JP3779260B2

JP3779260B2 - アルカリ現像型感光性樹脂組成物

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Publication number: JP3779260B2
Application number: JP2002342211A
Authority: JP
Inventors: 孝造尾木; 豊中山; 雅利末広
Original assignee: Kyoto Elex Co Ltd
Current assignee: Kyoto Elex Co Ltd
Priority date: 2002-11-26
Filing date: 2002-11-26
Publication date: 2006-05-24
Anticipated expiration: 2022-11-26
Also published as: JP2004177562A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アルカリ現像型感光性樹脂組成物に関し、更に詳細には、電子材料分野においてフォトリソグラフィー法による形成が可能なアルカリ現像型感光性樹脂組成物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プラズマディスプレーパネル、蛍光表示管、電子部品などにおける導体パターンや誘電体パターンの形成には、一般に極めて多量の金属粉またはガラス粉末を含有する導電性ペーストまたはガラスペーストを用いてスクリーン印刷法によってパターン形成が行われていた。しかし、近年、電子部品等においてはパターンの高精細化が要求されており、従来のスクリーン印刷法によるパターン形成は、熟練を要し、また印刷時におけるかすれや滲み、スクリーンの伸縮に起因する位置合わせ精度等に問題があって、高精細パターンへの対応が困難である。
【０００３】
このようなことから、微細なパターンを形成できるフォトリソグラフィー法により配線パターンを形成する技術が開発されている。そして、このフォトリソグラフィー法によるパターン形成のための感光性樹脂組成物が各種提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３参照）。
【０００４】
特許文献１には、「バインダーポリマー５０重量部、多官能性ラジカル重合性モノマー１０〜３００重量部および光ラジカル発生剤０．１〜１０重量部から成る感光性樹脂組成物５重量部に対して、金属粉末２０〜５００重量部を加えてなる光重合性導電ペースト組成物において、光ラジカル発生剤がチオキサントン系色素およびアミン化合物からなる光重合性導電ペースト組成物。」が開示されている。
【０００５】
また、特許文献２には、「導電性を有する金属成分粒子と、バインダー樹脂としてカルボキシル基を有するアクリル系主鎖ポリマにグリシジル基を有するエチレン性不飽和化合物を付加させたものと、光反応重合性化合物と光重合開始剤を含有する感光性導電ペースト。」が開示されている。
【０００６】
さらに、特許文献３には、「水酸基含有ポリマーに多塩基酸無水物を反応させて得られるバインダー樹脂としてのカルボキシル基含有ポリマーと、反応性希釈剤と、光重合開始剤と無機粉体を含有する感光性組成物（以下、特許文献３の前者感光性組成物という）。」と、「水酸基含有ポリマーに多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有ポリマーに、グリシジル基と不飽和二重結合を有する化合物をさらに反応させて得られるバインダー樹脂としてのカルボキシル基含有感光性ポリマーと、反応性希釈剤と、光重合開始剤と無機粉体を含有する感光性組成物（以下、特許文献３の後者感光性組成物という）。」が開示されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平５−２０４１５１号公報
【特許文献２】
特開平５−６７４０５号公報
【特許文献３】
特開平１１−２４９３０１号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献１には、バインダー樹脂として、カルボン酸のみを同一分子内に含有するポリマーを使用しうることが記載されている。しかし、このようなポリマーは光重合性官能基を同一分子内に含有していないため、光重合性が十分でなく、係る樹脂組成物を焼成してなるパターンの解像度が劣るという欠点がある。また、光重合性が十分でないため、そのようなバインダー樹脂から形成される膜は厚さが非常に薄いものに限られるという欠点もある。
【０００９】
また、特許文献２によれば、カルボキシル基含有アクリル系樹脂に対してカルボキシル基を封止する形でグリシジル基を有するエチレン性不飽和化合物を付加させたものが用いられているが、アクリル系樹脂は溶媒への溶解度が大きいため、この樹脂をバインダーとして使用した場合、比較的多量の樹脂が必要となり、印刷性や焼成時の脱バイ性（脱バインダー性）が劣るという欠点がある。
【００１０】
