KR100655159B1 - 플래시 메모리의 싱글레이션 장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 패키지의 절단과 챔퍼링을 동시에 실시할 수 있는 플래시 메모리의 싱글레이션 장치 및 그 방법을 개시한다. 본 발명의 싱글레이션 장치는 라우터, 비트와 버큠 테이블로 구성된다. 라우터는 X축, Y축, Z축 리니어모션가이드와 서보 모터에 의하여 X축, Y축, Z축 직선왕복운동과 Z축 회전운동하는 스핀들을 갖추고 있다. 라우터의 스핀들에 비트를 척킹하고, 스핀들을 X축과 Y축 직선운동시켜 버큠 테이블에 놓여 있는 플래시 메모리 스트립으로부터 하나의 플래시 메모리를 얻을 수 있는 싱글레이션 준비 위치에 비트를 정렬한다. 비트가 1차 절삭깊이를 갖도록 스핀들을 하강 및 Z축 회전운동시켜 스트립 패키지에 구멍을 형성하고, 비트가 2차 절삭깊이를 갖도록 스핀들을 하강 및 Z축 회전운동시켜 스트립 패키지의 챔퍼링을 시작한다. 스핀들을 직선운동 및 Z축 회전운동시켜 비트의 절단용 절삭날과 챔퍼링용 절삭날에 의하여 스트립 패키지를 절단 및 챔퍼링한다. 비트가 2차 절삭깊이를 갖도록 스핀들을 상승시키고, 스트립 패키지의 챔퍼링이 시작되는 위치로부터 비트의 궤적이 폐구간을 이루도록 라우터의 Y축과 X축을 따라 스핀들을 직선운동 및 Z축 회전운동시켜 스트립 패키지를 절단한다. 본 발명에 의하면, 피어싱, 절단, 챔퍼링이 가능한 비트에 의하여 패키지를 균일하고 정밀하게 가공할 수 있으며, 패키지의 절단과 챔퍼링을 동시에 실시하여 수율을 크게 향상시킬 수 있다.

Description

플래시 메모리의 싱글레이션 장치 및 그 방법{APPARATUS AND METHOD FOR SINGULATION FLASH MEMORY}
도 1은 본 발명에 따른 싱글레이션 장치에 의하여 얻어지는 플래시 메모리의 구성을 나타낸 저면도,
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도,
도 3은 본 발명에 따른 싱글레이션 장치에 의하여 플래시 메모리로 가공되는 플래시 메모리 스트립의 구성을 나타낸 평면도,
도 4는 본 발명에 따른 싱글레이션 장치에서 라우터의 구성을 나타낸 측면도,
도 5는 본 발명에 따른 싱글레이션 장치에서 플래시 메모리 스트립과 버큠 테이블의 구성을 나타낸 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 싱글레이션 장치에서 비트의 구성을 나타낸 정면도,
도 7은 본 발명에 따른 싱글레이션 장치에서 비트의 궤적을 설명하기 위하여 플래시 메모리 스트립의 구성을 부분적으로 나타낸 평면도,
도 8a 및 도 8b는 본 발명에 따른 싱글레이션 방법을 설명하기 위하여 플래시 메모리 스트립과 비트의 구성을 나타낸 도면들,
도 9는 본 발명에 따른 싱글레이션 방법을 설명하기 위하여 나타낸 흐름도이 다.
♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣
10: 플래시 메모리 14: 패키지
16: 선단 18: 후단
20: 좌측단 22: 우측단
24: 단차 26, 28: 라운드
30: 챔퍼 32: 리드
40: 플래시 메모리 스트립 46: 스트립 패키지
50: 라우터 52: 프레임
60: 스핀들 64: Y축 리니어모션 액츄에이터
66: X축 리니어모션 액츄에이터 68: Z축 리니어모션 액츄에이터
70: 서보 모터 72: 컴퓨터
80: 버큠 테이블 90: 비트
94: 피어싱용 절삭날 96: 절단용 절삭날
98: 챔퍼링용 절삭날
본 발명은 플래시 메모리의 싱글레이션 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 패키지의 절단과 챔퍼링을 동시에 실시할 수 있는 플래시 메모리의 싱글레이션 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
플래시 메모리는 멀티미디어 카드(Multimedia card, MMC), 시큐어 디지털 카드(Secure digital card, SDC) 등 다양한 종류로 개발되어 있으며, 디지털 카메라, 디지털 캠코더, 디지털 카메라, 개인휴대단말기(PDA), 엠피3 플레이어(MP3 player), 게임기 등에 외장형 메모리 카드로 널리 사용되고 있다. 이러한 플래시 메모리의 칩(Chip)은 에폭시몰딩컴파운드(Epoxy molding compound) 등의 패키지(Package)에 의하여 패키징되어 있으며, 패키지의 표면에는 소켓에 접속하기 위한 다수의 리드(Lead)들이 구성되어 있다.
