JP3751392B2 - 半導体素子の電極構造およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板上に形成されたシリコンからなり当該基板の物理量を検出して電気信号に変換する半導体素子と、この半導体素子上に形成されかつ電気信号を外部に伝達する電極配線とを備えた半導体素子の電極構造およびその製造方法に係り、例えば、高温水蒸気の圧力検出、エンジン燃焼系の圧力検出、樹脂射出成形圧力の検出等に使用される圧力センサチップに利用することができる。
【0002】
【背景技術】
従来より、組み込み制御等に用いられるセンサには、小型のシリコン基板等の上に形成されかつ当該基板の物理量を電気信号に変換する半導体素子と、この半導体素子上に形成されかつ電気信号を外部に伝達する電極配線とを備えたセンサチップが利用されており、このような小型のセンサであれば、センサの取り付けにスペースを多くとる必要がないので、必要に応じて測定箇所を多数設定することができ、高精度の制御システムを構築することができる。例えば、既存の組み込み制御用の圧力センサとしては、図8に示されるような内部に圧力センサチップを収納したものがある。
【0003】
圧力センサ1は、本体部2と、この本体部2の一方の端部に接続される流体導入部3と、本体部2の他方の端部に接続されるリード線収納部4とを含んで形成されている。
本体部2の内部には圧力センサモジュール11が収納され、流体導入部3には測定対象となる流体を導く流体導入孔5が形成され、リード線収納部4の内部には電気信号を図8では図示しない外部の信号処理手段に伝達するリード線6が収納固定されている。
【0004】
圧力センサモジュール11は、流体圧を検出して電気信号に変換する圧力センサチップ21と、この圧力センサチップ21を支持する支持台12と、この支持台12に接合され前記圧力センサチップ21を覆うケース13と、圧力センサチップ21と支持台12との間に介装される台座14とを含んで形成されている。支持台12には孔15が形成され、その下端は前記流体導入孔5に接続されているとともに、当該孔15の上端は台座14に形成された貫通孔16に接続される。そして、測定対象となる流体は、前記流体導入孔5と、支持台12の孔15と、台座14の貫通孔16とによって前記圧力センサチップ21に導かれる。
【0005】
ケース13にはその内外を貫通する中継基板17が設けられ、この中継基板17と前記圧力センサチップ21との間は内部配線18により連絡されるとともに、中継基板17の外側には、前記リード線6と接続するための入出力端子19が設けられている。
圧力センサチップ21は、図9に示されるように、前記台座14上に固定されるダイアフラム31と、このダイアフラム31上に形成される半導体素子41および電極配線51とを含んで形成される。
ダイアフラム31は、台座14と接合される脚部32と測定対象となる流体の圧力変化に応じて変形する感圧部となる基板33とを有し、この基板33の上に絶縁膜34を介して半導体素子41が形成されるとともに、半導体素子41の上面は、前記電極配線51を接続するための開口を形成した保護膜35で覆われ、さらにその上には電極配線51が形成されて保護膜35の開口部分で半導体素子41と接続されている。
【0006】
前記基板33上には、図10の模式図に示されるように、半導体素子41が4箇所形成され、これらの半導体素子41を前記電極配線51によって互いに連絡して4つの半導体素子41を歪みゲージとするブリッジ回路52を形成し、このブリッジ回路52の端部に設けられた入出力端子53に前記内部配線18が接続されている。
そして、前述した基板33の変形は、半導体素子41により電気信号に変換され、この電気信号は電極配線51、内部配線18、中継基板17、入出力端子19、リード線6によって外部の信号処理手段に伝達される。
【0007】
ところで、このような構造の圧力センサ1は、高温水蒸気の圧力検出やエンジン燃焼系の圧力検出や樹脂射出成形圧力の検出に使用されることがあり、このような高温環境下においては、上述した圧力センサチップ21のように基板33と半導体素子41との間に絶縁膜34が形成されたSOI(Silicon On Insulator)型圧力センサチップが用いられる。
