JP3732834B2 - 入力保護回路 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、入力保護回路に係り、特に半導体集積回路の静電破壊を防止する入力保護回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路は、入出力端子として電界効果トランジスタ等のゲート入力回路を有する。入出力端子に接続されるゲート入力回路は、人体または各種装置からの静電気放電(ESD:electrostatic discharge)により破壊されてしまうことがある。特に、回路基板等に半導体集積回路を実装する以前において、ESDが入出力端子間に印加されることにより、入力回路に用いられる電界効果トランジスタのゲートが破壊されることがある。
【0003】
これに対し、特許文献1には、ダイオードにより入出力端子の電圧レベルが電源電圧以上にならない入力保護回路が開示されている(以下、「第1の従来技術」という。)。第1の従来技術に係る入力保護回路は、カソード端子を電源に接続し、アノード端子を入出力端子に接続するダイオードと、カソード端子をグランドに接続し、アノード端子を入出力端子に接続するダイオードとにより構成される。第1の従来技術によれば、入出力端子にESDが印加された時には、ダイオード順方向通電または逆方向ブレークダウンにより電源またはグランドへの電流経路を作り、半導体集積回路の内部素子に高電圧が印加されるのを防止することができる。
【0004】
また、特許文献2には、入出力端子とダイオードとの間にヒューズを設けた入力保護回路が開示されている(以下において「第2の従来技術」という。)。第2の従来技術に係る入力保護回路は、半導体集積回路を実装後、ヒューズに直流電流が加えられると溶断する。ヒューズが溶断されると、入力保護回路は入出力端子から分離され、ダイオードの有する寄生容量の影響を受けない。ダイオードの寄生容量の影響がなければ、入力信号の高速性は損なわれない。
【0005】
【特許文献1】
特開平5−121662号公報
【0006】
【特許文献2】
特開2001−224338号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、第1の従来技術に係る半導体保護回路のダイオードの接合面積は、高電圧の静電気放電に伴う大量の電荷を瞬時に流すために数平方ミクロン程度に設計される。この場合、ダイオードの接合容量は、数pFに達することもある。ダイオード等の寄生容量により信号レベルの減衰や信号の伝搬遅延が生じるという問題点があった。
【0008】
また、第2の従来技術に係る半導体保護回路は、ダイオードをセル内に有しており、半導体集積回路の面積増大の原因となる問題があった。
【0009】
本発明の目的は、このような課題を解決し、入出力信号の信号レベルの減衰や伝搬遅延を生じることなく、小型化が可能な入力保護回路を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の第1の特徴は、半導体チップと、半導体チップ上に配置された内部回路と、半導体チップ上に配置され、内部回路に接続された第1の入出力端子と、半導体チップ上に配置され、第1の入出力端子に隣接した位置に配置された第2の入出力端子と、半導体チップ上に配置され、第1の入出力端子と第2の入出力端子間に接続された溶断部とを備えることを要旨とする。
【0011】
本発明の第2の特徴は、半導体チップと、半導体チップ上に配置された内部回路と、半導体チップ上に配置され、内部回路に接続された複数の入出力端子と、半導体チップ上に配置され、複数の入出力端子のうち互いに隣接する入出力端子間に配置された溶断部とを備えることを要旨とする。
【0012】
本発明の第3の特徴は、半導体チップと、半導体チップ上に配置された内部回路と、半導体チップ上に配置され、内部回路に接続され、複数の入出力端子を有する複数の端子群と、半導体チップ上に配置され、複数の端子群を互いに接続する電気配線と、半導体チップ上に配置され、複数の入出力端子のうち互いに隣接する入出力端子間のそれぞれに配置された溶断部とを備えることを要旨とする。
【0013】
本発明の第1〜第3の特徴によれば、信号レベルの減衰や信号の伝搬遅延が生じることなく、半導体集積回路の小型化を可能にする入力保護回路を提供できる。
【0014】
【発明の実施の形態】
次に、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一または類似の部分には同一または類似の符号を付している。
【0015】
(第1の実施の形態)
本発明の第1の実施の形態に係る入力保護回路は、図1に示すように、半導体チップ1と、半導体チップ1上に配置された内部回路2と、半導体チップ1上に配置され、内部回路2に接続された第1の入出力端子3と、半導体チップ1上に配置され、第1の入出力端子3に隣接した位置に配置された第2の入出力端子4と、半導体チップ1上に配置され、第1の入出力端子3と第2の入出力端子4との間に接続された溶断部5とを備える。溶断部5は、第1の入出力端子3と第2の入出力端子4との間に接続されたヒューズF1を備える。ヒューズF1は、第1の入出力端子3と第2の入出力端子4との間に溶断設定電流を流すと溶断される。ヒューズF1としては、図2に示すように、半導体チップ1上に配置される金属配線の長方形短片状の部分のうち最も断面積の小さい部分を用いる。金属配線としては、例えばアルミニウム膜、多結晶シリコン膜等が考えられる。
