JP3732921B2 - 分光測定器用のパージ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は分光測定器用のパージ装置、特にそのパージガス導入方式の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
マイケルソン干渉計を用いた分光測定器は、主に赤外領域で使用される分光測定器である。赤外領域での分光スペクトル測定においては、空気中の水や二酸化炭素による吸収が大きいため、これら吸収スペクトルに重なる領域のスペクトルを問題にする場合、空気中の水や二酸化炭素による吸収の影響を排除することが重要な課題になる。
また、赤外領域に透過性をもつ材料として多用されているものに、臭化カリウム(KBr)などの潮解性を有する結晶材がある。特に中赤外領域を測定するためのビームスプリッタおよび窓材には、臭化カリウム(KBr)を用いており、潮解性を有する結晶材よりなるビームスプリッタなどを保護するためにも、空気中の水や二酸化炭素の影響を排除することが重要な課題になる。
【0003】
このため、防湿構造を有するパージケース内に光路の大部分を占める干渉計部を設けていた。このパージケース内には乾燥材などを入れる場合もあった。
また、ビームスプリッタを空気中の二酸化炭素や水からより保護するため、スペクトルの測定領域によっては、二酸化炭素や水の吸収による測定ノイズの発生を低減するため、乾燥空気もしくは乾燥窒素などの乾燥ガスで、干渉計部が設けられたパージケース内空気のガス置換を行っていた。また、干渉計部が設けられたパージケース内空気のみではなく、試料室周囲および検出器周囲までの光路全体をガス置換することもあった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来、これらガス置換を容易に行うことができる適切な技術が存在せず、操作性の点で満足のゆくものではなかった。
このため、この種の技術分野では、これらガス置換の操作容易化を図ることができる技術の開発が強く望まれていた。
本発明は前記従来技術の事情に鑑みなされたものであり、その目的は分光測定器内空気のガス置換を容易に行うことができるパージ装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために本発明にかかるパージ装置は、供給手段と、供給路と、干渉計側導入路と、干渉計側導出路と、導入路と、4方向コックと、を備えたことを特徴とする。
前記供給手段は、前記分光測定器へ導入するパージガスの供給手段である。
前記供給路は、前記供給手段からのパージガスを供給するための供給路である。
前記干渉計側導入路は、前記供給路から専用パージケース内へパージガスを導入するための干渉計側導入路である。
【0006】
前記干渉計側導出路は、前記専用パージケース内からパージガスを導出するための干渉計側導出路である。
前記導入路は、前記供給路からのパージガスまたは干渉計側導出路からのパージガスを、試料室周囲および検出器周囲へ導入するための導入路である。
前記4方向コックは、前記供給路、干渉計側導入路、干渉計側導出路および導入路の4流路のうち、任意の2流路を導通可能な2の流路が設けられた4方向コックである。
【0007】
そして、前記4方向コックは、一方の流路が供給路と干渉計側導入路を導通すると、他方の流路が干渉計側導出路と導入路を導通し、あるいは、一方の流路が供給路と導入路を導通すると、他方の流路が干渉計側導入路とその導出路を導通する。
また、本発明にかかるパージ装置は、前記供給手段と、前記供給路と、前記干渉計側導入路と、接続路と、前記導入路と、該供給路と干渉形側導入路を導通可能な1の流路が設けられた2方向コックと、該干渉計側導出路と導入路を導通可能な1の流路が設けられた2方向コックと、該接続路を導通可能な1の流路が設けられた2方向コックと、を備えたことを特徴とする。
【0008】
前記接続路は、前記供給路から試料室周囲および検出器周囲へパージガスを導入するための接続路である。
そして、前記2方向コックは、前記供給路と干渉計側導入路が導通すると、干渉計側導出路と導入路が導通し、接続路が遮断し、あるいは、供給路と干渉計側導入路が遮断すると、干渉計側導出路と導入路が遮断し、接続路が導通する。
【0009】
【発明の実施形態】
以下、図面に基づき本発明の好適な実施形態について説明する。
図1には本発明の一実施形態にかかるパージ装置を分光測定器に適用した際の状態が示されている。
同図に示す分光測定器10は、干渉計部11のみが内部に設けられた専用パージケース12と、試料室13と検出器14が同一の内部に設けられた兼用パージケース16と、を備えている。
以上のようにして、たとえば干渉計部11、試料室13および検出器14で構成された分光測定器10により、たとえば赤外領域での分光スペクトル測定を行うことができる。
【0010】
本発明において特徴的なことは、専用パージケース12内空気と兼用パージケース16内空気のガス置換の操作容易化を図ったことである。このために本実施形態においては、分光測定器10にパージ装置18を設けている。
