JP3800039B2 - 熱光学型光アテネータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光情報処理、光通信システムに有用な、低損失で微調整可能な熱光学型光アテネータに係り、特に、環境の温度変化に強い熱光学型光アテネータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
波長多重光信号伝送には光増幅器が不可欠である。現在最も盛んに使用される光増幅器としてはエルビウムドープ光ファイバがある。しかし光増幅器は、波長により、増幅利得に特性を持つため、信号の安定、均一な伝送のためには利得を調整、平坦化する機構、例えば、光アテネータがシステム中に必要となる。
【0003】
光アテネータは、WDM(Wavelength Division Multiplexing)フィルタによって波長ごとに分けられた信号を、それぞれ独立に強度調整するもので、熱光学型、機械型、磁気光学型などさまざまな方式がある。特に、熱光学型光アテネータは、可動部分がないため高い信頼性を期待できる。
【0004】
図2に示すような従来の熱光学型光アテネータ30は、石英基板31上にクラッド層32を形成し、そのクラッド層32にコアとなる光導波路33を形成して光回路とし、この光導波路33上に金属薄膜ヒータ34a,34bを形成したものである。コアとなる光導波路33は、オーバクラッド層32uで覆われている。光導波路33の一端が入力ポート33iであり、光導波路33の他端が出力ポート33oである。
【0005】
コアとなる光導波路33は石英系の材料からなり、TiあるいはGeが添加されている。クラッド層32は石英系の材料からなり、純粋SiO2 あるいはB及びPが添加されている。コアとクラッド層32の屈折率差は0.3%である。光導波路33は、Y分岐部35、アーム36a,36b、Y結合部37からなる対称マッハツェンダ干渉計回路とし、左右対称の形をしている。
【0006】
分岐された二つのアーム36a,36b上には、オーバクラッド層32uをはさみ、幅が20〜50μmの一定値、光の伝搬方向に平行に所定長さを持つ直線状の金属薄膜ヒータ34a,34bが形成されている。各金属薄膜ヒータ34a,34bの両端には、外部電源との接続用電極38が形成されている。
【0007】
従来の熱光学型光アテネータ30では、ヒータ34a,34bが両方ともOFFの場合、入力光liはY分岐部35で約3dBずつ分岐され、アーム36a,36bを通過した後、Y結合部37で再び結合する。Y結合部37で合流する光に位相差がないため、光の出力が理論的に無損失となり、比較的波長依存性のない出力を得ることが出来る。
【0008】
一方のヒータ34aがONされている場合、光導波路33のアーム36aが加熱され、加熱されたアーム36aの屈折率が熱光学効果によって変化する。このとき、加熱されたアーム36aを通過する光laは、加熱されない側のアーム36bを通過する光lbに対して位相ずれを生じる。Y結合部37に入射する光laは、奇モードに近づき、Y結合部37で光を放射するようになる。すなわち、ヒータ34aの加熱温度の調整により、出力光loの強度を調整することが可能である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の熱光学型光アテネータ30は、その構成要素の金属薄膜ヒータ34a,34bの抵抗値が、ヒータ34a,34bに流れる電流による温度上昇で変化するので、安定したアテネーション(消光比)を得るために定電力制御回路が必要であるという問題がある。
【0010】
特に環境温度が変化した場合、温度によってヒータ34a,34bの抵抗値が異なるために、同一電流による温度上昇(電力値)が変化し、光のアテネーションに差異を生じるという問題がある。
【0011】
そこで、本発明の目的は、環境温度変化に強く、しかも電流のみで制御できる熱光学型光アテネータを提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために創案されたものであり、請求項1の発明は、石英基板上に、入力される光を分岐させ再結合させるマッハツェンダ回路を形成して光回路とし、そのマッハツェンダ回路に形成したヒータの通電により、入力される光を調整して出力する熱光学型光アテネータにおいて、上記ヒータを、抵抗値の温度係数の符号が互いに異なり、且つある温度における抵抗値が互いに等しい第1ヒータと第2ヒータとを電気的に直列接続して構成した熱光学型光アテネータである。