そして、従来のSOI型圧力センサチップ21の半導体素子の電極構造71では、図11の部分拡大断面図に示すように、シリコンからなる半導体素子41の一部にホウ素を混入してコンタクト部42を形成し、このコンタクト部42にアルミニウム製の前記電極配線51を接合していた。
【0008】
しかし、このような構造の圧力センサチップ21では、圧力センサ1の内部が300℃以上の高温雰囲気になると、電極配線51のアルミニウムが半導体素子41のシリコンと反応して拡散し、半導体素子41の抵抗が部分的に変化するので、高温環境下における正確な歪み抵抗値を得ることが困難であるという問題がある。
このため、図12に示されるように、電極配線151を金(Au)、白金(Pt)、ニッケル(Ni)のいずれかとし、この電極配線151および前記コンタクト部42の間に、高融点窒化金属(窒化チタン)からなるバリア層61と、高融点金属(チタン)層62とを介装した半導体素子の電極構造171が特開平4−350973号公報で開示されている。
このような半導体素子の電極構造171であれば、バリア層61によって電極配線151の金属が半導体素子41のシリコン中に拡散することがなくなり、半導体素子41の歪み抵抗値が高温環境下で変化することもない。尚、高融点金属層であるチタン層62は前述したコンタクト部42とのオーミック接触を確保するために介装されている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような半導体素子の電極構造171では、電極配線151とバリア層61とが接合されることとなるが、高融点金属窒化物(窒化チタン)とAu、Pt、Niとの付着力が弱いため、当該接合面で剥離する場合があり、歪みなどの物理量を検出するセンサチップとして安定した性能を発揮できないことがあるという問題がある。
【0010】
本発明の目的は、電極配線の金属が半導体素子のシリコンに拡散することがなく、かつ半導体素子のコンタクト部と電極配線との付着力を強固にすることのできる半導体素子の電極構造およびその製造方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る半導体素子の電極構造は、基板上に形成されたシリコンからなり前記基板の物理量を検出して電気信号に変換する半導体素子上に形成されるとともに、前記電気信号を外部に伝達する半導体素子の電極構造であって、前記半導体素子のコンタクト部上に形成された高融点金属窒化物からなるバリア層と、このバリア層の上に形成された電極配線とを有し、前記バリア層は、その厚さ方向位置に応じて前記高融点金属窒化物の組成比が異なっており、前記バリア層はその層内に前記電極配線を構成する金属が前記半導体素子に拡散することを防止するバリア性を備えるとともに、前記バリア層および前記電極配線の接合境界部における前記バリア層部分は、当該バリア層を形成する高融点金属窒化物の組成比が当該バリア層に接合される対象に対する付着が強固となるように設定されており、前記高融点金属窒化物は同一金属の窒化物であり、前記高融点金属窒化物は窒化チタンであるとともに、前記バリア層は、前記電極配線に接して配置される第1の窒化チタン膜と、この第1の窒化チタン膜の下部に配置される第2の窒化チタン膜とを有し、前記第1の窒化チタン膜は、前記電極配線との付着が強固となるような組成比であり、前記第2の窒化チタン膜は、前記電極配線を構成する金属成分が前記半導体素子のコンタクト部に拡散することを防止できる組成比であり、前記第1の窒化チタン膜の膜厚は500Å〜1000Å、前記第2の窒化チタン膜の膜厚は3000Å〜4000Åとなっていることを特徴とする。
ここで、高融点金属窒化物とは、窒化チタン等の耐熱性の良好なものであり、電極配線を構成する金属成分がシリコン製の半導体素子に拡散することを防止できるバリア性を備えたものをいう。
【0012】
