JP3797325B2 - センサ装着装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明はセンサ装着装置に関し、より詳細には、流体の測定(たとえば、ガス給湯器などにおけるガス管内のガス流量の検出など)に用いられるセンサを流体が流れる配管などの流体通路に装着するための技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
【特許文献1】
特公平6−44005号公報
流体の測定に用いられるセンサとして、たとえば、チップ表面の熱移動から流体の流速を測定するマイクロチップ型熱式質量センサがある(たとえば、特許文献1参照)。
【0003】
ところで、この種のセンサは、被測定流体の流れを乱すことなく流体通路(たとえば配管)に装着する必要があることから、通常は、図4に示すように、センサチップ(マイクロチップ)aが装着された基板bを、金属製のステムcの上に所定の高さ(流体通路の通路壁の肉厚に相当する高さ)が出るように取り付け、このステムcを流体通路に穿設することによって、センサチップaが流体通路内に露出するように取り付けられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の構成では以下のような問題がありその改善が望まれていた。
【0005】
すなわち、センサチップaをステムcに取り付ける構成では、センサチップaと、センサ出力を増幅する増幅回路などの電子部品とが別基板になるので、それらを接続するための配線dなどが必要となり、ステムcへのセンサチップaの実装工程が複雑となる。また、工程の複雑化に伴ってセンサ装着にかかるコストも高くなるという問題がある。
【0006】
その一方、最近では、図5に示すように、一枚の基板eに、センサチップfと増幅回路等の電子部品gとが実装されたセンサ装置(いわゆるチップ・オン・ボード型のセンサ)が提供されているが、このようなセンサ装置を流体通路(たとえば配管)hに直接取り付けるには、基板eと流体通路hとの気密を確保するためのシール部材iが必要となる。そして、シール部材iには押しつぶしによりシール面を確保する厚みがあり、また流体通路hの通路壁には強度的な肉厚がある程度必要となる。その結果、センサチップfの表面が流体の流れから引っ込んでしまい、流体の流れを正確に測定することができないという問題がある。
【0007】
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、被測定流体の流れを乱すことなく、低コストで、しかも装着容易なセンサ装着装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の請求項1に記載のセンサ装着装置は、センサチップが実装された基板を、被測定流体が流れる流体通路に装着するための装着装置であって、センサチップが実装された基板の周縁部を気密状態で保持する保持手段と、前記保持手段を被測定流体が流れる流体通路に位置決め固定する取付手段とを備えた装置本体と、前記装置本体と前記流体通路とを気密する気密手段とからなり、前記装置本体は、前記取付手段を前記流体通路に取り付けた際に、前記保持手段によって保持される前記基板表面のセンサチップが、前記流体通路内に露出するように形成され、前記装置本体は、頭頂部に開口を有する突出部と、この突出部の外周に形成されたフランジ部とを備えた第一の本体部材と、この第一の本体部材に嵌合可能に形成された突出部およびフランジ部を有する第二の本体部材と、これら第一および第二の本体部材の間に介装されるシール部材と、前記第一および第二の本体部材のフランジ部を前記流体通路に共締めするためのネジとからなることを特徴とする。
【0010】
そして、その好適な実施態様として、前記第一および第二の本体部材が、それぞれ絞り加工により形成された金属製の一体成形品からなることを特徴とし、また、前記第一の本体部材における突出部の高さが、前記流体通路の肉厚に応じて設定されていることを特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【0014】
