JP3746626B2

JP3746626B2 - 試料ホルダ

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Publication number: JP3746626B2
Application number: JP01462899A
Authority: JP
Inventors: 淳木村
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1999-01-22
Filing date: 1999-01-22
Publication date: 2006-02-15
Anticipated expiration: 2019-01-22
Also published as: JP2000215837A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、大気に曝されると変質する試料を保持する試料ホルダに関する。
本発明の試料ホルダは、試料面に蒸着等の加工を施した試料を、電子顕微鏡の試料ステージ等に大気に曝すことなく搬送する際に使用される。
【０００２】
【従来の技術】
試料ホルダとしては、従来下記の技術（Ｊ01）が知られている。
（Ｊ01）（図５、図６に示す技術）
図５は従来の試料ホルダが装着された透過型電子顕微鏡の縦断面図である。図６は従来の試料ホルダの拡大説明図である。
図５において、透過型電子顕微鏡０１は、内部を真空に保持された鏡筒０２を有し、鏡筒０２上端に電子銃０３が設けられている。鏡筒０２下端部には、観察窓０４および、実線で示す観察位置と二点鎖線で示す退避位置との間で移動可能な蛍光板０５が設けられている。また、前記蛍光板０５の下方には電子顕微鏡画像を撮影するためのフィルムＦを撮影位置に配置するための装置が配置されている。
前記電子銃０３の下方には電子線集束用の集束レンズ０７が配置され、前記蛍光板０５の上方には拡大結像用の結像レンズ０８が配置されている。そして、前記集束レンズ０７および結像レンズ０８の間にはゴニオステージＧs、ゴニオメータＧm、および試料ホルダＨが設けられている。
図６において、前記試料ホルダＨは、中間部分に設けられたホルダ筒０１１と、前記ホルダ筒０１１の後端に設けられた取手０１２と、前記ホルダ筒０１１の先端に設けられた板状の試料取付部０１３とを有している。前記ホルダ筒０１１には、前記透過型電子顕微鏡０１のゴニオメータＧmに装着された際、前記透過型電子顕微鏡０１内を気密に保持するためのＯリング０１４，０１４が装着されている。
前記試料取付部０１３には、試料収容孔０１３aおよび前記試料取付部０１３を上下方向に貫通するビーム通過孔０１３bが形成されており、前記試料収容孔０１３aには試料Ｓが保持されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
（前記（Ｊ01）の問題点）
前記従来技術（Ｊ01）では、前記大気中でない場所で加工（蒸着等）した試料Ｓを試料ホルダＨで保持して前記透過型電子顕微鏡等の観察位置まで搬送する間、前記試料Ｓは大気に曝されてしまう。したがって、大気に曝されると変質してしまうような試料Ｓの移動を行う場合には前記従来の試料ホルダＨは使用できないという問題がある。
【０００４】
本発明は前述の事情に鑑み、下記（Ｏ01）の記載内容を課題とする。
（Ｏ01）試料を大気に曝すことのない試料ホルダの提供。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
次に、前記課題を解決した本発明を説明するが、本発明の説明において本発明の構成要素の後に付記したカッコ内の符号は、本発明の構成要素に対応する後述の実施例の構成要素の符号である。なお、本発明を後述の実施例の構成要素の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【０００６】