한편, 플래시 메모리의 수율을 향상시키기 위하여 웨이퍼 상태에서 칩의 칩사이즈패키징(Chip size packaging)과 테스트 등에 의하여 칩사이즈패키지(Chip size package, CSP)를 제조한 후, 칩사이즈패키지를 개별적으로 절단하여 분리하는 싱글레이션(Singulation)에 의하여 플래시 메모리를 제조하는 웨이퍼레벨패키징(Wafer level packing) 기술이 개발되어 있다. 이러한 칩사이즈패키지의 싱글레이션은 소잉머신(Sawing machine)의 커팅휠(Cutting wheel) 또는 블레이드(Blade)를 이용하여 실시하고 있다.
그러나 종래기술의 칩사이즈패키지에 대한 싱글레이션에 있어서는, 커팅휠을 이용하여 패키지를 절단하기 때문에 패키지의 절단면이 거칠고, 특히 모서리가 날카롭게 가공되는 단점이 있다. 패키지가 거칠고 날카롭게 가공되어 있는 플래시 메모리를 그대로 사용할 경우, 취급자가 손을 베일 우려가 높으며, 소켓의 터미널을 손상시켜 접속 불량의 원인이 될 뿐만 아니라, 소켓의 수명을 단축시켜 신뢰성을 크게 저하시키는 문제가 있다.
한편, 플래시 메모리와 소켓의 접속을 간편하고 정확하게 실시할 수 있도록 플래시 메모리의 외형, 예를 들어 패키지의 모서리를 직선 형태에서 라운드(Round)로 제조하는 추세에 있다. 패키지의 라운드는 소잉머신의 절단에 의해서는 가공할 수 없기 때문에 레이저나 워터젯(Water-jet)에 의하여 별도로 가공하고 있다. 레이저나 워터젯 가공에 의해서는 균일한 절단면과 라운드를 얻을 수 있으나, 레이저 시스템 및 워터젯 시스템의 설비와 운전에 많은 비용이 소요되는 단점이 있다.
또한, 패키지의 에지(Edge)에 챔퍼(Chamfer)를 형성할 경우, 챔퍼는 레이저나 워터젯 가공과 별도로 챔퍼링머신(Chamfering machine)에 의하여 실시해야 하므로, 플래시 메모리의 제조 공정이 복잡하고 번거로워져 수율이 크게 저하되는 문제가 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 여러 가지 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 패키지를 균일하고 정밀하게 가공할 수 있는 플래시 메모리의 싱글레이션 장치 및 그 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 패키지의 절단과 챔퍼링을 동시에 실시하여 수율을 크게 향상시킬 수 있는 플래시 메모리의 싱글레이션 장치 및 그 방법을 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 플래시 메모리 스트립의 스트립 패키지를 싱글레이션하여 플래시 메모리를 얻기 위한 플래시 메모리의 싱글레이션 방법으로서, X축, Y축, Z축 직선왕복운동 및 Z축 회전운동하는 스핀들과 플래시 메모리 스트립이 놓여지는 테이블을 갖는 라우터를 준비하는 단계와; 스핀들에 그 하단으로부터 상방을 향하여 스트립 패키지의 피어싱용 절삭날, 절단용 절삭날과 챔퍼링용 절삭날이 연속적으로 형성되어 있는 비트를 척킹하는 단계와; 테이블 위에 플래시 메모리 스트립을 고정하는 단계와; 스핀들을 X축과 Y축 직선운동시켜 플래시 메모리 스트립으로부터 하나의 플래시 메모리를 얻을 수 있는 싱글레이션 준비 위치에 비트를 정렬하는 단계와; 비트가 1차 절삭깊이를 갖도록 스핀들을 하강 및 Z축 회전운동시켜 스트립 패키지에 구멍을 형성하는 단계와; 비트가 2차 절삭깊이를 갖도록 스핀들을 하강 및 Z축 회전운동시켜 스트립 패키지의 챔퍼링을 시작하는 단계와; 스핀들을 직선운동 및 Z축 회전운동시켜 비트의 절단용 절삭날과 챔퍼링용 절삭날에 의하여 스트립 패키지를 절단 및 챔퍼링하는 단계로 이루어지는 플래시 메모리의 싱글레이션 방법에 있다.