このような本発明によれば、バリア層を構成する高融点金属窒化物の組成比が厚さ方向に応じて異なっているので、バリア層に段階的または連続的に異なる性能を持たせることが可能となる。
従って、バリア層のある部分ではバリア性を重視した組成比とし、他の部分では他部材との付着性を重視した組成比とすることが可能となり、このようなバリア層を備えたセンサチップであれば、上述した問題も解決され、300℃以上の高温状態においても安定した性能が発揮される。
【0013】
以上において、バリア層としては、その層内に電極配線を構成する金属が半導体素子に拡散することを防止するバリア性を備え、バリア層および電極配線の接合境界部におけるバリア層部分の高融点金属の組成比は、当該バリア層と接合される対象に対する付着が強固となるように設定されたバリア層とするのが好ましい。
ここで、「高融点金属の組成比を付着が強固となるように設定する」とは、薄膜と基板との付着力測定に用いられるいわゆる引っ張り法、引き剥がし法による試験を行った場合、バリア層および電極配線間、バリア層および半導体素子のコンタクト部間のいずれにおいても層間剥離が生じないような付着力を有する高融点金属窒化物の組成比をいう。
具体的には、例えば、高融点金属窒化物が窒化チタンであれば、窒化チタンに対するチタン成分の割合が60%以上でありかつ限りなく純粋な金属チタンに近くなるような組成比をいう。
【0014】
一方、バリア層の層内における高融点金属窒化物は、バリア性を損なわないような組成比となっていることが好ましく、例えば上述した窒化チタンであれば、窒化チタンに対するチタン成分の割合が60%未満であれば、バリア機能が維持される。
バリア層が上述した高融点金属窒化物の組成比となっていれば、接合境界部における層間剥離を生じることがなくかつバリア性を損なうこともないので、センサチップの性能が一層安定化される。
尚、上述した半導体素子の電極構造では、コンタクト部とバリア層との付着性よりも電極配線とバリア層との付着性の方が弱く、主として電極配線とバリア層との付着を強固にすれば本発明の目的が達成される。
【0015】
また、バリア層としては、高融点金属窒化物の組成比が互いに異なる膜を積層した2層構造となったバリア層を採用するのが好ましい。
すなわち、バリア層が2層構造となっていることにより、一定組成比の高融点金属窒化物の膜を段階的に形成することが可能となり、各々の膜にバリア性、付着性等要求性能に応じた性質を持たせることが可能となる。
さらに、上述したバリア層を構成する高融点金属窒化物は、同一金属の窒化物であるのが好ましい。
すなわち、同一金属の窒化物によりバリア層を形成すれば、異種金属窒化物間の付着性を検討する必要もなく、スパッタリングによる膜形成に際してもターゲットとなる金属の種類の変更をする必要もなくバリア層形成の工程の合理化を図ることができる。
【0016】
また、上述した高融点金属窒化物は窒化チタンであるのが好ましく、バリア層は、電極配線との接合境界部に配置される第1の窒化チタン膜と、この下部に配置される第2の窒化チタン膜とを有し、第1の窒化チタン膜の組成比は、窒化チタンに対するチタンの原子数割合が62%〜75%であるとともに、第2の窒化チタン膜の組成比は、窒化チタンに対するチタンの原子数割合が50%〜59%であるのが好ましい。
上述した組成の第1の窒化チタン膜と第2の窒化チタン膜とを積層してバリア層とすれば、電極配線との付着性を確保しかつバリア性を維持した高性能の半導体素子の電極構造を形成することが可能となる。
【0017】