図1は、本発明のセンサ装着装置にセンサチップが実装された基板を装着した状態の正面図を示しており、図2は、同センサ装着装置を用いてセンサチップを流体通路に装着した状態の拡大断面図を示している。また、図3は、図2の分解斜視図を示している。
【0015】
本発明のセンサ装着装置1は、これらに図示されるように、一枚の基板Bにセンサチップ(たとえマイクロチップ型熱式質量センサ)Sと増幅回路等の電子部品Eとが実装された、いわゆるチップ・オン・ボード型のセンサ装置を、被測定流体が通流する流体通路(たとえば配管P)に装着するための装置であって、装置本体2を形成する一組の本体部材4,5と、装置本体2と配管Pとを気密するための本体シール部材(気密手段)3とを主要部として構成される。
【0016】
上記装置本体2は、センサチップSが実装された基板Bの周縁部Baを気密状態で保持する保持手段と、上記保持手段を被測定流体が流れる配管Pに位置決め固定する取付手段とを備えてなるものであって、具体的には、上述したように、第一の本体部材4と、第二の本体部材5とを主要部とし、さらに、基板Bと上記保持手段とを気密するシール部材6および上記第一および第二の本体部材4,5を配管Pに固定するためのネジ7を備えて構成される。
【0017】
上記第一および第二の本体部材4,5は、いずれも図3に示すような略皿状の所定形状を備えた部材で構成される。本実施形態では、これら第一および第二の本体部材4,5は、いずれも薄い(センサチップSより薄い)金属片を絞り加工によって上記所定形状に加工してなる一体成形品が用いられる。
【0018】
より詳細には、上記第一の本体部材4は、略矩形の板材の中央部分を上記絞り加工により略円筒状に突出させて突出部41を形成してなるもので、これにより上記突出部41の外周には略水平に延びた板状のフランジ部42が形成される。
【0019】
そして、この突出部41の頭頂部には該頭頂部を貫通して開口部43が形成される。この開口部43は、少なくとも上記センサチップSが挿通可能な位置・形状・寸法を有してなり、図示例ではこの開口部43として円形の貫通穴が形成されている。一方、上記フランジ部42には複数(図示例では4箇所)のネジ穴44が貫通形成される。
【0020】
なお、この第一の本体部材4は、その使用にあたり、図3に示すように上記突出部41を下向きに突出させて用いられるので、以下の説明においては、便宜上、この突出部41の頭頂部の表面(図3において配管Pに面する側)を頭頂面41aと称し、頭頂面41aの裏面(図3においてシール部材6に面する側)を底面41bと称する(なお、この呼び方は後述する第二の本体部材5についても同様とする)。
【0021】
また、本実施形態では、上記突出部41は略円筒形状に形成されているが、その形状は図示例に限定されることなく適宜設計変更可能である。すなわち、この突出部41は、後述するように、その内側にセンサチップSが実装された基板Bを収容するものであるので、その具体的な形状は、上記基板Bの形状に応じて適宜変更可能とされる。
【0022】
つまり、本実施形態では、頭頂部の断面形状(つまり底面41bの形状)が円形とされているが、これは図1の破線に示すように、本実施形態で使用する基板Bの形状が正方形であるので、この正方形の基板Bを収容可能な形状として円形(円筒形)を採用したからであり、したがって、突出部41は他の形状(たとえば底面41bが矩形や楕円形となる筒状体)とすることも可能である。
【0023】
また、この突出部41の寸法は、上記配管Pの管径や管の肉厚などに応じて適宜設定される。すなわち、この突出部41は、後述するように、配管Pに形成される開口部8に挿通させて使用されるので、測定対象となる流体が流れる配管Pの管径や肉厚に応じて、配管Pに挿通可能で、かつ挿通時に配管P内の流体の流れを阻害しないように、適当な大きさに設定される。
【0024】
なお、この第一の本体部材4につては、他の実施態様として、たとえば、配管Pの管径(より正確には配管Pに開口可能な開口部の面積)を考慮して予め突出部41の寸法(本実施形態では突出部41の直径)が異なるものを複数製作しておき、測定対象となる配管Pの管径に応じて適当な大きさのものを選択可能とさせておくことも可能である。
