削加工時は顕微鏡で撮像した画像から、作業者がワークWの所定切削ライン(ストリート)86まで正確に回転刃82を誘導し切削加工を開始する。高速回転する回転刃82によりワークテーブル80の切削(X方向)送り、及び回転刃82のインデックス(Y方向)送りによって、ワークWのX方向ストリート86全てを切削加工する(CH1切削)。次いでワークWはワークテーブル80によって回転され、同様に、切削(X方向)送り、及びインデックス(Y方向)送りによって、ワークWのY方向ストリート88全てを切削加工する(CH2切削)。
【0006】
上述した従来技術に付加して、ワークWを大きめのワークテーブル80上に複数載置して切削加工するダイシングマシンも知られている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
前述したようなワークWをワークテーブル80上に複数載置したダイシングマシンでは、個々のワークWに対して所定切削ラインを顕微鏡にて撮像し、回転刃82にて切削加工する。したがって、位置検出と切削加工を個々のワークWごとに繰り返して行うために作業効率が悪く、操作が煩雑となる。また、個々のワークWが隣接して載置されており、切削加工の開始時や終了時に隣接した別のワークWまで回転刃82が接近するため、場合によっては別のワークWに回転刃が干渉してワークWを破損させてしまう欠点があった。
【0008】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、複数載置されたワークを一度の動作で切削加工可能にアライメントすることで作業性を大幅に向上し、操作も煩雑とならず、また、ワークを破損させることも無いダイシングマシンを得ることを目的とする。
【0009】
【課題を解決する為の手段】
請求項1記載の発明は、前記目的を達成するために、回転刃によりワークを切削加工するダイシングマシンにおいて、前記ワークが切削可能に載置され、回転自在に設けられたワークテーブルと、前記ワークテーブルが少なくとも2つ以上載置され、回転自在に設けられたθテーブルと、前記ワークテーブル及び前記θテーブル夫々の回転方向位置を記憶する記憶手段と、前記ワークテーブルにより前記ワーク各々の所定切削ラインを平行となるようにアライメントすると共に、前記θテーブルにより前記ワーク各々の前記所定切削ラインを、前記回転刃の切削方向の同一直線上にアライメントする制御手段とを有し、前記制御手段でアライメントした前記複数のワークの所定切削ラインを、前記回転刃による一度の動作で切削加工することを特徴とする
【0012】
また、請求項2記載の発明は、請求項1に記載のダイシングマシンにおいて、前記θテーブルには前記ワークテーブルが4個載置され、前記4個の内の2個のワークテーブルの回転と、前記θテーブルの回転とによって、当該2個のワークテーブルに載置された夫々のワークの所定切削ラインを前記回転刃の切削方向の同一直線上にアライメントすると共に、その時の各回転テーブルの回転方向位置を前記記憶手段にて記憶し、次に、前記2個のワークテーブルの組み合わせを順次変更して同様のアライメントをすると共に、その時の各回転テーブルの回転方向位置を前記記憶手段にて記憶し、前記記憶手段にて記憶された各組み合わせにおける各回転テーブルの回転方向位置を用いて、前記ワークを順次2個ずつアライメントする制御手段を有し、前記制御手段でアライメントされた複数のワークを2個ずつ同時に切削加工することを特徴とする。
【0013】
本発明によれば、ワークを載置するワークテーブルをθテーブルに4個設け、ワークテーブル及びθテーブルによりワーク各々の所定切削ラインをアライメントすることで、回転刃による一度の動作で各ワークの切削加工が可能となり、また、ワークの破損も防止できる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明に係るダイシングマシンの好ましい実施形態について説明する。なお、加工部90を除いて本発明に係るダイシングマシンの外観は図3と同様であるため、その説明は省略する。
【0015】
図1には本発明に係るダイシングマシン10の加工部14内部の構成を示す。
【0016】
加工部14内部はYガイドベース22、Yテーブル24、Zテーブル25、スピンドル26、回転刃50,ワークテーブル28,28…、θテーブル30、更にθテーブル30が搭載されるXテーブル32等が設けられている。
【0017】
ダイシングマシン10本体側にはYガイドベース22が設けられている。Yガイドベース22の側面には、ガイド40,40でガイドされ、図1のY方向に駆動されるYテーブル24が設けられている。また、Yテーブル24にはガイド42,42でガイドされ、図1のZ方向に昇降されるZテーブル25が設けられている。なお、Yテーブル24及びZテーブル25双方の駆動は、Yガイドベース22及びYテーブル24内に収納された図示しないステッピングモータ及びボールスクリューによって行われる。
【0018】
