JP3745157B2 - 光音響顕微鏡装置及びその映像方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体試料の表面および内部欠陥、ならびに微小試料の表面および内部の品質を非破壊的に評価・検査し測定する装置、ならびに生体も含めた固体試料の任意の位置に任意のタイミングで光ビームを照射し、光音響効果を用いて検出する装置、及びそれらを応用した映像方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、光音響顕微鏡では、圧電素子を用いる方法とコンデンサーマイクロフォン法を用いる方法が主であった。いずれの場合にも光ビームの走査系に関しては、精密さが要求される工業計測の場合、パルスモーターやサーボモーターなどで駆動する機械的なスライド・ステージを用いるものがほとんどであった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記した従来の光音響顕微鏡を用いて、微小なサイズから大きなサイズまでの汎用の試料に対して試料の高速駆動を行う場合、ウオームギヤなどの機構を用いているステージを使用する事が必要不可欠である。しかしながら、その際に発生する音響的な騒音と、駆動にかなりの時間を必要とするという、アクセス時間の問題を解決しなければならず、ここに技術的な隘路が存在していた。
【0004】
本発明は、精密さが要求される工業計測においても、微小なサイズから大きなサイズまでの汎用の試料に対して、試料の高速駆動を音響的な騒音の発生を極力抑止した環境下で行うとともに、同時に電磁力に基づくリニア・モーター式のスライド・ステージを用い、その制御をプログラミング的に工夫する事により、光音響顕微鏡の駆動部を高速に動作させ、かつ静粛な動作環境を実現し、光ビームを試料に対してランダムに走査することができる光音響顕微鏡装置及びその映像方法を提供することを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明では、上記目的を達成するために、
〔1〕断続光であるレーザービームを変調器により変調し、光学系により密閉容器の光音響セルの検出部内に設置された試料表面に照射して、物質内部に熱を発生させ、これを音波に変化させて音響センサにより検出し、情報処理装置による信号処理により、画像として構成する光音響顕微鏡装置であって、レーザービームと試料との相対的位置変動を伴いながら光走査・集光させる際に、操作する可動ミラーと、偏平コイル型の可動形リニア直流モータからなるリニアモーターステージとを備え、広範囲にわたり高速でかつ静粛な動作環境を実現し、レーザービームを前記試料表面に対してランダムに走査するとともに、前記リニアモーターステージは、固定子と可動子とからなり、前記固定子はヨーク部材を構成するベース部(31)とそのベース部(31)の中央から突出した中央突出部(32)と、この中央突出部(32)から両側に広がる水平部(33)と、前記ベース部(31)の側面に突出する側面突出部(34)を有し、前記ベース部(31)にはマグネット(35)が配置されており、前記可動子は、可動テーブル(36)と、その可動テーブル(36)の両側の下方に延びる垂下部(37)と、この垂下部(37)の下端の内側に配置される偏平可動コイル(38)が配置されており、前記固定子の側面突出部(34)の上端内面と前記可動子の下部外側面との間にクロスローラーガイドとが配置されるようにしたものである。
【0006】
〔2〕上記〔1〕記載の光音響顕微鏡装置において、前記可動ミラーを静止させ、レーザービームを固定させた状態で、リニアモーターステージを駆動して走査を行うようにしたものである。
【0007】
〔3〕上記〔1〕記載の光音響顕微鏡装置において、前記リニアモーターステージを固定して、前記可動ミラーを駆動して、レーザービームによる走査を行うようにしたものである。
【0008】
〔4〕上記〔1〕記載の光音響顕微鏡装置において、前記可動ミラーと、リニアモーターステージとの協動により走査を行うようにしたものである。
【0009】
〔5〕上記〔1〕記載の光音響顕微鏡装置において、前記リニアモーターステージを情報処理装置のプログラミングにより、レーザービームを試料表面の上にランダムに走査するようにしたものである。
【0010】
〔6〕光音響顕微鏡装置による映像方法であって、上記〔1〕から〔5〕の何れか一項記載の光音響顕微鏡装置を用いて、前記試料表面の映像を得るようにしたものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【0012】
図1は本発明の実施例を示す光音響顕微鏡装置の基本的な構成を示す図である。