【0025】
また、突出部41の高さ(突出の程度)についても、第一の本体部材4の突出部41を配管Pの開口部8に挿入した際に、突出部41の頭頂部が配管P内に大きく突出すると配管内の流体の流れを乱すことになるので、配管Pの肉厚に応じて、予め突出部41の高さの異なるものを複数製作しておくことが可能である。
【0026】
なお、この突出部41の高さについては、本装置1の使用時に、センサチップSが、図2に示すように、配管Pの内周面とほぼ面一となる位置に配設されるように設定されるのが好ましい。
【0027】
さらに、本実施形態では、上記開口部43として、突出部41の頭頂部の中央に円形の貫通穴を形成した場合を示したが、その位置・形状・寸法は、少なくとも上記センサチップSが実装された基板Bを下向きに(図3において、センサチップSが配管Pに臨むように)底面41bに載置させた際に、上記センサチップSが開口部43を通じて外部に露出し、かつ、その状態で少なくとも基板Bの周縁部Baが底面41bによって支えられる(基板Bが開口部43から脱落しない)ものであれば、他の位置(たとえば、中央以外の偏心した位置)や他の形状(たとえば、矩形や楕円形)とすることも可能である。
【0028】
一方、上記第二の本体部材5は、上記第一の本体部材4と嵌合可能に形成される。本実施形態では、この第二の本体部材5は、上記第一の本体部材4と同様に、略円筒状の突出部51と、この突出部51の外周に略水平に形成されたフランジ部52とから構成される。
【0029】
そして、突出部51の頭頂面には、該頭頂面を貫通して略円形の開口部53が形成されるとともに、上記フランジ部52には、上記第一の本体部材4のネジ穴44と対応する位置にネジ穴54が貫通形成される。ここで、この突出部53に形成される開口部53は、少なくとも上記基板Bの裏面に突出状に設けられる電子部品Eが挿通可能な位置・形状・寸法を有してなり、図示例ではこの開口部53として円形の貫通穴が形成されている。
【0030】
なお、この第二の本体部材5は、上述したように上記第一の本体部材4と嵌合可能に形成されるので、突出部51の位置・形状・寸法は、いずれも上記第一の本体部材4に合わせて設定される。つまり、上記第一の本体部材4として寸法の異なるものが予め数種類製作される場合、この第二の本体部材5もそれに合わせて複数製作される。
【0031】
なお、図示例では、上記開口部53として突出部51の頭頂部中央付近に円形の貫通穴を形成した場合を示したが、その位置・形状・寸法は、図2に示すように、上記第一の本体部材4との間に上記基板Bを挟み込んだ際に、基板Bの裏面に設けられた電子部品Eが開口部53を通じて露出し、かつ、この状態で上記基板Bの周縁部Baを突出部51の頭頂面51aで押さえられる(基板Bを挟み込んだ際に基板Bの周縁部Baが上方に逃れない)ものであれば、他の位置(たとえば中央から偏心した位置)や他の形状(たとえば、矩形や楕円形)などを採用することも可能である。
【0032】
また、突出部51の高さは、上記第一の本体部材4の突出部41の高さや基板Bの厚さなどに応じて設定される。つまり、この第二の本体部材5は、上述したように、上記基板Bを挟み込んで上記第一の本体部材4に嵌合使用されるが、その際に、基板Bと第一の本体部材4の底面41bとの間に介装されるシール部材6が所定の気密状態を保てる程度の高さに設定される。
【0033】
また、本実施形態では、後述するように、シール部材6によって基板Bと第一の本体部材4との気密が確保されるため、図2に示すように、第一の本体部材4の突出部41の内周面と第二の本体部材5の突出部51の外周面とを必ずしも密着させる必要はないが、図示の如くこれらが密着するように第二の本体部材5の突出部51を成形しておくのが可能な限り気密を高めるという観点からは好ましい。
【0034】
上記シール部材6は、基板Bと第一の本体部材4の底面41bとの気密を確保するための部材であって、本実施形態では、上記底面41bと略同形・同寸のリング状の弾性部材(たとえば、ゴム製のガスケット)が用いられる。
