JP3778284B2

JP3778284B2 - 複合ボイスコイル形リニアモータ

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Publication number: JP3778284B2
Application number: JP2002257916A
Authority: JP
Inventors: 光浩古賀; 睦松元
Original assignee: Yaskawa Electric Corp
Current assignee: Yaskawa Electric Corp
Priority date: 2002-09-03
Filing date: 2002-09-03
Publication date: 2006-05-24
Anticipated expiration: 2022-09-03
Also published as: JP2004096952A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ボイスコイル形リニアモータに関し、特に小形、軽量化、高応答の複合ボイスコイル形リニアモータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のボイスコイル形リニアモータとしては本出願人によってなされた先行発明がある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平８―２１４５３０号公報（図１）
【０００４】
これは長手方向の中心軸に平行させた磁性体で構成した一対の外ヨーク間に平行させて設けた内ヨークと、前記外ヨークと前記内ヨークの両端部に設けた側ヨークとで日の字形に形成した閉鎖磁気回路と、前記外ヨークの内側に、外ヨークと内ヨークの対向する面に対向するものどうしの極性を逆にした永久磁石を設けて界磁を構成し、前記永久磁石間に、空隙を介し、非磁性体よりなるボビンにコイルを設けた電機子を、軸方向に移動自在に設け、前記外ヨークに設けた永久磁石を、隣どうしの極性を逆にした同じ幅の複数の永久磁石とし、前記内ヨークに設けた永久磁石を、隣どうしの極性を逆にした同じ幅の複数の永久磁石とし、前記永久磁石と永久磁石の対向するものどうしは異極性となるよう配置し、前記コイルを前記永久磁石のピッチと等しいピッチに分割したものである。
【０００５】
以下、本発明の基礎となるこの先行発明（特開平８―２１４５３０号）について図８〜図１０に基づいて簡単に説明する。
図８は、先行発明に係るボイスコイル形リニアモータの断面図であり、長手方向の中心軸に平行して設けた平板状の強磁性体よりなる一対の外ヨーク１１Ｕ、１１Ｄの内側には、同じ幅の永久磁石１５ａ１、１５ａ２、１５ａ３、１５ａ４を、対面するものは同極性に、隣のものは異磁極性に着磁し、軸方向に所定ピッチで配置してある。外ヨーク１１Ｕ、１１Ｄの両側面には、平板状の強磁性体よりなる一対の側ヨーク１３Ｒ、１３Ｌを対面させて固定してある。
側ヨーク１３Ｒ、１３Ｌの中央部には、矩形状の内ヨーク１２を嵌め込む溝１４Ｒ、１４Ｌを設けてあり、この溝１４Ｒ、１４Ｌに内ヨーク１２の各端部を嵌め込み外ヨーク１１Ｕ、１１Ｄの中心軸に内ヨーク１２を固定する。
内ヨーク１２の上下面には、永久磁石１５ｂ１、１５ｂ２、１５ｂ３、１５ｂ４を、それぞれ永久磁石１５ａ１、１５ａ２、１５ａ３、１５ａ４に対面するものは異極性に着磁し、空隙を介して各１５ａ１、１５ａ２、１５ａ３、１５ａ４に対面させて軸方向に配置してある。
このようにして外ヨーク１１Ｕ、１１Ｄと、側ヨーク１３Ｒ、１３Ｌと、内ヨーク１２とで日の字形のヨークを形成し、その内側に、永久磁石１５ａ１〜１５ａ４、１５ｂ１〜１５ｂ４を配置し、界磁１０を構成する。
対応する各永久磁石１５ａ１〜１５ａ４と１５ｂ１〜１５ｂ４間の空隙内には、電機子２０を、内外面が各永久磁石と空隙をもたせて、軸方向に移動自在に配置する。
【０００６】
電機子２０はボビン１７とコイル１８（１８ａ１、１８ａ２）とフランジ２７とから成り、ボビン１７は図９に示すように、非磁性体よりなる管状をしており、管状の軸方向に垂直な面で切った断面が口形形状をしており、その管状の軸方向の中央部に中仕切りを設け、ここに互いの巻き方向を逆にしたコイル１８ａ１、１８ａ２が軸方向に巻回されており、そのピッチは永久磁石１５ａ１、１５ａ２のピツチと等しくなっている。
