JP3762952B2 - 光学装置並びにそれを用いた画像測定装置及び検査装置 - Google Patents

光学装置並びにそれを用いた画像測定装置及び検査装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3762952B2
JP3762952B2 JP2002259166A JP2002259166A JP3762952B2 JP 3762952 B2 JP3762952 B2 JP 3762952B2 JP 2002259166 A JP2002259166 A JP 2002259166A JP 2002259166 A JP2002259166 A JP 2002259166A JP 3762952 B2 JP3762952 B2 JP 3762952B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
reflected
subject
transmitted
observed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2002259166A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2004101194A5 (enExample
JP2004101194A (ja
Inventor
孝博 大出
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Lasertec Corp
Original Assignee
Lasertec Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lasertec Corp filed Critical Lasertec Corp
Priority to JP2002259166A priority Critical patent/JP3762952B2/ja
Publication of JP2004101194A publication Critical patent/JP2004101194A/ja
Publication of JP2004101194A5 publication Critical patent/JP2004101194A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3762952B2 publication Critical patent/JP3762952B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
JP2002259166A 2002-09-04 2002-09-04 光学装置並びにそれを用いた画像測定装置及び検査装置 Expired - Fee Related JP3762952B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002259166A JP3762952B2 (ja) 2002-09-04 2002-09-04 光学装置並びにそれを用いた画像測定装置及び検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002259166A JP3762952B2 (ja) 2002-09-04 2002-09-04 光学装置並びにそれを用いた画像測定装置及び検査装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2004101194A JP2004101194A (ja) 2004-04-02
JP2004101194A5 JP2004101194A5 (enExample) 2005-10-06
JP3762952B2 true JP3762952B2 (ja) 2006-04-05

Family

ID=32260283

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002259166A Expired - Fee Related JP3762952B2 (ja) 2002-09-04 2002-09-04 光学装置並びにそれを用いた画像測定装置及び検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3762952B2 (enExample)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170094289A (ko) * 2014-12-05 2017-08-17 케이엘에이-텐코 코포레이션 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품
KR20190030168A (ko) * 2017-09-13 2019-03-21 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 결함 검사 장치, 결함 검사 방법, 원 편광판 또는 타원 편광판의 제조 방법 및 위상차판의 제조 방법

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4487042B2 (ja) * 2003-12-16 2010-06-23 レーザーテック株式会社 光学装置、検査装置及び検査方法
WO2006012551A1 (en) * 2004-07-23 2006-02-02 Nextech Solutions, Inc. Large substrate flat panel inspection system
FR2902877B1 (fr) * 2006-06-22 2008-09-12 Centre Nat Rech Scient Procede de caracterisation de l'anisotropie d'un milieu diffusant et dispositif pour la mise en oeuvre d'un tel procede
KR101114362B1 (ko) * 2009-03-09 2012-02-14 주식회사 쓰리비 시스템 결점검사를 위한 검사장치
KR101074101B1 (ko) 2009-05-27 2011-10-17 주식회사 고영테크놀러지 결상 광학 시스템
JP2011085569A (ja) 2009-09-15 2011-04-28 Toshiba Corp パターン検査装置およびパターン検査方法
JP5556212B2 (ja) * 2010-02-08 2014-07-23 住友化学株式会社 偏光板を貼合した液晶パネルの欠陥検査方法
TW201132963A (en) * 2010-02-08 2011-10-01 Sumitomo Chemical Co An inspection method for defect in a liquid crystal panel laminated with polarizing plates
KR101268300B1 (ko) 2011-04-11 2013-05-28 갤럭시아포토닉스 주식회사 광학 측정장치
JP2013073021A (ja) * 2011-09-28 2013-04-22 Fujifilm Corp 潜像を有する物品
JP2013142635A (ja) * 2012-01-11 2013-07-22 Sumitomo Chemical Co Ltd 検査装置及び光学部材貼合体の製造装置
KR20130125631A (ko) * 2012-05-09 2013-11-19 주식회사 탑 엔지니어링 액정 적하 상태 검사 장치, 및 이를 구비한 액정 디스펜서
WO2014174574A1 (ja) * 2013-04-22 2014-10-30 株式会社島津製作所 材料試験装置、並びに、それに用いられる試験片保持具及び検査方法
JP6056692B2 (ja) * 2013-07-16 2017-01-11 株式会社デンソー 検査装置
KR101608942B1 (ko) * 2015-12-08 2016-04-20 홍예은 재귀반사시트를 이용한 광학 현미경 및 이의 동작 방법
JP7105150B2 (ja) * 2018-04-12 2022-07-22 浜松ホトニクス株式会社 非接触分光測定装置および非接触分光測定方法
CN112424668A (zh) * 2018-06-04 2021-02-26 业纳光学系统有限公司 用于捕捉显微图像的显微镜和方法以及平面反射器的用途
CN110285948B (zh) * 2019-06-10 2022-04-01 北京航天计量测试技术研究所 一种回归反光球光学球心瞄准装置及其瞄准方法
CN113391459B (zh) * 2021-04-28 2022-08-05 北京邮电大学 基于折返悬浮器件阵列的悬浮三维显示设备

