JP3805741B2 - 電磁振動形ダイヤフラムポンプ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は電磁振動形ダイヤフラムポンプに関する。さらに詳しくは、主として室内用エアマットやエアベッドへのエアの吸排、養魚用水槽や家庭浄化槽などにおける酸素補給、または公害監視における検査ガスのサンプリングなどに利用される電磁振動形ダイヤフラムポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、電磁石と永久磁石との磁気的相互作用に基づく、該永久磁石を備えた振動子の振動を利用して流体を吸引、吐出する電磁振動型ポンプとして、ダイヤフラム式のポンプがある。
【0003】
この従来のポンプにおいて、ポンプの運転状態を検出して安全運転ができるように、安全機構を設けるようにしたポンプがある。たとえばダイヤフラムの破損を検出するために、振動子と電磁石とのあいだにスイッチ機構を設けるようにしたもの(たとえば特許文献1参照)、または左右のポンプケーシングにおけるポンプ部の吐出室を外部からつなぐ連通路に検出器を設けるようにしたもの(たとえば特許文献2および特許文献3参照)などがある。
【0004】
【特許文献1】
実開平2−132885号公報
【特許文献2】
特開平7−189920号公報
【特許文献3】
実開平2−78782号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記スイッチ機構は、振動子の振幅変化を利用して機械的接触によるスイッチ作動でダイヤフラム破損を検出しているため、スイッチの接点に磨耗や破損およびアークなどが発生して接点が溶着したり焼付く惧れがある。また、このポンプは開放型ポンプであり、ポンプの低騒音化対策として、電磁石の外周部をフレームで覆った全密閉形構造とする場合に、前記スイッチ機構を覆うと、ポンプが大型化するとともに、ダイヤフラムが破損したあとの復帰が難しいので、再利用がほとんどできないという問題がある。
【0006】
一方、前記検出器を設けるポンプは、ダイヤフラム破損時の圧力変化を利用する構造であるため、ポンプ自体は小型である。しかし、左右ポンプの差圧を使用しているので、圧力の検知にチューブやチューブ孔の封止加工が必要であり、ポンプ設備の作業に手間が掛かるとともに、ポンプ設備のスペースが広くなりやすい。
【0007】
本発明は、叙上の事情に鑑み、ポンプが小型であるとともに、ポンプ設備の省スペース化を図り、かつ長期間ポンプの安全運転を維持することができる低騒音化した電磁振動形ダイヤフラムポンプを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の電磁振動形ダイヤフラムポンプは、フレーム内に対向して配置される電磁石を有する電磁石部と、該電磁石間の空隙部に挿入されるとともに、磁石を固定した振動子と、該振動子の左右端部に固着されるダイヤフラムと、該ダイヤフラムを支持するポンプケーシングとを有する電磁振動形ダイヤフラムポンプであって、前記電磁石部とダイヤフラムによって密閉される密閉空間に連通する連通孔が前記フレームに形成されているとともに、該連通孔を通して前記密閉空間の圧力上昇により作動するダイヤフラム式圧力検知手段を備え、
前記圧力検知手段が、前記連通孔に対向して配置される検出容器と、該検出容器の内部に装着されている検出ダイヤフラムと、該検出ダイヤフラムに固着され、一端が前記検出容器内に支持されている端子と、該端子の先端に当接する接点部を有し、両端を前記検出容器内に支持されている可動バネと、前記検出容器の底部に設けられる前記可動バネの復帰用ボタンとからなることを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて、本発明の電磁振動形ダイヤフラムポンプを説明する。
【0010】
実施の形態1
図1〜2に示されるように、本発明の実施の形態1にかかわる電磁振動型ダイヤフラムポンプは、電磁石部1と、該電磁石部1内の空隙部に所定の間隔を置いて挿入される、2個の平板状磁石、フェライト磁石または稀土類磁石などの磁石2を平板保持具3aに並べて固定した振動子3と、該振動子3の両端に連結されるダイヤフラム4と、前記電磁石部1の両端部にそれぞれ固定されるポンプケーシング部5と、ダイヤフラム式圧力検知手段6とから構成されている。前記ポンプケーシング部5は、さらに吸引室7、吐出室8および圧縮室9からなるポンプ部を有しており、吸引室7は、前記圧縮室9と連通するために、吸入口10と吸入弁11を、吐出室8は吐出口12と吐出弁13をそれぞれ備えている。