（第１発明）
前記課題を解決するために、本出願の第１発明の試料ホルダは、試料を気密に保持した状態で大気中でない場所から大気中に搬送可能、または、試料を気密に保持した状態で大気中から真空中に搬送可能な試料ホルダであって、下記の要件を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）内側にホルダ軸通過孔（２a）が形成された前後に延びるホルダ筒（２）と、前記ホルダ筒（２）の後端部に設けられて内側に前記ホルダ軸通過孔（２a）と連通する気密室（Ａ）が形成され且つ前記ホルダ軸通過孔（２a）と同軸のホルダ軸貫通孔（３d）が後端部に設けられた気密室形成部材（３）とを有するホルダ軸支持ケース（１）、
（Ａ02）前端部に設けられた試料保持部（９b）と後端部に設けられた操作部（９a）とを有し、中間部が円筒状外側面を有するホルダ軸（９）であって、前記中間部が前記ホルダ軸貫通孔（３d）を貫通し、前記操作部（９a）が前記気密室（Ａ）の外部に配置されるとともに、前記ホルダ筒（２）の中心軸線であるホルダ軸線（Ｌ）に沿って前記試料保持部（９b）が試料（Ｓ）の観察時に前記ホルダ筒（２）の前端から突出する前端位置と前記試料保持部（９b）が前記気密室（Ａ）内に配置される後端位置との間で移動可能な前記ホルダ軸（９）、
（Ａ03）前記ホルダ軸貫通孔（３d）内に気密に且つ回転可能に支持されて前記ホルダ軸貫通孔（３d）と同軸のホルダ軸支持孔（７d）が形成された回転部材（７）であって、前記ホルダ軸（９）中間部を前記ホルダ軸支持孔（７d）により気密でスライド可能且つ回転可能に支持し、前記ホルダ軸（９）の試料保持部（９b）が前記後端位置に移動したときに前記ホルダ軸（９）と一体的に回転可能な前記回転部材（７）、
（Ａ04）前記回転部材（７）と連動して、前記ホルダ軸線（Ｌ）上に移動し前記ホルダ軸通過孔（２a）内と前記気密室（Ａ）内とを気密に遮断する遮断位置と、前記ホルダ軸線（Ｌ）上から前記試料保持部（９b）の移動に障害とならない退避位置との間で回動する開閉弁（１４）、
（Ａ05）前記気密室（Ａ）内への流体の流入または排出を行うための流体流入排出用配管（１８）が連結される配管連結部材（１７）。
【０００７】
（第１発明の作用）
前述の特徴を備えた第１発明の試料ホルダは、試料を気密に保持した状態で大気中でない場所から大気中に搬送可能、または、試料を気密に保持した状態で大気中から真空中に搬送可能であり、ホルダ軸支持ケース（１）の気密室形成部材（３）のホルダ軸貫通孔（３d）には回転部材（７）が気密に且つ回転可能に支持される。前記回転部材（７）のホルダ軸支持孔（７d）により前記ホルダ軸（９）の中間部がホルダ筒（２）の中心軸線であるホルダ軸線（Ｌ）に沿ってスライド可能且つ回転可能に支持される。配管連結部材（１７）には前記気密室形成部材（３）の気密室（Ａ）内への流体の流入または排出を行うための流体流入排出用配管（１８）が連結される。
【０００８】
大気中でない場所で加工した試料（Ｓ）を、大気に曝されない状態で前記ホルダ軸（９）の試料保持部（９b）に試料（Ｓ）を保持した後、前記ホルダ軸（９）の操作部（９a）を操作して試料保持部（９b）を後端位置に移動させ、前記試料保持部（９b）を気密室（Ａ）内に配置する。この状態で、前記ホルダ軸（９）を回転させると、前記回転部材（７）が前記ホルダ軸（９）と一体的に回転する。前記回転部材（７）が回転すると、前記回転部材（７）と連動する開閉弁（１４）が遮断位置に回動して、前記ホルダ筒（２）のホルダ軸通過孔（２a）内と前記気密室（Ａ）内とを気密に遮断する。前記流体流入排出用配管（１８）から前記気密室（Ａ）内の流体を排出して前記気密室（Ａ）内を真空にする。この状態で試料ホルダ（Ｈ）を大気中で移動しても前記試料（Ｓ）は大気に曝されず変質しない。
また、たとえば、前記流体流入排出用配管（１８）から前記気密室（Ａ）内へ試料（Ｓ）に変質等の影響を与えない流体を流入させて前記試料（Ｓ）を気密室（Ａ）内に密封し且つ前記流体を満たした状態で第１発明の試料ホルダ（Ｈ）を大気中で移動しても前記試料（Ｓ）は大気に曝されず変質しない。