ボビン１７の片側もしくは両側の側面には、軸方向端部に軸方向と直角方向に折り曲げたフランジ２７を設けたＬ字形のスラスト板１９を固定してある。
【０００７】
図１０は、図９の電機子２０の組立状況を示す斜視図で、界磁１０と空隙を介し電機子２０が軸方向に移動し、推力の取り出しはフランジ２７にワークを連結して行うようにしてある。
このように構成することにより、対面する永久磁石１５ａから１５ｂの作る磁束は集中化されるとともに、図８に点線で示すように、
（１）外ヨーク１１および内ヨーク１２の中央部と永久磁石１５ａ、１５ｂを流れるφ1 と、
（２）外ヨーク１１Ｕおよび内ヨーク１２の一方端（図で左端）と側ヨーク１３Ｌと永久磁石１５ａ１、１５ｂ１を流れるφ2Lと、
（３）外ヨーク１１Ｕおよび内ヨーク１２の他方端側ヨーク１３と永久磁石１５ａ２、１５ｂ２を流れるφ2Rと、
の３磁路となり、ヨーク１１Ｕ、１２を流れる磁束は均一化される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記のボイスコイル形リニアモータをさらに高推力にするには、上記のボイスコイル形リニアモータを基本単位として基本単位リニアモータ必要個数用いればよいことになる。
図１１は図８のボイスコイル形リニアモータを基本単位として基本単位リニアモータを２個用いた例の断面図である。
ところが、このように基本単位リニアモータ２個を単に並べた場合、推力は２倍となるものの、体積、重量も当然２倍となり、大形化し、重量も２倍重くなってしまうという課題があった。
本発明はこれらの課題を解決するもので、基本単位リニアモータを複数個用いても、磁気回路に改良を加えることにより、小形、軽量化、高応答となるような複合ボイスコイル形リニアモータを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するために、請求項１記載の複合ボイスコイル形リニアモータの発明は、長手方向の中心軸に平行させた磁性体で構成した一対の外ヨーク間に平行させて設けた内ヨークと、前記外ヨークと前記内ヨークの両端部に設けた側ヨークとで日の字形に形成した閉鎖磁気回路と、前記外ヨークの内側に、外ヨークと内ヨークの対向する面に対向するものどうしの極性を逆にした永久磁石を設けて界磁を構成し、前記永久磁石間に、空隙を介し、非磁性体かつ絶縁体よりなるボビンにコイルを設けた電機子を、軸方向に移動自在に設け、前記外ヨークに設けた永久磁石を隣どうしの極性を逆にした同じ幅の複数の第１永久磁石とし、前記内ヨークに設けた永久磁石を隣どうしの極性を逆にした同じ幅の複数の第２永久磁石とし、前記第１永久磁石と第２永久磁石の対向するものどうしは異極性のなるよう配置し、前記コイルを前記第１永久磁石のピッチと等しいピッチに分割し、隣どうしの巻方向を逆にした直列あるいは並列のコイルとしたボイスコイル形リニアモータを基本単位とし、該基本単位のボイスコイル形リニアモータを２個積み重ねて成る複合ボイスコイル形リニアモータであって、第２のボイスコイル形リニアモータの永久磁石およびコイルの極性を第１のボイスコイル形リニアモータの永久磁石およびコイルの極性と全く逆とし、かつ第１と第２のボイスコイル形リニアモータの重なり部の外ヨークを省いたことを特徴とする。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の前記基本単位のボイスコイル形リニアモータを３個以上積み重ねて成る複合ボイスコイル形リニアモータであって、互いに隣接するボイスコイル形リニアモータの永久磁石およびコイルの極性を全く逆とし、かつ互いに隣接するボイスコイル形リニアモータの重なり部の外ヨークを省いたことを特徴とする。
【００１０】
