JP3788503B2 - 光ファイバ用ガラス母材の製造方法および製造装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、クラッド用ガラスパイプにコア用ガラスロッドを挿入し、加熱軟化して一体化する光ファイバガラス母材の製造方法および製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
大口径の光ファイバガラス母材を製造する方法の一つとして、予めコア用のガラスロッドを作製しておき、このコア用ガラスロッド(以下、ガラスロッドという)をクラッド用石英ガラスパイプ(以下、ガラスパイプという)に挿入し、ガラスパイプを加熱軟化させて潰すコラプスという工程を経ることにより、ガラスロッドと一体化する方法が知られている。ガラスロッドは、化学気相堆積法(Chemical Vapor Deposition :CVD法)、外付けCVD法(Outer Vapor Deposition :OVD法)、気相軸付法(Vapor phase Axial Deposition :VAD法)等により、屈折率を高めるドーパントを添加して形成される。
【0003】
従来、ガラスロッドにガラスパイプをコラプスして、光ファイバガラス母材を製造方法として、例えば、特表2000−510093公報が知られている。この製造方法は、垂直旋盤を用いてガラスロッドをガラスパイプ内に挿入した後、炉によりガラスパイプを予熱し、ガラスパイプが軟化点に至るまでバーナーで加熱する。そして、ガラスロッドとガラスパイプとの間隙の空気を抜いて減圧し、ガラスパイプをガラスロッド上にコラプスして一体化するというものである。
【0004】
しかし、縦型旋盤を用いると、コラプス開始時の加熱時にガラスロッドが自重により変形することがあり、また、ガラスロッドとガラスパイプとの軸心合わせが難しく、軸心が合っていない状態でコラプスするとドーパントが添加されたガラスロッドの真円性が悪化する。また、炉を用いてガラスパイプを予熱するため、装置が複雑になり、予熱温度まで昇温する時間がかかり、作業効率の低下が予想される。そして、ガラスロッドとガラスパイプを太径にして、大型の光ファイバガラス母材を製造する場合、ガラス母材面積に対するバーナー火炎の面積割合が小さくなり、内部まで十分に加熱することができず、ガラスパイプの潰し残しが生じる可能性がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、横型旋盤を用いて軸心合わせを容易にし、コアガラスの真円性を保って、ガラスパイプを潰し残しなくコラプスされる光ファイバガラス母材の製造方法と製造装置を提供することを課題とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の光ファイバ用ガラス母材の製造方法は、クラッド用ガラスパイプにコア用ガラスロッドを挿入し、前記クラッド用ガラスパイプとコア用ガラスロッドを横型旋盤で同心支持して回転させ、減圧しながら内側の酸素噴出ポートと外側の水素噴出ポートを同心円状に配したバーナーで前記クラッド用ガラスパイプを下方から加熱軟化させて潰し、前記コア用ガラスロッドと一体化させる光ファイバ用ガラス母材の製造方法であって、一体化されたガラス母材の断面積をS1とし、前記バーナーの水素ガス噴出ポートのガス噴出口の断面積をS2とし、前記バーナーの酸素ガス噴出ポートのガス噴出口の断面積をS3としたとき、S1/S2を10〜30とするとともに、S2/S3を5〜7とすることを特徴とする。
【0007】
また、本発明の光ファイバ用ガラス母材の製造装置は、クラッド用ガラスパイプにコア用ガラスロッドを挿入し、減圧しながら内側の酸素噴出ポートと外側の水素噴出ポートを同心円状に配したバーナーで前記クラッド用ガラスパイプを下方から加熱軟化させて潰し、前記コア用ガラスロッドと一体化させる光ファイバ用ガラス母材の製造装置であって、前記クラッド用ガラスパイプとコア用ガラスロッドを同心支持して回転させる横型旋盤装置を備え、一体化されたガラス母材の断面積をS1とし、前記バーナーの水素ガス噴出ポートのガス噴出口の断面積をS2とし、前記バーナーの酸素ガス噴出ポートのガス噴出口の断面積をS3としたとき、S1/S2を10〜30とするとともに、S2/S3を5〜7としたことを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】