Zテーブル25には高周波モータ内蔵型のスピンドル26が固定されている。また、スピンドル26には回転刃50が高速回転駆動可能に取り付けられている。なお、図1は回転刃50を取り外した状態を示す。
【0019】
スピンドル26下方にはワークWを吸着保持するワークテーブル28,28…が設けられ、θテーブル30上に回転自在に配置されている。本実施の形態では4枚のワークテーブル28,28…がθテーブル30回転中心周りに等間隔で配置されている。θテーブル30はXテーブル32上に搭載され、θ方向へ回転自在に配置されている。更に、Xテーブル32は、ダイシングマシン10本体側に設けられたガイド44でガイドされ、図示しないリニアモータによって図1のX方向に進退可能に駆動される。
【0020】
加工部14の構造は以上のようになっているので、回転刃50はYテーブル24によりY方向にインデックス送りされると共に、Xテーブル32によりX方向に切削送りされる。
【0021】
なお、加工済みのワークWをスピン洗浄する洗浄部と、多数枚のワークWを収納したカセットを載置するロードポート等が必要に応じて加工部14に近接して設けられている。これら図は省略する。
【0022】
次に、図2を用いて回転刃50周辺の構成について説明する。同図に示すように、スピンドル26の先端に取り付けられた回転刃50は前面と下部に開口部を有するフランジカバー58で覆われている。フランジカバー58には切削水ノズル48と冷却水ノズル52、52とが設けられている。切削水ノズル48は切削水供給管54とフランジカバー58内で連通し、切削水ノズル48から切削水が回転刃50の先端に射出される。また、冷却水ノズル52、52は回転刃50の手前側と奥側(スピンドル26側)とで回転刃50を挟み込むように配置され、冷却水供給管56とフランジカバー58内で連通し、冷却水ノズル52、52から冷却水が回転刃50両側面に射出される。
【0023】
ワークテーブル28,28…上面には図示しない吸引装置が設けられており、ワークテーブル28上に載置されたワークW1,W2,W3,W4(以下:W1〜W4)を吸引することでワークW1〜W4をワークテーブル28,28…に吸着保持させる。
【0024】
また、ワークテーブル28,28…及びθテーブル30内部には回転方向位置を検出する図示しないロータリーエンコーダ等が設けられると共に、この検出結果を記憶する図示しない記憶手段が設けられている。この記憶手段としては、RAM等の半導体メモリが用いられる。
【0025】
前記の如く構成された加工部14の切削加工工程を、図1及び図2を用いて示す。
【0026】
ワークWを収納しているロードポート(図示せず)から、ワークW1〜W4がワークテーブル28,28…に載置された後、ガイド44でガイドされてXテーブル32によって加工部14に搬送される。ワークテーブル28,28…上面の吸引装置によりワークW1〜W4は吸着保持される。
【0027】
まず、切削加工に先立ちワークテーブル28,28…及びθテーブル30によってワークW1〜W4のアライメントを行う。顕微鏡16によってワークW1〜W4上のX方向ストリート60及びY方向ストリート62が撮像され、作業者によりモニタ部20で確認しながら操作部18を操作(図3参照)して以下の様にアライメントを行う。
【0028】
すなわち、ワークテーブル28,28…を回転させてワークW1,W2のX方向ストリート60が平行となるようにワークW1,W2の所定切削ラインをアライメントした後、θテーブル30を回転させてワークW1,W2のX方向ストリート60が回転刃50の切削送り方向(X方向)の同一直線上になるようにワークW1,W2の所定切削ラインを回転させる。この時、ワークW1,W2の切削ラインはX方向からずれるため、ワークテーブル28,28…を再度回転して修正する。これによりワークW1,W2上の全てのX方向ストリート60が回転刃50の切削送り方向(X方向)に対して平行にアライメントされる。なお、図示しないロータリーエンコーダ等により各テーブルの回転方向位置が検出され、図示しない記憶手段によりアライメントされた各テーブルの回転方向位置が記憶される(記憶1)。
【0029】
次にワークテーブル28,28…を回転させてワークW3,W4のX方向ストリート60が平行となるようにワークW3,W4の所定切削ラインをアライメントした後、θテーブル30を回転させてワークW3,W4のX方向ストリート60が回転刃50の切削送り方向(X方向)の同一直線上になるようにワークW3,W4の所定切削ラインを回転させる。この時もワークW3,W4の切削ラインはX方向からずれるため、ワークテーブル28,28…を再度回転して修正する。これによりワークW3,W4上の全てのX方向ストリート60が回転刃50の切削送り方向(X方向)に対して平行にアライメントされる。なお、これらアライメントによる各テーブルの回転方向位置も記憶手段により記憶される(記憶2)。
【0030】
