JP3767943B2 - 2軸振動構造物の固有振動数の調整方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は2軸振動構造物の固有振動数の調整方法に係り、詳細には蒸着又はエッチング工程を通して振動構造物の一部の厚さを増減させることにより2軸振動構造物の固有振動数を調整する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
振動構造物が特定の固有振動数で振動できるように補正することは大変重要な技術であり、加湿機等に用いられるクリスタル振動子、SAW(surfaceacoustics wave)フィルタ等によく用いられる。ところが、クリスタル振動子やSAWフィルタ等は単一の振動モードで振動するので従来技術による周波数の調整方法を用いてその固有振動数を比較的容易に調整し得る。しかしながら、二つの振動モードで振動する2軸振動構造物は既存の周波数調整方法では調整が容易でないため、新しい周波数の調整方法が必要である。
【0003】
一方、2軸振動構造物は最近その用途が大変多様になってきた。振動構造物が用いられる製品として代表的なものはジャイロが挙げられる。ジャイロは慣性体の角速度や加速度を検出するための角速度センサの役割を果たせるものであり、既に昔からミサイルや船舶、航空機等における航法装置の中核部品として用いられてきた。
【0004】
しかしながら、従来軍事用又は航空機用として用いられたジャイロは数万個の部品が精密加工及び組み立て工程等を通して製作されるので精密な性能を得られるが、高コストになり、嵩の大きい大型の構造を有するので一般産業用や民生用の家電製品に適用するには不向きであった。民生用に用いられるジャイロは自動車の加速度及び角速度を検出する航法装置や高倍率カムコーダの手振れを検出してこれを補正する装置に適用され得る。さらに、医療装備や産業用計測機等にも2軸振動構造物を内蔵したセンサが用いられる。
【0005】
図1は、2軸振動構造物を用いたジャイロを概略的に示したものである。ジャイロの原理は第1軸方向に一定に振動したり回転する慣性体が前記第1軸方向に対して直角である第2軸方向から回転角速度の入力を受ける際、前記二つの軸に対して直交する第3軸方向に発生するコリオリの力を検出することにより回転角速度を検出することである。
【0006】
ジャイロ10は、シリコンウエハ基板11の上部に配置された2軸構造物12を具備する。構造物12は導電性を有する材料であれば、任意のものを使用できる。構造物12は、他の部分より多少厚く形成された支持部13によりシリコン基板11の上に支持されている。すなわち、支持部13以外の部分は支持部13より薄く形成されて、ほとんどの振動構造物12がシリコン基板11の表面からZ軸方向に離隔されている。構造物12には、ばね部分14,15,16と質量体17が備えられている。構造物12の両側面には、構造物12をX軸方向に振動させるための駆動部21が配置されている。駆動部21も導電性材料で形成されている。駆動部21は一種の電極として機能し、駆動部21に電流が印加されると駆動部21のフィンガー22に静電気力が発生して、構造物12のフィンガー19に振動運動が生じる。構造物12の下部には、構造物12のZ軸方向変位を検知し得る表面センサ電極(図示しない)が配置されている。構造物12のZ軸方向変位は表面センサ電極に発生されるキャパシタンス(静電容量)の変化から測定され得る。
【0007】
Y軸方向での回転慣性体の角速度は次のように求められる。フィンガー22に電流を印加して静電気力で前記構造物12のX軸方向振動を起こしながら、振動構造物12の中心部に位置した中心センサ電極23のフィンガー24においてX軸方向の振動数を測定する。これと共に、構造物12がコリオリの力によりZ軸方向に振動すると構造物12の下部で基板11の上に配置された表面センサ電極によりZ軸方向の振動数を測定する。前記測定されたX軸方向及びZ軸方向の振動数をデータ処理することにより回転慣性体の角速度を求め得るようになる。
【0008】