図により本発明の実施の形態を説明する。図1はコラプス工程の概略図、図2(A)は図1のコラプス前のa−a断面図、図2(B)は図1のコラプス後のb−b断面図である。図中、1はコア用ガラスロッド、2はクラッド用ガラスパイプ、3はバーナー、4は間隙を示す。
【0009】
コア用ガラスロッド1(以下、ガラスロッドという)は、光ファイバの種別により種々の形態で形成したものを用いることができる。例えば、シングルモード形ファイバ、マルチモード形ファイバでは使用する太さが異なり、ステップインデックス(SI)形ファイバ、グレーテッドインデックス(GI)形ファイバでは、コアの屈折率分布が異なる。これらのガラスロッド1は、CVD法、OVD法、VAD法等の種々の方法により、屈折率を高めるドーパント(例えば、GeO2 )を添加して多孔質ガラス母材を生成した後、透明ガラス化して形成される。
【0010】
また、コア部の外周をクラッド部より屈折率を低くしたデプレストクラッド形ファイバでは、上述の屈折率を高めたガラスロッド1の外側に屈折率を下げるドーパント(例えば、フッ素)を添加したガラスを外付け法またはガラスパイプをコラプスして形成したものを用いることができる。クラッド用ガラスパイプ2(以下、ガラスパイプという)は、一般に、高純度の石英ガラスが用いられる。
【0011】
バーナー3は、後述する酸素ガス噴出ポートと水素ガス噴出ポートを同軸円筒状に配した構成のものが用いられる。このバーナー3は、ガラスパイプ2の側方に配置され、ガラスパイプ2またはバーナー3のいずれかを相対的に移動可能にして構成される。また、ガラスロッド1とガラスパイプ2との間隙4を減圧するための手段(図示せず)が配設されている。
【0012】
以上の構成において、先ず、図2(A)示すように、ガラスロッド1をガラスパイプ2に挿入し、それぞれの両端を横型旋盤(図示せず)のチャックで同軸状に配し、かつ回転可能に支持する。ガラスロッド1とガラスパイプ2の間の間隙4(0.5mm〜1mm程度)が潰し量となる。ガラスパイプ2の一方の端部側をバーナー3で加熱溶融して、ガラスロッド1と融着し、ガラスロッド1とガラスパイプ2の間隙4の一方の端部を密封する。次いで、バーナー3でガラスパイプ2内を真空引きにより減圧しながら密封端部と反対の端部に向けて、順次、加熱軟化させる。加熱軟化されたガラスパイプ2’は、図2(B)に示すように減圧による負圧で潰れ、ガラスロッド1上にコラプスされ、一体化される。なお、横型旋盤を用いることにより、ガラスロッド1を両端で固定してから、ガラスパイプ2のコラプス開始ができ、作業性よく真円性を確保しやすい。
【0013】
図3、図4はバーナー3の概略を示し、図3はバーナー軸方向断面図、図4は図3の径方向c−c断面図である。図中、5は酸素ガス噴出ポート、6は水素ガス噴出ポート、7はバーナー端部を示す。バーナー3は、内側のO2 噴出ポート5と外側のH2 噴出ポート6の2つのポートを同心円状に配した円筒形状で形成され、テーパー状のバーナー端部7でO2 ガスとH2 ガスが混合されるように構成される。バーナー3は、ガラスパイプ2の太さに応じて、バーナー径(端部7の外径φで示す)、H2 噴出ポート6の断面積S2、O2 噴出ポート断面積S3等を変えたものが用いられる。なお、ポート断面積S2,S3は、ガス噴出口の有効断面積でポート壁の肉厚分t1、t2は含まないものとする。
【0014】
図5は、コラプス後のガラス母材外径Dと使用バーナーの種別の適否を検討した結果を示す図である。検討した例1〜例4では、バーナー3は、比較的細径用として10φ(外径10mm)のものと、比較的太径用の13φ(外径13mm)でAとBの2種類のものを用意した。なお、ガラス母材の太さに応じて、さらに多くの種類のバーナーを用意することができる。
【0015】
図6は、コラプス時のバーナーによる融着界面での温度分布を示す図である。バーナー3により、ガラスロッド1とガラスパイプ2を加熱したとき、その界面の温度分布は、バーナー径の違いにより図に示すように変化する。バーナー径が小さいと、狭いヒートゾーンで温度変化が大きい分布を示し、バーナー径が大きくなると、広いヒートゾーンで温度変化が比較的緩やかな平坦に近い温度変化の分布を示す。