更にθテーブル30を図2の反時計方向に回転させてワークW1〜W4のY方向ストリート62を略切削送り方向(X方向)に向けた後、記憶1と同様にワークテーブル28,28…を回転させてワークW2,W3のY方向ストリート62が平行となるようにワークW2,W3の所定切削ラインをアライメントさせ、θテーブル30を回転させてワークW2,W3のY方向ストリート62が回転刃50の切削送り方向(X方向)の同一直線上になるようにワークW2,W3の所定切削ラインを回転させる。この時もワークテーブル28,28…を再度回転してワークW2,W3の切削ラインとX方向のずれを修正する。これによりワークW2,W3上の全てのY方向ストリート62が回転刃50の切削送り方向(X方向)に対して平行にアライメントされる。これらアライメントによる各テーブルの回転方向位置も記憶手段により記憶される(記憶3)。
【0031】
更に、同様にしてワークW1,W4にもアライメントを行い、ワークW1,W4上の全てのY方向ストリート62を回転刃50の切削送り方向(X方向)の同一直線上になるように回転させてアライメントする。この時のアライメントによる各テーブルの回転方向位置も記憶手段により記憶させる(記憶4)。
【0032】
上述したようにワークW1〜W4全てをアライメントし、記憶手段に回転方向位置を記憶させた後、作業者によって所定切削ラインまで回転刃50を誘導し、CH1切削を開始する。
【0033】
CH1切削はワークW1〜W4のX方向ストリート60に対して行われる切削加工である。
【0034】
ワークテーブル28,28…及びθテーブル30を記憶1にて記憶させた回転方向位置までアライメントする。次に、矢印Aで示すXテーブル32の切削(X方向)送りでワークW1,W2のX方向ストリート60を切削加工する。この際、ワークW1,W2上のX方向ストリート60は同一直線上にアライメントされていることから、ワークW1の切削加工を行った後、ワークW2も引き続き切削加工が可能であり、一度の切削送り動作でワークW1,W2双方のX方向ストリート60を切削加工することができる(図2、太点線)。
【0035】
ワークW1,W2双方のX方向ストリート60に最初の切削加工を行った後、Zテーブル25をストリート1ピッチ分だけY方向に移動して(図1参照)次のX方向ストリート60を切削加工する。なお、Zテーブル25がZ方向に昇降可能であり、Yテーブル24のY方向移動時、回転刃50とワークWへの干渉を防いでいる。
【0036】
上述した作業を繰り返して行うことでワークW1,W2双方のX方向ストリート60全てに対して切削加工を行う(CH1−1切削)。
【0037】
次にワークW3,W4のX方向ストリート60を切削加工する。CH1−1切削後、ワークテーブル28,28…及びθテーブル30を記憶2にて記憶させた回転方向位置までアライメントする。次にCH1−1切削時と同様、矢印Aで示すXテーブル32の切削(X方向)送りによりワークW3,W4のX方向ストリート60が切削加工される。この際も、ワークW3,W4上のX方向ストリート60は同一直線上にアライメントされていることからワークW3の切削加工を行った後、ワークW4も引き続き切削加工が可能であり、一度の切削送り動作でワークW3,W4双方のX方向ストリート60を切削加工することができる。ワークW3,W4双方のX方向ストリート60に最初の切削加工を行った後、CH1−1切削時と同様にZテーブル25をストリート1ピッチ分だけY方向に移動し、次のX方向ストリート60の切削加工を行う。これら作業を繰り返してワークW3,W4双方のX方向ストリート60全てに対して切削加工を行う(CH1−2切削)。
【0038】
CH2切削はCH1切削後に行われ、ワークW1〜W4のY方向ストリート62に対して行われる切削加工である。
【0039】
ワークテーブル28,28…及びθテーブル30を記憶3にて記憶させた回転方向位置までアライメントした後、矢印Aで示すXテーブル32の切削(X方向)送りによりワークW3,W4のY方向ストリート62が切削加工される。この際もワークW2,W3上のY方向ストリート62は同一直線上にアライメントされていることから、ワークW2の切削加工を行った後、ワークW3も引き続き切削加工が可能であり、一度の切削送り動作でワークW2,W3双方のY方向ストリート62を切削加工することができる。ワークW2,W3双方のY方向ストリート62に最初の切削加工を行った後、CH1−2切削時と同様にZテーブル25をストリート1ピッチ分だけY方向に移動し、次のY方向ストリート62の切削加工を行う。これら作業を繰り返してワークW2,W3双方の切削加工を行う(CH2−1切削)。
【0040】
更に、ワークテーブル28,28…及びθテーブル30を記憶4にて記憶させた回転方向位置までアライメントした後、ワークW3,W4のY方向ストリート62が切削加工される。この際もワークW1,W4上のY方向ストリート62は同一直線上にアライメントされていることから、ワークW4の切削加工を行った後、ワークW1も引き続き切削加工が可能である。この後、CH2−1切削と同様に他のワークW1,W4上のY方向ストリート62も切削加工を行う(CH2−2切削)。