前記説明したように、ジャイロはシリコン基板11と、その上に固定された支持部13に幾つかのばね部分14,15,16で連結された質量体17を具備した振動構造物とを含み、前記質量体17はX軸方向及びZ軸方向の2軸に振動運動するようになる。従って、ジャイロ10は2軸に対して固有振動数を有する。この際、ジャイロの性能を保障するためには、構造物12の2軸振動に対する固有振動数が所定の許容誤差範囲内にある必要がある。しかし、従来のエッチング工程やCVD(化学的蒸着法)などの製造工程を用いて構造物12を製作すると普通0.1〜1μmの加工誤差が生じる。このような製造工程の誤差により構造物12のばね係数と質量体17の質量とが設計値から大きく離れるようになり、実際に2軸方向の固有振動数が所望の値と異なるようになる。従って、ジャイロの性能が低下するという問題点がある。これを解決するためには構造物12のばね部分14,15,16のばね係数を適切に調整し得る方法が必要である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、2軸振動構造物の振動数を調整し得る新規の方法を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、2軸振動構造物のいずれか一軸の固有振動数を固定しながら他の一軸の固有振動数を調整し得る方法を提供することである。
本発明のさらに他の目的は、2軸振動構造物が設けられた振動型ジャイロの固有振動数を調整し得る方法を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明によれば、静電気力が与えられる第1軸方向に長手方向が一致する第1ばね部分と、前記第1軸方向に平面上直交する第2軸方向に長手方向が一致し、前記第1ばね部分の幅より狭い幅を有する第2軸方向の第2ばね部分と、質量体とを具備する振動構造物の固有振動数の調整方法において、前記振動構造物の第1軸及び前記平面に直交する第3軸方向に対する固有振動数を測定する測定段階と、
前記第1軸方向の固有振動数を固定した状態で前記第3軸方向の固有振動数を調整し得るように前記第1ばね部分の厚さを変化させる厚さ増減段階と、
第1軸及び第3軸方向の固有振動数が所定の許容誤差範囲内に入るまで前記の測定段階及び厚さ増減段階を繰り返す段階とを有する2軸振動構造物の固有振動数の調整方法が提供される。
【0011】
本発明の一つの特徴によれば、前記厚さ増減段階は、前記構造物の第3軸方向固有振動数が第1軸方向固有振動数より高い場合、ばね部分の厚さを減少させる厚さ減少段階を有する。
【0012】
また、本発明の他の特徴によれば、前記厚さ増減段階は、前記構造物の第3軸方向固有振動数が第1軸方向固有振動数より低い場合、ばね部分の厚さを増加させる厚さ増加段階を有する。
【0013】
また、本発明の他の特徴によれば、前記厚さ減少段階は反応イオンエッチング、プラズマエッチング又はスパッタにより行なわれる。
また、本発明の他の特徴によると、前記厚さ増加段階はスパッタ蒸着、イオンビームスパッタ蒸着、ECRスパッタ蒸着、イオンプレーティング、分子線エピタキシー、CVD(化学的蒸着法)、又はMO−CVDにより行われる。
【0014】
また、本発明の他の特徴によれば、前記厚さ増減段階は、前記第1ばね部分の厚さ増減が行われる部分に対応するホールを具備するマスクを用いて、前記ホール部分の下の第1ばね部分の厚さを増減することにより行われる。
【0015】
また、本発明によれば、静電気力が与えられる方向と一致する第1軸方向の第1ばね部分と、前記第1軸方向に平面上直交し前記第1ばね部分の幅より狭い幅を有する第2軸方向の第2ばね部分と、質量体とを具備する2軸振動構造物が設けられた振動型ジャイロの固有振動数の調整方法において、
前記振動構造物の第1軸及び前記平面に直交する第3軸方向に対する固有振動数を測定する測定段階、
前記第1軸方向の固有振動数を固定した状態で前記第3軸方向の固有振動数が調整できるように、前記第1ばね部分の厚さを変化させる厚さ増減段階及び、
前記測定段階で測定された第1軸及び第3軸方向の固有振動数が許容誤差範囲内に入るまで前記の測定段階及び厚さ増減段階を繰り返す段階とを有する振動型ジャイロの固有振動数の調整方法が提供される。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面に基づき本発明を詳細に説明する。