【0016】
図5に示す例1は、長さが270mmで、コラプス後のガラス母材外径Dが26mmの比較的細径の光ファイバガラス母材を得る場合に、10φバーナーを用いてコラプスを行なった例である。10φバーナーのH2 噴出ポート断面積S2を21.76mm2 、O2 噴出ポート断面積S3を4.15mm2 とし、断面積比S2/S3を5.25をした。コラプス後のガラス母材断面積を外径Dから算出してS1としたとき、H2 噴出ポート6の断面積S2との比S1/S2は19.07であった。なお、H2 ガス流量は74(SLM)、O2 ガス流量は33(SLM)とした。コラプス時のガラスパイプ表面温度は1700℃で、ほぼ適切な加熱温度で、ガラスロッド1とガラスパイプ2の界面の状態は良好で潰し残しがなく、コア非円率も0.4%以下とほぼ満足する結果が得られている。なお、コア非円率とは、コア最大径とコア最小径の差をコア平均径で除して100分率で示したものである。
【0017】
例2は、長さは同じ270mmで、光ファイバの生産性向上のためコラプス後のガラス母材外径Dを33.5mmとした比較的太径の光ファイバガラス母材を得る場合に、例1と同じ10φバーナーを用いてコラプスを行なった例である。H2 噴出ポートとO2 噴出ポートの断面積比S2/S3は例1と同じ5.25で、コラプス後のガラス母材断面積S1とH2 噴出ポート6の断面積S2との比S1/S2は40.45であった。なお、H2 ガス流量は74(SLM)、O2 ガス流量は33(SLM)で同じとした。この結果、コラプス時のガラスパイプ表面温度は1650℃で、特に低い温度ではないが、ガラスロッド1とガラスパイプ2の界面ので潰し残しが一部生じ、コア非円率も0.84%と少々不満足な結果となっている。この理由としては、図6に示すバーナーによるヒートゾーンの範囲がガラス母材外径Dに対して10φファイバでは狭いため、熱量不足による潰し残しが生じたものと考えられる。
【0018】
例2の結果を踏まえて、例3ではガラス母材外径Dを大きくした場合、ヒートゾーンを大きくする必要があると考え、バーナー外径を太くした13φAバーナーを用いてコラプスを行なった。なお、バーナー外径を1.3倍としたので、ガス噴出ポート断面積(H2 噴出ポート断面積S2+O2 噴出ポート断面積S3)もほぼ1.3倍とした。このときのH2 噴出ポート断面積S2を21.89mm2 、O2 噴出ポート断面積S3を12.56mm2 とし、断面積比S2/S3を1.75とした。また、コラプス後のガラス母材断面積S1とH2 噴出ポート6の断面積S2との比S1/S2は41.45であった。なお、H2 ガス流量は150(SLM)、O2 ガス流量は50(SLM)とした。
【0019】
この結果、コラプス時のガラスパイプ表面温度は1360℃で、温度が十分上がらないため負圧を大きくしてコラプスした。ヒートゾーンが拡大したことと、負圧を大きくしたことで潰し残しは生じなかったが、コア非円率が2.36%と大幅に悪化した。表面温度が上がらない原因を調査した結果、O2 噴出ポート断面積S3の割合を増加させたのに対し、H2 噴出ポート断面積S2が増加されておらず、熱量不足が不足していることによるものと考えられる。
【0020】
例4は、コラプス後のガラス母材外径を26mmから34mmと太くしたとき、断面積の増加は2倍位になることから、13φBバーナーでは、外径は同じで、ガス噴出ポート断面積(H2 噴出ポート断面積S2+O2 噴出ポート断面積S3)をほぼ2倍とした。このときのH2 噴出ポート断面積S2を43.96mm2 、O2 噴出ポート断面積S3を7.07mm2 とし、断面積比S2/S3を6.22とした。コラプス後のガラス母材断面積S1とH2 噴出ポート6の断面積S2との比S1/S2は20.64であった。なお、H2 ガス流量は150(SLM)、O2 ガス流量は50(SLM)で同じとした。
【0021】
この結果、コラプス時のガラスパイプ表面温度は1860℃で、広いヒートゾーンで十分な温度が得られ、負圧を例1のときと同じとしたが、潰し残しは生じなかった。また、コア非円率は0.23%と良好な結果が得られた。
【0022】