【０００９】
前記試料ホルダ（Ｈ）を大気中で移動させて、たとえば、電子顕微鏡の試料ステージ等に装着した後、前記ホルダ軸（９）を回転させて、前記回転部材（７）を回転させ、前記開閉弁（１４）を退避位置に回動させる。前記試料保持部（９b）を前端位置に移動させて前記ホルダ筒（２）の前端から前記試料保持部（９b）を突出させると、前記試料（Ｓ）は顕微分析作業を行う位置に配置される。
【００１０】
（第２発明）
前記課題を解決するために、本出願の第２発明の試料ホルダは、試料を気密に保持した状態で大気中でない場所から大気中に搬送可能、または、試料を気密に保持した状態で大気中から真空中に搬送可能な試料ホルダであって、下記の要件を備えたことを特徴とする、
（Ｂ01）内側にホルダ軸通過孔（２a）が形成された前後に延びるホルダ筒（２）と、前記ホルダ筒（２）の後端部に設けられて内側に前記ホルダ軸通過孔（２a）と連通する気密室（Ａ）が形成され且つ前記ホルダ軸通過孔（２a）と同軸のホルダ軸支持孔（３d′）が後端部に設けられた気密室形成部材（３）とを有するホルダ軸支持ケース（１）、
（Ｂ02）前端部に設けられた試料保持部（９b）と後端部に設けられた操作部（９a）とを有し、中間部が円筒状外側面を有するホルダ軸（９）であって、前記中間部が前記ホルダ軸支持孔（３d′）により気密でスライド可能に支持され、前記操作部（９a）が前記気密室（Ａ）の外部に配置されるとともに、前記ホルダ筒（２）の中心軸線であるホルダ軸線（Ｌ）に沿って前記試料保持部（９b）が試料（Ｓ）の観察時に前記ホルダ筒（２）の前端から突出する前端位置と前記試料保持部（９b）が前記気密室（Ａ）内に配置される後端位置との間で移動可能な前記ホルダ軸（９）、
（Ｂ03）前記気密室（Ａ）内への流体の流入を行うための流体流入用配管（１８′）が連結される配管連結部材（１７）。
【００１１】
（第２発明の作用）
前述の特徴を備えた第２発明の試料ホルダは、試料を気密に保持した状態で大気中でない場所から大気中に搬送可能、または、試料を気密に保持した状態で大気中から真空中に搬送可能であり、ホルダ軸支持ケース（１）の気密室形成部材（３）のホルダ軸支持孔（３d′）により前記ホルダ軸（９）の中間部が気密でホルダ筒（２）の中心軸線であるホルダ軸線（Ｌ）に沿ってスライド可能に支持される。配管連結部材（１７）には前記気密室形成部材（３）の気密室（Ａ）内への流体の流入を行うための流体流入用配管（１８′）が連結される。
前記流体流入用配管（１８′）から前記気密室（Ａ）内へ流体を流入させ続けて前記ホルダ支持ケースの気密室（Ａ）内およびホルダ軸（９）のホルダ軸通過孔（２a）内を流体で満たされている状態にする。
【００１２】
大気中でない場所で加工された試料（Ｓ）を、大気に曝されない状態でホルダ軸（９）の試料保持部（９b）に固定し、前記ホルダ軸（９）の操作部（９a）を操作して試料保持部（９b）を後端位置に移動させて、前記試料保持部（９b）を流体で満たされている気密室（Ａ）内に配置する。この状態で、第２発明の試料ホルダ（Ｈ）を大気中で移動しても前記試料（Ｓ）は大気に曝されず変質しない。
【００１３】
【発明の実施の形態】
【実施例】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態の具体例である実施例を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、左右方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【００１４】
（実施例１）
図１は本発明の実施例１の試料ホルダの縦断面図で、前記試料ホルダのホルダ筒から試料を保持する試料保持部が突出した状態を示す図である。図２は前記試料ホルダの縦断面図で、前記試料保持部が前記試料ホルダの気密室内に配置された状態を示す図である。図３は前記試料ホルダの要部拡大図である。