本発明の理解を助けるために、図1及び図2に基づき2軸振動構造物12の周波数応答曲線を説明する。図2にはX軸方向周波数応答曲線25およびZ軸方向周波数応答曲線26の二つの応答曲線が示されている。この図において、振動構造物のX軸方向の固有振動数をfxで、Z軸方向の固有振動数をfzで表した。固有振動数fx、fzをばねの弾性係数及び質量体の質量に関連する式として表せば、次のようになる。
【0017】
【数1】
【0018】
ここでkxは、図1に示した振動構造物12のばね部分14,15,16に対するX軸方向等価ばね係数であり、kzは、ばね部分14,15,16のZ軸方向等価ばね係数を表し、mは質量体17の質量を表す。(この際、質量体17は各方向のばね部分14,15,16と一体に構成されているが質量体17の質量に比べてばね部分14,15,16の質量は無視しても良いくらい軽いので、それぞれの軸方向の固有振動数計算時に考慮する質量mは質量体17の質量のみに限られる。)
【0019】
一般的に、2軸振動構造物は駆動電極により静電気力が与えられる第1軸方向では幅の広いばね部分を有する反面、それに直交する第2軸方向では幅の狭いばねを有する。図1に示されるように、ばね部分15の幅はばね部分14,16の幅よりも広い。ばね部分14,15,16の厚さが変わると、前記X軸及びZ軸方向に対するばね係数も変わる。
【0020】
2軸振動構造物12の性能を保障するためには、図2において、X軸方向の固有振動数fxを固定して、Z軸方向の固有振動数fzを変化させることで調整が行われるべきである。ところが、図1に示した構造物の形状を考慮する際に、幅の狭いばね部分14又はばね部分16の厚さを変化させると、両軸方向のばね係数が共に変化する。その反面、幅の広いばね部分15の厚さを変化させると、X軸方向のばね係数kxはほとんど変化しないままZ軸方向のばね係数kzのみを変化させ得る。本発明では前記のような点に基づき、幅の広いばね部分15の厚さを変化させることにより、X軸方向の固有振動数fxを固定した状態でZ軸方向の固有振動数fzを調整することが出来る。
【0021】
図3には、本発明による2軸振動構造物32の固有振動数を調整する方法が示されている。図3に示した2軸振動構造物32は図2に示したものと類似なもので、X軸方向では幅の広いばね部分35を有し、Y軸方向では幅の狭いばね部分34,36を有し、さらに質量体37を有する。幅の広いばね部分35の厚さを変化させることは、マスク41を用いて所定部位39に付加的な物質を蒸着させたり、ばね部分の厚さの一部をエッチングすることにより行われる。蒸着方法としてよく用いられる方法には、スパッタ蒸着、イオンビーム蒸着、ECRスパッタ蒸着、イオンプレーティング、分子線エピタキシー、CVD(化学的蒸着法)、又はMO−CVD等がある。エッチングをする場合、半導体工程でよく用いられる反応イオンエッチングを用いてばね部分の一部を取り除くことができる。例えば、0 .01〜0 .10Torr 程度でCF4ガスを用いれば、0 .05〜1μm/minの速度にエッチングをすることができる。他にもプラズマエッチング、スパッタによるエッチングを用いて、ばね部分35の厚さを変化させ得る。マスク41にはホール42が形成されているが、これはばね部分35の厚さを変化させるべき部分39に対応するように形成されている。図4は、図3のA−A線矢視の断面を示したものである。図4の(A)で示されるように、ばね部分35の厚さの一部39Aが、エッチングにより取り除かれた。一方、図4の(B)に示されるように、ばね部分35の厚さの一部39Bが蒸着により増加された。
【0022】
ばね部分35の厚さを変化させて固有振動数を調整することは、反復的施行錯誤法で行われる。一応、構造物32が製作された後に、それぞれの軸方向に対する固有振動数を測定する。前記の図1に基づいて説明したように、X軸方向での固有振動数の測定はジャイロ10で構造物の中心部に位置した中心センサ電極23を用いて行い、Z軸方向での固有振動数の測定は基板11に配置されたセンサ電極(図示しない)を用いて行い得る。2つの軸方向の固有振動数は相互一致するのが理想的であるが、設計上一定の範囲内では一致しない時もある。測定された固有振動数を比較してfzがfxより高い場合には、図4の(A)のようにエッチング作業をすることにより、kzを減少させてfzを減少させ得る。その反対の場合には、図4の(B)のように蒸着作業をすることにより、fzを増加させ得る。エッチングや蒸着作業が終了した後には、それぞれの軸方向での固有振動数が所定の許容誤差範囲内に入るのかを測定する。もし、許容誤差範囲内でなければ、再び前記の作業を繰り返す。