以上の例1〜例4の結果から総合的には、コラプス後のガラス母材断面積S1と使用バーナーのH2 噴出ポートの断面積S2の比S1/S2が20前後で、10〜30の範囲内にあるのが好ましい。言い換えると、H2 噴出ポートの断面積S2をガラス母材断面積S1の1/10〜1/30とする。ガラスパイプ2への加熱量が少ないと、潰しが不足する。しかし、加熱量が多すぎたりガラスパイプに無理な潰し力を加えると、内部のガラスロッドの非円率が悪化する。これは、ガラスパイプ内のガラスロッドに、GeO2 のようなドーパントが添加されていると加熱により軟化しやすく、ガラスパイプ2を潰したときにガラスロッド1の真円性が損なわれ、楕円に変形しやすくなることによる。断面積の比S1/S2を上記のような範囲とすることにより、光ファイバガラス母材の太さに対応した十分な温度とヒートゾーンが得ることができ、良好な非円率でガラスパイプを潰すことができ、また潰し残しをなくすことができる。
【0023】
また、バーナーのH2 噴出ポート断面積S2とO2 噴出ポート断面積S3との比S2/S3が5〜7の範囲にあるのが好ましい。バーナーによりH2 ガスとO2 ガスにより火炎を生じさせる場合、H2 噴出ポートの断面積を増加させる代わりに、ポート断面積を一定としてH2 ガス量を増やすことでも加熱量を上げることをできるが、H2 ガスの流速が大きくなり、ガラス母材の表面を削りとることとなる。したがって、H2 ガスの流速は一定として、H2 噴出ポートの断面積を変化させるのが好ましい。H2 噴出ポートとO2 噴出ポートの断面積比S2/S3を上記のような範囲とすることにより、ガラスパイプの表面を所定温度に加熱することができる。
【0024】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、製造される光ファイバガラス母材の太さに対応して、コラプスに必要な十分な加熱温度とヒートゾーンが得ることができ、コア用ガラスロッドの真円性を良好に保ってクラッド用の石英ガラスパイプを潰すことができ、また潰し残しをなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を説明する概略図である。
【図2】図1のa−aおよびb−b断面を示す図である。
【図3】バーナーの形状を説明する縦断面図である。
【図4】図3のc−c断面を示す図である。
【図5】本発明の具体例による検討結果を示す図である。
【図6】バーナーとヒートゾーンの関係を示す図である。
【符号の説明】
1…コア用ガラスロッド、2…クラッド用ガラスパイプ、3…バーナー、4…間隙、5…酸素ガス噴出ポート、6…水素ガス噴出ポート、7…バーナー端部。
Claims (2)
- クラッド用ガラスパイプにコア用ガラスロッドを挿入し、前記クラッド用ガラスパイプとコア用ガラスロッドを横型旋盤で同心支持して回転させ、減圧しながら内側の酸素噴出ポートと外側の水素噴出ポートを同心円状に配したバーナーで前記クラッド用ガラスパイプを下方から加熱軟化させて潰し、前記コア用ガラスロッドと一体化させる光ファイバ用ガラス母材の製造方法であって、一体化されたガラス母材の断面積をS1とし、前記バーナーの水素ガス噴出ポートのガス噴出口の断面積をS2とし、前記バーナーの酸素ガス噴出ポートのガス噴出口の断面積をS3としたとき、S1/S2を10〜30とするとともに、S2/S3を5〜7とすることを特徴とする光ファイバ用ガラス母材の製造方法。
- クラッド用ガラスパイプにコア用ガラスロッドを挿入し、減圧しながら内側の酸素噴出ポートと外側の水素噴出ポートを同心円状に配したバーナーで前記クラッド用ガラスパイプを下方から加熱軟化させて潰し、前記コア用ガラスロッドと一体化させる光ファイバ用ガラス母材の製造装置であって、前記クラッド用ガラスパイプとコア用ガラスロッドを同心支持して回転させる横型旋盤装置を備え、一体化されたガラス母材の断面積をS1とし、前記バーナーの水素ガス噴出ポートのガス噴出口の断面積をS2とし、前記バーナーの酸素ガス噴出ポートのガス噴出口の断面積をS3としたとき、S1/S2を10〜30とするとともに、S2/S3を5〜7としたことを特徴とする光ファイバ用ガラス母材の製造装置。
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