さらに、特許文献３の前者感光性組成物ではバインダー樹脂に光重合性官能基が導入されていないので、光重合性が十分でなく、係る樹脂組成物を焼成してなるパターンの解像度が劣るという欠点がある。また、特許文献３の後者感光性組成物では、バインダー樹脂に光重合性官能基が導入されているが、水酸基含有ポリマーをベースとしているため、水酸基の親水性に由来して耐水性が劣り、かつ光重合性官能基の導入量が十分ではないため、光重合性が十分でなく、係る樹脂組成物を焼成してなるパターンの解像度が劣るという欠点がある。
【００１１】
本発明は従来の技術の有するこのような問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、十分な光重合性を有し、基板との密着性に優れ、フォトリソグラフィー法に用いた場合に解像度が高いパターンが得られ、印刷性と焼成時の脱バイ性に優れたアルカリ現像型感光性樹脂組成物を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
水酸基を含有していない感光性樹脂組成物とは異なり、水酸基含有ポリマーをベースとする感光性樹脂組成物では、その水酸基の親水性に由来して耐水性が悪い。このため、現像時に、Ｎａ₂ＣＯ₃水溶液等の現像液が容易にその樹脂組成物からなる硬化後の膜の内部に浸透し、樹脂組成物中のカルボキシル基と塩を作り、可溶化する。その結果、現像パターンの基板からの剥離が生じやすく、解像度が劣るという欠点がある。
【００１３】
このような、水酸基含有ポリマーの一つとして、セルロース系ポリマーを挙げることができる。セルロース系ポリマーは良好なバインダー性能を有するため、印刷性や焼成時の脱バイ性等において優れているが、光重合性官能基の導入量を多くし、硬化後の膜の架橋密度を高めた場合でも、やはり、セルロース系ポリマーの親水性に由来して、基板への密着性が不十分であり、解像度が劣るという欠点がある。
【００１４】
更に、これもセルロース系ポリマーの親水性に由来するが、ポリマー中にカルボキシル基が多い場合、容易に現像液中のアルカリ分と塩を作り、可溶化する。その結果、現像パターンの基板からの剥離が生じ、解像度が劣る。
【００１５】
そこで、本発明は、水酸基含有ポリマーであるセルロース系カルボキシル基変性感光性バインダー樹脂の親水性とカルボキシル基量をコントロールし、かつ十分な光重合性官能基を導入することにより、良好な印刷性や焼成時の脱バイ性を損なうことなく、照射光に対する感度を向上させ、解像度に優れたパターンを得ることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
すなわち、本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物は、（Ａ）カルボン酸変性感光性バインダー樹脂と、（Ｂ）無機粉末と、（Ｃ）光反応性重合化合物と、（Ｄ）光重合開始剤とを含有していることを特徴としている。
【００１７】
上記カルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ａ）は、水酸基価が０〜６０であり、酸価が１０〜８０であり、二重結合当量が２５０〜４００であることが好ましい。その理由は以下の通りである。
【００１８】
親水性の指標となる水酸基価が６０を超えると、硬化後の樹脂組成物の膜の耐水性が劣り、解像度が劣る傾向が現れるからである。
【００１９】
現像液として使用されるアルカリ性水溶液への一定の溶解性を確保するためには、ポリマー中のカルボキシル基量の指標となる酸価は１０以上であることが好ましいが、酸価が８０を超えると、アルカリ性水溶液への溶解性が高くなりすぎ、樹脂組成物の膜の耐水性が低下して解像度が劣る傾向が現れるからである。
【００２０】
更に、光重合性官能基導入量の指標となる二重結合当量が２５０未満では、硬化時の樹脂組成物の膜の収縮が大きくて内部応力が生じ、パターンが基板から剥離し易くなり解像度が劣る傾向が現れ、一方、二重結合当量が４００を超えると、照射光に対する感度が悪化し、多くの露光量が必要となり、また、パターンが基板から剥離し易くなり解像度が劣る傾向が現れるからである。これらの点を考慮すると、カルボン酸変性感光性バインダー樹脂の水酸基価は０〜２０、酸価は１０〜６０、二重結合当量は２７５〜３７５であるのがより好ましい。
【００２１】
また、上記カルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ａ）は、下記の化２で表されるセルロース誘導体に、（ａ）グリシジル基と不飽和二重結合を有する化合物、および（ｂ）イソシアネート基と不飽和二重結合を有する化合物を付加させてなるものが好ましい。
【００２２】
【化２】

【００２３】
（Ｒ₁は、水素、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数１〜４のヒドロキシアルキル基、炭素数１〜８のアシル基及び−ＣＯＲ₃ＣＯＯＨ基からなる群から選択される置換基であって、少なくとも、前記水素及び／又は前記ヒドロキシアルキル基と、前記−ＣＯＲ₃ＣＯＯＨ基とを含み、上記Ｒ₃は、炭素数１〜４のアルキレン基、炭素数６〜８のシクロアルキレン基、フェニレン基および置換フェニレン基からなる群から選択される置換基である。）