본 발명의 다른 특징은, 플래시 메모리 스트립의 스트립 패키지를 싱글레이션하여 플래시 메모리를 얻기 위한 플래시 메모리의 싱글레이션 장치로서, 프레임과, 프레임의 상부에 설치되는 X축, Y축, Z축 리니어모션가이드와 서보 모터에 의하여 X축, Y축, Z축 직선왕복운동과 Z축 회전운동할 수 있도록 설치되는 스핀들과, 프레임의 상부에 플래시 메모리 스트립을 놓을 수 있도록 설치되어 있는 테이블을 갖는 라우터와; 테이블의 상면에 설치되며, 플래시 메모리 스트립을 진공흡착하는 버큠 테이블과; 스핀들에 척킹되고, 그 하단으로부터 상방을 향하여 스트립 패키지 의 피어싱용 절삭날, 절단용 절삭날과 챔퍼링용 절삭날이 연속적으로 형성되어 있는 비트로 이루어지는 플래시 메모리의 싱글레이션 장치에 있다.
이하, 본 발명에 따른 플래시 메모리의 싱글레이션 장치 및 그 방법에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면들에 의거하여 상세하게 설명한다.
먼저, 도 1과 도 2에는 본 발명에 따른 플래시 메모리의 일례로 멀티미디어 카드가 도시되어 있다. 도 1과 도 2를 참조하면, 플래시 메모리(10)의 칩(12)은 패키지(14)에 의하여 패키징되어 있으며, 패키지(14)는 선단(16), 후단(18), 좌측단(20)과 우측단(22)을 갖는 대략 사각형으로 구성되어 있다. 패키지(14)의 선단(16)은 플래시 메모리(10)를 잘 알려진 소켓에 접속시키기 위하여 끼우는 접속방향의 선단으로 된다. 플래시 메모리(10)의 오삽입을 방지할 수 있도록 좌측단(20)에 형성되는 단차(24)에 의하여 선단(16)의 폭(W1)은 후단(18)의 폭(W2)보다 좁게 형성되어 있다. 선단(14)의 폭(W1)은 소켓에 끼울 수 있는 크기로 설계되어 있으므로, 후단(18)은 소켓에 끼울 수 없다.
또한, 플래시 메모리(10)와 소켓의 접속을 간편하고 정확하게 실시할 수 있도록 패키지(14)의 선단(16), 좌측단(20)과 우측단(22)이 만나는 모서리에는 라운드(26, 28)가 형성되어 있으며, 선단(16)의 하단에는 챔퍼(30)가 형성되어 있다. 그리고 패키지(14)의 하면에는 소켓의 터미널들에 접속하기 위한 다수의 리드(32)들이 노출되도록 제공되어 있으며, 리드(32)들 각각은 칩(12)에 접속되어 있다.
도 3을 참조하면, 플래시 메모리(10)는 플래시 메모리 스트립(Flash memory strip: 40)으로부터 얻는다. 플래시 메모리 스트립(40)은 다수의 칩(42)들과, 각 칩(42)들에 접속되어 있는 다수의 리드(44)들과, 칩(42)들과 리드(44)들 에폭시몰딩컴파운드 등에 의하여 일체로 몰딩하는 스트립 패키지(46)로 구성되어 있다. 스트립 패키지(46)는 두 단변(46a)들과 두 장변(46b)들을 갖는 사각형으로 형성되어 있다. 플래시 메모리 스트립(40)의 스트립 패키지(46)는 개별적으로 절단하여 분리하는 싱글레이션에 의하여 도 1과 도 2에 도시되어 있는 플래시 메모리(10)로 완성한다. 도 3, 도 5와 도 7에는 플래시 메모리 스트립(40)의 스트립 패키지(46)를 절단하여 플래시 메모리(10)로 가공하기 위한 절단선(48)을 이점쇄선으로 나타냈으며, 하나의 플래시 메모리 스트립(40)으로부터 10개의 플래시 메모리(10)들을 제조할 수 있는 것이 나타냈다.