また、本発明に係る半導体素子の電極構造の製造方法は、基板上に形成されたシリコンからなり当該基板の物理量を検出して電気信号に変換する半導体素子上に形成されるとともに、前記電気信号を外部に伝達する半導体素子の電極構造の製造方法であって、前記半導体素子の電極構造は、前記半導体素子のコンタクト部上に形成された高融点金属窒化物からなるバリア層と、このバリア層の上に形成された電極配線とを有し、当該バリア層がその厚さ方向位置に応じて前記高融点金属窒化物の組成比が異なる膜を積層した多層構造となっていて、前記バリア層はその層内に前記電極配線を構成する金属が前記半導体素子に拡散することを防止するバリア性を備えるとともに、前記バリア層および前記電極配線の接合境界部における前記バリア層部分は、当該バリア層を形成する高融点金属窒化物の組成比が当該バリア層に接合される対象に対する付着が強固となるように設定されており、前記高融点金属窒化物は同一金属の窒化物であり、前記高融点金属窒化物は窒化チタンであるとともに、前記バリア層は、前記電極配線に接して配置される第1の窒化チタン膜と、この第1の窒化チタン膜の下部に配置される第2の窒化チタン膜とを有し、前記第1の窒化チタン膜は、前記電極配線との付着が強固となるような組成比であり、前記第2の窒化チタン膜は、前記電極配線を構成する金属成分が前記半導体素子のコンタクト部に拡散することを防止できる組成比であり、前記第1の窒化チタン膜の膜厚は500Å〜1000Å、前記第2の窒化チタン膜の膜厚は3000Å〜4000Åとなっており、前記バリア層は、高融点金属をターゲットとして不活性ガス中に窒素ガスを添加した雰囲気中で行われるリアクティブスパッタリングにより形成され、当該バリア層を構成する各々の膜は、前記窒素ガスの添加量を時間とともに段階的に変化させて形成されることを特徴とする。
【0018】
このような本発明によれば、窒素ガスの添加量を変化させるだけで上述したバリア層を備えた半導体素子の電極構造を形成することが可能となり、バリア層形成の合理化が図られるとともに、窒素ガスの添加量を段階的に変化させることにより、窒素ガスの添加量を常に調整する必要がなくなるので、バリア層形成のための工程作業の簡単化が図られる。
【0019】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、既に説明した部材または部分と同一の部材または部分については、同一符号を付してその説明を省略または簡略する。
図1には、本発明の実施形態に係る半導体素子の電極構造の部分拡大図が示されており、背景技術における図11または図12に相当する図である。
半導体素子の電極構造271は、基板33上に形成されるシリコン製の半導体素子41と、この半導体素子41のコンタクト部42上に形成された高融点金属窒化物である窒化チタンからなるバリア層261と、このバリア層261の上に形成された電極配線151とを含んで形成されている。
【0020】
この電極配線151との接合境界部には、前記バリア層261を構成する第1の窒化チタン膜261Aが配置され、さらに第1の窒化チタン膜261Aの下部には当該第1のチタン膜261Aとは窒化チタンの組成比の異なる第2の窒化チタン膜261Bが配置され、前記バリア層261は2層構造をなしている。
第1の窒化チタン膜261Aは、上部に配置される電極配線151との付着を強固にするために、チタン分の多い組成となっていて、具体的には窒化チタンに対するチタンの原子数割合が62%〜75%となっている。
第2の窒化チタン膜261Bは、300℃以上の高温雰囲気中で電極配線151中の金属が半導体素子41に熱拡散するのを防止するために、チタン分の少ない組成となっていて、具体的には、窒化チタンに対するチタンの原子数割合が50%〜59%となっている。
尚、第1の窒化チタン膜261Aの膜厚T1は500Å〜1000Å、第2の窒化チタン膜261Bの膜厚T2は3000Å〜4000Åとなっていて、膜厚T2に対して膜厚T1は十分小さな厚さ寸法となっている。
また、電極配線151は、耐熱性の良好な金属を採用するのが望ましいので、前述した金(Au)、白金(Pt)、ニッケル(Ni)のうち、金(Au)によって形成されている。
【0021】
このような半導体素子の電極構造271は、マグネトロンスパッタリングにより形成される。
予め、保護膜35にコンタクト部42と電極配線151とを接続するための開口を形成した後、2種類の窒化チタンからなるバリア層261をリアクティブスパッタリングにより形成する。
【0022】