請求項３記載の複合ボイスコイル形リニアモータの発明は、長手方向の中心軸に平行させた磁性体で構成した一対の外ヨーク間に平行させて設けた内ヨークと、前記外ヨークと前記内ヨークの両端部に設けた側ヨークとで日の字形に形成した閉鎖磁気回路と、前記外ヨークの内側に、外ヨークと内ヨークの対向する面に対向するものどうしの極性を逆にした永久磁石を設けて界磁を構成し、前記永久磁石間に、空隙を介し、非磁性体かつ絶縁体よりなるボビンにコイルを設けた電機子を、軸方向に移動自在に設けたボイスコイル形リニアモータを基本単位とし、該基本単位のボイスコイル形リニアモータを２個積み重ねて成る複合ボイスコイル形リニアモータであって、第２のボイスコイル形リニアモータの永久磁石およびコイルの極性を第１のボイスコイル形リニアモータの永久磁石およびコイルの極性と全く逆とし、かつ第１と第２のボイスコイル形リニアモータの重なり部の外ヨークを省いたことを特徴とする。
請求項４記載の発明は、請求項３記載の前記基本単位のボイスコイル形リニアモータを３個以上積み重ねて成る複合ボイスコイル形リニアモータであって、互いに隣接するボイスコイル形リニアモータの永久磁石およびコイルの極性を全く逆とし、かつ互いに隣接するボイスコイル形リニアモータの重なり部の外ヨークを省いたことを特徴とする。
以上の構成によれば、各基本単位のボイスコイル形リニアモータどうしの重なり部の外ヨークを省いたことにより、小形化、軽量化、軽量化が得られる。
請求項５記載の発明は、請求項３又は４記載の複合ボイスコイル形リニアモータにおいて、前記内ヨークの中央部を分割して空隙を設けたことを特徴とする。請求項６記載の発明は、請求項３又は４記載の複合ボイスコイル形リニアモータにおいて、前記内ヨークの中央部を非磁性体としたことを特徴とする。
以上の構成によれば、内ヨークの中央部を分割して空隙又は非磁性体としたことにより、前記に加え、電機子磁束を低減できるため、磁気飽和による推力の低下を防止でき、電源容量の節約、時定数小による応答性の向上が得られる。
【００１１】
請求項７記載の発明は、請求項１〜６のいずれか１項記載の複合ボイスコイル形リニアモータにおいて、前記内ヨーク側に設置した永久磁石と前記コイルの空隙に、非磁性体且つ導電体の金属管が前記永久磁石を囲むように配置して成ることを特徴とする。
以上の構成によれば、非磁性体且つ導電体の金属管が電流変化による誘起起電力を発生するようになるので、前記に加え、高速応答が得られる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面に基づいて詳細に説明する。
ところで、前述の図１１の上側半分の磁気回路を磁気回路Ａとし、図１１の下側半分の永久磁石の極性と電流の向きを磁気回路Ａと全く逆とした磁気回路Ｂとした場合を考えると図１２のようになり、Ｂの推力の向きは、永久磁石の極性と電流の向きが逆であるため、磁気回路Ａと同じであり、特性は図１１と同一となることに出願人は気がついた。
そこで、図１２において、磁気回路Ａの下側の外ヨーク１１Ｄ及び磁気回路Ｂの上側の外ヨーク１１ＢＵの接する部分には磁気回路Ａの永久磁石による界磁磁束（例えばΦ３）と磁気回路Ｂの永久磁石による界磁磁束（例えばΦ４）があるが、それぞれの磁束の向きは逆となるため打消し合い、磁気回路Ａと磁気回路Ｂが全く対称であるとすると、磁気回路Ａ及び磁気回路Ｂの接する外ヨークの磁束は零となる。もともと、ヨークは界磁磁束の磁路の役目をはたしているが、磁束が零であるため磁気回路Ａ及び磁気回路Ｂの接する外ヨーク１１は不要となる。この点に着目して、磁気回路Ａ及び磁気回路Ｂの接する外ヨーク１１Ｄと１１ＢＵとを省略したものが本発明の実施の形態１である。
【００１３】
［発明の実施の形態１］
まず、発明の実施の形態１について説明する。
図１は本発明の実施の形態１に係るボイスコイル形リニアモータの断面図である。図において、１０は界磁、１１は外ヨーク、１２は内ヨーク、１３Ｒ、１３Ｌは側ヨーク、１４は溝、１５ａ、１５ｂは永久磁石、１７はボビン、１８ａはコイルである。
磁束について、例えば側ヨーク１３Ｒを通る磁束Φ１，Φ２、Φ３の流れを見ると、図１２に見られる磁束の流れのような２個縦に重ねた日の字形ではなくて、図１に示すように目の字形となる。
中央部の永久磁石１５ａ３および１５ａ４は、それぞれ磁気回路Ａと磁気回路Ｂの永久磁石を一体としたことになり、厚さは２倍となっているが、外ヨークの厚み分が小型化に寄与することとなる。しかも図１１と等価の特性を得られることになる。