【0035】
また、ネジ7は、上記第二の本体部材5を上記第一の本体部材4に嵌合させた状態で、上記ネジ穴54,44を貫通して配管Pに設けられるネジ穴81に螺入可能な金属製のネジで構成される。
【0036】
一方、上記本体シール部材3は、上記装置本体2と上記配管Pとを気密するためのシール部材であって、図2に示すように、本装置1を装着するために配管Pに設けられる開口部8の内周面と上記第一の本体部材4の突出部41の外周面との間に介装可能に構成されたリング状の弾性部材(たとえば、ゴム製のガスケット)で構成される。
【0037】
しかして、以上のような構成品からなるセンサ装着装置1の使用方法について以下に説明する。
【0038】
上記本装置1の使用にあたっては、まず、センサチップSが測定対象とする被測定流体が流れる配管Pに上記第一の本体部材4の突出部41を挿入可能な開口部8を形成する。より詳細には、この開口部8は、上記突出部41の外径と略同寸の円形の貫通穴とされる。つまり、この開口部8は、上記突出部41を挿通させた際に、開口部8の内周面と上記突出部41の外周面との間に大きな隙間ができないようにできる限り上記突出部41の外周と同じ寸法となるように形成される。
【0039】
ところで、本実施形態では、上記第一の本体部材4に形成された突出部41の形状が、上記のように略円筒状であるので、配管Pに形成される開口部8もこの突出部41の形状に合わせて円形とされるが、上記突出部41の形状が円筒形以外の場合には、この開口部8の形状も突出部41の形状に合わせて適宜変更される。
【0040】
そして、この開口部8には、上記本体シール部材3を装着するためのスペースとして、図2に示すように、上記開口部8の全周にわたって配管Pの外側から開口部8の内周面を所定深さだけ切り欠いた切欠き溝9が形成される。この切欠き溝9の幅は、上記本体シール部材3の直径よりもやや狭く形成される。つまり、この溝9に上記本体シール部材3を挿入した状態で上記第一の本体部材4の突出部41を開口部8に挿入することにより、この切欠き溝9に挿入された本体シール部材3によって突出部41の外周と開口部8の内周とが気密されるように設定される。
【0041】
また、この開口部8の開口作業と並行して、配管Pの所定位置には上記ネジ7が螺入可能なネジ穴81が形成される。なお、このネジ穴81は上記開口部8とは異なり配管Pを貫通しないように形成される。
【0042】
このようにして、配管Pに開口部8とネジ穴81とが形成されると、次に、上記開口部8の切欠き溝9に本体シール部材3を挿入し、その状態で、図3に示すように、上記第一の本体部材4の突出部41を下向きにしつつ上記開口部8に挿入する。この時、フランジ部42に形成されたネジ穴44の位置が配管Pに設けられたネジ穴81の位置と一致するようにする。
【0043】
そして、次に、上記シール部材6を上記突出部41の底面41bに載置するとともに、シール部材6の上に基板Bを重ねて載置する。その際、基板BはセンサチップSが、第一の本体部材4に形成された開口部43から配管P内に臨むようにチップSの実装された面を下向きに載置する。
【0044】
このようにして基板Bをシール部材6上に載置すると、次に、上記第二の本体部材5の突出部51を下向きにしつつ、第二の本体部材5を第一の本体部材4に嵌合させる。そして、この状態で、第二の本体部材5に設けられたネジ穴54からネジ7を挿入して、該ネジ7を配管Pのネジ穴81に螺合することで、第一および第二の本体部材4,5を配管Pに共締め固定する。
【0045】
これにより、上記基板Bの周縁部Baが、第一の本体部材4に形成された突出部41の底面41bと第二の本体部材5に形成された突出部51の頭頂面51aとが基板Bの保持手段となって、これらにより基板Bの周縁部Baが表裏面から挟持状に保持される。また、第一の本体部材4と基板Bとの間にはシール部材6が介装されるとともに、上記第二の本体部材5を共締することによって基板Bが下方に押圧されるので、これにより第一の本体部材4と基板Bとの間が気密される。つまり、基板Bは、気密状態をもって上記保持手段に保持される。