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102589607B1 (ko) * 2014-12-05 2023-10-13 케이엘에이 코포레이션 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품
KR20230146671A (ko) * 2014-12-05 2023-10-19 케이엘에이 코포레이션 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품
KR102386192B1 (ko) * 2014-12-05 2022-04-12 케이엘에이 코포레이션 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품
KR20220047684A (ko) * 2014-12-05 2022-04-18 케이엘에이 코포레이션 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품
KR20220103201A (ko) * 2014-12-05 2022-07-21 케이엘에이 코포레이션 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품
KR20220103199A (ko) * 2014-12-05 2022-07-21 케이엘에이 코포레이션 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품
KR102790723B1 (ko) 2014-12-05 2025-04-02 케이엘에이 코포레이션 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품
KR20220103200A (ko) * 2014-12-05 2022-07-21 케이엘에이 코포레이션 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품
KR20170094289A (ko) * 2014-12-05 2017-08-17 케이엘에이-텐코 코포레이션 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품
KR20230105688A (ko) * 2014-12-05 2023-07-11 케이엘에이 코포레이션 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및컴퓨터 프로그램 제품
KR102755833B1 (ko) * 2014-12-05 2025-01-15 케이엘에이 코포레이션 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품
KR102715961B1 (ko) * 2014-12-05 2024-10-11 케이엘에이 코포레이션 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품
KR102726006B1 (ko) * 2014-12-05 2024-11-04 케이엘에이 코포레이션 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품
KR102741226B1 (ko) * 2014-12-05 2024-12-10 케이엘에이 코포레이션 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품
KR102707189B1 (ko) 2017-09-13 2024-09-13 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 결함 검사 장치, 결함 검사 방법, 원 편광판 또는 타원 편광판의 제조 방법 및 위상차판의 제조 방법
KR20190030168A (ko) * 2017-09-13 2019-03-21 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 결함 검사 장치, 결함 검사 방법, 원 편광판 또는 타원 편광판의 제조 방법 및 위상차판의 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004101194A (ja) 2004-04-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3762952B2 (ja) 光学装置並びにそれを用いた画像測定装置及び検査装置
US8203706B2 (en) Method and apparatus for inspecting defects
JP5489186B2 (ja) 表面検査装置
EP0856728B1 (en) Optical method and apparatus for detecting defects
JPH0727709A (ja) 表面欠陥検査装置
JPS58145911A (ja) 反射光照明による透過光顕微鏡試験のための光学系
WO2008062651A1 (en) Image measuring device
JPH06100723B2 (ja) 反射照明装置
JP3965325B2 (ja) 微細構造観察方法、および欠陥検査装置
JP4487042B2 (ja) 光学装置、検査装置及び検査方法
JP2003202302A (ja) 表面欠陥検査装置
JP2005241692A (ja) 光学装置、撮像装置及び検査装置
JP2001289794A (ja) 欠陥検査装置
JPS59232306A (ja) 顕微鏡用焦点検出装置
JPH07107578B2 (ja) 光学装置
JP3690536B2 (ja) 観察方法及び装置、並びに露光方法及び装置
JP2004054108A (ja) 光路分割光学素子とこれを用いた顕微鏡
JP2000295639A (ja) 固体撮像素子検査用照明装置及びそれに用いる調整工具
JP2007163553A (ja) 顕微鏡、顕微鏡のための対物レンズユニット及び対物レンズ用アダプタ
JP2004117236A (ja) 光学特性測定装置
KR20110133183A (ko) 평판패널 검사장치
JP2008064759A (ja) 基板の表面エラーを光学的に検出する装置および方法
WO2010096890A1 (en) Optical structure and optical system for providing concurrent optical images of an object
JP2002071571A (ja) 外観検査用投光装置
JPH10132704A (ja) 光学検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050523

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050523

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20050523

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20050620

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050809

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050927

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20051101

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051109

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20051206

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20051213

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100127

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110127

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120127

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130127

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130127

Year of fee payment: 7

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130127

Year of fee payment: 7

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130127

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees