JP3779337B2

JP3779337B2 - 反射防止膜及び表示装置

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Publication number: JP3779337B2
Application number: JP27546093A
Authority: JP
Inventors: 秀三松田; 武夫伊藤; 尚千草; 美千代阿部
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1992-11-06
Filing date: 1993-11-04
Publication date: 2006-05-24
Anticipated expiration: 2021-05-24
Also published as: JPH06208003A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、外光反射を防止する反射防止膜及びこの反射防止膜を備えた表示装置に関し、特に、少なくとも２層の薄膜よりなる多層反射防止膜に関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、窓ガラス、ショー・ウインドウ、表示装置の表示面等の材質としては、ガラスが用いられる。このガラスは、周囲の光、例えば太陽光や照明光を鏡面反射することがあり、そのため、映り込み現象が生じ、透明性等に支障をきたすことが多い。特に、表示装置の場合には、表示面で鏡面反射が起こると、表示面に表示されるべき映像と周囲から映り込んだ光源や周囲の景観等が重なってしまい、著しい画像劣化を引き起こす。
【０００３】
そこで、この反射を防止する方法として、従来、ガラス表面上に単層もしくは多層の光学膜を形成して、光の干渉効果を利用することで外光反射を防止する反射防止膜を形成する方法がある。
【０００４】
この反射防止膜として一般的に良く知られているものに、１／４波長膜と呼ばれているものがある。この１／４波長膜について説明すると次のようになる。すなわち、単層の反射防止膜により外光反射を防止する場合には、空気の屈折率をｎ₀ 、薄膜の屈折率をｎ₁ 、基板の屈折率をｎ₂ 、薄膜の膜厚をｄ、反射を防止しようとする光の波長をλとするとき、以下の無反射条件を満足しなければならない。
【０００５】
ｎ₁ ｄ＝λ／４ …（１）
ｎ₁ ² ＝ｎ₀ ｎ₂ …（２）
上記関係式（１）、（２）を満足する薄膜は、薄膜の膜厚が反射を防止しようとする光の波長の１／４の厚さになっていることから１／４波長膜と呼ばれている。
【０００６】
薄膜が式（１）、（２）を満足した場合には、波長λの光の反射を零にすることができるが、基板としてガラスを用いた場合には、ｎ₂ は１．５２、空気の屈折率ｎ₀ は１．００であるから、薄膜の屈折率ｎ₁ は１．２３である必要がある。しかしながら、現在知られている中で実用上可能な低屈折率物質はＭｇＦ₂ であり、それ自体の屈折率は１．３８で、上記無反射条件の屈折率（ｎ₁ ＝１．２３）より大きいため、単層の低屈折率薄膜のみで外光反射を完全に防止することは不可能であった。
【０００７】
そこで、基板上に、基板側の下層とその上に形成される上層の２層からなる多層式反射防止膜を形成して反射を防止することも行われている。この場合、空気の屈折率をｎ₀ 、上層の屈折率をｎ₃ 、下層の屈折率をｎ₄ 、基板の屈折率をｎ₂ 、上層の膜厚をｄ₁ 、下層の膜厚をｄ₂ 、反射を防止しようとする光の波長をλとするとき、以下の無反射条件を満足しなければならない。
【０００８】
ｎ₃ ｄ₁ ＝λ／４ …（３）
ｎ₄ ｄ₂ ＝λ／４ …（４）
ｎ₂ ｎ₃ ² ＝ｎ₀ ｎ₄ ² …（５）
上記関係式（３）、（４）、（５）から、基板がガラス板の場合には、ｎ₂ ＝１．５２、ｎ₀ ＝１．００であるから、屈折率の比ｎ₄ ／ｎ₃ が１．２３になるように下層と上層の物質を選択すれば、外光反射を防止し得ることがわかる。
【０００９】
なお、広帯域で反射を抑制するためには、２層膜ではなく、３層以上の反射防止膜を用いればよいことが知られている。つまり、反射防止膜の膜厚は、光の波長によって決定されるので、理論的には、Ｎ層の多層膜とすることによりＮ個の波長の反射率を低くすることができる。
