JP3788244B2 - セラミックグリーンシート積み重ね機の制御方法 - Google Patents

セラミックグリーンシート積み重ね機の制御方法 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品を製造するために用いられるセラミックグリーンシート積み重ね機の制御方法に関するもので、特に、セラミックグリーンシート積み重ね機における長尺のセラミックグリーンシートの間欠的な搬送に対する制御方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品を製造するにあたって、セラミックグリーンシートを積み重ねる工程が実施される。図11には、このような積み重ね工程において用いられる、この発明にとって興味ある従来のセラミックグリーンシート積み重ね機1の概略構成が示されている。
【0003】
セラミックグリーンシート積み重ね機1は、キャリアフィルム(図示せず。)によって裏打ちされかつ一定間隔を置いて長手方向に分布する複数の領域に内部電極のような多数の導体膜(図示せず。)が印刷されるとともに導体膜の印刷と同時に位置決め用マーク(図示せず。)が印刷された、長尺のセラミックグリーンシート2を取り扱うものである。
【0004】
セラミックグリーンシート積み重ね機1は、長尺のセラミックグリーンシート2を、矢印で示すように、長手方向へ一定ピッチで間欠的に搬送するための搬送機構を備えている。搬送機構は、巻出しロール3から巻取りロール4に至る搬送経路を与えている。巻出しロール3は、巻出しモータ5によって回転駆動され、巻取りロール4は、巻取りモータ6によって回転駆動される。これら巻出しモータ5および巻取りモータ6は、シート搬送コントローラ7によって制御される。
【0005】
巻出しロール3から巻取りロール4に至る搬送経路の途中には、テンション制御部8が設けられる。テンション制御部8は、セラミックグリーンシート2のテンションを制御するためのもので、それぞれ、セラミックグリーンシート2を巻掛けする、第1および第2のガイドロール9および10ならびにダンサーロール11を備えている。第1のガイドロール9には、テンションセンサ12が取り付けられる。ダンサーロール11は、両方向矢印13で示すように上下方向に移動可能に設けられ、ダンサーモータ14によって駆動される。ダンサーモータ14は、テンションセンサ12によって検出されたテンションに応じて、テンションコントローラ15によって制御され、それによって、セラミックグリーンシート2のテンションを一定に保つように制御する。
【0006】
テンション制御部8の下流側には、切り出し機構16が配置される。切り出し機構16は、セラミックグリーンシート2を介して互いに対向するように配置される切り出しテーブル17および切り出しヘッド18を備えている。切り出し機構16は、巻出しロール3および巻取りロール4を備える搬送機構による間欠的搬送における停止のタイミングで、長尺のセラミックグリーンシート2から、一定寸法の四角形のセラミックグリーンシート2を切り出すためのもので、切り出しヘッド18には、図示しないが、四角形の各辺に沿うように配置された切断刃が設けられていて、切り出しヘッド18は、切り出しテーブル17に対して近接・離隔可能に設けられている。
【0007】
切り出し機構16によって切り出された四角形のセラミックグリーンシート2は、切り出しヘッド18によって保持されながら、図示しない積み重ね機構にまで搬送され、この積み重ね機構において積み重ねられる。
【0008】
切り出し機構16に関連して、セラミックグリーンシート2上に印刷された位置決め用マークを撮影するためのカメラとしてのCCDカメラ19が設けられる。CCDカメラ19は、切り出し機構16の位置にある位置決め用マークの位置を検出するためのものである。
【0009】
また、切り出し機構16に関連して、位置決め用マークを読み取るためのマーク読取りセンサとしての光電センサ20が設けられる。
【0010】
また、切り出し機構16に関連して、CCDカメラ19による位置決め用マークの検出位置データに基づく演算結果に従って、切り出し機構16の位置にある長尺のセラミックグリーンシート2の位置を補正するための補正機構21が設けられる。
【0011】
補正機構21は、セラミックグリーンシート2の搬送方向すなわちX方向22と幅方向すなわちY方向23と回転方向すなわちθ方向24との各補正を行なうもので、X方向22の補正のためのX方向モータ25、Y方向23の補正のためのY方向モータ26およびθ方向24の補正のためのθ方向モータ27を備えている。
【0012】
CCDカメラ19による位置決め用マークの検出位置データは、切り出し位置コントローラ28において演算され、この演算結果に従って、X方向モータ25、Y方向モータ26およびθ方向モータ27がそれぞれ駆動され、切り出しテーブル17および切り出しヘッド18の少なくとも一方に動作が与えられることによって、セラミックグリーンシート2の位置が補正される。
【0013】
図12は、セラミックグリーンシート積み重ね機1の動作を示すフロー図である。また、図13は、巻取りロール4の動作を示す図である。
【0014】
図12を参照して、まず、ステップS1およびS2で示すように、巻出しロール3および巻取りロール4が回転し、セラミックグリーンシート2が搬送される。これら巻出しロール3および巻取りロール4は、それぞれ、間欠的に回転し、一定量回転した後に、回転を終了する(ステップS3)。図13において、巻取りロール4のこの間欠的回転が、折れ線aで示されている。
【0015】
次に、巻取りロール4のみが低速で回転され(ステップS4)、位置決め用マークが光電センサ20で構成されるマーク読取りセンサの光軸を遮断した時(ステップS5)、巻取りロール4が停止される(ステップS6)。この巻取りロール4の回転が、図13において、折れ線bで示されている。
【0016】
上述のように、セラミックグリーンシート2を搬送するにあたって、図13に示すように、2段階の搬送を適用するのは次の理由による。
【0017】
セラミックグリーンシート2に一定のテンションをかけた状態で搬送する場合、たとえばポリエチレンテレフタレート等からなるキャリアフィルムによって裏打ちされたセラミックグリーンシート2には伸びが生じるため、一定ピッチでセラミックグリーンシート2を間欠送りするだけでは、セラミックグリーンシート2を所望の位置で停止させることが困難である。よって、図13において折れ線aで示すように、間欠送りを行なった後、折れ線bで示すように、低速で再びセラミックグリーンシート2を送り、光電センサ20によるマーク読取りセンサの光軸を遮断した時点でセラミックグリーンシート2を再び停止させるようにしている。これによって、セラミックグリーンシート2の停止精度を高めることができ、ひいては、セラミックグリーンシート2の積み重ね精度を高めることができる。
【0018】
次に、ステップS7で示すように、CCDカメラ19によって、位置決め用マークの位置が読み取られ、この検出位置データに基づく演算結果に従って、ステップS8、S9およびS10で示すように、X方向22、Y方向23およびθ方向24の各補正が実施され、このように切り出し位置の補正が完了した時(ステップS11)、切り出しおよび積み重ね処理が実施される(ステップS12)。
【0019】
その後、上述したステップS1〜S12が所望の回数だけ繰り返され、それによって、積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品を得るための所望の枚数のセラミックグリーンシート2が積み重ねられたグリーンシート積層体が得られる。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したように、セラミックグリーンシート2の間欠的搬送にあたって、セラミックグリーンシート2の停止精度を高めるため、図13に示すような2段階の搬送が適用され、しかも、間欠送りの後には低速での搬送が適用されるので、セラミックグリーンシート2の搬送に比較的長い時間を要し、セラミックグリーンシート積み重ね機1の高速化の障害となっている。
【0021】
そこで、この発明の目的は、セラミックグリーンシートの停止精度すなわち積み重ね精度を維持しながら、上述したような問題を解決し得る、セラミックグリーンシート積み重ね機の制御方法を提供しようとすることである。