【0013】
図1において、1は断続光源となるレーザー光源、2は光変調器(メカニカルチョッパー)、3はレーザー・ビームの位置を試料表面に照射するための可動ミラー、4は光学顕微鏡であり、レーザー・ビームの集光に用いられる。5は密閉容器内の光音響セルであり、この光音響セル5中に試料6を装着する。7はコンデンサ・マイクロフォン等の音響センサである。8は駆動系に用いられるリニアモーターステージである。9,10はそれぞれプリアンプ、ロックイン・アンプ等の電気信号の増幅・整形機能を持たせた部分である。11は情報の表示部、記録部となるマイクロコンピュータであり、ステージ制御装置12とGP−IBなどの情報バス13を経由して制御のための通信を行っている。なお、マイクロコンピュータ11と計測器とを直接接続する場合、情報バス13は省略可能である。14はD/A変換器、15はスキャナドライバーである。
【0014】
以下、この実施例の具体的構成の説明を行う。
【0015】
この光音響顕微鏡装置は大きく分けて光学部、駆動部、検出部、信号処理部、コンピュータ部に分けられる。光学部は、レーザー光源(例えば、アルゴンレーザー)1とレーザー光を変調させるための光変調器(メカニカルチョッパー)2、可動ミラー3、そして、レーザー光収束のための光学顕微鏡4からなる。
【0016】
駆動部は、試料6を走査する2軸リニアモーターステージ8と、これを制御するステージ制御装置(CATII)12からなる。
【0017】
検出部は、光音響セル5と、音響センサ7(圧力センサ:コンデンサ・マイクロフォン)、信号処理部は、光音響信号を増幅するプリアンプ9、同期検波するロックイン・アンプ10を有する。
【0018】
コンピュータ部は、マイクロコンピュータ11及び情報バス(GP−IBバス)13からなる。また、この情報バス13にはD/A変換器14を介してスキャナドライバー15が接続されている。
【0019】
そこで、レーザー光源1から照射されたレーザー光は光変調器(メカニカルチョッパー)2により一定周波数に変調される。変調されたレーザー光は、光学顕微鏡4の対物レンズにより収束され、試料6表面上に照射される。試料6の走査は2軸リニアモーターステージ8を駆動して行う。光音響セル5内では試料6が断続光を吸収するため、発生した熱の一部が試料6表面近傍の気体に伝わり、気体が膨張する。ここで、発生した周期的な圧力変化を音響センサ(マイクロフォン)7によって電気的信号に変換して検出する。検出された信号は、ロックイン・アンプ10により変調信号と同期検波され、S/Nの向上がなされる。そして、振幅及び位相がマイクロコンピュータ11内に読み込まれ、処理されて画像としてマイクロコンピュータ11の画面上に再構成・表示される。
【0020】
以下、リニアモーターステージの構成について説明する。
【0021】
このリニアモーターステージとしては、例えば、中央精機(株)製を用いることができる。
【0022】
図2は本発明で用いられるリニアモーターステージの側面図、図3は図2のA−A′矢視図である。
【0023】
これらの図に示すように、このリニアモーターステージ8は、固定子30と可動子としての可動テーブル36から構成されている。その固定子30は、ヨーク部材を構成するベース部31とそのベース部31の中央から突出した中央突出部32と、この中央突出部32から両側に広がる水平部33と、ベース部31の側面に突出する側面突出部34を有している。そのベース部31にはマグネット35が配置されている。
【0024】
一方、可動子側には、可動テーブル36と、その可動テーブル36の両側の下方に延びる垂下部37と、その垂下部37の下端の内側に配置される偏平可動コイル38が配置されている。
【0025】
更に、固定子側の側面突出部34の上端内面と可動子側の下部外側面との間にクロスローラーガイド39が配置されている。
【0026】
そこで、マグネット35による磁束Bの磁界中に置かれた偏平可動コイル38に電流Iを流すと偏平可動コイル38にはフレニングの左手の法則により、推力が発生することにより、可動テーブル36を駆動することができる。
【0027】
このように、本発明で用いるリニアモーターステージ8は可動形リニア直流モーターに属し、偏平コイル型の直流モーターである。今まで用いていたパルスステージは、1パルスで2μmの精度で駆動しており、駆動時の音響ノイズもかなりのものであっが、本発明で用いるリニアモーターステージ8は、偏平可動コイル38を有し、強力なマグネット35〔例えば、住友特殊金属(株)製、NEOMAX)を使用しているので、小型、薄型、軽量である。また、コイルインダクタンスがL=3mhと小さく、電気的応答性に優れている。更に、ダイレクトドライブであるため、ボールネジ等の回転−直線運動変換機構が無く高速駆動(40mm/sec)が可能である。