도 4를 참조하면, 플래시 메모리 스트립(40)의 싱글레이션은 라우터(Router: 50)에 의하여 실시한다. 라우터(50)는 프레임(52)과, 프레임(52)의 상부에 Y축 직선왕복운동할 수 있도록 설치되어 있는 Y축 캐리지(54)와, Y축 캐리지(54)의 전면에 X축 직선왕복운동할 수 있도록 설치되어 있는 X축 캐리지(56)와, X축 캐리지(56)의 전면에 Z축 직선왕복운동할 수 있도록 설치되어 있는 Z축 캐리지(58)와, Z축 캐리지(58)의 전면에 Z축 회전운동할 수 있도록 설치되어 있는 스핀들(60)과, 프레임(52)의 상면에 플래시 메모리 스트립(40)을 로딩 및 언로딩할 수 있도록 설치되어 있는 테이블(62)로 구성되어 있다.
Y축 캐리지(54), X축 캐리지(56)와 Z축 캐리지(58) 각각의 직선왕복운동은 Y축, X축 및 Z축 리니어 모션 액츄에이터(Linear motion actuator; 64, 66, 68)의 작동에 의하여 실시할 수 있다. 리니어 모션 액츄에이터(64, 66, 68)들은 잘 알려 진 바와 같이 구동력을 제공하는 서보 모터(Servo motor)와, 서보 모터의 구동력에 의하여 회전하는 리드 스크루(Lead screw)와, 리드 스크루를 따라 나사운동하며 캐리지(54, 56, 58)들 각각에 고정되는 볼 부시(Ball bush)와, 캐리지(54, 56, 58)들 각각의 직선왕복운동을 가이드하는 리니어 모션 가이드로 구성할 수 있다. 그리고 스핀들(60)의 Z축 회전운동은 서보 모터(70)의 구동에 의하여 실시할 수 있다. 라우터(50)의 리니어 모션 액츄에이터(64, 66, 68)들과 서보 모터(70)는 컴퓨터(72)의 시퀀스제어에 의하여 작동한다. 컴퓨터(72)는 통상적인 모니터(74) 등의 디스플레이와, 키보드, 마우스 등의 입력장치를 구비한다.
또한, 테이블(62)의 상면에는 플래시 메모리 스트립(40)을 고정하기 위한 버큠 테이블(Vacuum table: 80)이 설치되어 있다. 도 5에 도시되어 있는 바와 같이, 버큠 테이블(80)의 상면에는 다수의 흡기구멍(82)들이 형성되어 있고, 흡기구멍(82)들의 주위에는 비트의 궤적에 맞도록 그루브(Groove: 84)가 형성되어 있다. 버큠 테이블(80)은 잘 알려진 진공 펌프나 에어 블로워에 연결되어 있다. 진공 펌프의 작동에 의하여 흡기구멍(82)들을 통하여 공기의 흡입력이 발생되면, 버큠 테이블(80)의 상면에 놓여지는 플래시 메모리 스트립(40)은 견고하게 된다.
도 4와 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 플래시 메모리의 싱글레이션 장치 및 그 방법에는 플래시 메모리 스트립(40)의 절단과 챔퍼링을 동시에 실시할 수 있는 비트(90)가 사용된다. 비트(90)는 라우터(50)의 스핀들(60)에 척킹되는 섕크(Shank: 92)를 갖는다. 섕크(92)의 선단에 플래시 메모리 스트립(40)의 피어싱(Piercing)용 절삭날(94)이 형성되어 있고, 피어싱용 절삭날(94)의 상부에 플래시 메모리 스트립(40)의 절단용 절삭날(96)이 형성되어 있으며, 피어싱용 절삭날(96)의 상부에 플래시 메모리 스트립(40)의 챔퍼링용 절삭날(98)이 형성되어 있다.
지금부터는, 이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 라우터와 비트에 의하여 플래시 메모리 스트립으로부터 플래시 메모리를 절단하는 싱글레이션 장치 및 그 방법을 도 9에 의거하여 설명한다.