【0046】
また、上記保持手段によって保持される基板B(より具体的にはセンサチップS)の位置は、上述したように、第一の本体部材4の突出部41の高さによって調節されており、本装置1の使用にあたり、センサチップSが、図2に示すように、配管Pの内周面とほぼ面一となるような突出部41の高さ設定を有した第一の本体部材4を用いることにより、第一および第二の本体部材4,5を共締め固定することによって、上記保持手段が配管P内の流体の流れを乱すことなく測定に適した位置に位置決め固定される。つまり、本実施形態では、上記第一および第二の本体部材4,5のフランジ部42,52およびこれらを固定するネジ7が上記保持手段を被測定流体が流れる配管に位置決め固定する取付手段を構成する。
【0047】
このように、本発明によれば、センサチップSが実装された基板Bを本装置1に装着するとともに、これを配管Pの開口部8に装着するとう簡単な作業によって、保持手段により保持された基板表面のセンサチップSが配管P内に露出する位置に配置されるので、配管P内の流体の流れを乱すことなく流体の測定を行なうことができる。
【0048】
なお、上述した実施形態はあくまでも本発明の好適な実施態様を示すものであって、本発明はこれらに限定されることなくその範囲内で種々の設計変更が可能である。
【0049】
たとえば、上述した実施形態では、本体シール部材3およびシール部材6としてリング状の弾性部材を用いる構成を示したが、これに代えてポッティング剤等の密着を利用してシールする構成を採用することも可能である。
【0050】
また、上述した実施形態では、第一の本体部材4と基板Bとの間にシール部材6を介装させる構成を採用したが、このシール部材6は、基板Bと保持手段とを気密するものであれば、たとえば基板Bと第二の本体部材5との間に介装させることもできる。ただし、その場合、第一の本体部材4と第二の本体部材5との間を気密するための措置を別途講ずる必要がある。
【0051】
また、上述した実施形態では、第一および第二の本体部材4,5として、絞り加工による一体成形品を採用したが、これは絞り加工によると製造コストを低く押さえることができるからであり、他の加工法によって製造することも可能である。また、上述した実施形態では、これら第一および第二の本体部材4,5は、いずれも金属製のものを用いたが、耐久性や耐腐食性などに優れた部材であれば他の部材を用いることも可能である。
【0052】
さらに、上述した実施形態では、本装置1に装着するものとして、一枚の基板BにセンサチップSと増幅回路等の電子部品Eとが実装されたチップ・オン・ボード型のセンサ装置を用いたが、本発明に係る装着装置1は、増幅回路等の電子部品Eが他の基板に設けられているタイプのセンサにも適用可能である。また、使用されるセンサチップは、流体の測定に用いられるセンサであればよく、上述したマイクロチップ型熱式質量センサに限られず適宜変更可能である。
【0053】
また、上述した実施形態では、上記保持手段として、第一および第二の本体部材4,5を用いて基板Bの周縁部Baを挟み込んで保持する構成を採用したが、上記保持手段は、センサチップSが実装された基板Bの周縁部を気密状態で保持する構成であれば、他の構成(たとえば基板Bを接着保持するようなもの)であってもよい。
【0054】
なお、上述した実施形態では、本装置1の使用にあたり、配管Pに、本体シール部材3、第一の本体部材4、シール部材6、基板B、第二の本体部材5の順で順次部品を装着してゆく手順を示したが、先に、第一の本体部材4と、シール部材6と、基板Bと、第二の本体部材5とを組上げておき、その後に本体シール部材3とともに配管Pに装着するように用いてもよい。
【0055】
また、上述した実施形態では、上記第一の本体部材4、シール部材6、基板Bおよび第二の本体部材5の全てを現場で組み立てる場合を示したが、これらは予め一体に組み上げておくことも可能である。つまり、これら組み立てた状態で第一および第二の本体部材4,5のフランジ部42,52や突出部41,51をかしめたり、あるいは圧着したり、さらには溶接するなどして、基板Bとシール部材6を挟み込んだ状態で第一および第二の本体部材4,5を固定しておくことも可能である。