【0016】
第1の入出力端子3は、図3(a)に示すように、例えば内部回路2の電界効果トランジスタQ1のゲート端子に接続される。あるいは、図3(b)に示すように、例えば内部回路2の電界効果トランジスタQ2のソース端子(またはドレイン端子)に接続される。第2の入出力端子4は、図3(a)及び図3(b)に示した第1の入出力端子3と同様に内部回路2の電界効果トランジスタのゲート端子、ソース端子、及びドレイン端子のいずれかに接続される。
【0017】
第1の実施の形態に係る入力保護回路の溶断部5の溶断前の動作を、図1を参照しながら説明する。ここで、半導体集積回路の製造される工程中のESDの印加による半導体集積回路内部のゲート酸化膜破壊について述べる。ESDによる半導体集積回路内部のゲート酸化膜破壊は、組立工程、選別工程、梱包工程、基板実装工程において発生する頻度が最も高い。逆に、半導体集積回路の回路基板実装後は、入出力端子が外部から直接静電気の影響を受ける可能性が低くなる。すなわち、半導体集積回路は、回路基板に実装前段階において保護する必要がある。
【0018】
溶断部5の溶断前において、ESDが第1の入出力端子3と第2の入出力端子4との間に印加されると、ヒューズF1にESDが印加される。すなわち、ESDは、ヒューズF1を介して第1の入出力端子3から第2の入出力端子4に出力されるので、入出力端子に接続された半導体集積回路内部のゲート酸化膜破壊は発生しない。尚、ESDにより発生する電流は微弱であるので、ヒューズF1は溶断されない。
【0019】
半導体集積回路を回路基板に実装後、半導体集積回路の第1の入出力端子3と第2の入出力端子4との間に溶断設定電流を流しヒューズF1を溶断し、第1の入出力端子と第2の入出力端子を電気的に分離させる。ヒューズF1の溶断条件は、金属配線の材質と断面積によって定められる。
【0020】
第1の実施の形態に係る入力保護回路によれば、実装以前の工程において、ESDによるゲート酸化膜破壊を抑制することができる。また、実装後、ヒューズF1を溶断することにより、第1の入出力端子3、第2の入出力端子4に容量成分を有する素子が接続されていないので、第1の入出力端子3、第2の入出力端子4から入出力される入出力信号の信号レベルの減衰や伝搬遅延を生じることなく、小型化が可能となる。
【0021】
(第2の実施の形態)
本発明の第2の実施の形態に係る入力保護回路は、図4に示すように、半導体チップ1上に複数の入出力端子11a〜11i,12a〜12i,13a〜13i,14a〜14iを備える。図1に示した入力保護回路は、第1の入出力端子3と第2の入出力端子4の2端子間に設けられると説明しているが、図4に示す入力保護回路は、互いに隣接する複数の入出力端子11a〜11i,12a〜12i,13a〜13i,14a〜14iが複数の溶断部21a〜21i,22a〜22i,23a〜23i,24a〜24iによってそれぞれ接続されている。例えば、入出力端子11aは、溶断部21aによって入出力端子11bに接続されている。ただし、複数の入出力端子11a〜11i,12a〜12i,13a〜13i,14a〜14iは、それぞれ内部回路2に接続されているものとする。例えば、複数の溶断部21a〜21i,22a〜22i,23a〜23i,24a〜24iとしては、ヒューズを用いる。他は第1の実施の形態と実質的に同等であるので、重複した記載を省略する。
【0022】
第2の実施の形態に係る入力保護回路の動作を、図5を参照しながら説明する。溶断部21a〜21i,22a〜22i,23a〜23i,24a〜24iの溶断前において、ESDが入出力端子11aと入出力端子12iとの間に印加されるとする。入出力端子11aから入力されたESDは、電流経路15を経て入出力端子12iから出力される。溶断部21a〜21i,22a〜22iにESDが印加される。すなわち、ESDは、溶断部21a〜21i,22a〜22iを介して入出力端子11aから入出力端子12iに出力されるので入出力端子に接続された半導体集積回路内部のゲート酸化膜破壊は発生しない。尚、ESDにより発生する電流は微弱であるので、溶断部21a〜21i,22a〜22iは溶断されない。
【0023】
半導体集積回路を回路基板に実装後、半導体チップ1上に互いに隣接するように配置された複数の入出力端子11a〜11i,12a〜12i,13a〜13i,14a〜14iのうち互いに隣接する入出力端子間に溶断設定電流を流し溶断部21a〜21i,22a〜22i,23a〜23i,24a〜24iを溶断し、複数の入出力端子11a〜11i,12a〜12i,13a〜13i,14a〜14iをそれぞれ電気的に分離させる。溶断部21a〜21i,22a〜22i,23a〜23i,24a〜24iの溶断条件は、ヒューズとして用いられる金属配線の材質と断面積によって定められる。
【0024】