도 3, 도 4와 도 6을 함께 참조하면, X축, Y축, Z축 직선왕복운동 및 Z축 회전운동을 할 수 있는 스핀들(60)과 버큠 테이블(80)을 갖는 라우터(50)를 준비하고(S100), 라우터(50)의 스핀들(60)에 비트(90)를 척킹한다(S102). 버큠 테이블(80)의 상면에 플래시 메모리 스트립(40)을 진공흡착에 의하여 고정한다(S104). 플래시 메모리 스트립(40)은 리드(44)들이 상방을 향하고 플래시 메모리(10)의 선단에 상응하는 두 장변(46b)들이 라우터(50)의 X축을 따라 정렬되도록 버큠 테이블(80)에 놓는다. 플래시 메모리 스트립(40)은 버큠 테이블(80) 대신에 고정장치(Fixture)에 의하여 고정할 수도 있으며, 플래시 메모리 스트립(40)의 정렬 방향은 필요에 따라 적절하게 변경할 수 있다.
도 8a를 참조하면, 라우터(50)의 작동에 의하여 스핀들(60)을 X축과 Y축 직선운동시켜 플래시 메모리 스트립(40)으로부터 하나의 플래시 메모리(10)를 얻을 수 있는 싱글레이션 준비 위치에 비트(90)를 정렬한다(S106). 컴퓨터(72)는 X축 리니어 모션 액츄에이터(56)와 Y축 리니어 모션 액츄에이터(54)의 직교좌표운동을 제어하여 비트(90)를 싱글레이션 준비 위치(P1), 즉 설정되어 있는 좌표값에 정렬한다. 본 실시예에 있어서 스트립 패키지(46)의 싱글레이션 준비 위치(P1)는 비트 (90)가 플래시 메모리(10)의 선단(16)에 상응하는 위치의 좌측에 설정되어 있다. 스트립 패키지(46)의 싱글레이션 준비 위치(P1)는 필요에 따라 선단(16)의 우측에 설정하거나 플래시 메모리(10)의 후단(18), 좌측단(20), 우측단(22)에 상응하는 위치에 설정할 수도 있다.
다음으로, 비트(90)가 싱글레이션 준비 위치에 도달하면, 라우터(50)의 작동에 의하여 비트(90)가 1차 절삭깊이(D1)를 갖도록 스핀들(60)을 하강 및 Z축 회전운동시켜 스트립 패키지(46)에 구멍(46c)을 가공한다(S108). 컴퓨터(72)는 Z축 리니어 모션 액츄에이터(58)의 작동을 제어하여 스핀들(60)을 하강시킴과 동시에 서보 모터(70)의 작동을 제어하여 스핀들(60)을 회전시킨다. 1차 절삭깊이(D1)는 비트(90)의 피어싱용 절삭날(94)이 싱글레이션 준비 위치(P1)로부터 스트립 패키지(46)를 관통하여 구멍(46c)의 가공을 완료하는 비트(90)의 행정량이다. 스트립 패키지(46)의 하부로 돌출되는 피어싱용 절삭날(94)은 버큠 테이블(80)의 그루브(84)에 수용된다.
도 8b를 참조하면, 비트(90)의 피어싱용 절삭날(94)에 의하여 스트립 패키지(46)에 구멍(46c)을 가공한 후, 비트(90)가 2차 절삭깊이(D2)를 갖도록 스핀들(60)을 하강 및 Z축 회전운동시켜 스트립 패키지(46)의 챔퍼링을 시작한다(S110). 2차 절삭깊이(D2)는 하강하는 비트(90)의 챔퍼링용 절삭날(98)이 구멍(46c)의 내측으로 진입하면서 구멍(46a)의 상단을 절삭하는 비트(90)의 행정량이다. 스트립 패키지(46)의 구멍(46a)은 챔퍼링 시작 위치(P2)가 되며, 챔퍼링 시작 위치(P2)는 스트립 패키지(46)의 싱글레이션 종료 위치이기도 하다.
계속해서, 비트(90)가 챔퍼링 시작 위치(P2)에 도달하여 챔퍼링을 시작한 후, 라우터(50)의 작동에 의하여 스핀들(60)을 X축을 따라 전후 중 어느 한 방향으로 직선운동 및 Z축 회전운동시켜 비트(90)의 절단용 절삭날(96)과 챔퍼링용 절삭날(98)에 의하여 스트립 패키지(46)를 절단 및 챔퍼링한다(S112). 컴퓨터(72)는 X축 리니어 모션 액츄에이터(62)의 작동을 제어하여 스핀들(60)을 X축의 좌우 중 어느 한 방향, 예를 들어 좌측에서 우측을 향하여 직선운동시킴과 동시에 서보 모터(70)의 작동을 제어하여 스핀들(60)을 Z축 회전운동시킨다. 따라서, 비트(90)의 절단용 절삭날(96)에 의하여 스트립 패키지(46)가 절단되어 플래시 메모리(10)의 선단(16)이 가공되며, 이와 동시에 비트(90)의 챔퍼링용 절삭날(98)에 의하여 선단(16)의 상단에 챔퍼(30)가 가공된다.