【0041】
これによりワークW1〜W4は最終的にチップに切削加工されて分割される。
【0042】
分割されたワークW1〜W4はXテーブル32により加工部14から洗浄部まで搬送され、洗浄水により洗浄された後、エアブローにより乾燥される。
【0043】
上述したような切削加工工程によれば、ワークW夫々の所定切削ラインをワークテーブル28,28…にてアライメントを行うと共に、ワークW各々の所定切削ラインをθテーブル30にて回転刃の切削方向にアライメントを行うことで、回転刃50による一度の動作で複数のワークの切削加工が可能となり、隣接したワークWの破損も防止することができる。
【0044】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、上述した本実施形態ではワークテーブル28,28…のアライメントはワークWへの切削加工直前に行ったが、これに限ることなく、回転刃50による切削加工と並行して行っても良い。また、別途、ワークテーブル28,28…夫々にアライメント検出手段と検出結果によるワークテーブル28,28…及びθテーブル30のアライメント制御手段を設け、アライメントを自動で行っても良い。
【0045】
また更に、記憶4による回転方向位置の記憶後、CH1切削を行う際に記憶1のアライメントを実施したが、これに限ることなく記憶4の回転方向位置を維持したままCH2切削から開始しても良い。この場合は作業時間を短縮することができる。
【0046】
また、本実施の形態ではワークテーブル28,28…を用いて4枚のワークWを載置し、一度の動作で2枚のワークWを切削加工する例を示したが、これに限ることなくθテーブル30上にワークテーブル28,28…を更に多く設けても良い。
【0047】
また、CH1切削時及びCH2切削時のθテーブル30の回転角度を別途、任意に設定することで、チップの形状の自由度を増すことが可能である。具体的にはひし形形状のチップや、六角形形状、八角形形状やそれ以外の多角形形状を有したチップを形成することが可能となる。
【0048】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係るダイシングマシンによれば、ワークを載置するワークテーブルをθテーブルに4個設け、ワークテーブル及びθテーブルによりワーク各々の所定切削ラインをアライメントすることで、回転刃による一度の動作で2個のワークの切削加工が可能となり作業性を大幅に向上することができ、操作も煩雑とならず、ワークWを破損させることも無いダイシングマシンを得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係るダイシングマシンの加工部の内部構成を示す斜視図
【図2】本発明の実施形態に係るダイシングマシンの回転刃周辺の構成を示す斜視図
【図3】本発明の実施形態に係るダイシングマシンの外観を示す斜視図(従来のダイシングマシンと同図)
【図4】従来のダイシングマシンの加工部を示す斜視図。
【符号の説明】
10…ダイシングマシン、14…加工部、28…ワークテーブル、30…θテーブル、50…回転刃、W(W1〜W4)…ワーク
Claims (2)
- 回転刃によりワークを切削加工するダイシングマシンにおいて、
前記ワークが切削可能に載置され、回転自在に設けられたワークテーブルと、
前記ワークテーブルが少なくとも2つ以上載置され、回転自在に設けられたθテーブルと、
前記ワークテーブル及び前記θテーブル夫々の回転方向位置を記憶する記憶手段と、
前記ワークテーブルにより前記ワーク各々の所定切削ラインを平行となるようにアライメントすると共に、前記θテーブルにより前記ワーク各々の前記所定切削ラインを、前記回転刃の切削方向の同一直線上にアライメントする制御手段とを有し、
前記制御手段でアライメントした前記複数のワークの所定切削ラインを、前記回転刃による一度の動作で切削加工することを特徴とするダイシングマシン。 - 前記θテーブルには前記ワークテーブルが4個載置され、
前記4個の内の2個のワークテーブルの回転と、前記θテーブルの回転とによって、当該2個のワークテーブルに載置された夫々のワークの所定切削ラインを前記回転刃の切削方向の同一直線上にアライメントすると共に、その時の各回転テーブルの回転方向位置を前記記憶手段にて記憶し、
次に、前記2個のワークテーブルの組み合わせを順次変更して同様のアライメントをすると共に、その時の各回転テーブルの回転方向位置を前記記憶手段にて記憶し、
前記記憶手段にて記憶された各組み合わせにおける各回転テーブルの回転方向位置を用いて、前記ワークを順次2個ずつアライメントする制御手段を有し、前記制御手段でアライメントされた複数のワークを2個ずつ同時に切削加工することを特徴とする請求項1に記載のダイシングマシン。
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