図１において、試料ホルダＨのホルダ軸支持ケース１は、ホルダ筒２と前記ホルダ筒２の後端部（−Ｘ端部）に気密に連結された気密室形成部材３とを有している。
前記ホルダ筒２の内側には、ホルダ軸通過孔２aが形成されている。
前記ホルダ筒２の外周で前端部（Ｘ端部）には２個のＯリング収容溝２b，２bが形成されており、前記２個のＯリング収容溝２bの間には、排気孔２c，２cが形成されている。前記ホルダ筒２の前端には前記ホルダ軸通過孔２aの内径よりも小さな内径を有する試料保持部突出口２dが形成されている。前記Ｏリング収容溝２b，２bにはＯリング４，４が収容されている。
【００１５】
図１、図３において、前記気密室形成部材３の内側には気密室Ａが設けられている。
また、前記気密室形成部材３の前端側の壁には、ホルダ筒嵌合孔３aが形成されており、ホルダ筒嵌合孔３aの前記気密室Ａ側の縁には弁座３bが設けてある。前記ホルダ筒嵌合孔３aには、前記ホルダ筒２の後端部が嵌合して固定されており、前記ホルダ筒２のホルダ軸通過孔２aと前記気密室形成部材３の気密室Ａとが連通する。
図１、図３において、前記気密室形成部材３の側面には流体流入排出用孔３cが形成されており、前記ホルダ筒２の中心軸線であるホルダ軸線Ｌに沿って前記気密室形成部材３の後端部には、ホルダ軸貫通孔３dが形成されている。
前記ホルダ軸貫通孔３dは、前側（Ｘ側）の前側大径孔３d1と後側（−Ｘ側）の後側小径孔３d2とを有している。
前記後側小径孔３d2の後端側（−Ｘ端側）には、Ｏリング収容孔３e（図３参照）が形成されている。図３において、前記Ｏリング収容孔３eにはＯリング５が収容されており、前記Ｏリング５は前記気密室形成部材３の後端面に固定されているプレート６によって脱落しないように保持されている。前記プレート６の中心部にはホルダ軸貫通孔６aが形成されている。
【００１６】
図１〜図３において、前記前側大径孔３d1には、回転部材７の円筒部７aの外周面が回転可能に支持されている。
前記円筒部７aの外周面にはＯリング８が収容されるＯリング収容溝が形成されている。前記円筒部７aの中間部にはフランジ部７bが形成されており、前記フランジ部７bは前記前側大径孔３d1の前端の開口部外周縁に当接して、前記回転部材７の後方（−Ｘ方）への移動を制限している。前記回転部材７の前端部にはかさ歯車７cが形成されている。
図１、図２において、前記回転部材７の内側には前記ホルダ軸線Ｌに沿って前記回転部材７の前端および後端を貫通するホルダ軸支持孔７dが形成されており、前記ホルダ軸支持孔７dの前端側（−Ｘ端側）には、ピン係止溝７e，７eが形成されている。
【００１７】
図１、図２において、前記ホルダ軸支持孔７d、前記プレート６のホルダ軸貫通孔６aおよび前記気密室形成部材３のホルダ軸貫通孔３dには、ホルダ軸９が前記ホルダ軸線Ｌ上に沿って前記ホルダ筒２のホルダ軸通過孔２aおよび前記気密室Ａ内をスライド且つ軸周りに回転可能に支持されている。
前記ホルダ軸９の中間部は円筒状外側面を有し、前記気密室Ａの外部に配置される前記ホルダ軸９の後端部には操作部９aが装着されており、前記ホルダ軸通過孔２aおよび前記気密室Ａ内を移動可能に配置される前端部には板状の試料保持部９bが形成されている。前記試料保持部９bの後方（−Ｘ方）にはＯリング装着部９cが形成されている。図１において、前記試料保持部９bには、試料Ｓを保持する試料収容孔９b1およびビーム通過孔９b2が形成されている。また、前記Ｏリング装着部９cには、Ｏリング１１が装着されている。前記Ｏリング装着部９cの後方（−Ｘ方）には弁回動用ピン１２，１２が設けられている。
【００１８】