도 8a를 다시 참조하면, 스트립 패키지(46)의 챔퍼링이 완료된 후, 비트(90)가 1차 절삭깊이(D1)를 갖도록 라우터(50)의 작동에 의하여 스핀들(60)을 상승시킨다(S114). 컴퓨터(72)는 Z축 리니어 모션 액츄에이터(68)의 작동을 제어하여 하강되어 있던 비트(90)를 상승시킨다. 1차 절삭깊이(D1)가 비트(90)에 부여되면, 스트립 패키지(46)의 챔퍼링 시작 위치(P2)로부터 비트(90)의 궤적이 폐구간을 이루도록 라우터(50)의 작동에 의하여 Y축과 X축을 따라 스핀들(60)을 직선운동 및 Z축 회전운동시켜 스트립 패키지(46)를 절단한다(S116). 컴퓨터(72)는 Y축 리니어 모션 액츄에이터(64)와 X축 리니어 모션 액츄에이터(66)의 작동을 순차적으로 제어하여 Y축의 전방에서 후방, X축의 좌측에서 우측, 다시 Y축의 후방에서 전방으로 스핀들(60)을 직선운동시킨다. 이와 같은 스핀들(60)의 직선운동에 의하여 비트(90)의 절 단용 절삭날(94)은 스트립 패키지(46)를 직선으로 절단하여 플래시 메모리(10)의 우측단(22), 후단(18), 좌측단(20)을 순차적으로 형성한다. 스핀들(60)의 직선운동방향은 버큠 테이블(80)에 놓여지는 플래시 메모리 스트립(40)의 방향에 따라 앞에서 설명한 직선운동방향과 반대로 결정할 수 있다.
한편, 플래시 메모리(10)의 좌측단(20)에 형성되어 있는 단차(24)는 비트(90)의 절단용 절삭날(96)에 의하여 스트립 패키지(46)의 절단할 때 스핀들(60)의 Y축 직선운동, X축 직선운동, Y축 직선운동을 순차적으로 실시하는 것에 의하여 가공할 수 있다. 패키지(14)의 선단(16), 좌측단(20)과 우측단(22)이 만나는 모서리에는 라운드(26, 28)가 형성되어 있다. 라운드(26, 28)는 비트(90)의 절단용 절삭날(96)에 의하여 스트립 패키지(46)의 절단할 때 비트(90)의 궤적이 원호를 이루도록 스핀들(60)의 미세한 X축과 Y축의 직교좌표운동을 교번적으로 행하여 가공할 수 있다.
플래시 메모리 스트립(40)의 싱글레이션이 완료되어 하나의 플래시 메모리(10)가 얻어지면, 라우터(50)의 작동에 의하여 비트(90)를 상승시켜 싱글레이션 준비 위치(P1)로 복귀시키고(S118), 앞에서 설명한 싱글레이션 공정을 반복하여 플래시 메모리 스트립(40)으로부터 나머지 플래시 메모리(10)를 가공한다(S120). 모든 플래시 메모리(10)의 가공이 완료되면, 비트(90)를 상승시켜 싱글레이션 준비 위치(P1)로 복귀시킨 상태에서 버큠 테이블(80)의 진공흡착력을 해제하고(S122), 버큠 테이블(80)로부터 플래시 메모리(10)를 분리한다(S124).