【0023】
【発明の効果】
本発明による2軸振動構造物の固有振動数の調整方法は、振動構造物の固有振動数を設計値に一致するように調整することにより、センサの感度向上、直線性向上、作動帯域幅の増加をもたらす効果が有る。さらに、振動構造物の周波数誤差の調節が出来るようにすることで、振動構造物を用いたジャイロ、角速度センサ及び加速度センサ等の性能を向上させ得る。
本発明は図面に示した一実施例を参考にして説明されたが、本技術分野において通常の知識を持つ者であれば、本発明から多様な変形が可能であることが分かるはずである。従って、本発明の真正な保護範囲は、添付した請求の範囲により定められるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術によるジャイロに設けられた2軸振動構造物を示す概略斜視図である。
【図2】2軸振動構造物のX軸及びZ軸方向の固有振動数を表すグラフである。
【図3】本発明により2軸振動構造物の固有振動数を調整する方法を示す概略斜視図である。
【図4】図3のA−A線矢視の断面図である。
【符号の説明】
12 振動構造物
14,16 第2のばね部分
15 第1のばね部分
17 質量体
41 マスク
42 ホール
Claims (7)
- 静電気力が与えられる第1軸方向に長手方向が一致する第1ばね部分と、前記第1軸方向に平面上直交する第2軸方向に長手方向が一致し、前記第1ばね部分の幅より狭い幅を有する第2軸方向の第2ばね部分と、質量体とを具備する振動構造物の固有振動数の調整方法において、
前記振動構造物の第1軸及び前記平面に直交する第3軸方向に対する固有振動数を測定する測定段階と、
前記第1軸方向の固有振動数を固定した状態で前記第3軸方向の固有振動数を調整し得るように、前記第1ばね部分の厚さを変化させる厚さ増減段階と、
第1軸及び第3軸方向の固有振動数が所定の許容誤差範囲内に入るまで前記の測定段階及び厚さ増減段階を繰り返す段階とを有する2軸振動構造物の固有振動数の調整方法。 - 前記厚さ増減段階は、前記構造物の第3軸方向固有振動数が第1軸方向固有振動数より高い場合、ばね部分の厚さを減少させる厚さ減少段階を有することを特徴とする請求項1に記載の2軸振動構造物の固有振動数の調整方法。
- 前記厚さ増減段階は、前記構造物の第3軸方向固有振動数が第1軸方向固有振動数より低い場合、ばね部分の厚さを増加させる厚さ増加段階を有することを特徴とする請求項1に記載の2軸振動構造物の固有振動数の調整方法。
- 前記厚さ減少段階は、反応イオンエッチング、プラズマエッチング又はスパッタにより行われることを特徴とする請求項2に記載の2軸振動構造物の固有振動数の調整方法。
- 前記厚さ増加段階は、スパッタ蒸着、イオンビームスパッタ蒸着、ECRスパッタ蒸着、イオンプレーティング、分子線エピタキシー、CVD(化学的蒸着法)、又はMO−CVDにより行われることを特徴とする請求項3に記載の2軸振動構造物の固有振動数の調整方法。
- 前記厚さ増減段階は、前記第1ばね部分において厚さ増減が行われる部分に対応するホールを具備するマスクを用いて、前記ホール部分の下の第1ばね部分の厚さを増減することで行われることを特徴とする請求項1に記載の2軸振動構造物の固有振動数の調整方法。
- 静電気力が与えられる方向と一致する第1軸方向の第1ばね部分と、前記第1軸の方向に平面上直交し前記第1ばね部分の幅より狭い幅を有する第2軸方向の第2ばね部分と、質量体とを具備する2軸振動構造物が設けられた振動型ジャイロの固有振動数の調整方法において、
前記振動構造物の第1軸及び前記平面に直交する第3軸方向に対する固有振動数を測定する測定段階と、
前記第1軸方向の固有振動数を固定した状態で前記第3軸方向の固有振動数を調整し得るように、前記第1ばね部分の厚さを変化させる厚さ増減段階と、
前記測定段階で測定された第1軸及び第3軸方向の固有振動数が許容誤差範囲内に入るまで、前記の測定段階及び厚さ増減段階を繰り返す繰り返し段階とを有する振動型ジャイロの固有振動数の調整方法。
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