すなわち、同図に示すパージ装置18は、供給手段20と、供給路22と、干渉計導入路24と、干渉計導出路26と、導入路30と、4方向コック40と、を備えている。
供給手段20は、分光測定器10へ導入するパージガス(たとえば乾燥空気あるいは乾燥窒素などの乾燥ガス)の供給手段である。
供給路22は、供給手段20からのパージガスを供給するための供給路である。
【0011】
干渉計側導入路24は、供給路22から専用パージケース12内へパージガスを導入するための導入路である。これに対し、干渉計側導出路26は、専用パージケース12からパージガスを導出するための導出路である。
導入路30は、供給路22からのパージガスまたは干渉計側導出路からのパージガスを、兼用パージケース16内へ導入するための導入路である。この実施形態において、導入路30は、兼用パージケース16内の試料室周囲16aおよび検出器周囲16bにパージガスを良好に導入することができるように2又状に構成されている。
【0012】
4方向コック40は、供給路22、干渉計側導入路24、干渉計側導出路26および導入路30の4流路のうち、任意の2流路を導通可能な2の流路42,44が設けられたコックである。この実施形態において、4方向コック40は、2の流路42,44が一体的に設けられている。
すなわち、供給手段20からのパージガスを、まず専用パージケース12へ導入し、この専用パージケース12から兼用パージケース16へ再導入する場合、同図(a)に示すように、4方向コック40の2の流路42,44のうち、一方の流路42が供給路22と干渉計側導入路24を導通すると、他方の流路44が干渉計側導出路26と導入路30を導通するように構成されている。
【0013】
これに対し、専用パージケース12内空気の流路を閉回路とした状態で供給手段20からのパージガスを兼用パージケース16へ直接導入する場合、同図(b)に示すように、一方の流路42が供給路22と導入路30を導通すると、他方の流路44が干渉計側導入路24とその導出路26を導通するように構成されている。
このようにして実施形態にかかるパージ装置18によれば、4方向コック40を同図(a)に示すように操作することにより、供給手段20からのパージガスは、供給路22、4方向コック40の流路42および干渉計側導入路24を介して専用パージケース12内へ導入される。パージガスが専用パージケース12内に導入されると、専用パージケース12内の二酸化炭素や水分を含んだ空気は、乾燥ガスなどのパージガスで置換される。
【0014】
また、パージケース12内に導入されたパージガスは、干渉計側導出路26、4方向コック40の流路44、導入路30を介して兼用パージケース16内へ再導入される。
このため、専用パージケース12内の干渉計部11周囲の雰囲気を優先して乾燥ガスなどのパージガスで置換することができると共に、兼用パージケース16内の試料室周囲および検出器周囲の雰囲気も乾燥ガスなどのパージガスで置換することができる。
【0015】
この結果、分光測定器10内空気を乾燥空気でガス置換することを効率的に行うことができる共に、パージガスの有効利用などを図ることができる。
ところで、同図(a)に示すように分光測定器10内空気全体のガス置換を行った後、兼用パージケース16内のみを再度パージ処理したい場合があった。
すなわち、専用パージケース12内に塵や埃などが侵入してしまうと、干渉計部11に多大な悪影響を及ぼすため、専用パージケース12は非常に気密に構成されている。したがって、専用パージケース12は、一度ガス置換を行うと、たとえばビームスプリッタ(BS)などの交換を行わない限り、再度のガス置換は不要である。
【0016】
これに対し、たとえば試料の入れ替えを行う場合、試料室13の蓋開閉を行う。この蓋の開閉により兼用パージケース16は、専用パージケース12に比較して気密性が低いため、パージガスを試料室周囲および検出器周囲へフローしながら測定を行う場合があった。
この場合、同図(b)に示すように、4方向コック40を操作することにより一方の流路42が供給路22と導入路30を導通すると、他方の流路44が干渉計側導入路24とその導出路26を導通する。
これにより、専用パージケース12内空気の流路を閉回路としてパージ状態を維持した状態で、供給手段20からのパージガスを、直接供給路22、4方向コック40の流路42、導入路30を介して、兼用パージケース16へ導入することにより、測定中、兼用パージケース16内の試料室13周囲および検出器14周囲の雰囲気を、乾燥ガスなどのパージガスで満たすことができる。
【0017】
以上のようにこの実施形態にかかるパージ装置18によれば、光路の大半を占める干渉計部11のパージ処理を重点的に行いたい場合、同図(a)に示すように4方向コック40を操作する。
すなわち、専用パージケース12内の干渉計部11周囲の雰囲気のガス置換を優先的に行いながら、兼用パージケース16内の試料室13周囲および検出器14周囲の雰囲気を乾燥ガスなどのパージガスで置換することにより、分光測定器10内空気を乾燥ガスなどのパージガスで効率的に置換することができるので、空気中の二酸化炭素や水の吸収による悪影響を大幅に低減することができる。