【0011】
前記電磁石部1は、フレーム14と、該フレーム14内に対向して配置される電磁石15を有しており、該電磁石15は、対向して配置される一対のE型鉄心16と、該鉄心16の内周凹部に組み込まれる捲線コイル部17から構成されている。本実施の形態1におけるフレーム14は、電磁石15の外表面にモールドされた樹脂成形体である。フレーム14の材質としては、成形材料である耐熱性で低収縮率のBMC(バルクモールドコンパウンド)が望ましく、たとえば不飽和ポリエステル系のBMCなどを用いることができる。本実施の形態1では、フレーム14が樹脂成形体にされているため、前記ポンプケーシング部5における、ポンプ部全体を覆うカバー5aのみを金属製、たとえば鉄製またはアルミニウム製などとすることができる。これにより、金属製カバーの遮音効果で数デシベルの騒音低下が得られるため、高い遮音性を確保することができる。したがって、低騒音化したポンプを得ることができる。なお、前記カバー5aは、ほぼ正方形の椀状であるので、プレス加工またはダイカスト工法で容易に製作することができる。
【0012】
前記フレーム14には、外周部位に吸気用のタンク部18と吐出用のタンク部19が、電磁石15を熱硬化性樹脂でモールドする際に同時に形成されている。このタンク部18、19はサイレンサー機能を有する。また、前記タンク部18、19には、フェルトまたはポリエステル繊維などからなるフィルターを配置することにより、空気がフィルター内を通過するときに塵などの不純物が取り除かれるため、清浄な空気を排出することができる。また、タンク部18には、吸入口20aを有する蓋20が固着されているとともに、タンク部19には、吐出口21を有する蓋22が固着されている。
【0013】
前記圧力検知手段6は、フレーム14の外表面のタンク部19内に形成される隔壁23に囲まれる空間に収納されており、図3〜4に示されるように、板バネ用取付台24およびキャップ25からなる検出容器26と、内部に固着されている検出ダイヤフラム27と、該検出ダイヤフラム27の中央部に固着され、一端が前記容器25内に支持されている端子28と、該端子28に当接する接点部29を有し、両端を前記取付台24とキャップ25により挟まれて支持されている板バネなどの可動バネ30と、前記検出容器26の底部および蓋22にそれぞれの貫通孔を通して設けられている、押しピン31および該押しピン31の復帰用コイルバネ32からなる前記可動バネ30の復帰用ボタン33とから構成されている。前記端子28および可動バネ30には、図5のように結線されたリード線34が検出容器26とフレーム14を通して接続されている。また、前記復帰用ボタン33には、故障の表示ランプを点灯させることができるように警報器などに接続されるリード線35が結線されている。すなわち図5に示されるように、端子28は電磁石15のコイル端子aに接続されるとともに、リード線35の端子は遮断と同時にランプまたはブザーなどにより使用者に知らせる警報器の端子bに接続され、かつ接点部29は電源およびポンプ制御器の端子cに接続されている。
【0014】
なお、本発明においては、前記円盤型検出ダイヤフラム27に代えて、コルゲート部が成形された検出ダイヤフラムを用いることもできる。このコルゲート部は、弾性変形ができるように波状(S字状)に形成されており、形状寸法については、ストロークや検出ダイヤフラムの直径などを考慮して適宜設定することができる。このコルゲーション付ダイヤフラムを用いることにより、円盤型検出ダイヤフラムよりストロークが長く取れるので、端子および可動バネを撓ませやすくなる。
【0015】
前記検出容器26は、前記フレーム14に形成される連通孔36に対向して配置され、ネジ37により固着されている。また、本実施の形態では、フレーム14に環状凹部を形成した支持台38と検出容器26に形成される環状段差部39により検出ダイヤフラム27の外周部を挟着して、該検出容器26の固着と同時に前記検出ダイヤフラム27を緊密に取り付けるようにしている。なお、前記連通孔36および支持台38はフレーム14のモールド時に形成することができる。