前記ホルダ軸９は、前記ホルダ軸線Ｌに沿ってスライド移動し、前記試料保持部９bが試料Ｓの観察時に前記ホルダ筒２の試料保持部突出口２dから突出する前端位置（図１参照）と前記試料保持部９bが前記気密室Ａ内に配置される後端位置（図２参照）との間で移動するように構成されている。図２に示すように前記ホルダ軸９の後端位置では弁回動用ピン１２，１２が前記回転部材７のピン係止溝７eに係止されるようになっており、この状態で前記ホルダ軸９を前記ホルダ軸線Ｌ周りに回転させると前記回転部材７も回転するようになっている。また、前記前端位置では、前記ホルダ筒２の前端の試料保持部突出口２dが、前記ホルダ軸９のＯリング１１により気密に閉塞されるようになっている。
図１〜図３において、前記気密室Ａ内の回転部材７のかさ歯車７cは、弁連結かさ歯車１３と噛合っている。前記弁連結かさ歯車１３には、開閉弁１４が連結されている。
前記開閉弁１４には、Ｏリング装着溝１４aが形成されており、前記Ｏリング装着溝１４aにはＯリング１６が装着されている。
【００１９】
前記開閉弁１４は、前記弁連結かさ歯車１３とともに回動して、前記ホルダ軸線Ｌ上に移動し前記ホルダ軸通過孔２a内と前記気密室Ａ内とを気密に遮断する遮断位置（図２参照）と、前記ホルダ軸線Ｌ上から前記試料保持部９bの移動に障害とならない退避位置（図１、図３参照）との間で回動するように構成されている。前記遮断位置では、前記開閉弁１４のＯリング１６が前記気密室形成部材３の弁座３bに密着して前記気密室Ａ内を気密に保持するようになっている。
【００２０】
図１〜図３において、前記気密室形成部材３の流体流入排出用孔３cには、配管連結部材１７が取付けてある。前記配管連結部材１７には、前記気密室Ａ内への前記試料Ｓに変質等の悪影響を与えないガスの流入または排出を行うための流体流入排出用配管１８のホルダ連結部材１９が着脱可能に連結されており、前記ホルダ連結部材１９を前記配管連結部材１７に着脱することにより、前記気密室Ａと流体流入排出用配管１８との接続、切断が可能となる。なお、前記ホルダ連結部材１９および配管連結部材１７には、弁（図示せず）が内蔵されており、弁開閉操作部材１９a，１７aにより前記弁を開閉することにより前記流体流入排出用配管１８および気密室Ａの開閉を行うことができる。
【００２１】
（実施例１の作用）
図１の状態、すなわちホルダ軸９が前端位置へ移動している状態で、前記試料Ｓが試料保持部９bに保持されていない試料ホルダＨの流体流入排出用管１８から前記試料Ｓに変質等の悪影響を与えないガスを気密室Ａ内に流入させると、前記気密室Ａ内およびホルダ軸通過孔２a内の空気は、ホルダ筒２の排気孔２c，２cから押しだされ、前記気密室Ａ内およびホルダ軸通過孔２a内は前記ガスで置換される。
【００２２】
この状態の試料ホルダＨを前記ガスで満たされた容器内に入れ、前記流体流入排出用管１８からの前記ガスの供給を止める。前記試料保持部９bへ大気中でない場所で加工された試料Ｓを保持し、前記ホルダ軸９の操作部９aを操作して、前記試料保持部９bを後端位置（図２参照）へ移動させて前記試料保持部９bを前記気密室Ａ内へ引き込む。
前記試料保持部９bが前記気密室Ａ内へ達すると、前記試料保持部９bの後方の弁回動用ピン１２，１２が前記回転部材７のピン係止溝７e，７eに係止される。このとき、前記操作部９aをホルダ軸９の軸周りに回転させると、前記回転部材７と前記回転部材７のかさ歯車７cと噛合った弁連結かさ歯車１３とが回転し、前記弁連結かさ歯車１３に連結された開閉弁１４も回動して遮断位置（図２参照）へ移動する。
このとき、図２に示すように前記開閉弁１４のＯリング１６が気密室形成部材３の弁座３bに押し付けられて、前記気密室Ａは気密に封じられる。この状態で前記試料ホルダＨを前記ガスで満たされた容器から引き出して大気中を移動させても、前記気密室Ａ内は前記ガスで満たされており、前記試料Ｓが大気と接触して変質することがない。
【００２３】
次に前記流体流入排出用管１８を通じて前記気密室Ａ内を真空に排気し、前記配管連結部材１７の内蔵弁を閉じてから、前記流体流入排出用配管１８のホルダ連結部材１９を切り離すと、前記試料ホルダＨは、前記流体流入排出用配管１８の長さに制約を受けず、どこへでも持ち運ぶことができる。