【0018】
この場合、専用パージケース12から兼用パージケース16内へパージガスを再導入することとしたので、パージガスの有効利用などを図ることもできる。
また、測定時、同図(b)に示すように4方向コック40を操作して、干渉計部11周囲の雰囲気が乾燥ガスなどのパージガスで満たされた状態を維持した状態で、試料室13周囲および検出器14周囲に乾燥ガスなどをフローすることにより、空気中の二酸化炭素や水の試料室13および検出器14への悪影響を大幅に低減することができるので、測定を適正に行うことができる。
【0019】
図2には本発明の第2実施形態にかかるパージ装置を前記図1に示した分光測定器に適用した際の状態が示されている。また、図3にはこの図2に示す装置の等価図が示されている。なお、前記図1と対応する部分には符号100を加えて示し説明を省略する。
この実施形態において、パージ装置118は、供給手段120と、供給路122と、干渉計側導入路124と、干渉計側導出路126と、接続路128と、導入路130と、2方向コック132,134,136と、を備えている。
【0020】
接続路128は、供給手段120からのパージガスを兼用パージケース116内へ直接導入するための接続路である。
導入路130は、接続路28からのパージガスまたは干渉計側導出路126からのパージガスを、兼用パージケース116内へ導入するための導入路である。2方向コック132は、供給路122と干渉計側導入路124を導通可能な1の流路133が設けられたコックである。
2方向コック134は、干渉計側導出路126と導入路130を導通可能な1の流路135が設けられたコックである。
【0021】
2方向コック136は、接続路128を導通可能な1の流路137が設けられたコックである。
これら2方向コック132,134,136は、図2に示すように棒体139により連結されている。この棒体139の先端部に設けられた操作レバー138を図中矢印方向へ操作することにより、これら2方向コック132,134,136を一体的に操作することができる。
【0022】
すなわち、供給手段120からのパージガスを、まず専用パージケース112内へ導入し、専用パージケース112から兼用パージケース116へ再導入する場合、たとえば操作レバー138を図中上方に操作すると、図3(a)に示すように、2方向コック132の流路133は供給路122と干渉計側導入路124を導通し、2方向コック134の流路135は導出路126と導入路130を導通し、2方向コック136の流路137は接続路128を遮断するように構成されている。
【0023】
これに対し、供給路122から兼用パージケース116へ直接パージガスを導入する場合、レバー138を前記図(a)において操作した図中上方向とは逆方向の図中下方に操作すると、図3(b)に示すように、2方向コック132の流路133は供給路122と干渉計側導入路124を遮断し、2方向コック134の流路135は干渉計側導出路126と導入路130は遮断し、2方向コック136の流路137は接続路128を導通するように構成されている。
【0024】
以上のように、この第2実施形態にかかるパージ装置118によれば、前記第1実施形態にかかるパージ装置18と同等の効果を奏することができる。
また、この第2実施形態にかかるパージ装置118によれば、4方向コックに比較して、より省スペースで低価格な2方向コックを用いることとしたので、前記第1実施形態にかかるパージ装置18に比較し、設置スペースの省スペース化、装置の低価格化などを図ることもできる。
なお、本発明は前記各構成に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内で種々の変形が可能である。
【0025】
たとえば、試料室13と検出器14を別々のパージケース内に設けた場合、これらパージケース壁面部の光束の通過コース上に窓材を設ける必要がある。前記各構成では、これら窓材によるエネルギーロスを考慮して1の兼用パージケース16内に試料室13および検出器14を設けた場合について説明したが、試料室13と検出器14を別々の専用パージケース内に設けることも可能である。
また、前記各構成では、分光測定器内空気を乾燥ガスなどのパージガスでガス置換する場合について説明したが、干渉計部が設けられた専用パージケース内空気を除去する脱気手段を設けることが可能である。
【0026】
図4には前記図1に示した装置に脱気手段を設けた際の状態が示されている。なお、前記図1と対応する部分には符号200を加えて示し説明を省略する。
同図に示す脱気手段は、脱気ポンプ246と、2方向コック248と、導出路250と、を備えている。
この脱気ポンプ246は、2方向コック248を介して導出路250により干渉計側導入路224に接続されている。
この実施形態において、たとえば専用パージケース212内空気の流路は閉回路とした状態で脱気処理を行う。すなわち、同図に示すように4方向コック240の流路242,244を遮断することにより、専用パージケース212内空気の流路は閉回路の状態となる。