【0013】
請求項2の発明は、入力される光の波長が1.3μm〜1.6μmであり、消光比が20dB以上である請求項1記載の熱光学型光アテネータである。
【0014】
請求項3の発明は、上記第1ヒータと第2ヒータは、抵抗値の温度係数の絶対値が−100℃から400℃の温度範囲で互いにほぼ等しい請求項1または2記載の熱光学型光アテネータである。
【0015】
請求項4の発明は、上記第1ヒータまたは第2ヒータは、TaNからなる金属薄膜ヒータである請求項1〜3いずれかに記載の熱光学型光アテネータである。
【0016】
請求項5の発明は、上記第1ヒータと第2ヒータは、抵抗値が−5℃から70℃の範囲のある温度で互いに等しくなる請求項1〜4いずれかに記載の熱光学型光アテネータである。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の好適実施の形態を添付図面にしたがって説明する。
【0018】
図1は、本発明の好適実施の形態である熱光学型光アテネータの斜視図を示したものである。
【0019】
図1に示すように、本発明の熱光学型光アテネータ1は、入力光Liの強度を調整して出力光Loとして出力するものであり、石英基板2上にクラッド層3を形成し、そのクラッド層3にコアとなる光導波路4を形成して光回路としたものである。コアとなる光導波路4は、オーバクラッド層3uで覆われている。光導波路4の一端が入力ポート4iであり、光導波路4の他端が出力ポート4oである。この熱光学型光アテネータ1は、入力光Liの波長が1.3μm〜1.6μmであり、消光比が20dB以上である。
【0020】
コアとなる光導波路4は石英系の材料、例えば、TiあるいはGeが添加されたSiO2 からなる。クラッド層3は石英系の材料、例えば、純粋SiO2 あるいはB及びPが添加されたSiO2 からなる。コアとクラッド層3の屈折率差は0.3%である。
【0021】
光導波路4は、入力光Liを分岐光La,Lbに分岐するY分岐部5と、分岐光La,Lbがそれぞれ導かれるアーム6a,6bと、分岐光La,Lbが結合するY結合部7とからなる1×1の対称型マッハツェンダ干渉計回路Cとし、左右対称の形をしている。Y分岐部5またはY結合部7の各先端部間のギャップgは、約100μmである。これは、アーム6a,6b間のギャップgでもある。
【0022】
コアの高さは入力側の光導波路、出力側の光導波路共に8μmである。コア幅はシングルモード条件を崩さないように設定しており、Y分岐部5、Y結合部7を除いて8μmである。
【0023】
さて、本発明の熱光学型光アテネータ1では、マッハツェンダ干渉計回路CのY分岐部5とY結合部7間に挟まれた各アーム6a,6b上に、オーバークラッド層3uを介して各アーム6a,6bとそれぞれ対向するように、直列2段に分割されたコ字状の第1ヒータ8aとコ字状の第2ヒータ9a、直列2段に分割された逆コ字状の第1ヒータ8bと逆コ字状の第2ヒータ9bがそれぞれ形成されている。第1ヒータ8aと第2ヒータ9aは、第1ヒータ8bと第2ヒータ9bと左右対称となるように形成されている。
【0024】
第1ヒータ8aと第2ヒータ9aは、抵抗値の温度係数の符号が互いに異なり、25℃での抵抗値が互いに等しくなるようにしている。第1ヒータ8aとしては、例えば、抵抗値の温度係数が正であるTaNからなる金属薄膜ヒータを使用している。この金属薄膜ヒータを形成するには、オーバークラッド層3u上にヒータ抵抗としての金属薄膜パターンを堆積させればよい。第2ヒータ9aとしては、例えば、抵抗値の温度係数が負である多結晶Siからなる薄膜状のサーミスタを使用している。第1ヒータ8aと第2ヒータ9aとは、電気的に直列接続されている。
【0025】
これら第1ヒータ8aと第2ヒータ9aとしては、例えば、抵抗値の温度係数の絶対値が−100℃から400℃の温度範囲で互いにほぼ等しいものを用いている。第1ヒータ8aとして多結晶Siからなる薄膜状のサーミスタを、第2ヒータ9aとしてTaNからなる金属薄膜ヒータを使用してもよい。上述した第1ヒータ8aと第2ヒータ9aに関する説明は、第1ヒータ8bと第2ヒータ9bについても同様である。