이상에서 설명된 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하 고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 플래시 메모리의 싱글레이션 장치 및 그 방법에 의하면, 피어싱, 절단, 챔퍼링이 가능한 비트에 의하여 패키지를 균일하고 정밀하게 가공할 수 있으며, 패키지의 절단과 챔퍼링을 동시에 실시하여 수율을 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (6)

  1. 플래시 메모리 스트립의 스트립 패키지를 싱글레이션하여 플래시 메모리를 얻기 위한 플래시 메모리의 싱글레이션 방법으로서,
    X축, Y축, Z축 직선왕복운동 및 Z축 회전운동하는 스핀들과 상기 플래시 메모리 스트립이 놓여지는 테이블을 갖는 라우터를 준비하는 단계와;
    상기 스핀들에 그 하단으로부터 상방을 향하여 상기 스트립 패키지의 피어싱용 절삭날, 절단용 절삭날과 챔퍼링용 절삭날이 연속적으로 형성되어 있는 비트를 척킹하는 단계와;
    상기 테이블 위에 상기 플래시 메모리 스트립을 고정하는 단계와;
    상기 스핀들을 X축과 Y축 직선운동시켜 상기 플래시 메모리 스트립으로부터 하나의 상기 플래시 메모리를 얻을 수 있는 싱글레이션 준비 위치에 상기 비트를 정렬하는 단계와;
    상기 비트가 1차 절삭깊이를 갖도록 상기 스핀들을 하강 및 Z축 회전운동시켜 상기 스트립 패키지에 구멍을 형성하는 단계와;
    상기 비트가 2차 절삭깊이를 갖도록 상기 스핀들을 하강 및 Z축 회전운동시켜 상기 스트립 패키지의 챔퍼링을 시작하는 단계와;
    상기 스핀들을 직선운동 및 Z축 회전운동시켜 상기 비트의 절단용 절삭날과 챔퍼링용 절삭날에 의하여 상기 스트립 패키지를 절단 및 챔퍼링하는 단계로 이루어지는 플래시 메모리의 싱글레이션 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 플래시 메모리 스트립을 고정하는 단계에서는 상기 플래시 메모리 스트립에 장착되어 있는 리드들이 상방을 향하고 상기 플래시 메모리 스트립의 두 단변들이 상기 라우터의 X축을 따라 정렬되도록 상기 테이블 위에 상기 플래시 메모리 스트립을 고정하며, 상기 비트를 정렬하는 단계에서는 상기 비트를 상기 플래시 메모리의 선단에 상응하는 위치에 정렬하고, 상기 스트립 패키지를 절단 및 챔퍼링하는 단계에서는 상기 라우터의 X축을 따라 좌우 중 어느 한 방향으로 상기 스핀들을 직선운동시키는 플래시 메모리의 싱글레이션 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 플래시 메모리 스트립을 고정하는 단계에서는 상기 플래시 메모리 스트립을 진공흡착에 의하여 고정하는 플래시 메모리의 싱글레이션 방법.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 스트립 패키지의 절단 및 챔퍼링을 완료한 후 상기 비트가 1차 절삭깊이를 갖도록 상기 스핀들을 상승시키는 단계와, 상기 스트립 패키지의 챔퍼링이 시작되는 위치로부터 상기 비트의 궤적이 폐구간을 이루도록 상기 라우터의 Y축과 X축을 따라 상기 스핀들을 직선운동 및 Z축 회전운동시켜 상기 스트립 패키지를 절단하는 단계와, 상기 비트를 상기 싱글레이션 준비 위치로 복귀시키는 단계를 더 포함하는 플래시 메모리의 싱글레이션 방법.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 라우터의 X축 직선운동 및 Y축 직선운동이 교차하는 위치에서는 상기 비트의 궤적이 원호를 이루도록 하는 플래시 메모리의 싱글레이션 방법.
  6. 플래시 메모리 스트립의 스트립 패키지를 싱글레이션하여 플래시 메모리를 얻기 위한 플래시 메모리의 싱글레이션 장치로서,
    프레임과, 상기 프레임의 상부에 설치되는 X축, Y축, Z축 리니어모션가이드와 서보 모터에 의하여 X축, Y축, Z축 직선왕복운동과 Z축 회전운동할 수 있도록 설치되는 스핀들과, 상기 프레임의 상부에 상기 플래시 메모리 스트립을 놓을 수 있도록 설치되어 있는 테이블을 갖는 라우터와;
    상기 테이블의 상면에 설치되며, 상기 플래시 메모리 스트립을 진공흡착하는 버큠 테이블과;
    상기 스핀들에 척킹되고, 그 하단으로부터 상방을 향하여 상기 스트립 패키지의 피어싱용 절삭날, 절단용 절삭날과 챔퍼링용 절삭날이 연속적으로 형성되어 있는 비트로 이루어지는 플래시 메모리의 싱글레이션 장치.
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