（Ａ）成分の感光性バインダー樹脂は、未硬化時にはアルカリ可溶性で、光重合により硬化した部分がアルカリ不溶化する樹脂であって、露光部と未露光部との間において非常に高いコントラストが得られ、印刷性や焼成時の脱バイ性にも優れており、フォトリソグラフィー法によりパターン形成するためのバインダー樹脂として好適に使用できるものである。
【００２４】
本発明は、化２で表されるセルロース誘導体に、（ａ）グリシジル基と不飽和二重結合を有する化合物を付加することにより光重合性官能基を導入し、その際生じた水酸基に、（ｂ）イソシアネート基と不飽和二重結合を有する化合物を更に付加させることにより、耐水性を改善し、かつ、更に、光重合性官能基を導入したことにより、基板に対する密着性を高めることができる。
【００２５】
すなわち、上記セルロース誘導体に、（ａ）グリシジル基と不飽和二重結合を有する化合物を付加させただけでは光重合性官能基の導入量が不十分であり、何より、付加反応により生じた水酸基が多数残存しているため耐水性が悪く、現像時に、Ｎａ₂ＣＯ₃水溶液等の現像液が容易に樹脂組成物の硬化後の膜の内部に浸透し、ポリマーのカルボキシル基と塩を作り、可溶化する。その結果、現像パターンの基板からの剥離が生じ、解像度が劣るという不都合な点がある。
【００２６】
そこで、上記セルロース誘導体に、（ａ）グリシジル基と不飽和二重結合を有する化合物を付加させた際に生じた水酸基に、更に、（ｂ）イソシアネート基と不飽和二重結合を有する化合物を付加させれば、イソシアネート基により水酸基を封止することが可能である。これにより、耐水性を改善し、かつ、光重合性官能基も同時に導入することにより、十分な光重合性を確保することができる。
【００２７】
本発明における（Ａ）成分のカルボン酸変性感光性バインダー樹脂の分子量は、１，０００〜１００，０００の範囲であることが、アルカリ現像性、作業性の面から好ましい。この分子量が１，０００未満の場合、最終的に得られる樹脂組成物のペーストの粘度が低すぎるため、印刷性等が劣ることとなる。また、この分子量が１００，０００を超える場合には、バインダー能が高すぎるため、アルカリ現像時における現像性が劣ることとなるからである。
【００２８】
本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物では、上記（Ａ）〜（Ｄ）成分は、以下のような比率で使用するのが好ましい。即ち、（Ａ）成分のカルボン酸変性感光性バインダー樹脂の含有量が０．５〜３０重量部、（Ｂ）成分の無機粉末の含有量が４０〜９７重量部、（Ｃ）成分の光反応性重合化合物の含有量が０．５〜３０重量部、（Ｄ）成分の光重合開始剤の含有量が０．２〜２０重量部であるのが好ましい。
【００２９】
（Ａ）成分のカルボン酸変性感光性バインダー樹脂の含有量が上記範囲より少ないと、光重合性が不十分でアルカリ現像時の解像度が低下し、また上記範囲より多いと、樹脂組成物のペースト粘度が高くなりすぎて印刷性、塗工性が低下する傾向がある。
【００３０】
また、（Ｂ）成分の無機粉末の含有量が上記範囲より少ないと、焼成膜の緻密性が不十分であり、断線を生じやすいという欠点があり、また上記範囲より多いと、アルカリ現像時の密着性が劣り、基板から現像パターンが剥離しやすいという欠点がある。
【００３１】
更に、（Ｃ）成分の光反応性重合化合物の含有量が上記範囲より少ないと、感光性の低下による解像度の低下が見られ、また上記範囲より多いと、硬化性が高くなりすぎてアルカリ現像時における現像性が低下する傾向がある。
【００３２】
そして、（Ｄ）成分の光重合開始剤の含有量が上記範囲より少ないと、硬化不足から解像度が低下し、また上記範囲より多いと、樹脂組成物の保存安定性が低下する傾向がある。
【００３３】
本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物には、得られるパターンに導電性が要求される場合、（Ｂ）成分の無機粉末として、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｗ、ＭｏおよびＭｎからなる群から選択される金属の粉末もしくはこれらの金属粉末の混合物又はこれらの合金の粉末を含有する導電性粉末が使用される。例えば、混合物としては、Ａｇ−Ｐｄ、Ａｇ−Ｐｔ、Ａｇ−Ｐｔ−Ｐｄ、Ｍｏ−Ｍｎ等のような２種類以上の金属を併用したものを使用することができる。金属粉末又はその混合物は、フォトリソグラフィーにより形成された回路の導通をとる場合に必要である。ここで用いる導電性粉末は、ペースト化した際、印刷、ブレードコート等に適した粘性となること、ライン幅２０μｍとするために、粒径は２０μｍ以下であることが好ましい。従って、導電性粉末としては、平均粒径が０．１〜１５μｍで最大粒径が２０μｍ以下のものが好ましい。
【００３４】
また、本発明では、無機粉末として、Ｓｉ、Ｐｂ、Ｂ、Ｐ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｂａ、Ｎａ、Ｋ、Ｌｉ、ＴｉおよびＮｄの酸化物を使用することができる。加えて、これらの酸化物を含有するガラスも、無機粉末として使用できる。これらの酸化物又は酸化物を含有するガラスは、誘電体層を形成するため、又は、焼成時において基板と導電性粉末を焼結させて形成したパターンを強固に基板に接着するために有用である。