【0022】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る制御方法が適用されるセラミックグリーンシート積み重ね機は、キャリアフィルムによって裏打ちされかつ一定間隔を置いて長手方向に分布する複数の領域に導体膜が印刷されるとともに前記導体膜の印刷と同時に位置決め用マークが印刷された、長尺のセラミックグリーンシートから、一定寸法の四角形のセラミックグリーンシートを切り出し、切り出された四角形の前記セラミックグリーンシートを積み重ねるためのものであり、次のような構成を有している。
【0023】
すなわち、セラミックグリーンシート積み重ね機は、キャリアフィルムによって裏打ちされた、長尺のセラミックグリーンシートを、そのテンションを制御しながら長手方向へ間欠的に搬送するための搬送機構を備えている。
【0024】
また、このセラミックグリーンシート積み重ね機は、四角形のセラミックグリーンシートを切り出す位置にある位置決め用マークの位置を検出するためのカメラと、このカメラによる位置決め用マークの検出位置データに基づく演算結果に従って、四角形のセラミックグリーンシートを切り出す位置にある長尺のセラミックグリーンシートの位置を、セラミックグリーンシートの搬送方向と幅方向および回転方向の少なくとも一方との少なくとも2軸に関して補正するための補正機構とを備えている。
【0025】
さらに、このセラミックグリーンシート積み重ね機は、搬送機構による間欠的搬送における停止のタイミングで、長尺のセラミックグリーンシートから、四角形のセラミックグリーンシートを切り出すためのものであり、その下面がセラミックグリーンシートを真空吸引に基づき吸着する吸着面とされた切り出しヘッドとセラミックグリーンシートを介してこれに対向するように配置される切り出しテーブルとを有する、切り出し機構と、切り出し機構によって切り出された四角形のセラミックグリーンシートを積み重ねるための積み重ね機構とを備えている。そして、前述の搬送機構は、巻出しロールおよび巻取りロールとそれらの間に位置する複数対の位置決めロールとを有し、セラミックグリーンシートの、切り出しテーブル上に位置される部分の両端部は、複数対の位置決めロールに巻き掛けされ、位置決め状態の安定化が図られる。
【0026】
このような構成を有するセラミックグリーンシート積み重ね機において、この発明では、前述した技術的課題を解決するため、次のような制御方法が採用されることを特徴としている。
【0027】
すなわち、この発明に係る制御方法は、メラが位置決め用マークを検出できる位置に長尺のセラミックグリーンシートをもたらすように、上述した補正機構によるセラミックグリーンシートの搬送方向に関する前回の補正量を加減算した量だけ搬送機構にフィードバックを行なった上で、次回のセラミックグリーンシートの間欠的搬送を行なう工程と、カメラにより位置決めマークの位置を読み取った後、補正機構によりセラミックグリーンシートの位置を搬送方向と幅方向および回転方向の少なくとも一方との少なくとも2軸に関して補正する工程とを備えることを特徴としている。
【0028】
この発明が適用されるセラミックグリーンシート積み重ね機は、切り出し機構の上流側において、導電性ペーストをセラミックグリーンシート上に印刷することによって導体膜を形成するための印刷機構と、この導体膜を形成する導電性ペーストを乾燥するための乾燥機構とをさらに備えていることが好ましい。
【0029】
また、この発明に係る制御方法は、長尺のセラミックグリーンシート上の導体膜が形成された領域の先頭位置が、切り出し機構によって切り出されるべき四角形のセラミックグリーンシートの先頭位置に合致するように、長尺のセラミックグリーンシート上の導体膜が形成された領域の先頭位置を検出して、セラミックグリーンシートの位置を修正するように制御する工程をさらに備えていることが好ましい。
【0030】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明の一実施形態による制御方法が適用されるセラミックグリーンシート積み重ね機31の概略構成を示している。なお、図1は、前述した図11に対応するもので、図1において、図11に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する詳細な説明は省略することがある。
【0031】
セラミックグリーンシート積み重ね機31は、図2にその一部を示すような長尺のセラミックグリーンシート2を取り扱うものである。セラミックグリーンシート2は、たとえばポリエチレンテレフタレートからなるキャリアフィルム(図示せず。)によって裏打ちされている。また、セラミックグリーンシート2の一方主面上には、一定間隔を置いて長手方向に分布する複数の領域に内部電極のような導体膜32が印刷され、また、これら導体膜32の印刷と同時に位置決め用マーク33が印刷されている。
【0032】
図1に示すように、セラミックグリーンシート積み重ね機31は、図11に示したセラミックグリーンシート積み重ね機1の場合と同様、長尺のセラミックグリーンシート2を、矢印で示すように、長手方向へ間欠的に搬送するための搬送機構を備えていて、この搬送機構は、巻出しロール3、巻取りロール4、巻出しモータ5および巻取りモータ6を備えている。なお、巻出しモータ5および巻取りモータ6は、切り出し位置/シート搬送コントローラ34によって制御される。
【0033】
巻出しロール3から巻取りロール4に至る搬送経路の途中には、図11に示したセラミックグリーンシート積み重ね機1の場合と同様、テンション制御部8が設けられ、このテンション制御部8は、第1および第2のガイドロール9および10、ダンサーロール11、テンションセンサ12、ダンサーモータ14、ならびにテンションコントローラ15を備えている。
【0034】
テンション制御部8の下流側には、図11に示したセラミックグリーンシート積み重ね機1の場合と同様、切り出し機構16が配置され、この切り出し機構16は、切り出しテーブル17および切り出しヘッド18を備えている。
【0035】
図3および図4には、切り出し機構16が図示されている。
【0036】
図3および図4に示すように、セラミックグリーンシート2の、切り出しテーブル17上に位置される部分の両端部は、複数対の位置決めロール35に巻掛けされ、それによって、セラミックグリーンシート2の位置決め状態の安定化が図られる。
【0037】
また、図4には、切り出しヘッド18が図示されている。切り出しヘッド18には、長尺のセラミックグリーンシート2から、一定寸法の四角形のセラミックグリーンシート2を切り出すため、四角形の各辺に沿うように配置された切断刃36が設けられている。切断刃36は、図4において左側に示すように、切り出しヘッド18の下面から突出可能に設けられている。切断刃36のこの突出度合いは、セラミックグリーンシート2を完全に切断するが、キャリアフィルムを完全には切断しないように選ばれる。また、切り出しヘッド18の下面は、セラミックグリーンシート2を真空吸引に基づき吸着する吸着面を与えている。
【0038】
切り出し機構16によって切り出された四角形のセラミックグリーンシート2は、切り出しヘッド18によって保持されながら、図4において両方向矢印37で示すように、積み重ね機構38にまで繰り返し搬送される。積み重ね機構38は、積み重ね金型39を備え、この積み重ね金型39内において、複数のセラミックグリーンシート2が積み重ねられる。
【0039】
再び図1を参照して、切り出し機構16に関連して、図11に示したセラミックグリーンシート積み重ね機1の場合と同様、セラミックグリーンシート2上に印刷された位置決め用マーク33(図2参照)を撮影するためのカメラとしてのCCDカメラ19が設けられ、このCCDカメラ19によって、切り出し機構16の位置にある位置決め用マーク33の位置が検出される。このCCDカメラ19による位置決め用マーク33の検出位置データは、前述した切り出し位置/シート搬送コントローラ34に入力される。
【0040】
また、切り出し機構16に関連して、図11に示したセラミックグリーンシート積み重ね機1の場合と同様、CCDカメラ19による位置決め用マーク33の検出位置データに基づく演算結果に従って、切り出し機構16の位置にある長尺のセラミックグリーンシート2の位置を補正するための補正機構21が設けられる。
【0041】
補正機構21は、セラミックグリーンシート2の搬送方向すなわちX方向22と幅方向すなわちY方向23および回転方向すなわちθ方向24の少なくとも一方との少なくとも2軸に関してセラミックグリーンシート2の位置を補正するためのものである。この実施形態では、補正機構21は、X方向22、Y方向23およびθ方向24のすべてについて補正を行なうように構成されていて、X方向22の補正のためのX方向モータ25、Y方向23の補正のためのY方向モータ26およびθ方向24の補正のためのθ方向モータ27を備えている。
【0042】
CCDカメラ19による位置決め用マーク33の検出位置データは、切り出し位置/シート搬送コントローラ34において演算され、この演算結果に従って、X方向モータ25、Y方向モータ26およびθ方向モータ27がそれぞれ駆動され、切り出しテーブル17および切り出しヘッド18の少なくとも一方に動作が与えられることによって、セラミックグリーンシート2の位置が補正される。
【0043】
また、上述した補正機構21によるX方向22に関する補正量のデータは、切り出し位置/シート搬送コントローラ34にストアされ、このX方向22に関する補正量は、次回の搬送機構によるセラミックグリーンシート2の搬送量に加減算するようにフィードバックされる。
【0044】
このようにして、X方向22の補正量を、次回の搬送機構によるセラミックグリーンシート2のX方向22の間欠的搬送において反映させることによって、図13の折れ線bで示すような低速送りをしなくても、搬送機構による単なる間欠的搬送だけで、CCDカメラ19により位置決めマーク33を検出できる位置にセラミックグリーンシート2をもたらすことができる。
【0045】
図5は、セラミックグリーンシート積み重ね機31の動作を示すフロー図である。また、図6は、巻取りロール4の動作を示す図である。
【0046】
図5を参照して、まず、ステップS21およびS22で示すように、巻出しロール3および巻取りロール4が回転し、セラミックグリーンシート2が搬送される。これら巻出しロール3および巻取りロール4は、それぞれ、間欠的に回転するが、巻出しロール3については、一定量回転した後に、回転を終了し、他方、巻取りロール4については、図6に示すように、前回の回転量に前回のX方向22の補正量を加減算した量だけ回転した後に、回転を終了する(ステップS23)。
【0047】
次に、ステップS24で示すように、CCDカメラ19によって、位置決め用マーク33の位置が読み取られ、この検出位置データに基づく演算結果に従って、ステップS25、S26およびS27で示すように、X方向22、Y方向23およびθ方向24の各補正が実施され、このように切り出し位置の補正が完了した時(ステップS28)、切り出しおよび積み重ね処理が実施される(ステップS29)。
【0048】
上述したステップS25でのX方向22の補正量は、次回のステップS22における巻取りロール4の回転量に加減算されるようにフィードバックされる。
【0049】
その後、上述したステップS21〜S29が所望の回数だけ繰り返され、それによって、積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品を得るための所望の枚数のセラミックグリーンシート2が積み重ねられたグリーンシート積層体が得られる。
【0050】
図7は、この発明の他の実施形態を説明するための印刷機構41および乾燥機構42を図解的に示す正面図である。
【0051】
これら印刷機構41および乾燥機構42は、図1に示したセラミックグリーンシート積み重ね機31における巻出しロール3と切り出し機構16との間、たとえば、図1において「A」で示した部分に挿入される。
【0052】
印刷機構41は、導電性ペーストをセラミックグリーンシート2上に印刷することによって導体膜32(図2参照)を形成するためのものである。なお、導体膜32の印刷と同時に、位置決め用マーク33が印刷されることは前述したとおりである。
【0053】
印刷機構41においては、たとえば、スクリーン印刷が適用される。そのため、印刷機構41は、スクリーン43、スキージ44および印刷テーブル45を備えている。
【0054】
前述したセラミックグリーンシート22の搬送は、切り出し機構16における切り出し動作および積み重ね機構38における積み重ね動作だけでなく、この印刷機構41における印刷動作とも同期している。すなわち、印刷動作は、セラミックグリーンシート2の間欠的搬送における停止のタイミングで実施される。
【0055】
乾燥機構42は、乾燥炉46を備え、乾燥炉46内には、セラミックグリーンシート2を受ける乾燥テーブル47およびセラミックグリーンシート2に対して温風を付与する温風吹出口48を備えている。
【0056】
上述のように、セラミックグリーンシート積み重ね機31に印刷機構41および乾燥機構42を付加することにより、導体膜32の印刷からセラミックグリーンシート2の積み重ねまでを1つの装置において連続的に実施することができ、そのため、面積生産性や材料収率等を向上させることができる。