【００２４】
前記試料ホルダＨを図示しない電子顕微鏡まで運び、装着する。前記電子顕微鏡内を真空にするために行われる予備排気の段階で前記試料ホルダＨのホルダ軸通過孔２a内が排気されて真空になる。前記ホルダ軸通過孔２a内が真空になった後、前記ホルダ軸９の操作部９aを操作して、前記開閉弁１４を退避位置（図１参照）へ回動させる。さらに、前記試料保持部９bを前端位置（図１参照）に移動させて、前記試料保持部９bをホルダ筒２の前端の試料保持部突出口２dから突出させる。前記試料保持部９bの試料Ｓが電子顕微鏡内の所定の観察位置に到達すると前記試料Ｓの観察が可能となる。
前記試料ホルダＨの取り出しは装着と逆の手順で実施する。
なお、前記試料ホルダＨを前記電子顕微鏡へ運ぶ前に前記気密室Ａ内の前記ガスを真空排気する代わりに、前記気密室Ａ内に前記ガスを封入したままで前記試料ホルダＨを前記電子顕微鏡へ運び、前記電子顕微鏡内で真空排気、観察することも可能である。
【００２５】
（実施例２）
図４は本発明の実施例２の試料ホルダの縦断面図である。
なお、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
図４において、この実施例２の試料ホルダＨでは、前記実施例１の前記気密室Ａ内の回転部材７、弁連結かさ歯車１３、開閉弁１４およびホルダ軸９の弁回動用ピン１２，１２が省略されている。また、実施例２の試料ホルダＨのホルダ軸９は、気密室形成部材３のホルダ軸支持孔３d′により前記ホルダ軸線Ｌに沿ってスライド可能に支持されており、前記ホルダ軸９のスライド移動にともなって、前記ホルダ軸９の試料保持部９bが前記試料Ｓの観察時に前記ホルダ筒２の前端から突出する前端位置（図４の実線）と前記試料保持部９bが前記気密室Ａ内に配置される後端位置（図４の２点鎖線）との間で移動するようになっている。
【００２６】
また、前記配管連結部材１７に連結されている流体流入用配管１８′は、前記試料ホルダＨを、前記試料保持部９bに試料Ｓを保持する作業を行う場所から前記電子顕微鏡への装着位置まで持ち運び可能な長さに構成されている。
【００２７】
（実施例２の作用）
図４において、前記ガスを前記流体流入用配管１８′から供給し続け、前記気密室Ａ内を常に前記ガスで満たした状態にする。この試料ホルダＨを前記ガスで満たされた容器内に入れ、前記試料保持部９bへ試料Ｓを保持し、前記ホルダ軸９を後端位置（図４の２点鎖線参照）へ移動させて前記試料保持部９bを前記気密室Ａ内へ引き込む。
前記試料ホルダＨを前記ガスで満たされた容器内から大気中へ持ち出す。前記試料Ｓは前記ガスで満たされた気密室Ａ内に配置されているので、前記試料Ｓが大気と接触して変質することがない。
【００２８】
前記試料ホルダＨを電子顕微鏡に装着し、前記気密室Ａ内への前記ガスの供給を停止するとともに、前記電子顕微鏡内の排気を行って、前記電子顕微鏡内および前記試料ホルダＨ内を真空にする。前記電子顕微鏡内および前記試料ホルダＨ内が真空になった後、前記ホルダ軸９の試料保持部９bを前端位置に移動させて、前記試料保持部９bをホルダ筒２の前端の試料保持部突出口２dから突出させる。前記試料保持部９bの試料Ｓが電子顕微鏡の所定の観察位置に到達すると前記試料Ｓの観察が可能となる。
【００２９】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明を逸脱することなく、種々の設計変更を行うことが可能である。本発明の変更実施例を下記に例示する。
（Ｈ01）前記ホルダ筒２のホルダ軸通過孔２aおよび気密室Ａ内の空気と置換するガスの代わりに前記試料Ｓに変質等の悪影響を与えない液体を用いることも可能である。
（Ｈ02）前記回転部材７のかさ歯車７cおよび弁連結かさ歯車１３以外の他の回転伝達部材を使用して前記開閉弁１４を回動させることも可能である。
【００３０】
【発明の効果】
前述の本発明の試料ホルダは、下記の効果を奏することができる。