【0056】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、センサ装着装置が、センサチップが実装された基板の周縁部を気密状態で保持する保持手段と、上記保持手段を被測定流体が流れる流体通路に位置決め固定する取付手段とを備えた装置本体と、上記装置本体と流体通路とを気密する気密手段とからなり、上記装置本体は、上記取付手段を上記流体通路に取り付けた際に、保持手段によって保持される基板表面のセンサチップが、流体通路内に露出するように形成されているので、基板を保持手段に保持させた状態で本装置を流体通路に装着することによって容易に流体の測定を行なうことができる。
【0057】
特に、上記装置本体が、頭頂部に開口を有する突出部と、この突出部の外周に形成されたフランジ部とを備えた第一の本体部材と、この第一の本体部材に嵌合可能に形成された第二の本体部材と、これらの間に介装されるシール部材と、これらを流体通路に共締めするためのネジとから構成されることにより、基板を上記第一と第二の本体部材の間に挟み込んで流体通路に装着するだけで、センサチップの流体通路への装着が完了するので、その作業は極めて簡単である。
【0058】
そして、上記第一および第二の本体部材を、それぞれ絞り加工により形成することにより、本装置の製造コストを低く押さえることができ、装置使用によるコストを低廉に押さえることができる。
【0059】
また、上記第一の本体部材における突出部の高さを、流体通路の肉厚に応じて設定することにより、流体通路内の流体の流れを乱すことなく流体の測定をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るセンサ装着装置にセンサチップが実装された基板を装着した状態の正面図である。
【図2】同センサ装着装置を用いてセンサチップを流体通路に装着した状態の拡大断面図である。
【図3】図2の分解斜視図である。
【図4】従来のセンサチップの取付具を示す斜視図である。
【図5】いわゆるチップ・オン・ボード型のセンサ装置を配管に直接装着した状態を示す説明図である。
【符号の説明】
1 センサ装着装置
2 装置本体
3 本体シール部材(気密手段)
4 第一の本体部材
41 突出部
42 フランジ部
43 開口部
5 第二の本体部材
51 突出部
52 フランジ部
53 開口部
6 シール部材
B 基板
E 電子部品
S センサチップ
P 配管(流体通路)
Claims (3)
- センサチップが実装された基板を、被測定流体が流れる流体通路に装着するための装着装置であって、
センサチップが実装された基板の周縁部を気密状態で保持する保持手段と、前記保持手段を被測定流体が流れる流体通路に位置決め固定する取付手段とを備えた装置本体と、前記装置本体と前記流体通路とを気密する気密手段とからなり、
前記装置本体は、前記取付手段を前記流体通路に取り付けた際に、前記保持手段によって保持される前記基板表面のセンサチップが、前記流体通路内に露出するように形成され、
前記装置本体は、
頭頂部に開口を有する突出部と、この突出部の外周に形成されたフランジ部とを備えた第一の本体部材と、
この第一の本体部材に嵌合可能に形成された突出部およびフランジ部を有する第二の本体部材と、
これら第一および第二の本体部材の間に介装されるシール部材と、
前記第一および第二の本体部材のフランジ部を前記流体通路に共締めするためのネジとから構成されていることを特徴とするセンサ装着装置。 - 前記第一および第二の本体部材が、それぞれ絞り加工により形成された金属製の一体成形品からなることを特徴とする請求項1に記載のセンサ装着装置。
- 前記第一の本体部材における突出部の高さが、前記流体通路の肉厚に応じて設定されていることを特徴とする請求項1または2に記載のセンサ装着装置。
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