【0057】
図8ないし図10は、この発明のさらに他の実施形態を説明するためのもので、図8は図1に、図9は図2に、および図10は図5にそれぞれ相当する図である。なお、図8および図9において、図1および図2に示す要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【0058】
この実施形態は、長尺のセラミックグリーンシート2上の導体膜32が形成された領域の先頭位置が、切り出し機構16によって切り出されるべき四角形のセラミックグリーンシート2の先頭位置に合致するように、長尺のセラミックグリーンシート2上の導体膜32が形成された領域の先頭位置を検出して、セラミックグリーンシート2の位置を修正するように制御する工程をさらに備えることを特徴としている。
【0059】
そのため、図9に示すように、セラミックグリーンシート2上には、先頭位置検出用マーク50が形成される。この先頭位置検出用マーク50は、位置決め用マーク33と同様、導体膜32の印刷と同時に印刷することによって形成される。なお、先頭位置検出用マーク50を設けずに、たとえば、位置決め用マーク33や導体膜32自体を先頭位置検出用マークとして機能させてもよい。
【0060】
また、この実施形態が適用されるセラミックグリーンシート積み重ね機31aには、図8に示すように、切り出し機構16の直前に、先頭位置検出用マーク50を検出するためのマーク読取りセンサ51が設けられる。このマーク読取りセンサ51は、切り出し機構16に対して、1送りピッチないし2送りピッチ上流側に位置されることが好ましい。
【0061】
マーク読取りセンサ51は、次の(またはさらに次の)間欠的搬送によって、位置決め用マーク33が切り出し機構16に位置するCCDカメラ19の視野に入ればよいので、光電センサのような簡単なセンサであってもよく、また、予め定められた位置にある先頭位置検出用マーク50を遮光するように取り付ければ十分であり、そのため、それほど高い精度は要求されない。
【0062】
このように、マーク読取りセンサ51によって先頭位置検出用マーク50を検出して、セラミックグリーンシート2の位置を修正するように制御すれば、長尺のセラミックグリーンシート2上の導体膜32が形成された領域の先頭位置が、切り出し機構16によって切り出されるべき四角形のセラミックグリーンシート2の先頭位置に合致させる工程を自動化することができ、作業効率の一層の向上をもたらすことができる。
【0063】
図8に示したセラミックグリーンシート積み重ね機31aの動作を、図10に示したフロー図に従って説明する。
【0064】
まず、ステップS31およびS32で示すように、巻出しロール3および巻取りロール4が回転し、セラミックグリーンシート2が搬送される。これら巻出しロール3および巻取りロール4は、それぞれ、間欠的に回転し、一定量回転した後に、回転を終了する(ステップS33)。
【0065】
上述したステップS31〜S33は、図示しないメインCPUからの指示に従って、先頭位置検出用マーク50が認識できる位置に達するまで繰り返される(ステップS34)。
【0066】
次に、ステップS35およびS36で示すように、巻出しロール3および巻取りロール4が再び回転され、先頭位置検出用マーク50をマーク読取りセンサ51が検出した時(ステップS37)、巻出しロール3および巻取りロール4が停止される(ステップS38)。このようにして、長尺のセラミックグリーンシート2上の導体膜32が形成された領域の先頭位置が、切り出し機構16によって切り出されるべき四角形のセラミックグリーンシート2の先頭位置に合致する状態が得られる。
【0067】
以後、図5に示したステップS21〜S29と実質的に同様のステップが実施される。
【0068】
すなわち、ステップS39およびS40で示すように、巻出しロール3および巻取りロール4が回転する。このとき、ステップS41で示すように、巻出しロール3については、一定量回転した後に、回転を終了し、他方、巻取りロール4については、前回の回転量にX方向22の補正量を加減算した回転量をもって回転した後に、回転を終了する。
【0069】