【００３５】
上記酸化物を含有するガラスとしてガラスフリットを使用することができ、ガラスフリットとしては、Ｂ₂Ｏ₃・Ｂｉ₂Ｏ₃系、ＰｂＯ・Ｂ₂Ｏ₃系、ＰｂＯ・ＳｉＯ₂系、ＰｂＯ・Ｂ₂Ｏ₃・ＳｉＯ₂系、ＰｂＯ・Ａｌ₂Ｏ₃・ＳｉＯ₂系、ＺｎＯ・ＰｂＯ・Ｂ₂Ｏ₃系、ＺｎＯ・Ｂ₂Ｏ₃系、ＳｉＯ₂・Ｂ₂Ｏ₃・ＺｎＯ系、ＣａＯ・Ｂ₂Ｏ₃系、ＣａＯ・Ｂ₂Ｏ₃・ＳｉＯ₂系、ＣａＯ・ＰｂＯ・ＳｉＯ₂系、ＣａＯ・ＰｂＯ・Ｂ₂Ｏ₃・ＳｉＯ₂系、ＭｇＯ・Ｂ₂Ｏ₃系、ＭｇＯ・Ｂ₂Ｏ₃・ＳｉＯ₂系、ＭｇＯ・ＰｂＯ・ＳｉＯ₂系、ＭｇＯ・ＰｂＯ・Ｂ₂Ｏ₃・ＳｉＯ₂系、ＳｉＯ₂・Ｂ₂Ｏ₃・Ｒ₂Ｏ系（Ｒはアルカリ金属であり、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋから選択される）、Ｎｄ₂Ｏ₅・ＴｉＯ₂・ＳｉＯ₂系、ＳｎＯ・ＺｎＯ・Ｐ₂Ｏ₅系のガラス等の１種類もしくは２種類以上を含有するものを使用できる。
【００３６】
更に、必要に応じ、上述のＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｗ、ＭｏおよびＭｎ等の金属粉末の酸化物および珪化物、Ｂｉ₂Ｏ₃等も併用することができる。これらは、比較的低温で焼成する場合に、金属の焼結を促進したり、ガラスの軟化点を下げたり、焼成時に含有している酸素の放出により脱バイを促進する等のために有用である。
【００３７】
本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物に用い得る（ａ）グリシジル基と不飽和二重結合を有する化合物の具体例としては、グリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテル、ダイセル化学工業製のサイクロマーＭ１００及びＡ２００などが挙げられ、これらの１種類もしくは２種類以上を組み合わせて使用することができる。
【００３８】
本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物に用い得る（ｂ）イソシアネート基と不飽和二重結合を有する化合物の具体例としては、メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、もしくはトリレンジイソシアネート（ＴＤＩ）やメタンジイソシアネート（ＭＤＩ）等のポリイソシアネートと２−ヒドロキシエチルアクリレートや４−ヒドロキシブチルアクリレート等の水酸基含有アクリレートの等モル反応生成物などが挙げられ、これらの１種類もしくは２種類以上を組み合わせて使用することができる。
【００３９】
本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物に用い得る（Ｃ）成分の光反応性重合化合物は、（Ａ）成分のカルボン酸変性感光性バインダー樹脂を希釈し、粘度の調整を行うと同時に、硬化部分の物性を調節するために添加されるものであり、通常の紫外線硬化樹脂組成物として使用し得るものであれば、いずれも使用することができる。例示するなら、炭素数１〜１８のアルキル（メタ）アクリレート、炭素数１〜８のアルコールエチレンオキサイド誘導体（メタ）アクリレート、炭素数１〜１８のアルキルフエノールエチレンオキサイド誘導体（メタ）アクリレート、炭素数１〜１８のフエノールエチレンオキサイド誘導体（メタ）アクリレート、炭素数２〜９のジオールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡエポキシ（メタ）アクリレート、フェノールノボラックエポキシ（メタ）アクリレート、クレゾールノボラックエポキシ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡエチレンオキサイド誘導体ジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡプロピレンオキサイド誘導体ジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド誘導体トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキサイド誘導体トリ（メタ）アクリレート、グリセリンエチレンオキサイド誘導体トリ（メタ）アクリレート、グリセリンプロピレンオキサイド誘導体トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート等を用いることができるが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、本明細書において、（メタ）アクリレートとは、アクリレートとメタアクリレートを総称する用語である。
【００４０】