【００１０】
また、従来、２層構造の反射防止膜を用い、下層膜の気孔率を制御することで下層膜の屈折率を制御する方法が特開平３−２６１０４７号公報に示されている。さらに、２層構造の反射防止膜に色素を含有させることにより、反射防止膜にフィルター効果を持たせることも提案されている。
上述のように、外光反射を抑制するため、ガラス基板表面に多層構造の反射防止膜を形成することが知られている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来提案されている多層反射防止膜は、いずれも高屈折率と低屈折率の材料をガラス基板上に積層させた構成となっている。これは、上述のように、特定波長に対する無反射条件を満足させるためには、多層膜の屈折率を所定の値に設定する必要があったためである。しかし、低屈折率材料と高屈折率材料の中で実用可能なものは限定されており、その中から適切な組合せを選択しなければならなかった。高屈折率材料としては、ＴｉＯ₂ ，ＺｒＯ₂ ，ＢａＯ，ＳｎＯ₂ 等が知られており、低屈折率材料としては、ＭｇＦ₂ ，ＳｉＯ₂ ，ＳｎＯ₂ 等が知られている。そして、これらの材料から適切な選択を考慮する必要があった。
【００１２】
また、このように多層膜を異なる材料で形成すると、各層間における密着性が問題となり、膜形成条件等において複雑な制御が必要であった。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、簡単な方法にて多層膜構造の反射防止膜を提供することを目的とする。さらに、このような反射防止膜を表示面に備えた表示装置を提供することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、光透過性基体上に２層又は３層の薄膜を積層した多層構造の反射防止膜であって、前記薄膜のうち少なくとも１層は、３〜３００ｎｍの粒径を有し、４００〜７００ｎｍの全波長域において吸収を示す顔料を含有することにより屈折率が調整され、それによって、４００〜７００ｎｍの全波長域において吸収を有し、かつこの吸収を有する波長における反射防止膜の反射率が前記基体の反射率より小さくなっていることを特徴とする反射防止膜が提供される。
【００１４】
また、本発明によると、光透過性表示部基体と、この基体上に積層された２層又は３層の薄膜からなる多層構造の反射防止膜とを具備する表示装置であって、前記薄膜のうち少なくとも１層は、３〜３００ｎｍの粒径を有し、４００〜７００ｎｍの全波長域において吸収を示す顔料を含有することにより屈折率が調整され、それによって、４００〜７００ｎｍの全波長域において吸収を有し、かつこの吸収を有する波長における反射防止膜の反射率が前記基体の反射率より小さくなっていることを特徴とする表示装置が提供される。
【００１５】
【作用】
本発明の特徴は、多層構造の反射防止膜の少なくとも１層が色素を含有することにある。色素は一般に特定の波長の光を選択的に吸収する。このような色素を含有した薄膜について詳細に検討したところ次のことが明らかになった。
【００１６】
即ち、色素が吸収を有する波長の領域において、薄膜の屈折率は波長が増加するにつれて増加する傾向を示し、その他の領域では減少傾向にあることがわかった。さらに、このような薄膜を用いて多層構造の反射防止膜を形成した場合、屈折率が増加傾向を示している波長の領域つまり色素の吸収領域において反射防止効果が顕著であることが判明した。結果として、この反射防止膜の反射率は色素の吸収領域にほぼ対応した波長領域で低くなる。従って、可視域の全波長域にわたって反射防止効果をもたせようとした場合、反射防止膜は可視域の全波長域で屈折率が増加しなければならず、結果的に可視域の全波長域の光を吸収することが必要である。
【００１７】
本発明者らによる検討の結果、波長の増加に伴い屈折率が増加傾向を示すためには、透過率は９５％以下でなければならず、また、充分な効果が得られる程度の屈折率の増加を得るためには、９０％以下、より好ましくは８５％程度とすることが好ましい。
【００１８】