次に、ステップS42で示すように、CCDカメラ19によって、位置決め用マーク33の位置が読み取られ、この検出位置データに基づく演算結果に従って、ステップS43、S44およびS45で示すように、X方向22、Y方向23およびθ方向24の各補正が実施され、このように切り出し位置の補正が完了したとき(ステップS46)、切り出しおよび積み重ね処理が実施される(ステップS47)。
【0070】
上述したX方向22の補正量は、次回のセラミックグリーンシート2の搬送量に反映されるように、次回の巻取りロール4の回転量にこの補正量が加減算されるようにフォードバックされる。
【0071】
その後、上述したステップS39〜S47が所望の回数だけ繰り返され、それによって、所望の枚数のセラミックグリーンシート2が積み重ねられたグリーンシート積層体が得られる。
【0072】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、セラミックグリーンシート積み重ね機に備える補正機構によるセラミックグリーンシートの搬送方向に関する補正量を、次回の搬送機構によるセラミックグリーンシートの搬送量に加減算するようにフィードバックする工程を備えているので、従来のように、2段階の搬送を適用し、かつ後段の搬送において低速送りを採用しなくても、搬送機構による単なる間欠的搬送だけで、カメラにより位置決めマークを検出できる位置にセラミックグリーンシートをもたらすことができる。
【0073】
したがって、セラミックグリーンシートの停止精度ひいては積み重ね精度を実質的に低下させることなく、セラミックグリーンシートの搬送のための動作時間を短縮でき、それゆえ、セラミックグリーンシート積層体の生産性を向上させることができる。
【0074】
この発明が適用されるセラミックグリーンシート積み重ね機が、切り出し機構の上流側において、導電性ペーストをセラミックグリーンシート上に印刷することによって導体膜を形成するための印刷機構と、導体膜を形成する導電性ペーストを乾燥するための乾燥機構とを備えていると、導体膜の印刷からセラミックグリーンシートの積み重ねまでの各工程を連続的に実施することができ、さらなる生産性の向上を期待することができる。
【0075】
この発明において、長尺のセラミックグリーンシート上の導体膜が形成された領域の先頭位置が、切り出し機構によって切り出されるべき四角形のセラミックグリーンシートの先頭位置に合致するように、長尺のセラミックグリーンシート上の導体膜が形成された領域の先頭位置を検出して、セラミックグリーンシートの位置を修正するように制御する工程を採用すれば、長尺のセラミックグリーンシートの先頭出しの自動化を図ることができ、作業効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態による制御方法が適用されるセラミックグリーンシート積み重ね機31の概略構成を示す図である。
【図2】図1に示したセラミックグリーンシート積み重ね機31において取り扱われる長尺のセラミックグリーンシート2の一部を示す平面図である。
【図3】図1に示したセラミックグリーンシート積み重ね機31の切り出し機構16に備える切り出しテーブル17付近の構成を示す斜視図である。
【図4】図1に示したセラミックグリーンシート積み重ね機31に備える切り出し機構16および積み重ね機構38を図解的に示す正面図である。
【図5】図1に示したセラミックグリーンシート積み重ね機31の動作を示すフロー図である。
【図6】図1に示したセラミックグリーンシート積み重ね機31に備える巻取りロール4の動作を示す図である。
【図7】この発明の他の実施形態を説明するためのもので、印刷機構41および乾燥機構42を図解的に示す正面図である。
【図8】この発明のさらに他の実施形態を説明するためのもので、この実施形態による制御方法が適用されるセラミックグリーンシート積み重ね機31aの概略構成を示す図である。
【図9】図8に示したセラミックグリーンシート積み重ね機31aにおいて取り扱われる長尺のセラミックグリーンシート2の一部を示す平面図である。
【図10】図8に示したセラミックグリーンシート積み重ね機31aの動作を示すフロー図である。
【図11】この発明にとって興味ある従来のセラミックグリーンシート積み重ね機1の概略構成を示す図である。
【図12】図11に示したセラミックグリーンシート積み重ね機1の動作を示すフロー図である。
【図13】図11に示した巻取りロール4の動作を示す図である。
【符号の説明】