本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物に用い得る（Ｄ）成分の光重合開始剤は、露光部を硬化させるための重合を開始するために添加されるものであり、ベンジル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、アシルホスフィンオキシド類、ビスアシルホスフィンオキシド類、ベンジルケタール類、ベンゾイン類、ベンゾインエーテル類、アセトフェノン類、チオキサントン類やその誘導体等の公知の化合物が挙げられる。また、必要に応じ、アミノ安息香酸類や色素等の光増感助剤を併用することもできる。
【００４１】
更に、本発明では、ペーストとしての取り扱いをよくするため、粘度の調整用として、テルピネオール、ジヒドロテルピネオール、エチルセルソルブ、ブチルセルソルブ、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、及びこれらの酢酸エステル、ペンタンジオールアルキルエーテル、ジブチルフタレート、その他、芳香族系、アルコール系、エステル系、ケトン系等の有機溶剤を添加することもできる。
【００４２】
また、本発明では、樹脂組成物の保存安定性を改善するために安定剤を添加することもできる。特に、カルボキシル基とイオン架橋を形成し易い多価の金属の粉末もしくは金属酸化物の粉末、またはガラスフリット等を使用する場合には、安定剤を添加することにより保存安定性の改善が期待できる。例示するなら、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、アクリル酸、オレイン酸、リノール酸等の脂肪酸、乳酸、ヒドロキシアクリル酸、酒石酸、クエン酸、サリチル酸、ｏ−ヒドロキシフェニル酢酸、ｐ−ヒドロキシフェニル酢酸、アスコルビン酸等のオキシカルボン酸、コハク酸、マロン酸、シュウ酸、アジピン酸等のジカルボン酸、グリシン、アスパラギン酸、アントラニル酸等のアミノ酸、その他、ベンゾトリアゾール類、リン酸エステル系界面活性剤、高分子量ポリカルボン酸の長鎖アミン塩、長鎖ポリアミノアマイドと高分子量ポリエステル酸の塩等がある。これらの安定剤は、１種もしくは２種以上を使用することができる。
【００４３】
なお、本発明の樹脂組成物の特性を損なわない範囲で、アクリル系やシリコーン系の消泡剤・レベリング剤、基板への濡れ性を改善する界面活性剤、その他、酸化防止剤、熱重合禁止剤、カップリング剤、分散剤等を添加することができる。
【００４４】
本発明は、セルロース系カルボン酸変性感光性バインダー樹脂の水酸基量、カルボキシル基量および光重合性官能基量、すなわち、水酸基価、酸価および二重結合当量を特定の範囲に制御することにより、アルカリ可溶性と十分な光重合性との両方を備えたアルカリ現像型感光性樹脂組成物を提供しうることを見出したことに基づくものである。また、セルロース系の感光性バインダー樹脂はアクリル系バインダー樹脂と比較してバインダーとしての性能が高いため、樹脂量を低くすることができるので、印刷性や焼成時の脱バイ性を改善できるという利点がある。更には、バインダー樹脂の骨格にセルロース誘導体を用いることにより、印刷によりパターニングを行う通常のサーメット型ペーストの処方がそのまま使えるという利点がある。
【００４５】
【実施例】
以下に本発明の好ましい実施例を説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではなく、本発明の技術的範囲を逸脱しない範囲において適宜変更と修正が可能である。
１．アルカリ可溶型カルボン酸変性感光性バインダー樹脂の合成例
（１）合成例１撹拌器、コンデンサー、空気導入管および温度計を取り付けた１リットルのフラスコにハイドロキノンを０．０５５ｇと、化１または化２で表されるカルボン酸変性セルロース誘導体Ａ（ヒドロキシプロピルメチルセルロースフタレート、信越化学工業製、ＨＰＭＣＰと略称）を１１０．０ｇと、γ−ブチロラクトン１８５．０ｇを仕込み、７０℃まで昇温してこれらの化合物を溶解してカルボン酸変性バインダー樹脂（Ｐ−１）を得た。このとき得られたカルボン酸変性バインダー樹脂（Ｐ−１）の水酸基価は１５０、酸価は８５であった。
【００４６】
これに、空気を導入しながらグリシジルメタクリレートを３５．８ｇ仕込み、９０℃まで昇温した。そのまま９０〜９５℃で５時間撹拌を継続して、カルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−２）を得た。このとき得られたカルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−２）の水酸基価は１１３、酸価は６５、二重結合当量は５８０であった。
【００４７】
その後、再び７０℃まで降温し、メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを３９．１ｇ仕込み、そのまま７０℃で４時間撹拌を継続して、カルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−３）を得た。こうして得られたカルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−３）の水酸基価は１３、酸価は５１、二重結合当量は３６７であった。