【0016】
前記検出ダイヤフラム27の端子28は、可動バネ30で押され、該可動バネ30のバネ力と検出ダイヤフラム27のバネ力で充分な接点圧力が得られるように、検出ダイヤフラム27の外周部の内径を支持台38の構内径よりやや小さくして、該支持台38と取付台24で検出ダイヤフラム27に拡大張力を掛けるようにしている。なお、可動バネ30は反転が容易な帯状のバネ材、たとえば燐青鋼板などで作製し、その反転動作力は板厚や幅寸法で調整する。
【0017】
図1〜2に示されるように、前記電磁石部1とダイヤフラム4によって密閉される密閉空間Sは、振動子3が振動する空間であり、該密閉空間Sの圧力はボンプのダイヤフラム4が正常であるとき(非破損時)は大気圧である。ダイヤフラム4が疲労などで破れ(破損)すると、ポンプ室の圧力が前記密閉空間S内に漏れて、この密閉空間S内の圧力が増大する。これにより、前記圧力検知手段6は、前記連通孔36を通して、前記密閉空間Sの圧力上昇により作動し、ダイヤフラム4の破損を検出する。そして、電磁石15への電源を遮断する。
【0018】
なお、本実施の形態1では、圧力検知手段6がフレーム14の外表面のタンク部19内に取り付けられているが、本発明においては、これに限定されるものではなく、吸入側のタンク部18内に連通孔36を形成し、該連通孔を囲んでフレーム12に取り付けることができる。または図6に示されるように、タンク部18の蓋20に圧力検知手段6aを取り付けるようにすることもできる。この場合、圧力検知手段6aは、底部に連通孔26aを有する検出容器26bとキャップ26cを備えており、蓋20には、連通孔20bを形成するとともに、フレーム14に形成した連通孔36にチューブ40を接続させる。また、このチューブ40を延長させて前記圧力検知手段6aをポンプ自体から離してポンプ本体の近傍に設置される取付台などに取り付けることもできる。
【0019】
つぎに図面に基づいて、本実施の形態1にかかわる圧力検知手段6の動作について説明する。まず図1〜3に示す圧力検知手段6は、ポンプのダイヤフラム4が正常に作動しているときの状態である。また、密閉空間Sの圧力は低いので、検出ダイヤフラム27に掛る力は弱く、可動バネ30の接点部29は端子28と接触したままであり、電磁石回路は通電されている。つぎに図7〜8に示されるように、該ダイヤフラム4の一部Pが疲労などで破損すると、ポンプ室の圧力が漏れ前記密閉空間Sの空気圧力が増大するため、連通孔36を通して検出ダイヤフラム27が押されて、可動バネ30を変形させて端子28を上昇させる。なお、図7において、矢印Fは空気の流れを示す。そして、前記検出ダイヤフラム27の最大膨らみ時の位置(たとえばほぼ可動バネ30が水平になる位置)で可動バネ30が自己反発力により、反転して端子28から離れる。これにより、端子28と接点部29との通電が解除されるので、電磁石回路が遮断されてポンプは停止する。ここで、接点部29の可動距離は2.5〜3mm程度である。なお、電源が切れて密閉空間Sの空気圧力が低下すると、検出ダイヤフラム27は、その自己復元力により自動的に図1の状態に復帰する。
【0020】
本実施の形態1における可動バネ30においては、スナップアクションを効かせてすばやい反転動作を行なうことができるため、可動バネ30のチャタリングの発生はなく、接点の発熱を防止することができるとともに、復帰動作も確実に行なうことができる。
【0021】
ついでポンプの修復するために、検出ダイヤフラム27の交換を完了し、ポンプを運転できる状態にしたときは復帰用ボタン33を押し下げて、端子28と接点部29を接触させて回路を閉じれば、図1の状態に復帰し、ポンプの運転を再開することができる。
【0022】
なお、前述したようにダイヤフラム4が破損すると、ポンプ室の空気圧が前記密閉空間Sに漏れ、密閉空間Sの圧力が増加する。しかし、ダイヤフラム(片側)の破損状態、たとえば15mmの破れが生じている場合(表1)と1/4(30mm)の破れである場合(表2)の実測データを見るとわかるように、圧力(負荷)Hが15kPaの場合、この密閉空間Sの圧力(内圧)は、ダイヤフラムの破損の程度やポンプ負荷の圧力Hによって異なるが、実測すると大体、実用負荷(10〜15kPa)時6kPa程度である。したがって、可動バネ30を押して反転させるには数十〜100gf必要なので、検出ダイヤフラム27の表面積は10cm2程度以上、つまり直径4cm(有効直径が3.6cm)程度のダイヤフラムが必要である。