2 セラミックグリーンシート
3 巻出しロール
4 巻取りロール
5 巻出しモータ
6 巻取りモータ
8 テンション制御部
16 切り出し機構
19 CCDカメラ
21 補正機構
22 X方向
23 Y方向
24 θ方向
25 X方向モータ
26 Y方向モータ
27 θ方向モータ
31,31a セラミックグリーンシート積み重ね機
32 導体膜
33 位置決め用マーク
34 切り出し位置/シート搬送コントローラ
36 切断刃
38 積み重ね機構
39 積み重ね金型
41 印刷機構
42 乾燥機構
50 先頭位置検出用マーク
51 マーク読取りセンサ

Claims (3)

  1. キャリアフィルムによって裏打ちされかつ一定間隔を置いて長手方向に分布する複数の領域に導体膜が印刷されるとともに前記導体膜の印刷と同時に位置決め用マークが印刷された、長尺のセラミックグリーンシートから、一定寸法の四角形のセラミックグリーンシートを切り出し、切り出された四角形の前記セラミックグリーンシートを積み重ねる、セラミックグリーンシート積み重ね機の制御方法であって、
    前記セラミックグリーンシート積み重ね機は、
    前記キャリアフィルムによって裏打ちされた長尺の前記セラミックグリーンシートを、そのテンションを制御しながら、長手方向へ間欠的に搬送するための搬送機構と、
    四角形の前記セラミックグリーンシートを切り出す位置にある前記位置決め用マークの位置を検出するためのカメラと、
    前記カメラによる前記位置決め用マークの検出位置データに基づく演算結果に従って、四角形の前記セラミックグリーンシートを切り出す位置にある長尺の前記セラミックグリーンシートの位置を、前記セラミックグリーンシートの搬送方向と幅方向および回転方向の少なくとも一方との少なくとも2軸に関して補正するための補正機構と、
    前記搬送機構による間欠的搬送における停止のタイミングで、長尺の前記セラミックグリーンシートから、一定寸法の四角形のセラミックグリーンシートを切り出すためのものであり、その下面が前記セラミックグリーンシートを真空吸引に基づき吸着する吸着面とされた切り出しヘッドと前記セラミックグリーンシートを介してこれに対向するように配置される切り出しテーブルとを有する、切り出し機構と、
    前記切り出し機構によって切り出された四角形の前記セラミックグリーンシートを積み重ねるための積み重ね機構と
    を備え、
    前記搬送機構は、巻出しロールおよび巻取りロールとそれらの間に位置する複数対の位置決めロールとを有し、前記セラミックグリーンシートの、前記切り出しテーブル上に位置される部分の両端部は、前記複数対の位置決めロールに巻き掛けされ、
    前記カメラが前記位置決め用マークを検出できる位置に長尺の前記セラミックグリーンシートをもたらすように、前記補正機構による前記セラミックグリーンシートの搬送方向に関する前回の補正量を加減算した量だけ前記搬送機構にフィードバックを行なった上で、次回の前記セラミックグリーンシートの間欠的搬送を行なう工程と、
    前記カメラにより前記位置決めマークの位置を読み取った後、前記補正機構により前記セラミックグリーンシートの位置を搬送方向と幅方向および回転方向の少なくとも一方との少なくとも2軸に関して補正する工程と
    を備えることを特徴とする、セラミックグリーンシート積み重ね機の制御方法。
  2. 前記セラミックグリーンシート積み重ね機は、前記切り出し機構の上流側において、導電性ペーストを前記セラミックグリーンシート上に印刷することによって前記導体膜を形成するための印刷機構と、前記導体膜を形成する前記導電性ペーストを乾燥するための乾燥機構とをさらに備える、請求項1に記載のセラミックグリーンシート積み重ね機の制御方法。
  3. 長尺の前記セラミックグリーンシート上の前記導体膜が形成された領域の先頭位置が、前記切り出し機構によって切り出されるべき四角形の前記セラミックグリーンシートの先頭位置に合致するように、長尺の前記セラミックグリーンシート上の前記導体膜が形成された領域の先頭位置を検出して、前記セラミックグリーンシートの位置を修正するように制御する工程をさらに備える、請求項1または2に記載のセラミックグリーンシート積み重ね機の制御方法。
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