【0026】
第1ヒータ8aと第2ヒータ9a上には、各端部を除き、CVD(Chemical Vapour Deposition)法により、石英ガラス絶縁膜が約2μm堆積されている。第1ヒータ8aと第2ヒータ9aの各端部上には、第1ヒータ8aと第2ヒータ9aを電気的に直列接続すべく、コンタクトホール10a〜cが形成されている。各コンタクトホール10a〜cには、タンタル、白金、金を順番に堆積し、リフトオフによって電極パターンを形成し、ヒータ接続用電極11a〜dとしている。各コンタクトホール10a〜cのヒータ接続用電極11a〜d以外の部分は、外部電源との接続用電極12a〜cとなる。電極パターンとヒータパターンはコンタクトホール10a〜cの空けられた部分で接続されている。
【0027】
こうして第1ヒータ8aと第2ヒータ9aは、コンタクトホール10a〜cを接続する電極材料によって電気的に直列に接続される。第1ヒータ8aと第2ヒータ9aは電気的に直列に接続されていることにより、第1ヒータ8aと第2ヒータ9aに流れる電流は常に等しくなる。その結果、第1ヒータ8aと第2ヒータ9aの抵抗値の和は電流のみで制御できる。
【0028】
第1ヒータ8bと第2ヒータ9b側にも、コンタクトホール10a〜c、ヒータ接続用電極11a〜d、接続用電極12a〜cとそれぞれ対称となるように、コンタクトホール13a〜c、ヒータ接続用電極14a〜d、接続用電極15a〜cがそれぞれ形成されている。第1ヒータ8bと第2ヒータ9bも電気的に直列に接続されている。
【0029】
本発明の作用を説明する。
【0030】
第1ヒータ8aと第2ヒータ9aに一定電流を流してONし、入力ポート4iに入力される入力光Liを調整して出力ポート4oから出力光Liとして出力する場合を説明する。このとき、第1ヒータ8bと第2ヒータ9bはOFFされている。
【0031】
入力光Liは、Y分岐部5で3dBずつ分岐され、アーム6aを通る分岐光Laとアーム6bを通る分岐光Lbとなる。まず、分岐光Laの位相は、第1ヒータ8aが通電されているので、第1ヒータ8aの抵抗値に応じた加熱温度により、分岐光Lbの位相に対してずれる。
【0032】
このとき、第1ヒータ8aの抵抗値は常に一定であるとは言えない。第1ヒータ8aの温度は、第1ヒータ8aに流れる電流によって上昇したり、使用時における環境温度によって変化したりするからである。
【0033】
本発明では、第1ヒータ8aの温度が25℃以上に上がってその抵抗値が大きくなる場合、第2ヒータ8aの抵抗値がその分だけ小さくなる。第1ヒータ8aの温度が25℃以下に上がってその抵抗値が小さくなる場合には、第2ヒータ8aの抵抗値がその分だけ大きくなる。すなわち、ヒータ全体の抵抗値は温度によらず、常に25℃における第1ヒータ8aの抵抗値と第2ヒータ9aの抵抗値との和に等しい。
【0034】
分岐光Laの位相は分岐光Lbの位相に対し、第1ヒータ7aと第2ヒータ8aに流れる一定電流に応じて常に一定量だけずれるので、本発明の熱光学型光アテネータ1は、入力光Liの強度を一定電流に応じた所望量だけ正確に調整して出力光Loとして出力する。
【0035】
このように本発明では、ヒータを2段に分け、第1ヒータ8aと第2ヒータ9aの抵抗値の温度係数を絶対値が互いに等しく、符号が互いに異なるようにしたことによって、ヒータ通電の時の第1ヒータ8aの抵抗値の変化が第2ヒータ9aの抵抗値の変化によってキャンセルされ、ヒータ全体としての抵抗値を、ヒータの温度によらず、一定にすることが出来、環境の温度変化による影響を著しく低減できる。これにより、環境温度変化に強い高安定な光アテネータを実現出来る。
【0036】
ヒータ全体の抵抗値を一定にすることにより、両アーム6a,6bの温度差変化がヒータ電流に比例するようになり、アテネーション制御の電気回路を簡易にすることができる。従来のような定電力制御回路が不要なので、簡易な光アテネータを実現できる。
【0037】
ヒータ全体の抵抗値が温度によらず一定なので、環境温度変化によらず、印加電流に対する電圧値はいつも同じである。すなわち、定電圧制御することもできる。定電圧制御が可能であることは、ヒータ加熱に対して特殊なフィードバック電気回路が不要になることであり、応答速度を速くすることができる。