【0028】
また、可動部はステージ及び可動コイルのみで構成され、構造が簡単で信頼性が高い。可動部はクロスローラガイド使用により低発塵、高耐久、低騒音である。更に、ブラシが用いられていないので、保守が簡単であるという利点がある。
【0029】
図4は本発明で用いられるリニアモーターステージの制御システム構成図である。
【0030】
この図において、リニアモーターステージ8にはリニアスケール41が配置され、このリニアスケール41からの情報は波形整形ユニット42を介して、位置検出のために、パルス指令Scom と比較されるとともに、F/V変換器43により速度検出が行われる。なお、45は位置制御部、46は速度制御部、47は電流制御部であり、フィードバック制御が行われるようになっている。
【0031】
このリニアモーターステージ8の制御システムは、フルクローズドループ方式となっている。
【0032】
この図に示すように、この制御システムは、機械系すなわち可動テーブルの位置情報をフィードバックする制御であるため、高い精度の位置決めができる。この系は、位置ループ、速度ループ、電流ループより構成され、各制御部に別れる。まず、位置制御部45でで指令位置と現在位置の差を計算し、偏差に応じた速度指令を出す。次に、速度制御部46では指令速度と現在速度とを比較してその速度偏差から、トルク指令を計算する。電流制御部47ではトルク指令と電流の差をとり、トルク指令通りの電流を流すための演算を行い、パワーFETを用いたPWM電流増幅回路によりリニアモーターステージ8を駆動する。リニアスケール41からの移動距離と速度に比例したパルス信号は、位置制御部45と速度制御部46へフィードバックされる。
【0033】
このように構成したので、本発明のリニアモーターステージ8によれば、高分解能の達成ができる。例えば、パルスステージ20分の1の0.1μmの精度で駆動することができる。
【0034】
また、高精度位置決めが可能である。つまり、ギアを使用していないためバックラッシュがなく、位置決めの経年変化が無い。また、フルクローズドループ方式であるため、精密な位置決めが可能である。
【0035】
更に、駆動時の音響ノイズもほとんど無く、さらに高速応答、高速駆動などが特徴として挙げられる。
【0036】
次に、試料のランダム走査について説明する。
【0037】
レーザービームを試料表面の任意の位置にランダムな順序で照射することは、オプティカル・スキャナによっても、リニアモーターステージのいずれによっても達成することができる。
【0038】
オプティカル・スキャナの場合は、フィードバックループを有するガルバノメーターによった制御を行うため、かなりの高速動作が可能であるが、鏡を回転させるようにしているため、原理的に非直線歪みを有している(変位量が回転角度のtanに比例するために、正方形の中心からビームを振った場合に変位量が大きくなるにつれて正方形の四隅を対角線方向に延ばした図形になってしまう)。
【0039】
一方、リニアモーターステージの場合には、パルスエンコーダーを有するリニアモーターステージに加えるパルス数と移動方向を自由に変更することにより、従来のようなパルスモーターステージとは異なって、騒音を発生することなく、しかも移動途中の滞在時間が極めて少ない駆動が可能である。
【0040】
図5は本発明の実施例を示す光音響顕微鏡の試料の平面図である。
【0041】
この図に示すように、試料21には、アルミニウムの矩形板を用いた。その大きさはL1 (40mm)×L2 (40mm)×厚さ(10mm)である。この試料21のほぼ中央部にスリット状の欠陥22,23がお互いに直角に交差している。これらの欠陥22,23の深さはどちらも2.0mmである。
【0042】
本発明の光音響顕微鏡装置を用い上記試料21を測定して得られた光音響画像の一例を、図6に示す。
【0043】
解像度は100×100ピクセルであり、変調周波数は180Hzであった。画像において、白い部分では光音響信号が強く、黒くなるにつれて信号が弱くなっていく様子を示している。画像中央部に著しく強い光音響(上下、左右)が確認できる。このことから、上記試料21の2本の表面欠陥22,23が互いに交差している状態が、光音響画像として明瞭に表示されていることが分かり、本画像が表面欠陥の交差部光音響信号であることがわかる。
【0044】
図の中央部で、欠陥22,23が直角に交差している光音響像が最大になっている。
【0045】
このように、本発明によれば、広範囲にわたり高速でかつ静粛な動作環境を実現し、走査を行うことができる。
【0046】