（２）合成例２撹拌器、コンデンサー、空気導入管および温度計を取り付けた１リットルのフラスコにハイドロキノンを０．１１１ｇと、カルボン酸変性セルロース誘導体Ａ（ヒドロキシプロピルメチルセルロースフタレート、信越化学工業製、ＨＰＭＣＰと略称）を１１０．０ｇと、エチルカルビトールアセテート２２２．２ｇを仕込み、７０℃まで昇温してこれらの化合物を溶解した。
【００４８】
これに、空気を導入しながらグリシジルメタクリレートを５３．６ｇ仕込み、９０℃まで昇温した。そのまま９０〜９５℃で５時間撹拌を継続して、カルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−４）を得た。このとき得られたカルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−４）の水酸基価は１２９、酸価は２９、二重結合当量は４３４であった。
【００４９】
その後、再び７０℃まで降温し、メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを５８．６ｇ仕込み、そのまま７０℃で４時間撹拌を継続して、カルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−５）を得た。こうして得られたカルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−５）の水酸基価は０、酸価は２１、二重結合当量は２９５であった。
（３）合成例３撹拌器、コンデンサー、空気導入管および温度計を取り付けた１リットルのフラスコにハイドロキノンを０．０５５ｇと、化１または化２で表されるカルボン酸変性セルロース誘導体Ｂ（ヒドロキシプロピルメチルセルロースフタレート、信越化学工業製、ＨＰＭＣＰと略称）を１１０．０ｇと、ブチルカルビトールアセテート１７５．５ｇを仕込み、７０℃まで昇温してこれらの化合物を溶解した。
【００５０】
これに、空気を導入しながらグリシジルメタクリレートを３１．３ｇ仕込み、９０℃まで昇温した。そのまま９０〜９５℃で５時間撹拌を継続後、再び７０℃まで降温し、メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを３４．２ｇ仕込み、そのまま７０℃で４時間撹拌を継続して、カルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−６）を得た。こうして得られたカルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−６）の水酸基価は０、酸価は５９、二重結合当量は３９８であった。
（４）合成例４撹拌器、コンデンサー、空気導入管および温度計を取り付けた１リットルのフラスコにハイドロキノンを０．０５５ｇと、化１または化２で表されるカルボン酸変性セルロース誘導体Ｃ（ヒドロキシプロピルメチルセルロースアセテートフタレート、信越化学工業製、ＨＰＭＣＡＰと略称）を１１０．０ｇと、γ−ブチロラクトン１７８．３ｇを仕込み、７０℃まで昇温してこれらの化合物を溶解した。
【００５１】
これに、空気を導入しながらグリシジルメタクリレートを３５．６ｇ仕込み、９０℃まで昇温した。そのまま９０〜９５℃で５時間撹拌を継続後、再び７０℃まで降温し、メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを３２．７ｇ仕込み、そのまま７０℃で４時間撹拌を継続して、カルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−７）を得た。こうして得られたカルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−７）の水酸基価は１２、酸価は３５、二重結合当量は３７４であった。
（５）合成例５撹拌器、コンデンサー、空気導入管および温度計を取り付けた１リットルのフラスコにハイドロキノンを０．０６５ｇと、化１または化２で表されるカルボン酸変性セルロース誘導体Ｄ（ヒドロキシプロピルメチルセルロースヘキサヒドロフタレート、信越化学工業製、ＨＰＭＣＨＨＰと略称）を１１０．０ｇと、エチルカルビトールアセテート１３０．１ｇを仕込み、７０℃まで昇温してこれらの化合物を溶解してカルボン酸変性バインダー樹脂（Ｐ−８）を得た。このとき得られたカルボン酸変性バインダー樹脂（Ｐ−８）の水酸基価は４３、酸価は１３８であった。
【００５２】
これに、空気を導入しながらグリシジルメタクリレートを９．６ｇ仕込み、９０℃まで昇温した。そのまま９０〜９５℃で５時間攪拌を継続して、カルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−９）を得た。このとき得られたカルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−９）の水酸基価は４０、酸価は１２７、二重結合当量は１７６７であった。
【００５３】