（Ｅ01）試料を大気に曝さずに扱うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の実施例１の試料ホルダの縦断面図で、前記試料ホルダのホルダ筒から試料を保持する試料保持部が突出した状態を示す図である。
【図２】図２は前記試料ホルダの縦断面図で、前記試料保持部が前記試料ホルダの気密室内に配置された状態を示す図である。
【図３】図３は前記試料ホルダの要部拡大図である。
【図４】図４は本発明の実施例２の試料ホルダの縦断面図である。
【図５】図５は従来の試料ホルダが装着された透過型電子顕微鏡の縦断面図である。
【図６】図６は従来の試料ホルダの拡大説明図である。
【符号の説明】
Ａ…気密室、Ｈ…試料ホルダ、Ｌ…ホルダ軸線、Ｓ…試料、
１…ホルダ軸支持ケース、２…ホルダ筒、２a…ホルダ軸通過孔、３…気密室形成部材、３d…ホルダ軸貫通孔、３d′…ホルダ軸支持孔、９…ホルダ軸、９a…操作部、９b…試料保持部、７…回転部材、７d…ホルダ軸支持孔、１４…開閉弁、１７…配管連結部材、１８…流体流入排出用配管、１８′…流体流入用配管。

Claims

試料を気密に保持した状態で大気中でない場所から大気中に搬送可能、または、試料を気密に保持した状態で大気中から真空中に搬送可能な試料ホルダであって、下記の要件を備えた試料ホルダ、
（Ａ01）内側にホルダ軸通過孔が形成された前後に延びるホルダ筒と、前記ホルダ筒の後端部に設けられて内側に前記ホルダ軸通過孔と連通する気密室が形成され且つ前記ホルダ軸通過孔と同軸のホルダ軸貫通孔が後端部に設けられた気密室形成部材とを有するホルダ軸支持ケース、
（Ａ02）前端部に設けられた試料保持部と後端部に設けられた操作部とを有し、中間部が円筒状外側面を有するホルダ軸であって、前記中間部が前記ホルダ軸貫通孔を貫通し、前記操作部が前記気密室の外部に配置されるとともに、前記ホルダ筒の中心軸線であるホルダ軸線に沿って前記試料保持部が試料の観察時に前記ホルダ筒の前端から突出する前端位置と前記試料保持部が前記気密室内に配置される後端位置との間で移動可能な前記ホルダ軸、
（Ａ03）前記ホルダ軸貫通孔内に気密に且つ回転可能に支持されて前記ホルダ軸貫通孔と同軸のホルダ軸支持孔が形成された回転部材であって、前記ホルダ軸中間部を前記ホルダ軸支持孔によりスライド可能且つ回転可能に支持し、前記ホルダ軸の試料保持部が前記後端位置に移動したときに前記ホルダ軸と一体的に回転可能な前記回転部材、
（Ａ04）前記回転部材と連動して、前記ホルダ軸線上に移動し前記ホルダ軸通過孔内と前記気密室内とを気密に遮断する遮断位置と、前記ホルダ軸線上から前記試料保持部の移動に障害とならない退避位置との間で回動する開閉弁、
（Ａ05）前記気密室内への流体の流入または排出を行うための流体流入排出用配管が連結される配管連結部材。
試料を気密に保持した状態で大気中でない場所から大気中に搬送可能、または、試料を気密に保持した状態で大気中から真空中に搬送可能な試料ホルダであって、下記の要件を備えた試料ホルダ、
（Ｂ01）内側にホルダ軸通過孔が形成された前後に延びるホルダ筒と、前記ホルダ筒の後端部に設けられて内側に前記ホルダ軸通過孔と連通する気密室が形成され且つ前記ホルダ軸通過孔と同軸のホルダ軸支持孔が後端部に設けられた気密室形成部材とを有するホルダ軸支持ケース、
（Ｂ02）前端部に設けられた試料保持部と後端部に設けられた操作部とを有し、中間部が円筒状外側面を有するホルダ軸であって、前記中間部が前記ホルダ軸支持孔により気密でスライド可能に支持され、前記操作部が前記気密室の外部に配置されるとともに、前記ホルダ筒の中心軸線であるホルダ軸線に沿って前記試料保持部が試料の観察時に前記ホルダ筒の前端から突出する前端位置と前記試料保持部が前記気密室内に配置される後端位置との間で移動可能な前記ホルダ軸、
（Ｂ03）前記気密室内への流体の流入を行うための流体流入用配管が連結される配管連結部材。