上記では、リニアモーターステージによる走査について述べたが、リニアモーターステージは固定しておき、マイクロコンピュータ11−情報バス13−D/A変換器14を介したスキャナドライバー15の駆動により、可動ミラー3を駆動して試料表面の走査を行うようにしてもよい。
【0047】
さらに、上記したリニアモーターステージ8の走査と可動ミラー3の走査との協動作用により、試料6表面の走査を行うようにしてもよい。
【0048】
特に、スキャナドライバー15の駆動による可動ミラー3による走査の場合には、高速でかつ静粛な動作環境を実現し、走査を行うことができる。
【0049】
このように、本発明によれば、それぞれ高速・ランダムアクセス、ならびに高精度の試料上の位置決め・照射を行う2つの動作モードが可能である多機能型の光音響顕微鏡装置を提供することができる。
【0050】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【0051】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、静粛さと高速性、またコンピュータ制御によるランダム・アクセス性を兼ね備えた光音響顕微鏡及びその映像方法を実現することができ、本装置によればマイクロマシンや微小電子部品の内部欠陥を非破壊的に検査したり、また尿や血液などの時間的に変化しやすい生体試料などをランダムな順序で定量的に測定することが1台の装置で可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例を示す光音響顕微鏡装置の基本的構成を示した説明図である。
【図2】 本発明で用いられるリニアモーターステージの側面図である。
【図3】 図2のA−A′矢視図である。
【図4】 本発明で用いられるリニアモーターステージの制御システム構成図である。
【図5】 本発明の実施例を示す光音響顕微鏡装置の試料の平面図である。
【図6】 本発明の実施例を示す光音響顕微鏡装置による光音響画像を示す図である。
【符号の説明】
1 レーザー光源
2 光変調器(メカニカルチョッパー)
3 可動ミラー
4 光学顕微鏡
5 光音響セル
6,21 試料
7 音響センサ
8 リニアモーターステージ
9 プリアンプ
10 ロックイン・アンプ
11 マイクロコンピュータ
12 ステージ制御装置
13 情報バス
14 D/A変換器
15 スキャナドライバー
22,23 欠陥
Claims (6)
- 断続光であるレーザービームを変調器により変調し、光学系により密閉容器の光音響セルの検出部内に設置された試料表面に照射して、物質内部に熱を発生させ、これを音波に変化させて音響センサにより検出し、情報処理装置による信号処理により、画像として構成する光音響顕微鏡装置であって、レーザービームと試料との相対的位置変動を伴いながら光走査・集光させる際に、操作する可動ミラーと、偏平コイル型の可動形リニア直流モータからなるリニアモーターステージとを備え、広範囲にわたり高速でかつ静粛な動作環境を実現し、レーザービームを前記試料表面に対してランダムに走査するとともに、前記リニアモーターステージは、固定子と可動子とからなり、前記固定子はヨーク部材を構成するベース部と該ベース部の中央から突出した中央突出部と、該中央突出部から両側に広がる水平部と、前記ベース部の側面に突出する側面突出部を有し、前記ベース部にはマグネットが配置されており、前記可動子は、可動テーブルと、その可動テーブルの両側の下方に延びる垂下部と、該垂下部の下端の内側に配置される偏平可動コイルが配置されており、前記固定子の側面突出部の上端内面と前記可動子の下部外側面との間にクロスローラーガイドとが配置されることを特徴とする光音響顕微鏡装置。
- 請求項1記載の光音響顕微鏡装置において、前記可動ミラーを静止させ、レーザービームを固定させた状態で、リニアモーターステージを駆動して走査を行うことを特徴とする光音響顕微鏡装置。
- 請求項1記載の光音響顕微鏡装置において、前記リニアモーターステージを固定して、前記可動ミラーを駆動して、レーザービームによる走査を行うことを特徴とする光音響顕微鏡装置。
- 請求項1記載の光音響顕微鏡装置において、前記可動ミラーと、リニアモーターステージとの協動により走査を行うことを特徴とする光音響顕微鏡装置。
- 請求項1記載の光音響顕微鏡装置において、前記リニアモーターステージを情報処理装置のプログラミングにより、レーザービームを試料表面の上にランダムに走査することを可能にしたことを特徴とする光音響顕微鏡装置。
- 請求項1から5の何れか一項記載の光音響顕微鏡装置を用いて、前記試料表面の映像を得ることを特徴とする光音響顕微鏡装置による映像方法。
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