その後、再び７０℃まで降温し、メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを１０．５ｇ仕込み、そのまま７０℃で４時間撹拌を継続して、カルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−１０）を得た。こうして得られたカルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ｐ−１０）の水酸基価は７、酸価は１２０、二重結合当量は９３９であった。
【００５４】
以上のカルボン酸変性セルロース誘導体Ａ、Ｂ、Ｃ、ＤのＲ₁置換基は以下の表１に示すとおりである。
【００５５】
【表１】

【００５６】
２．樹脂組成物の印刷と評価基板の作製
（１）ガラス基板上への導体ペーストの印刷と評価基板の作製《実施例１〜４及び比較例１〜７》
以下の表２に示した配合のものを予備混合後、３本ロールミルで混練し、ペースト化した。バインダー樹脂として、実施例１〜４および比較例１〜６は合成例１〜５において作製したもの（Ｐ−１〜Ｐ−１０）を用いた。比較例７のバインダー樹脂としては、市販のカルボン酸変性アクリル樹脂１１０．０ｇをエチルカルビトールアセテート１１０．０ｇに溶解したもの（Ｐ−１１）を用いた。この溶解物（Ｐ−１１）の水酸基価は０、酸価は４５であった。
【００５７】
そして得られたペーストを、＃４００メッシュのステンレススクリーンを用い、ガラス基板上に８ミクロンの厚みでベタ印刷後、８０℃の熱風式乾燥機で３０分間乾燥し、図１に示すクロムマスクをのせて、３００ｍＪ／ｃｍ²の平行光で露光した。次いで、液温３０℃、濃度０．５重量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液でシャワーリングしてアルカリ現像し、水洗、乾燥した。さらに、所定の導体パターンが印刷されたガラス基板をベルトコンベア式焼成炉にて、空気中、ピーク温度６００℃で１０分間で焼成して評価基板を作製した。
【００５８】
【表２】

【００５９】
（２）ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）基板上への導体ペーストの印刷と評価基板の作製《実施例５〜８及び比較例８〜１４》
以下の表３に示した配合のものを予備混合後、３本ロールミルで混練し、ペースト化した。バインダー樹脂として、実施例５〜８および比較例８〜１３は合成例１〜５において作製したもの（Ｐ−１〜Ｐ−１０）を用いた。比較例１４のバインダー樹脂としては、市販のカルボン酸変性アクリル樹脂１１０．０ｇをエチルカルビトールアセテート１１０．０ｇに溶解したもの（Ｐ−１１）を用いた。この溶解物（Ｐ−１１）の水酸基価は０、酸価は４５であった。
【００６０】
そして得られたペーストを、＃２５０メッシュのステンレススクリーンを用い、ＰＥＴフィルム上に２０ミクロンの厚みでベタ印刷後、７０℃の熱風式乾燥機で１０分間乾燥し、図１に示すクロムマスクをのせて、４００ｍＪ／ｃｍ²の平行光で露光した。次いで、液温３０℃、濃度０．５重量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液でシャワーリングしてアルカリ現像し、水洗、乾燥した。さらに、所定の導体パターンが印刷されたＰＥＴフィルムをプレス機にかけて、グリーンシート（日本電気硝子製のＭＬＳ−１０００）に、転写温度７０℃、ガス転写圧力１０ＭＰａでそのパターンを転写した。さらに、パターンが転写されたそのグリーンシートをベルトコンベア式焼成炉にて、空気中、ピーク温度９００℃で１０分間で焼成して評価基板を作製した。
【００６１】
【表３】

【００６２】
（３）ガラス基板上への誘電体ペーストの印刷と評価基板の作製《実施例９〜１２及び比較例１５〜２１》
以下の表４に示した配合のものを予備混合後、３本ロールミルで混練し、ペースト化した。バインダー樹脂として、実施例９〜１２および比較例１５〜２０は合成例１〜５において作製したもの（Ｐ−１〜Ｐ−１０）を用いた。比較例２１のバインダー樹脂としては、市販のカルボン酸変性アクリル樹脂１１０．０ｇをエチルカルビトールアセテート１１０．０ｇに溶解したもの（Ｐ−１１）を用いた。この溶解物（Ｐ−１１）の水酸基価は０、酸価は４５であった
そして得られたペーストを、＃２５０メッシュのステンレススクリーンを用い、ガラス基板上に２０ミクロンの厚みでベタ印刷後、８０℃の熱風式乾燥機で２０分間乾燥し、図１に示すクロムマスクをのせて、２００ｍＪ／ｃｍ²の平行光で露光した。次いで、液温３０℃、濃度０．５重量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液でシャワーリングしてアルカリ現像し、水洗、乾燥した。さらに、所定の誘電体パターンが印刷されたガラス基板をベルトコンベア式焼成炉にて、空気中、ピーク温度６００℃で１０分間で焼成して評価基板を作製した。
【００６３】
【表４】

【００６４】
３．作製したサンプルの特性評価
作製したサンプルの特性は下記のように評価した。
（１）解像度「解像度」に関しては、光学顕微鏡を用い、どの細線パターンまでライン／スペースが良好な形状を示しているかを、焼成ラインについて観察した。その結果は上記表２〜表４に示す。
【００６５】