具体的には、ターゲットをチタンとするスパッタリング装置を用いて、まず、第1の窒化チタン膜261Aの組成比となるようにアルゴンガス中に窒素ガスを添加してスパッタリングを行う。
第1の窒化チタン膜261Aに必要な膜厚さが確保された後、第2の窒化チタン膜261Bの組成比となるように窒素ガスの添加量を調整する。そして、第2の窒化チタン膜261Bの必要厚さが確保された後、最後に、純粋なアルゴンガス雰囲気中で金(Au)をターゲットとしてマグネトロンスパッタリングを行い、電極配線151を形成する。
【0023】
以上のような実施形態によれば、以下のような効果がある。
バリア層261を構成する窒化チタンの組成比が第1の窒化チタン膜261Aと第2の窒化チタン膜261Bとで異なっているので、その各々で異なる性能を持たせることができる。
すなわち、第1の窒化チタン膜261Aには電極配線151との付着性能を持たせ、第2の窒化チタン膜261Bにはバリア性能を持たせることにより、半導体素子の電極構造271をバリア性と付着性の良好な電極構造とすることができる。従って、バリア層261を備えたこのような半導体素子の電極構造271を組み込んだセンサチップであれば、300℃以上の高温雰囲気であっても、安定した性能を発揮することができる。
【0024】
また、バリア層261が第1の窒化チタン膜261Aおよび第2の窒化チタン膜261Bという同一金属の窒化物からなっているので、リアクティブスパッタリングによるバリア層の形成に際して、アルゴンガス中の窒素ガス添加量を1回調整するだけで、上記性能を具備するバリア層を形成することができるので、バリア層形成工程の合理化および簡単化を図ることができる。
【0025】
【実施例】
上述した第1の窒化チタン膜261Aおよび第2の窒化チタン膜261Bの組成比は、具体的には、次のようにして決定している。
まず、リアクティブスパッタリングにおいて、窒素ガス添加量と形成される窒化チタン膜の組成比との関係をオージェ電子分光による定量分析によって求めた。
その結果、図2に示すように、スパッタリング装置中の窒素流量比、すなわち装置内の全ガス量に対する窒素ガスの割合が増加するに従って、窒化チタンは、グラフL1に示すように窒化チタンに対するチタンの原子数割合が低下していき、窒素流量比が略50%で平衡状態となることがわかった。
【0026】
「バリア性の評価」
基板33上に形成された半導体素子41上に、チタンの原子数割合が79%、75%、62%、59%、56%、53%、50%という7種類の異なる窒化チタンによって、図1における第2の窒化チタン膜261B(膜厚3000Å〜4000Å)を7種類形成した。
そして、これらの第2の窒化チタン膜261B上に金(Au)からなる電極配線151を形成し、450℃、500℃、550℃の高温雰囲気で1時間放置してそれぞれの窒化チタン膜のバリア性を確認した。その結果を表1に示す。
尚、表1中のバリア性の確認は、次のような評価を基準としている。
◎ バリア性は良好で半導体素子への拡散は認められない。
△ 部分的に拡散が生じ、半導体素子が部分的に合金化している。
× 当該温度条件におけるバリア性はなく、半導体素子が全て合金化してい
る。
【0027】
【表1】
【0028】
これにより、前述した第2の窒化チタン膜261Bとしては、チタン原子数割合が50%〜59%の窒化チタンをすれば、バリア性が十分確保できることがわかった。
【0029】
「付着性の評価」
チタン原子数割合50%の窒化チタンを第2の窒化チタン膜261B(膜厚4000Å)として、この第2の窒化チタン膜261B上に、チタンの原子数割合が79%、75%、62%、59%、56%、53%、50%という7種類の異なる窒化チタンによって、図1における第1の窒化チタン膜261A(膜厚500Å〜1000Å)を7種類形成した。
そして、バリア性の評価と同様に、各々の第1の窒化チタン膜261Aの上に電極配線151(Au)を形成した半導体素子の電極構造271についてそれぞれの付着性を評価した。
【0030】
ここで、付着性の評価は、引き剥がし法および引っ張り法による試験を行い、引き剥がし法による試験は、図3に示すように、半導体素子41上にバリア層261、電極配線151を積層形成した電極構造271に幅20mmのテープ81を貼り、テープ81をP方向に剥がした後に当該半導体素子の電極構造271の剥がれ状況を確認したものである。
一方、引っ張り法による試験は、図4に示すように、半導体素子41上にバリア層261、電極配線151を積層形成した電極構造271の電極配線151の上面に金属細線(Au線 φ0.05mm)82をボールボンディングし、当該金属細線82をU方向に引っ張った後に半導体素子の電極構造271の剥がれ状況を確認したものである。
【0031】
また、上記付着性の確認に加えて、上述した半導体素子の電極構造271を450℃、500℃、550℃の高温雰囲気で1時間放置して、第1の窒化チタン膜261Aと電極配線151との合金化状態を確認した。
このような試験を加えたのは、電極配線151が合金化すると電極配線の抵抗値に変化が生ずるとともに、電極配線151に接合して外部に配線するための金属細線が剥離する不具合が生じ、適切な電気信号を外部の信号処理手段に伝達することができなくなってしまうためである。
以上の3種類の試験を行った結果を表2に示す。
【0032】
尚、表2中の付着性の確認は、次のような評価を基準としている。
◎ 付着性は良好で電極配線の剥離は認められない。
△ 10%程度の電極配線の剥離が認められる。
× 電極配線が剥離し、付着性が良好とは言い難い。
また、表2中の合金化状態の確認は、次のような評価を基準としている。
◎ 合金化はなく、状態は良好である。
○ 合金化が若干認められるが、状態はほぼ良好である。
△ 合金化が一部に認められる。
× 合金化した部分が多く、状態不良である。
【0033】
【表2】
【0034】
これにより、第1の窒化チタン膜261Aとしては、チタン原子数割合が62%〜75%の窒化チタンを採用すると、電極配線151との付着性が良好であり、かつ電極配線151との合金化もほとんどないことがわかった。
【0035】
上述の試験結果に基づいて、第1の窒化チタン膜261Aのチタン原子数割合を70%とし、第2の窒化チタン膜261Bのチタン原子数割合を50%とした半導体素子の電極構造271を形成した。
そして、300℃という高温雰囲気中に長時間暴露して、半導体素子41のコンタクト部42および第2の窒化チタン膜261Bの間の抵抗値の変化率と、電極配線151および第1の窒化チタン膜261Aの間の抵抗値の変化率を測定した。
【0036】
コンタクト部42および第2の窒化チタン膜261Aの間の抵抗値の変化率は、図5に示されるグラフL2のように、300℃という高温雰囲気中に500時間以上放置しても抵抗値の変化がほとんど認められず、第2の窒化チタン膜261Bの優れたバリア性を確認することができた。
尚、図5中グラフL3は背景技術の図11に示される半導体素子の電極構造71の抵抗変化率を測定したものであり、抵抗値が大きく変動しているのがわかる。
【0037】
電極配線151および第1の窒化チタン膜261Aの間の抵抗値の変化率は、図6に示されるグラフL4のように、300℃という高温雰囲気中に500時間以上放置しても、やはり抵抗値の変化はほとんど認められず、第1の窒化チタン膜261Aが電極配線151と付着性が良好であり、かつ電極配線151との合金化も生じることのないものであることが確認できた。
尚、図6におけるグラフL5は、背景技術の図11に示される半導体素子の電極構造71の抵抗値の変化率を測定したものであり、前述と同様に抵抗値が大きく変化しているのがわかる。
【0038】
尚、本発明は、前述の実施形態に限定されるものではなく、次に示すような変形をも含むものである。
すなわち、前述の実施形態では、第1の窒化チタン膜261Aのチタン原子数割合として62%〜75%のものを採用し、第2の窒化チタン膜261Bとして50%〜59%のものを採用し、300℃という高温雰囲気における長期耐久性を確認していたが、これに限らず、第1の窒化チタン膜、第2の窒化チタン膜の組成比の決定に際しては、実際の使用場面での温度条件、要求される耐久性等を考慮して適宜設定すればよい。
【0039】
また、前述の実施形態では、半導体素子の電極構造271はバリア層261が第1の窒化チタン膜261Aと第2の窒化チタン膜261Bとからなる2層構造であったが、これに限らず、図7に示すように、第1の窒化チタン膜261Aと、この下部に配置される第2の窒化チタン膜261Bと、さらにこの第2の窒化チタン膜261Bとコンタクト部42との間に窒化チタンまたはチタンからなる第3の膜361Cを備えた3層構造のバリア層361を備えた半導体素子の電極構造371であってもよい。
この場合、第3の膜361は、コンタクト部42とのオーミック接触を一層良好にするために介装されるものであり、半導体素子41が単結晶である場合には、第3の膜の組成をチタンリッチとすることが望ましく、その膜厚は、第1の窒化チタン膜261Aと同様に500Å〜1000Å程度とするのが好ましい。
【0040】
さらに、前述の実施形態では、バリア層261の窒化チタンの組成比は段階的に変化していたが、これに限らず、窒化チタンの組成比がその厚さ方向位置に応じて連続的に変化するようなバリア層であってもよい。
要するに、バリア層の厚さ方向位置に応じて、当該位置におけるバリア性、付着性等の機能を確保できるような構造であれば、本発明の目的を達成することができる。
【0041】
そして、前述の実施形態では、高融点金属窒化物は窒化チタンとしていたが、これに限らず、他の金属窒化物によってバリア層を形成してもよい。要するに、本発明におけるバリア層は、高温雰囲気においても熱拡散によって半導体素子が合金化することがなく、かつ電極配線との付着性が良好なバリア層であれば、本発明の目的を達成することができる。
【0042】
また、前述の実施形態では、電極構造、配線構造をマグネトロンスパッタリングにより形成していたが、これに限らず、イオンビームスパッタリング等他のスパッタリングによって形成してもよい。要するに、バリア層の形成に際してリアクティブスパッタリングが併用できるような方法であればよい。
さらに、圧力センサチップ21は、基板にサファイアを用いて、その上に半導体素子41を形成した、いわゆるSOS(Silicon On Sapphire)型圧力センサチップであってもよい。
その他、本発明の実施の際の具体的な構造および形状等は本発明の目的を達成できる範囲で他の構造等としてもよい。
【0043】
【発明の効果】
前述のような本発明の半導体素子の電極構造によれば、バリア層を構成する高融点金属窒化物の組成比が厚さ方向に応じて変化させてバリア層に段階的または連続的に異なる性能を持たせることができるので、電極配線の金属が半導体素子のシリコンに拡散することがなく、かつ半導体素子のコンタクト部と電極配線との付着力を強固にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る半導体素子の電極構造を表す部分断面図である。
【図2】前述の実施形態におけるバリア層を構成する窒化チタンの組成比と、リアクティブスパッタリングにおける窒素流量比の関係を表す相関図である。
【図3】前述の実施形態のバリア層の付着性確認のための引き剥がし法による試験方法を表す断面図である。
【図4】前述の実施形態のバリア層の付着性確認のための引っ張り法による試験方法を表す断面図である。
【図5】前述の実施形態における高温雰囲気への暴露時間と、バリア層およびコンタクト部の抵抗変化率との関係を表す関係図である。
【図6】前述の実施形態における高温雰囲気への暴露時間と、バリア層および電極配線の間の抵抗変化率との関係を表す関係図である。
【図7】前述の実施形態の変形となる半導体素子の電極構造を表す部分断面図である。
【図8】従来例における半導体素子の電極構造を用いた圧力センサチップを利用した圧力センサを表す断面図である。
【図9】従来の圧力センサチップを表す断面図である。
【図10】従来の圧力センサチップ上に形成された電極配線を表す模式図である。
【図11】従来の半導体素子の電極構造を表す部分断面図である。
【図12】従来の半導体素子の電極構造を表す部分断面図である。