【0023】
【表1】
【0024】
【表2】
【0025】
本発明のモールド式ダイヤフラムポンプでは、フレームが密閉形の構造であるため、低騒音のポンプであるとともに、製造上容易に成形することができるとともに、圧力取出し用連通孔や支持台も機械加工または金型などで容易に加工できる。また、圧力検知手段は、構造が簡単であり、検出ダイヤフラムで安価に製作でき、動作も確実である。
【0026】
なお、本発明においては、電磁石15の内周部に、フレーム14の成形前に組み込まれ、成形により電磁石15を位置決めする位置決め中子を配置することができる。たとえば図9〜10に示されるポンプでは、コイル41を巻き付けるボビンと一体にされた形状の位置決め中子42を配置している。この位置決め中子42は、中央部位に形成された振動子3が挿入される挿入部43と、該挿入部43を貫通する孔を有し、外周にコイル41およびE型鉄心16が組付けられる角孔部44と、前記挿入部43に形成された前記密閉空間に連通する連通孔45とから構成されている。この位置決め中子42は、フレーム14を電磁石15に成形するときのモールド工法採用時に鉄心16とコイル41(2組)からなる電磁石15を支持するとともに、コイルボビンを省略することができる。また、鉄心16の構造がE形であるので、角孔部44にコイル41を捲線したのち、外側から容易に挿入することができる。
【0027】
本実施の形態1では、前記位置決め中子がコイルボビンを一体化した構造なので、堅固であり、モールド時の樹脂圧力に充分耐え、金型コストおよび作業コストを低下させることができる。
【0028】
実施の形態2
つぎに本発明の実施の形態2を説明する。本実施の形態2では、図11に示されるように、フレーム51が、アルミニウムまたは亜鉛合金などの金属をダイカストにより成形した密閉形の成形体にされている。このため、電磁石および振動子3は前記樹脂成形体のモールドフレーム14と同一であるが、フレーム51をダイカストで製作する関係上、構造を簡素化し、ダイカストしやすい構造としている。すなわち吸気口および吐出口のタンク部を省き、圧力検知手段6はフレーム51の外側からネジ37で取り付けられている。連通孔52や圧力検知手段6のための支持部53をダイカスト時に容易に形成できる。また、本実施の形態2では、ダイヤフラム4とフレーム51で形成される密閉空間Sの圧力は連通孔52を通して検出されるが、この場合においても圧力検知手段6の動作原理は前記実施の形態1と同一である。なお、本実施の形態2では、前記フレーム51が、ダイカストフレームにされているが、本発明においては、これに限定されるものではなく、PBTまたはABSなどの合成樹脂を押出し加工により成形した成形体とすることもできる。また、本実施の形態2では、前記フレーム51が合成樹脂を押出し加工により成形した成形体にされている場合、前記実施の形態1と同様にポンプケーシング部54のポンプ部全体を覆うカバー55のみを金属製、たとえば鉄製またはアルミニウム製などとすることにより、低騒音化したポンプを得ることができる。
【0029】
実施の形態3
つぎに本発明の実施の形態3を説明する。本実施の形態3は、図12に示されるように、前記実施の形態1、2とは圧力検知手段6における検出ダイヤフラムおよび端子が異なっている。すなわち本実施の形態3にかかわる圧力検知手段61における検出ダイヤフラム62は、コルゲート部63が成形されたコルゲーション付検出ダイヤフラムにされている。この検出ダイヤフラム62は、中心部64が前記フレーム14に形成される突出部14aに当接し、外周部が検出容器26とフレーム14とにより緊密に装着されている。また、本実施の形態3における端子65は、先端に接点部65aを有する矩形状の導電体であり、この先端が前記中央部64に当接し、一端が前記検出容器26の取付台24のスリットを通して当該検出容器26に支持されている。本実施の形態3では、前記実施の形態1と比較して、検出ダイヤフラム62に端子を取り付けるための孔がないので、エアリークの発生がなく、異常時の作動が確実となる。また、検出ダイヤフラム62と端子65は別々に支持されているので、互いの拘束力がなくなり、取付精度を向上させることができる。さらに本実施の形態3では、フレーム14に検出ダイヤフラム62の定常位置を確保するための突起部14aが形成されているため、寄生振動と復帰の際の押し過ぎを防止することができる。なお、本実施の形態3における圧力検知手段61の動作については、前記実施の形態1における圧力検知手段6と同程度であるので省略する。
【0030】
実施の形態4
つぎに本発明の実施の形態4を説明する。本実施の形態4における圧力検知手段71は、図13に示されるように、フレーム72の外表面の凹部73に形成される隔壁74に囲まれる空間に収納されており、連通孔36に連通する孔75および突出部76が形成される検出ダイヤフラム取付台77、バネ用取付台78およびキャップ79からなる検出容器80と、該取付台77、78に装着され、中心部に円錐台形状の凸部81を有するコルゲーション付検出ダイヤフラム82と、該検出ダイヤフラム82の凸部81に当接し、一端が前記キャップ79のスリットに通されのち、該スリットと前記取付台78により支持されている端子83と、該端子83の先端の接点部83aに当接する接点部84aを有し、一端が前記キャップ79のスリットに通されのち、該スリットと前記取付台78により支持されている可動バネ84と、前記検出容器80の底部(キャップ79)に挿通して設けられる前記可動バネ84の復帰用ボタン85とから構成されている。また、前記可動バネ84の接点部84aから所定の距離、たとえば2.5〜3mm離れた位置に端子86の接点部86aを配置している。前記可動バネ84はロ字状のフレームのあいだに連結部(図示せず)が形成されており、該連結部に復帰ボタン85の先端溝部85aを通して復帰ボタン85が配設されている。また、この復帰ボタン85の後端操作部85bは前記キャップ79の孔79aおよび圧力検知手段71に覆われる蓋87の貫通孔87aに挿通されている。なお、前記端子83、可動バネ84および端子86には、それぞれリード線88、89および90が接続されており、図5に示されるコントロールのa、bおよびcに結線されている。本実施の形態4では、検出ダイヤフラム82と端子83は別々に支持されているので、互いの拘束力がなくなり、取付精度を向上させることができる。また、取付台77の中央底部に検出ダイヤフラム82の定常位置を確保するための突起部76が形成されているため、寄生振動と復帰の際の押し過ぎを防止することができる。さらに凸部81を設けると、この部分の弾性により可動バネ84をソフトに押すことができる。なお、本実施の形態4における圧力検知手段71の動作については、前記実施の形態1における圧力検知手段6と同程度であるので省略する。
【0031】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によれば、ダイヤフラムの破損を圧力変化により検知しているため、ポンプを小型化できるとともに、ポンプ設備の省スペース化を図ることができる。また、ダイヤフラムの修復後、復帰用ボタンによりポンプを再駆動できるので、長期間ポンプの安全運転を維持することができるとともに、ポンプ品質および保安性を向上させることができる。
【0032】
さらに本発明によれば、ポンプ構造を変更することなく、圧力検知手段をフレームの外表面に取り付けることができるので、ポンプの小型化を維持することができるとともに、メンテナンスが容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の電磁振動型ポンプにかかわる実施の形態1を示す縦断面図である。
【図2】図1の電磁振動型ポンプの横断面図である。
【図3】図1の圧力検知手段の拡大図である。
【図4】図3のA−A線断面図である。
【図5】圧力検知手段の端子の接続回路図である。
【図6】圧力検知手段の他の取り付けを示す断面図である。
【図7】図1の圧力検知手段の動作を説明する図である。
【図8】図7の圧力検知手段の拡大図である。
【図9】本発明の電磁振動型ポンプにかかわる実施の形態1を示す横断面図である。
【図10】図9の位置決め中子の斜視図である。
【図11】本発明の電磁振動型ポンプにかかわる実施の形態2を示す縦断面図である。
【図12】本発明の実施の形態3にかかわる圧力検知手段を示す拡大図である。
【図13】本発明の実施の形態4にかかわる圧力検知手段を示す拡大図である。
【符号の説明】
1 電磁石部
2 永久磁石
3 振動子
3a 平板保持具
4 ダイヤフラム
5 ポンプケーシング部
5a カバー
6 ダイヤフラム式圧力検知手段
14 フレーム
15 電磁石
16 鉄心
18、19 タンク部
24 板バネ用取付台
25 キャップ
26 検出容器
27 検出ダイヤフラム
28 端子
29 接点部
30 可動バネ
31 押しピン
32 復帰用コイルバネ
33 復帰用ボタン
S 密閉空間
Claims (8)
- フレーム内に対向して配置される電磁石を有する電磁石部と、該電磁石間の空隙部に挿入されるとともに、磁石を固定した振動子と、該振動子の左右端部に固着されるダイヤフラムと、該ダイヤフラムを支持するポンプケーシングとを有する電磁振動形ダイヤフラムポンプであって、前記電磁石部とダイヤフラムによって密閉される密閉空間に連通する連通孔が前記フレームに形成されているとともに、該連通孔を通して前記密閉空間の圧力上昇により作動するダイヤフラム式圧力検知手段を備え、
前記圧力検知手段が、前記連通孔に対向して配置される検出容器と、該検出容器の内部に装着されている検出ダイヤフラムと、該検出ダイヤフラムに固着され、一端が前記検出容器内に支持されている端子と、該端子の先端に当接する接点部を有し、両端を前記検出容器内に支持されている可動バネと、前記検出容器の底部に設けられる前記可動バネの復帰用ボタンとからなる電磁振動形ダイヤフラムポンプ。 - 前記フレームが前記電磁石の外表面にモールドされた樹脂成形体である請求項1記載の電磁振動形ダイヤフラムポンプ。
- 前記ダイヤフラム式圧力検知手段が前記フレームの外表面に取り付けられている請求項2記載の電磁振動形ダイヤフラムポンプ。
- フレーム内に対向して配置される電磁石を有する電磁石部と、該電磁石間の空隙部に挿入されるとともに、磁石を固定した振動子と、該振動子の左右端部に固着されるダイヤフラムと、該ダイヤフラムを支持するポンプケーシングとを有する電磁振動形ダイヤフラムポンプであって、前記電磁石部とダイヤフラムによって密閉される密閉空間に連通する連通孔が前記フレームに形成されているとともに、該連通孔を通して前記密閉空間の圧力上昇により作動するダイヤフラム式圧力検知手段を備え、
前記圧力検知手段が、前記連通孔に対向して配置される検出容器と、該検出容器の内部に装着されている検出ダイヤフラムと、該検出ダイヤフラムの中央部に先端が当接し、一端が前記検出容器内に支持されている端子と、該端子の先端に当接する接点部を有し、両端が前記検出容器内に支持されている可動バネと、前記検出容器の底部に設けられる前記可動バネの復帰用ボタンとからなる電磁振動形ダイヤフラムポンプ。 - フレーム内に対向して配置される電磁石を有する電磁石部と、該電磁石間の空隙部に挿入されるとともに、磁石を固定した振動子と、該振動子の左右端部に固着されるダイヤフラムと、該ダイヤフラムを支持するポンプケーシングとを有する電磁振動形ダイヤフラムポンプであって、前記電磁石部とダイヤフラムによって密閉される密閉空間に連通する連通孔が前記フレームに形成されているとともに、該連通孔を通して前記密閉空間の圧力上昇により作動するダイヤフラム式圧力検知手段を備え、
前記圧力検知手段が、前記連通孔に対向して配置される検出容器と、該検出容器の内部に装着され、中心部に凸部を有する検出ダイヤフラムと、該検出ダイヤフラムの凸部に当接し、一端が前記検出容器内に支持されている端子と、該端子の先端に当接する接点部を有し、一端が前記検出容器内に支持されている可動バネと、前記検出容器の底部に設けられる前記可動バネの復帰用ボタンとからなる電磁振動形ダイヤフラムポンプ。 - 前記ポンプケーシング部のポンプ部全体を覆うカバーのみが金属製である請求項1、2、3、4または5記載の電磁振動形ダイヤフラムポンプ。
- 前記電磁石部の内周部に、前記フレームの成形前に組み込まれ、コイルを巻き付けるコイルボビンと一体にした形状の位置決め中子が配置されている請求項1、2、3、4、5または6記載の電磁振動形ダイヤフラムポンプ。
- 前記フレームがダイカストまたは押出し加工により作製される成形体である請求項1、4または5記載の電磁振動形ダイヤフラムポンプ。
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