このような知見の下に、本発明では、多層構造の反射防止膜に、４００〜７００ｎｍの全可視光波長域において吸収を有する色素を含有させることにより、可視光の反射を最大限防止することを可能としている。
【００１９】
ところで、通常の多層反射防止膜は、低屈折率層と高屈折率層を低屈折率層が外表面となるように交互に積層された構成となっている。本発明の好ましい態様では、高屈折率層に色素を含有させることより、効果的に可視光の反射を防止することが可能である。つまり、前述のように色素の吸収領域で膜の屈折率特性が変化するので、多層反射防止膜における無反射条件を満足するように膜の屈折率を設定することができる。
【００２０】
従って、多層反射防止膜における最外層から数えて偶数番目の層の少なくとも１層に色素を含有させることが好ましい。
このように、屈折率の調整は色素の吸収特性にて行うことができるので、多層膜の各層を低屈折率材料と高屈折率材料というように異なる材料で形成する必要がなくなる。従って、多層膜を同質の材料にて形成することが可能であり、そうすることにより各層間での密着性を向上させることが出来る。
【００２１】
さらに、屈折率が異なる材料、例えば、低屈折率物質としてＳｉＯ₂ を用い、高屈折率物質としてＴｉＯ₂ を用い、かつ、ＴｉＯ₂ 層に色素を含有させることにより、さらに反射防止効果を向上させることができる。
【００２２】
本発明において、使用可能な薄膜の材質としては、ＳｉＯ₂ 、ＴｉＯ₂ 、ＺｒＯ₂ 、ＴａＯ₅ 、Ａｌ₂ Ｏ₃ 等を挙げることが出来る。多層の薄膜はそれぞれ異なる材質でもよいが、同一の材質でもよい。同一の材質の場合、上述のように各層間での密着性を向上させることが出来る。しかし、この場合、多層構造としての特性を得るためには、各層間で色素の含有を異ならせること、各層間で色素の種類を異ならせること、各層間で色素の含有量を異ならせること、等により、各層間を区別する必要がある。
【００２３】
なお、各層間で薄膜の材質を異ならせる場合には、最上層を低屈折率物質により構成することが望ましい。
本発明において、色素としては、カ−ボンブラック、グラファイト等の黒色色素が好ましく使用される。これら以外にも、ほとんど全ての顔料を用いることができる。有機顔料では、例えば、ベンジンエロー、カーミンＦＢ等のアゾ系黄色、赤色顔料、ベリレン、ベリロン、ジオキサジン、チオインジゴ、イソインドリノン、キノフタロン、キナクリドン等の縮合顔料、フタロシアニン系顔料等がある。無機顔料では、チタン白、ベンガラ、黄鉛、コバルトブルーが挙げられる。これらは全可視光波長領域で５％以上、好ましくは１０％以上の吸収を有するように組合わせた混合物とすることが必要となる。
【００２４】
このように、本発明では、色素は、種々の形で使用可能である。例えば、カ−ボンブラックやグラファイトのように、単独で全可視光波長領域を吸収する色素を使用することも、これら色素と他の色素を組合わせて使用することも可能である。また、５００ｎｍ又は６００ｎｍ以下の波長を吸収する黄色系色素又は赤色系色素、ベンジンエロ−、カ−ミンＦＢ等と、５００ｎｍ以上の波長を吸収する青色系色素、ヘリオゲンブル−ＥＰ−７ｓ等を組合わせて用いることも可能である。
【００２５】
上述の組合わせに係る顔料としては、その種類の多さから、有機顔料が好ましい。また、膜の透明性からこれらの顔料の粒径は３００ｎｍ以下が好ましい。一般的に、膜の透明性を得るためには顔料の粒径は波長λの１／２以下つまり可視光の場合は２００ｎｍ以下である。これは顔料の粒径が大きくなると光散乱を生じ透明性が損なわれる傾向があるからである。本発明では顔料は膜内部に閉じ込められているので顔料と空気の屈折率差に比べ顔料と膜材料の屈折率差は小さくなり、３００ｎｍの粒径まで透明性を維持することができる。また、多孔質膜からの溶出を防ぎ、かつ、十分な耐光性を有するためには、顔料の粒径は３ｎｍ以上であることが好ましい。さらに好ましくは、顔料の粒径は５〜２００ｎｍである。
本発明の多層反射防止膜が適用される表示装置としては、陰極線管や液晶表示装置等の表示部基体を通して画像を見るものがあげられる。
【００２６】
【実施例】
以下、本発明の種々の実施例について説明する。
実施例１
（１）下層形成溶液の調製
まず、下層形成溶液として以下の組成の溶液Ａを調製した。
【００２７】

ここで、顔料分散液１は、平均粒径が約１００ｎｍのカーボンブラック（色素１）を２．４ｗｔ％の濃度でイソプロピルアルコールに分散させた液である。上記組成Ａのように調製された混合液を約１時間撹拌し、反応させて下層形成溶液を得た。
【００２８】
（２）上層形成溶液の調製
次に、上層形成溶液として以下の組成の溶液Ｂを調製した。

上記組成Ｂのように調製された混合液を約１時間撹拌して反応させ、上層形成用溶液を得た。
【００２９】
（３）反射防止膜の形成
まず、上述の下層形成用溶液を屈折率１．５２のガラス基板上にディップ法により塗布し、１５０℃で５分間後乾燥し、厚さ約０．１μｍの下層膜を形成した。次いで、上層形成用溶液をこの下層膜上にディップ法により塗布し、１８０℃の雰囲気で１０分間焼成し、膜厚が約０．１μｍの上層膜を形成した。この２層反射防止膜の各層の組成は以下に示す通りである。
【００３０】

このようにして得た２層反射防止膜の分光反射率と分光透過率を測定したところ、図１Ａ及び図１Ｂに示す結果を得た。なお、この反射防止膜の分光反射率の測定は、大塚電子（株）製ＭＣＰＤ−１０００を用い、光源としてハロゲンランプを用いて入射角０°で測定し、反射防止膜を形成していない基板の反射率を１００％としたパ−セントで表した。
【００３１】
また、分光透過率の測定は、ミノルタカメラ製分光測色計ＣＭ−１０００を用いて行った。試料を白色板の上において分光透過率を測定し、反射防止膜を形成していない基板の値に対する比率の平方根で表した。
【００３２】
図１Ａ及び１Ｂからわかるように、本発明の反射防止膜は、優れた反射防止効果を有している。
実施例２
（１）下層形成溶液の調製
まず、下層形成溶液として以下の組成の溶液Ｃを調製した。
【００３３】

ここで、顔料分散液２は、平均粒径が約１００ｎｍの色素１（カーボンブラック）を１．７１ｗｔ％、色素２としてヘリオゲンブルーＥＰ−７Ｓを０．３４ｗｔ％、色素３としてペリレン系バイオレットを０．３４ｗｔ％の濃度でイソプロピルアルコールに分散させた液である。上記組成Ｃのように調製された混合液を空気中の水で約１時間撹拌し、反応させて下層形成溶液とした。
【００３４】
（２）反射防止膜の形成
上層形成用溶液は実施例１と同様の溶液Ｂを用い、基板上に反射防止膜を形成した。塗布方法、条件、膜厚は実施例１と同様である。このようにして形成された２層反射防止膜の組成は、以下に示す通りである。
【００３５】

このようにして得た２層反射防止膜の分光反射率と分光透過率を測定したところ、図２Ａ及び図２Ｂに示す結果を得た。図２Ａ及び図２Ｂから明らかなように、本実施例に係る反射防止膜は、実施例１の反射防止膜と同様に優れた反射防止効果を有していることがわかる。
【００３６】
実施例３
（１）下層形成溶液の調製
まず、下層形成溶液として以下の組成の溶液Ｄを調製した。
【００３７】

ここで、顔料分散液３は、それぞれ平均粒径が約１００ｎｍの色素２、色素３、さらに色素４としてジオキサジン系バイオレット、色素５としてイソインドリノン系イエローを、それぞれ０．６ｗｔ％の濃度でイソプロピルアルコールに分散させた液である。上記組成Ｄのように調製された混合液を約１時間撹拌し、反応させて下層形成溶液とした。
【００３８】
（２）反射防止膜の形成
上層形成用溶液として実施例１と同様の溶液Ｂを用い、基板上に反射防止膜を形成した。塗布方法、条件、膜厚は実施例１と同様である。このようにして形成された２層反射防止膜の組成は以下に示す通りである。
【００３９】

このようにして得た反射防止膜の分光反射率と分光透過率を測定したところ、図３Ａ及び図３Ｂに示す結果を得た。これらの結果から、本実施例に係る反射防止膜は、実施例１の反射防止膜と同様に優れた反射防止効果を有していることがわかる。
【００４０】
実施例４
（１）下層形成溶液の調製
まず、下層形成溶液として以下の組成の溶液Ｄを調製した。
【００４１】

ここで、顔料分散液１は、実施例１と同じものを用いた。上記組成Ｅのように調製された混合液を約１時間撹拌し、反応させることにより、下層形成溶液を得た。
【００４２】
（２）反射防止膜の形成
上層形成用溶液は実施例１と同様の溶液Ｂを用い、基板上に反射防止膜を形成した。塗布方法、条件、膜厚は実施例１と同様である。このようにして形成された２層反射防止膜の組成は以下に示す通りである。
【００４３】

このようにして得た反射防止膜の分光反射率と分光透過率を測定したところ、図４Ａ及び図４Ｂに示す結果を得た。これらの結果から、本実施例に係る反射防止膜は、実施例１の反射防止膜と同様に優れた反射防止効果を有していることがわかる。
【００４４】
実施例５
（１）下層形成溶液の調製
まず、下層形成溶液として以下の組成の溶液Ｄを調製した。
【００４５】

ここで、顔料分散液３は、上記実施例３と同じである。上記組成Ｆのように調製された混合液を約１時間撹拌し、反応させて下層形成溶液とした。
【００４６】
（２）反射防止膜の形成
上層形成用溶液は実施例１と同様の溶液Ｂを用い、基板上に反射防止膜を形成した。塗布方法、条件、膜厚は実施例１と同様である。このようにして形成された２層式反射防止膜の組成は以下に示す通りである。
【００４７】

このようにして得た反射防止膜の分光反射率と分光透過率を測定したところ、図５Ａ及び図５Ｂに示す結果を得た。これらの結果から、本実施例に係る反射防止膜は、実施例１の反射防止膜と同様に優れた反射防止効果を有していることがわかる。
【００４８】
実施例６
（１）下層形成溶液の調製
まず、下層形成溶液として以下の組成の溶液Ｄを調製した。
【００４９】

ここで、ＳｎＯ₂ 微粒子分散液は約５０〜１００ｎｍのＳｎＯ2 微粒子を２ｗｔ％の濃度でＩＰＡに分散させた液である。顔料分散液１は上記実施例１と同じである。上記組成Ｇのように調製された混合液を約１時間撹拌し、反応させて下層形成溶液とした。
【００５０】
（２）反射防止膜の形成
上層形成用溶液は実施例１と同様の溶液Ｂを用い、基板上に反射防止膜を形成した。塗布方法、条件、膜厚は実施例１と同様である。このようにして形成された２層式反射防止膜の組成は以下に示す通りである。
【００５１】

このようにして得た反射防止膜の分光反射率と分光透過率を測定したところ、図６Ａ及び図６Ｂに示す結果を得た。これらの結果から、本実施例に係る反射防止膜は、実施例１の反射防止膜と同様に優れた反射防止効果を有していることがわかる。また、この反射防止膜は導電性を有し、抵抗値は１０×１０¹⁰Ω／cm² であった。
【００５２】
実施例７
（１）上層形成溶液の調整
上層形成溶液として以下の組成の溶液Ｈを調整した。
【００５３】

ここで、ＳｎＯ₂ 微粒子分散液は上記実施例６と同じである。上記組成Ｈのように調整された混合液を約１時間撹拌し、反応させて下層形成溶液とした。
【００５４】
（２）反射防止膜の形成
下層形成用溶液は実施例６と同様の溶液Ｇを用い、基板上に反射防止膜を形成した。塗布方法、条件、膜厚は実施例１と同様である。このようにして形成された２層反射防止膜の組成は以下に示す通りである。
【００５５】

このようにして得た反射防止膜の分光反射率と分光透過率を測定したところ、図７Ａ及び図７Ｂに示す結果を得た。これらの結果から、本実施例に係る反射防止膜は、実施例１の反射防止膜と同様に優れた反射防止効果を有していることがわかる。また、この反射防止膜は導電性を有し、その抵抗値は５×１０⁸ Ω／cm² であった。
【００５６】
実施例８
下層形成用溶液として溶液Ｂ、中層形成用溶液として溶液Ａ、上層形成用溶液として溶液Ｂをそれぞれ用い、３層構造の反射防止膜を形成した。塗布方法、条件、膜厚は実施例１と同様である。
【００５７】
このようにして得た反射防止膜の分光反射率と分光透過率を測定したところ、図８Ａ及び図８Ｂに示す結果を得た。これらの結果から、本実施例に係る反射防止膜は、実施例１に比較してより広い領域で優れた反射防止効果を有していることがわかる。
【００５８】
実施例９
下層形成用溶液として溶液Ｂ、中層形成用溶液として溶液Ｃ、上層形成用溶液として溶液Ｂをそれぞれ用い、３層構造の反射防止膜を形成した。塗布方法、条件、膜厚は実施例１と同様である。
【００５９】
このようにして得た反射防止膜の分光反射率と分光透過率を測定したところ、図９Ａ及び図９Ｂに示す結果を得た。これらの結果から、本実施例に係る反射防止膜は、実施例２に比較してより広い領域で優れた反射防止効果を有していることがわかる。
【００６０】
実施例１０
次に、本発明の表示装置の具体例として、陰極線管に適用した例について説明する。
【００６１】
図１０は、本発明に基づき製造された陰極線管６０を示す部分切欠側面図である。この陰極線管６０は、内部が排気された気密性のガラス外囲器６１を具備している。この外囲器６１は、ネック６２およびネック６２から連続するコーン６３を有しているとともに、このコーン６３とフリットガラスにより封着されるフェースプレート６４を有している。このフェースプレート６４の側壁の外周には、防爆のために金属製のテンションバンド６５が巻回されている。
【００６２】
このネック６２内には、電子ビームを放出する電子銃６６が配置されている。フェースプレート６４の内面には、電子銃６６からの電子ビームにより励起されて発光する蛍光体層よりなる蛍光体スクリーン６７が設けられている。また、コーン６３の外側には、蛍光体スクリーン上を走査するように電子ビームを偏向させる偏向装置（図示せず）が挿着されている。
【００６３】
ところで、この陰極線管６０のフェースプレート６４の外表面には、上述の実施例１〜７の下層形成用溶液と上層形成用溶液を塗布することにより、本発明の２層構造の反射防止膜６８が形成されている。
【００６４】
上記実施例１では、下層形成用溶液と上層形成用溶液をディップ法により塗布しているが、本実施例では組立終了後の２５インチのカラー陰極線管のフェースプレート前面にスピンコートにより塗布した。乾燥、焼成の条件および下層、上層の膜厚は実施例１と同様である。
【００６５】
このようにして得た反射防止膜の特性は、上述の実施例１〜７の図１〜図７に示す通りであった。この反射防止膜を形成した陰極線管は、窓や照明等の周囲光の映り込みの影響がほとんどなく、さらに着色のない反射光となり、色再現性を妨げることなく、良好な画像を形成することができた。
【００６６】
なお、このカラー受像管の表面に形成された反射防止膜の分光反射率の測定は、上記実施例と同様に、大塚電子（株）製ＭＣＰＤ−１０００を用い、光源にハロゲンランプを用いて入射角０°で測定し、次いで、反射防止膜を取り除いたときの同一部分の測定を行い、反射防止膜を取り除いたときの値を１００％として表した。また、分光透過率は、ミノルタカメラ製分光測光計ＣＭ−１０００を用い、試料を測定し、その後、試料の反射防止膜を薬剤等で取り除き、同一部分を測定し、反射防止膜を取り除いたときの測定値を基準として試料の測定値の比率の平方根で表した。
【００６７】
実施例１１
次に、本発明の表示装置の他の具体例として、液晶表示装置に適用した例について説明する。
【００６８】
図１１は、本発明に基づき製造された液晶表示装置を示す断面図である。この液晶表示装置は、熱硬化性樹脂からなるスペ−サ−７７により間隔を規制された対向する１対のガラス基板７１，７２の間に液晶７８を充填することにより構成されている。基板７１，７２の対向面には、ＩＴＯ（indium tin oxide）からなる所定のパタ−ンの電極７３，７４が形成され、これら電極７３，７４上には配向膜７５，７６が形成されている。間に液晶７８を充填したガラス基板７１，７２の周縁部は、シ−ル剤７９により封止されている。
【００６９】
以上のように構成される液晶表示装置において、一方のガラス基板７１の外表面に、反射防止膜８０が形成されている。この反射防止膜８０は、基板７１，７２の周縁部をシ−ル剤７９により封止した後、実施例３で用いた下層形成用溶液と上層形成用溶液を、膜厚が０．１μｍとなるように塗布し、次いで焼成することにより形成された。得られた反射防止膜８０は、実施例３で得たものと同様、優れた反射防止特性を示した。
【００７０】
以上、本発明の実施例について説明したが、反射防止膜の反射防止特性は、その反射防止膜を形成しようとする基体に要求される特性に合わせて適宜設定されるものであり、上記実施例に限定されるものではない。また、反射防止膜と表示装置の組合せも上記例に限定されない。
【００７１】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によれば、２層以上の多層構造の反射防止膜の少なくとも１層に色素を含有させるだけで、優れた反射防止特性を有する多層反射防止膜を得ることが可能であり、更に膜材料の選択性、膜強度の面においてもその工業的価値は大きい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示す図であり、（ａ）は、実施例１に係る反射防止膜の分光反射率を示すグラフ、（ｂ）は、実施例１に係る反射防止膜の分光透過率を示すグラフである。
【図２】本発明の第２の実施例を示す図であり、（ａ）は、実施例２に係る反射防止膜の分光反射率を示すグラフ、（ｂ）は、実施例２に係る反射防止膜の分光透過率を示すグラフである。
【図３】本発明の第３の実施例を示す図であり、（ａ）は、実施例３に係る反射防止膜の分光反射率を示すグラフ、（ｂ）は、実施例３に係る反射防止膜の分光透過率を示すグラフである。
【図４】本発明の第４の実施例を示す図であり、（ａ）は、実施例４に係る反射防止膜の分光反射率を示すグラフ、（ｂ）は、実施例４に係る反射防止膜の分光透過率を示すグラフである。
【図５】本発明の第５の実施例を示す図であり、（ａ）は、実施例５に係る反射防止膜の分光反射率を示すグラフ、（ｂ）は、実施例５に係る反射防止膜の分光透過率を示すグラフである。
【図６】本発明の第６の実施例を示す図であり、（ａ）は、実施例６に係る反射防止膜の分光反射率を示すグラフ、（ｂ）は、実施例６に係る反射防止膜の分光透過率を示すグラフである。
【図７】本発明の第７の実施例を示す図であり、（ａ）は、実施例７に係る反射防止膜の分光反射率を示すグラフ、（ｂ）は、実施例７に係る反射防止膜の分光透過率を示すグラフである。
【図８】本発明の第８の実施例を示す図であり、（ａ）は、実施例８に係る反射防止膜の分光反射率を示すグラフ、（ｂ）は、実施例８に係る反射防止膜の分光透過率を示すグラフである。
【図９】本発明の第９の実施例を示す図であり、（ａ）は、実施例９に係る反射防止膜の分光反射率を示すグラフ、（ｂ）は、実施例９に係る反射防止膜の分光透過率を示すグラフである。
【図１０】実施例１０に係る陰極線管の概略を示す一部断面図である。
【図１１】実施例１１に係る液晶表示装置の概略を示す断面図である。

Claims

光透過性基体上に２層又は３層の薄膜を積層した多層構造の反射防止膜であって、
前記薄膜のうち少なくとも１層は、３〜３００ｎｍの粒径を有し、４００〜７００ｎｍの全波長域において吸収を示す顔料を含有することにより屈折率が調整され、それによって、４００〜７００ｎｍの全波長域において吸収を有し、かつこの吸収を有する波長における反射防止膜の反射率が前記基体の反射率より小さくなっていることを特徴とする反射防止膜。
前記顔料は、最上層の薄膜から数えて偶数番目の薄膜に含有されている請求項１に記載の反射防止膜。
光透過性表示部基体と、この基体上に積層された２層又は３層の薄膜からなる多層構造の反射防止膜とを具備する表示装置であって、
前記薄膜のうち少なくとも１層は、３〜３００ｎｍの粒径を有し、４００〜７００ｎｍの全波長域において吸収を示す顔料を含有することにより屈折率が調整され、それによって、４００〜７００ｎｍの全波長域において吸収を有し、かつこの吸収を有する波長における反射防止膜の反射率が前記基体の反射率より小さくなっていることを特徴とする表示装置。
前記顔料は、最上層の薄膜から数えて偶数番目の薄膜に含有されている請求項３に記載の表示装置。