【0038】
本発明の熱光学型光アテネータ1を用いれば、波長多重伝送に有用な広い減衰量範囲にわたって使用可能な熱光学型光アテネータを実現することができる。
【0039】
次に、本発明の熱光学型光アテネータ1の環境温度特性を、図2で説明した従来の熱光学型光アテネータ30の環境温度特性と比較して説明する。
【0040】
図3は、本発明の熱光学型光アテネータ1の10dBダウンのアテネーションレベルでの環境温度特性を、横軸を時間(s)にとり、縦軸を消光比(dB)にとって示した図である。このとき、熱光学型光アテネータ1は、環境温度25℃における消光比を10dBとすべく、第1ヒータ8aと第2ヒータ9aを流れる電流が33.08mAの一定値となるように定電流制御されている。図3では、環境温度−5℃のときの環境温度特性曲線aを太線で、環境温度25℃のときの環境温度特性曲線bを実線で、環境温度70℃のときの環境温度特性曲線cを一点鎖線で表わしている。
【0041】
また、図4は、図2で説明した熱光学型光アテネータ30の環境温度特性を図3と同様にして示した図である。このとき、熱光学型光アテネータ30は、ヒータ34aを流れる電流が33.08mAの一定値となるように定電流制御されている。図4では、環境温度−5℃のときの環境温度特性曲線dを太線で、環境温度25℃のときの環境温度特性曲線eを実線で、環境温度70℃のときの環境温度特性曲線fを一点鎖線でそれぞれ表わしている。
【0042】
図3に示すように、本発明の熱光学型光アテネータ1は、どの環境温度においても、ほぼ所望の消光比10dBが得られる。環境温度−5℃から70℃でのアテネーション変動は0.2dB以内と非常に小さく、石英導波路型で、定電流制御可能な環境温度特性の小さい光アテネータを実現できたことがわかる。これは、第1ヒータ8aと第2ヒータ9aの抵抗値が環境温度−5℃から70℃の範囲のある温度で互いに等しくなることを意味している。
【0043】
一方、図4に示すように、従来の熱光学型光アテネータ30は、環境温度25℃以外では所望の消光比10dBを得ることができない。環境温度70℃では消光比が12dBとなり、環境温度−5℃では消光比が9.2dBとなり、約3dBもの大きな変動があることがわかる。
【0044】
【発明の効果】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のごとき優れた効果を発揮する。
【0045】
(1)環境温度変化に強い高安定な光アテネータを実現できる。
【0046】
(2)電流のみで制御できる簡易な光アテネータを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の好適実施の形態を示す斜視図である。
【図2】従来の熱光学型アテネータの斜視図である。
【図3】図1に示した熱光学型アテネータの環境温度特性を示す図である。
【図4】従来の熱光学型アテネータの環境温度特性を示す図である。
【符号の説明】
1 熱光学型光アテネータ
2 石英基板
8a,8b 第1ヒータ
9a,9b 第2ヒータ
C マッハツェンダ回路
Claims (5)
- 石英基板上に、入力される光を分岐させ再結合させるマッハツェンダ回路を形成して光回路とし、そのマッハツェンダ回路に形成したヒータの通電により、入力される光を調整して出力する熱光学型光アテネータにおいて、上記ヒータを、抵抗値の温度係数の符号が互いに異なり、且つある温度における抵抗値が互いに等しい第1ヒータと第2ヒータとを電気的に直列接続して構成したことを特徴とする熱光学型光アテネータ。
- 入力される光の波長が1.3μm〜1.6μmであり、消光比が20dB以上である請求項1記載の熱光学型光アテネータ。
- 上記第1ヒータと第2ヒータは、抵抗値の温度係数の絶対値が−100℃から400℃の温度範囲で互いにほぼ等しい請求項1または2記載の熱光学型光アテネータ。
- 上記第1ヒータまたは第2ヒータは、TaNからなる金属薄膜ヒータである請求項1〜3いずれかに記載の熱光学型光アテネータ。
- 上記第1ヒータと第2ヒータは、抵抗値が−5℃から70℃の範囲のある温度で互いに等しくなる請求項1〜4いずれかに記載の熱光学型光アテネータ。
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