以上のように、図１の本発明の実施の形態１に係るボイスコイル形リニアモータは図１１に比べ磁気回路Ａ及び磁気回路Ｂの接する外ヨークがない分だけ小形化していることがわかる。また、重量の重いヨークが省略できるため、軽量化され、応答のはやいボイスコイル形リニアモータが提供できる。
【００１４】
［発明の実施の形態２］
次に、発明の実施の形態２について説明する。
図２は本発明の実施の形態２に係るボイスコイル形リニアモータの断面図である。図において、図１と同じ符号のものはそれとおなじものを指しているので、説明は省略する。発明の実施の形態２に係るボイスコイル形リニアモータは、発明の実施の形態１の考えを延長したもので、磁気回路を３段以上とした場合である。例えば３段の場合は実施の形態１に示した磁気回路を磁気回路Ａ，磁気回路Ｂ，磁気回路Ａとすればよい。
さらに、４段の場合は磁気回路Ａ，磁気回路Ｂ，磁気回路Ａ，磁気回路Ｂとすればよいし、以下同様に段数を増すことができる。
図２では磁気回路を磁気回路Ａ，磁気回路Ｂ，磁気回路Ａとした場合の例を示す。
このように、発明の実施の形態２に係る図２のボイスコイル形リニアモータは、図１のそれと同様、小型化・軽量化となる効果が得られる。
【００１５】
［発明の実施の形態３］
次に、発明の実施の形態３について説明する。
図３は本発明の実施の形態３に係るボイスコイル形リニアモータの断面図である。図において、図１と同じ符号のものはそれとおなじものを指しているので、説明は省略する。発明の実施の形態３に係るボイスコイル形リニアモータは、図１の左右片側のみの構成としたものである。すなわち、長手方向の中心軸に平行させた磁性体で構成した上下一対の外ヨーク１１間に平行させて設けた２個の内ヨーク１２と、前記外ヨーク１１と前記内ヨーク１２の両端部に設けた側ヨーク１３とで目の字形に形成した閉鎖磁気回路と、前記外ヨーク１１の内側に、各外ヨーク１１と各内ヨーク１２の対向する面に対向するものどうしの極性を逆にした永久磁石を設けて界磁１０を構成し、前記永久磁石間に、空隙を介し、非磁性体かつ絶縁体よりなるボビン１７にコイルを設けた電機子２０を、軸方向に移動自在に設けたボイスコイル形リニアモータを構成している。
このように、ボイスコイル形リニアモータＣの永久磁石、コイルの極性を全く逆としたボイスコイル形リニアモータＤを磁気的に合成することにより、ボイスコイル形リニアモータＣとＤの重なり部の外ヨークを省き、目の字形閉鎖磁気回路の構成としたもので、発明の実施の形態３に係るボイスコイル形リニアモータは、図１のそれと同様、小型化・軽量化・高応答化できる効果が得られる。
【００１６】
［発明の実施の形態４］
次に、発明の実施の形態４について説明する。
図４は本発明の実施の形態４に係るボイスコイル形リニアモータの断面図である。図において、図１と同じ符号のものはそれとおなじものを指しているので、説明は省略する。発明の実施の形態４に係るボイスコイル形リニアモータは、実施の形態３の考えを延長し、磁気回路を３段以上とした場合である。
例えば３段の場合は実施の形態３にしめした磁気回路をＣ、Ｄ、Ｃとすればよい。
４段の場合はＣ、Ｄ、Ｃ、Ｄとすればよいし、以下同様に段数を増すことができる。
図４は磁気回路をＣ、Ｄ、Ｃとした場合を示している。
このように、発明の実施の形態４に係る図４のボイスコイル形リニアモータは、
実施の形態１、３と同様な効果が得られる。
【００１７】
［発明の実施の形態５］
次に、発明の実施の形態５について説明する。
図５は本発明の実施の形態５に係るボイスコイル形リニアモータの断面図である。図において、図１と同じ符号のものはそれとおなじものを指しているので、説明は省略する。発明の実施の形態５に係るボイスコイル形リニアモータは、図３におけるボイスコイル形リニアモータにおいて、内ヨーク１２の中央部を分割して空隙１９を設けたものである。
このような構成のものにおいて、コイルに図５に示す向きに電流を通電させると、破線で示すような電機子磁束が発生し、磁路の飽和による推力低下やコイルインダクタンスに起因する無効電力の増加や応答性の悪化が生じるものの、空隙１９はこれらの電機子磁束を遮るため、推力低下の防止や力率向上による電源容量の節約、電気的時定数小による応答性の向上に効果がある。
なお、界磁磁束は内ヨーク１２の中央部ではわずかしかなく、空隙１９と略平行であるため、空隙１９による界磁磁束への影響はほとんど無視できる。
以上、発明の実施の形態５について図３の例で説明したが、発明の実施の形態５はこれに限定されるものではなく、図４の場合においても同様に実施できる。
このように、発明の実施の形態５によれば、小型化・軽量化の他に、電源容量の節約、電気的時定数小による応答性の向上に効果がある。
【００１８】
［発明の実施の形態６］
次に、発明の実施の形態６について説明する。
図６は本発明の実施の形態６に係るボイスコイル形リニアモータの断面図である。図において、図１と同じ符号のものはそれとおなじものを指しているので、説明は省略する。発明の実施の形態６に係るボイスコイル形リニアモータは、図５の空隙１９を非磁性体２０に置き換えたものである。非磁性体は空隙と同様に電機子磁束を遮るため、図５と同じ効果、すなわち、小型化・軽量化の他に、電源容量の節約、電気的時定数小による応答性の向上に効果がある。
なお、図４の内ヨーク１２の中央部を分割して非磁性体２０を設けても同様である。
【００１９】
［発明の実施の形態７］
次に、発明の実施の形態７について説明する。
図７は本発明の実施の形態６に係るボイスコイル形リニアモータの断面図である。図において、図１と同じ符号のものはそれとおなじものを指しているので、説明は省略する。発明の実施の形態７に係るボイスコイル形リニアモータは、図１〜図６のボイスコイル形リニアモータにおいて、前記内ヨーク１２側に設置した永久磁石１５ｂと前記コイルの空隙に、非磁性体且つ導電体の金属管２１が前記永久磁石１５ｂを囲むように配置したものである。
図７はその代表として図１に適用した場合を示しているが、図２〜図６の場合も同様である。
図７において、内ヨーク１２の上側に永久磁石１５ｂ１、１５ｂ２、内ヨーク１２の下側に永久磁石１５ｂ３、１５ｂ４されており、それを取り囲むように非磁性体且つ導電体の金属管２１が配置され、さらにこの金属管２１と空隙を介してリニアモータの可動子側のボビン１７とコイル１８ａが配置されている。
このような構成にすることにより、金属管２１は、コイルに流れる電流が変化したとき誘起起電力が発生するので、電機子磁束を低減する作用があり、その結果、高速応答化に有効となる。
【００２０】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の実施の形態１〜４によれば、基本単位のボイスコイル形リニアモータを複数個積み重ねて成る複合ボイスコイル形リニアモータの場合に、互いに隣接するボイスコイル形リニアモータの永久磁石およびコイルの極性を全く逆とすることで、互いに隣接するボイスコイル形リニアモータの重なり部の外ヨークを省くようにできるので、小形化、軽量化、軽量化による高応答化の効果がある。
そして、実施の形態５および６によれば、内ヨークの中央部を分割して空隙にするか中央部を非磁性体としたので、前記実施の形態１〜４の持つ効果に加え、電機子磁束を低減できるため、磁気飽和による推力の低下を防止でき、電源容量の節約、時定数小による応答性の向上の効果がある。
さらに、実施の形態７によれば、内ヨーク側に設置した永久磁石と前記コイルの空隙に、非磁性体且つ導電体の金属管を前記永久磁石を囲むように配置したので、前記実施の形態１〜６の持つ効果に加え、高速応答の効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るボイスコイル形リニアモータの断面図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係るボイスコイル形リニアモータの断面図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態に係るボイスコイル形リニアモータの断面図である。
【図４】本発明の第４の実施の形態に係るボイスコイル形リニアモータの断面図である。
【図５】本発明の第５の実施の形態に係るボイスコイル形リニアモータの断面図である。
【図６】本発明の第６の実施の形態に係るボイスコイル形リニアモータの断面図である。
【図７】本発明の第７の実施の形態に係るボイスコイル形リニアモータの断面図である。
【図８】本発明の基礎となる先行発明に係るボイスコイル形リニアモータの断面図である。
【図９】図８の電機子部分の斜視図である。
【図１０】図９の電機子の組立状況を示す斜視図である。
【図１１】図８の基本単位リニアモータ２個を並設した例を示す断面図である。
【図１２】図１１の磁気回路を変更した場合を示す断面図である。
【符号の説明】
１０界磁
１１外ヨーク
１２内ヨーク
１３側ヨーク
１４溝
１５ａ，１５ｂ永久磁石
１７ボビン
１８ａコイル
１９空隙
２０非磁性体
２１金属管

Claims

長手方向の中心軸に平行させた磁性体で構成した一対の外ヨーク間に平行させて設けた内ヨークと、前記外ヨークと前記内ヨークの両端部に設けた側ヨークとで日の字形に形成した閉鎖磁気回路と、前記外ヨークの内側に、外ヨークと内ヨークの対向する面に対向するものどうしの極性を逆にした永久磁石を設けて界磁を構成し、前記永久磁石間に、空隙を介し、非磁性体かつ絶縁体よりなるボビンにコイルを設けた電機子を、軸方向に移動自在に設け、前記外ヨークに設けた永久磁石を隣どうしの極性を逆にした同じ幅の複数の第１永久磁石とし、前記内ヨークに設けた永久磁石を隣どうしの極性を逆にした同じ幅の複数の第２永久磁石とし、前記第１永久磁石と第２永久磁石の対向するものどうしは異極性のなるよう配置し、前記コイルを前記第１永久磁石のピッチと等しいピッチに分割し、隣どうしの巻方向を逆にした直列あるいは並列のコイルとしたボイスコイル形リニアモータを基本単位とし、該基本単位のボイスコイル形リニアモータを２個積み重ねて成る複合ボイスコイル形リニアモータであって、第２のボイスコイル形リニアモータの永久磁石およびコイルの極性を第１のボイスコイル形リニアモータの永久磁石およびコイルの極性と全く逆とし、かつ第１と第２のボイスコイル形リニアモータの重なり部の外ヨークを省いたことを特徴とする複合ボイスコイル形リニアモータ。
請求項１記載の前記基本単位のボイスコイル形リニアモータを３個以上積み重ねて成る複合ボイスコイル形リニアモータであって、互いに隣接するボイスコイル形リニアモータの永久磁石およびコイルの極性を全く逆とし、かつ互いに隣接するボイスコイル形リニアモータの重なり部の外ヨークを省いたことを特徴とする複合ボイスコイル形リニアモータ。
長手方向の中心軸に平行させた磁性体で構成した一対の外ヨーク間に平行させて設けた内ヨークと、前記外ヨークと前記内ヨークの両端部に設けた側ヨークとで日の字形に形成した閉鎖磁気回路と、前記外ヨークの内側に、外ヨークと内ヨークの対向する面に対向するものどうしの極性を逆にした永久磁石を設けて界磁を構成し、前記永久磁石間に、空隙を介し、非磁性体かつ絶縁体よりなるボビンにコイルを設けた電機子を、軸方向に移動自在に設けたボイスコイル形リニアモータを基本単位とし、該基本単位のボイスコイル形リニアモータを２個積み重ねて成る複合ボイスコイル形リニアモータであって、第２のボイスコイル形リニアモータの永久磁石およびコイルの極性を第１のボイスコイル形リニアモータの永久磁石およびコイルの極性と全く逆とし、かつ第１と第２のボイスコイル形リニアモータの重なり部の外ヨークを省いたことを特徴とする複合ボイスコイル形リニアモータ。
請求項３記載の前記基本単位のボイスコイル形リニアモータを３個以上積み重ねて成る複合ボイスコイル形リニアモータであって、互いに隣接するボイスコイル形リニアモータの永久磁石およびコイルの極性を全く逆とし、かつ互いに隣接するボイスコイル形リニアモータの重なり部の外ヨークを省いたことを特徴とする複合ボイスコイル形リニアモータ。
前記内ヨークの中央部を分割して空隙を設けたことを特徴とする請求項３又は４記載の複合ボイスコイル形リニアモータ。
前記内ヨークの中央部を非磁性体としたことを特徴とする請求項３又は４記載の複合ボイスコイル形リニアモータ。
前記内ヨーク側に設置した永久磁石と前記コイルの空隙に、非磁性体且つ導電体の金属管が前記永久磁石を囲むように配置して成ることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項記載の複合ボイスコイル形リニアモータ。