【符号の説明】
33 基板
41 半導体素子
42 コンタクト部
151 電極配線
171、271、371 半導体素子の電極構造
261、361 バリア層
261A 第1の窒化チタン膜
261B 第2の窒化チタン膜
Claims (3)
- 基板上に形成されたシリコンからなり当該基板の物理量を検出して電気信号に変換する半導体素子上に形成されるとともに、前記電気信号を外部に伝達する半導体素子の電極構造であって、
前記半導体素子のコンタクト部上に形成された高融点金属窒化物からなるバリア層と、このバリア層の上に形成された電極配線とを有し、
前記バリア層は、その厚さ方向位置に応じて前記高融点金属窒化物の組成比が異なっており、
前記バリア層はその層内に前記電極配線を構成する金属が前記半導体素子に拡散することを防止するバリア性を備えるとともに、
前記バリア層および前記電極配線の接合境界部における前記バリア層部分は、当該バリア層を形成する高融点金属窒化物の組成比が当該バリア層に接合される対象に対する付着が強固となるように設定されており、
前記高融点金属窒化物は同一金属の窒化物であり、
前記高融点金属窒化物は窒化チタンであるとともに、前記バリア層は、前記電極配線に接して配置される第1の窒化チタン膜と、この第1の窒化チタン膜の下部に配置される第2の窒化チタン膜とを有し、
前記第1の窒化チタン膜は、前記電極配線との付着が強固となるような組成比であり、
前記第2の窒化チタン膜は、前記電極配線を構成する金属成分が前記半導体素子のコンタクト部に拡散することを防止できる組成比であり、
前記第1の窒化チタン膜の膜厚は500Å〜1000Å、前記第2の窒化チタン膜の膜厚は3000Å〜4000Åとなっていることを特徴とする半導体素子の電極構造。 - 請求項1に記載の半導体素子の電極構造において、
前記第1の窒化チタン膜の組成比は、窒化チタンに対するチタンの原子数割合が62%〜75%であるとともに、前記第2の窒化チタン膜の組成比は、窒化チタンに対するチタンの原子数割合が50%〜59%であることを特徴とする半導体素子の電極構造。 - 基板上に形成されたシリコンからなり当該基板の物理量を検出して電気信号に変換する半導体素子上に形成されるとともに、前記電気信号を外部に伝達する半導体素子の電極構造の製造方法であって、
前記半導体素子の電極構造は、前記半導体素子のコンタクト部上に形成された高融点金属窒化物からなるバリア層と、このバリア層の上に形成された電極配線とを有し、
当該バリア層がその厚さ方向位置に応じて前記高融点金属窒化物の組成比が異なる膜を積層した多層構造となっていて、
前記バリア層はその層内に前記電極配線を構成する金属が前記半導体素子に拡散することを防止するバリア性を備えるとともに、
前記バリア層および前記電極配線の接合境界部における前記バリア層部分は、当該バリア層を形成する高融点金属窒化物の組成比が当該バリア層に接合される対象に対する付着が強固となるように設定されており、
前記高融点金属窒化物は同一金属の窒化物であり、
前記高融点金属窒化物は窒化チタンであるとともに、前記バリア層は、前記電極配線に接して配置される第1の窒化チタン膜と、この第1の窒化チタン膜の下部に配置される第2の窒化チタン膜とを有し、
前記第1の窒化チタン膜は、前記電極配線との付着が強固となるような組成比であり、
前記第2の窒化チタン膜は、前記電極配線を構成する金属成分が前記半導体素子のコンタクト部に拡散することを防止できる組成比であり、
前記第1の窒化チタン膜の膜厚は500Å〜1000Å、前記第2の窒化チタン膜の膜厚は3000Å〜4000Åとなっており、
前記バリア層は、高融点金属をターゲットとして不活性ガス中に窒素ガスを添加した雰囲気中で行われるリアクティブスパッタリングにより形成され、
当該バリア層を構成する各々の膜は、前記窒素ガスの添加量を時間とともに段階的に変化させて形成されることを特徴とする半導体素子の電極構造の製造方法。
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