表２〜表４の解像度において、「１００／１００」とは、ライン幅１００μｍ、スペース１００μｍまで良好な形状を示すものをいい、「７５／７５」とは、ライン幅７５μｍ、スペース７５μｍまで良好な形状を示すものをいい、「５０／５０」とは、ライン幅５０μｍ、スペース５０μｍまで良好な形状を示すものをいい、「４０／４０」とは、ライン幅４０μｍ、スペース４０μｍまで良好な形状を示すものをいい、「３０／３０」とは、ライン幅３０μｍ、スペース３０μｍまで良好な形状を示すものをいい、「２０／２０」とは、ライン幅２０μｍ、スペース２０μｍまで良好な形状を示すものをいう。良好な形状を示すライン幅とスペースの数値が小さいほど、解像度が優れていることを表す。
【００６６】
また、表２〜表４の解像度において、「−」は、ラインが残存していないことを示し、解像度が極めて悪いことを表す。
（２）エッジカール「エッジカール」に関しては、ライン幅１００μｍ、スペース１００μｍの焼成ラインを表面粗さ計で走査し、垂直方向を５０００倍に拡大したチャートからエッジカールの量を求め、下記基準で判断した。その結果は上記表２に示す。
【００６７】
表２のエッジカールにおいて、記号「○」は、エッジカール量が２μｍ以下のものを示し、密着性が優れていることを表す。記号「×」は、エッジカール量が２μｍ以上のものを示し、記号「−」は、ラインが残存していないことを示す。記号「×」と「−」のものは、密着性が極めて悪いことを表す。
（３）特性評価
表２〜表４に明らかなとおり、本発明の実施品である実施例１〜１２の感光性樹脂組成物は、解像度が高く、密着性が優れていることが分かる。
【００６８】
しかし、比較例１〜２１のペースト組成物は、解像度と密着性が劣っていることが分かる。
【００６９】
【発明の効果】
本発明は上記のとおり構成されているので、十分な光重合性を有し、基板との密着性に優れ、フォトリソグラフィー法に用いた場合に解像度が高いパターンが得られ、印刷性と焼成時の脱バイ性に優れたアルカリ現像型感光性樹脂組成物を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】露光時に用いたフォトマスクパターンの平面図である。
【符号の説明】
Ｌ…ライン
Ｓ…スペース

Claims

（Ａ）下記の化１で表されるセルロース誘導体に、（ａ）グリシジル基と不飽和二重結合を有する化合物、および（ｂ）イソシアネート基と不飽和二重結合を有する化合物を付加させてなるカルボン酸変性感光性バインダー樹脂と、（Ｂ）無機粉末と、（Ｃ）光反応性重合化合物と、（Ｄ）光重合開始剤とを含有しているアルカリ現像型感光性樹脂組成物において、前記カルボン酸変性感光性バインダー樹脂（Ａ）は、水酸基価が０〜６０であり、酸価が１０〜８０であり、二重結合当量が２５０〜４００であることを特徴とするアルカリ現像型感光性樹脂組成物。

（Ｒ ₁ は、水素、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数１〜４のヒドロキシアルキル基、炭素数１〜８のアシル基及び−ＣＯＲ ₃ ＣＯＯＨ基からなる群から選択される置換基であって、少なくとも、前記水素及び／又は前記ヒドロキシアルキル基と、前記−ＣＯＲ ₃ ＣＯＯＨ基とを含み、上記Ｒ ₃ は、炭素数１〜４のアルキレン基、炭素数６〜８のシクロアルキレン基、フェニレン基および置換フェニレン基からなる群から選択される置換基である。）
（Ａ）成分の前記カルボン酸変性感光性バインダー樹脂の含有量が０．５〜３０重量部であり、（Ｂ）成分の前記無機粉末の含有量が４０〜９７重量部であり、（Ｃ）成分の前記光反応性重合化合物の含有量が０．５〜３０重量部であり、（Ｄ）成分の前記光重合開始剤の含有量が０．２〜２０重量部であることを特徴とする請求項１に記載のアルカリ現像型感光性樹脂組成物。
前記無機粉末（Ｂ）が金属粉末であることを特徴とする請求項１または２に記載のアルカリ現像型感光性樹脂組成物。
前記金属粉末がＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｗ、ＭｏおよびＭｎからなる群から選択される金属の粉末もしくはこれらの金属粉末の混合物又はこれらの合金の粉末のうち少なくとも１種類を含有していることを特徴とする請求項３記載のアルカリ現像型感光性樹脂組成物。
前記無機粉末（Ｂ）がＳｉ、Ｐｂ、Ｂ、Ｐ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｂａ、Ｎａ、Ｋ、Ｌｉ、ＴｉおよびＮｄの酸化物並びにこれらの酸化物を含有するガラスからなる群から選択される少なくとも１種類を含有していることを特徴とする請求項１または２に記載のアルカリ現像型感光性樹脂組成物。
前記無機粉末（Ｂ）がＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｗ、ＭｏおよびＭｎからなる群から選択される金属の粉末もしくはこれらの金属粉末の混合物又はこれらの合金の粉末のうち少なくとも１種類と、Ｓｉ、Ｐｂ、Ｂ、Ｐ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｂａ、Ｎａ、Ｋ、Ｌｉ、ＴｉおよびＮｄの酸化物並びにこれらの酸化物を含有するガラスからなる群から選択される少なくとも１種類とを含有していることを特徴とする請求項１または２に記載のアルカリ現像型感光性樹脂組成物。