【0027】
このように専用パージケース212内空気の流路は閉回路とした状態で、脱気ポンプ246を作動させて、2方向コック248を操作して脱気ポンプ246と干渉計側導入路224を導通させると、専用パージケース212内空気は、脱気ポンプ246により干渉計側導入路224、導出路250および2方向コックを介して除去される。
図5には、前記図2に示した装置に脱気手段を設けた際の状態が示されている。
図6には、この図5に示す装置の等価図が示されている。なお、前記図2〜3と対応する部分には符号200を加えて示し説明を省略する。
【0028】
この実施形態において、専用パージケース312内空気の除去を行う場合、操作レバー338を操作して図5〜6に示すように2方向コック332,334の流路333,335を遮断する。これにより専用パージケース312内空気の流路を閉回路とした状態で、脱気ポンプ346および2方向コック346(脱気手段)を操作することにより、前記図4に示した装置と同等の効果を奏することができる。
また、この実施形態によれば、前記図4に示した4方向コック240に代わり、より省スペースで低価格な2方向コック332,334,336を用いることとしたので、前記第3実施形態に比較し、設置スペースの省スペース化、装置の低価格化などを図ることもできる。
【0029】
【発明の効果】
以上説明したように本発明にかかるパージ装置によれば、前述のようにパージガスの流路を設け、この流路中に4方向コックを設けることとしたので、分光測定器内空気のガス置換の操作容易化、パージガスの有効利用などの向上を図ることができる。
なお、前記4方向コックに代わり、より省スペースで低価格な2方向コックを用いることにより、設置スペースの省スペース化、装置の低価格化などの向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施形態にかかるパージ装置を分光測定器に適用した際の説明図である。
【図2】本発明の第二実施形態にかかるパージ装置を分光測定器に適用した際の説明図である。
【図3】前記図2に示した装置の等価図である。
【図4】前記図1に示した装置に脱気手段を設けた際の説明図である。
【図5】前記図2に示した装置に脱気手段を設けた際の説明図である。
【図6】前記図5に示した装置の等価図である。
【符号の説明】
10,110 … 分光測定器
11,111 … 干渉計部
12,112 … 専用パージケース
13,113 … 試料室
14,114 … 検出器
16,116 … 兼用パージケース
18,118 … パージ装置
Claims (2)
- 干渉計部と試料室と検出器とを備え、少なくとも該干渉計部が専用パージケース内に設けられた分光測定器内空気のガス置換を行うパージ装置であって、
前記分光測定器へ導入するパージガスの供給手段と、
前記供給手段からのパージガスを供給するための供給路と、
前記供給路から専用パージケース内へパージガスを導入するための干渉計側導入路と、
前記専用パージケース内からパージガスを導出するための干渉計側導出路と、
前記供給路からのパージガスまたは干渉計側導出路からのパージガスを、試料室周囲および検出器周囲へ導入するための導入路と、
前記供給路、干渉計側導入路、干渉計側導出路および導入路の4流路のうち、任意の2流路を導通可能な2の流路が設けられた4方向コックと、
を備え、前記4方向コックは、一方の流路が供給路と干渉計側導入路を導通すると、他方の流路が干渉計側導出路と導入路を導通し、あるいは、一方の流路が供給路と導入路を導通すると、他方の流路が干渉計側導入路とその導出路を導通することを特徴とするパージ装置。 - 干渉計部と試料室と検出器とを備え、少なくとも該干渉計部が専用パージケース内に設けられた分光測定器内空気のガス置換を行うパージ装置であって、
前記分光測定器へ導入するパージガスの供給手段と、
前記供給手段からのパージガスを供給する供給路と、
前記供給路から専用パージケース内へパージガスを導入するための干渉計側導入路と、
前記専用パージケース内からパージガスを導出するための干渉計側導出路と、
前記供給路から試料室周囲および検出器周囲へパージガスを導入するための接続路と、
前記干渉計側導出路からのパージガスまたは接続路からのパージガスを、試料室と検出器へ導入するための導入路と、
前記供給路と干渉形側導入路を導通可能な1の流路が設けられた2方向コックと、
前記干渉計側導出路と導入路を導通可能な1の流路が設けられた2方向コックと、
前記接続路を導通可能な1の流路が設けられた2方向コックと、
を備え、前記2方向コックは、前記供給路と干渉計側導入路が導通すると、干渉計側導出路と導入路が導通し、接続路が遮断し、あるいは、供給路と干渉計側導入路が遮断すると、干渉計側導出路と導入路が遮断し、接続路が導通することを特徴とする分光測定器用のパージ装置。
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