第2の実施の形態に係る入力保護回路によれば、実装以前の工程において、ESDによるゲート酸化膜破壊を抑制することができる。また、実装後、溶断部を溶断することにより、複数の入出力端子11a〜11i,12a〜12i,13a〜13i,14a〜14iに容量成分を有する素子が接続されていないので、入出力端子11a〜11i,12a〜12i,13a〜13i,14a〜14iから入出力される入出力信号の信号レベルの減衰や伝搬遅延を生じることなく、小型化が可能となる。
【0025】
(第3の実施の形態)
本発明の第3の実施の形態に係る入力保護回路は、図6に示すように、半導体チップ1と、半導体チップ1上に配置された内部回路2と、半導体チップ1上に配置され、内部回路2に接続され、複数の端子群31〜34と、半導体チップ1上に配置され、複数の端子群31〜34を互いに接続する電気配線25とを備える。第1の端子群31は、複数の入出力端子31a〜31iと、複数の入出力端子31a〜31iのうち互いに隣接する入出力端子間のそれぞれに配置された溶断部41a〜41hとを備える。第2の端子群32は、複数の入出力端子32a〜32iと、複数の入出力端子32a〜32iのうち互いに隣接する入出力端子間のそれぞれに配置された溶断部42a〜42hとを備える。第3の端子群33は、複数の入出力端子33a〜33iと、複数の入出力端子33a〜33iのうち互いに隣接する入出力端子間のそれぞれに配置された溶断部43a〜43hとを備える。第4の端子群34は、複数の入出力端子34a〜34iと、複数の入出力端子34a〜34iのうち互いに隣接する入出力端子間のそれぞれに配置された溶断部44a〜44hとを備える。ここで、入出力端子31eは、半導体チップ1上に配線されるループ状の電気配線25によって、入出力端子32e、入出力端子33e、及び入出力端子34eに接続される。
【0026】
第3の実施の形態に係る入力保護回路の動作を、図7を参照しながら説明する。溶断部41a〜41h,42a〜42h,43a〜43h,44a〜44hの溶断前において、ESDが入出力端子31aと入出力端子32iとの間に印加されるとする。すなわち、入出力端子31aから入力されたESDは、電流経路35を経て入出力端子32iから出力されるので、入出力端子に接続された半導体集積回路内部のゲート酸化膜破壊は発生しない。尚、ESDにより発生する電流は微弱であるので、溶断部41a〜41d,42e〜42hは溶断されない。
【0027】
半導体集積回路を回路基板に実装後、半導体チップ1上に互いに隣接するように配置された複数の入出力端子31a〜31i,32a〜32i,33a〜33i,34a〜34iのうち互いに隣接する入出力端子間に溶断設定電流を流し溶断部41a〜41h,42a〜42h,43a〜43h,44a〜44hを溶断し、複数の入出力端子31a〜31i,32a〜32i,33a〜33i,34a〜34iをそれぞれ電気的に分離させる。溶断部41a〜41h,42a〜42h,43a〜43h,44a〜44hの溶断条件は、ヒューズとして用いられる金属配線の材質と断面積によって定められる。
【0028】
図6に示した入力保護回路の電気配線25は、半導体チップ1上に配置されたループ状配線で示しているが、複数の端子群31〜34がそれぞれ接続されていればループ状でなくてもよい。また、図8に示すように、電気配線25以外に、複数の端子群31〜34をそれぞれ接続する電気配線26を更に備えても良い。電気配線の数を複数にすることにより、ESDが印加された場合の安全性が向上する。
【0029】
第3の実施の形態に係る入力保護回路によれば、実装以前の工程において、ESDによるゲート酸化膜破壊を抑制することができる。また、実装後、溶断部を溶断することにより、複数の入出力端子31a〜31i,32a〜32i,33a〜33i,34a〜34iに容量成分を有する素子が接続されていないので、入出力端子31a〜31i,32a〜32i,33a〜33i,34a〜34iから入出力される入出力信号の信号レベルの減衰や伝搬遅延を生じることなく、小型化が可能となる。
【0030】
(第4の実施の形態)
本発明の第4の実施の形態に係る入力保護回路は、図9に示すように、図1で示した入力保護回路の溶断部5に用いられるヒューズF1に並列に、更にアンチヒューズAFと再溶断用ヒューズF2からなる直列回路を備える。第1から第3の実施形態で示した入力保護回路では、内部回路2に電圧が印加されない構造となっているので、入力保護回路の溶断部5の溶断前は、内部回路2に電圧や信号が印加出来ない。チップの状態での特性評価が出来ないので、第1から第3の実施形態で示した入力保護回路は、ヒューズF1を形成する前にウエハダイソートで内部回路2の動作を評価していた。これに対し、第4の実施形態に係る入力保護回路は、出荷前にチップの状態で、特性評価を行うことができる。
【0031】
本発明の第4の実施の形態に係る入力保護回路の溶断部5の溶断前の動作を、図9を参照しながら説明する。ウエハ上に形成されるチップの状態である内部回路2は、ヒューズF1によって保護されている。
【0032】
溶断部5の溶断前において、ESDが第1の入出力端子3と第2の入出力端子4との間に印加される。すなわち、ESDは、第1の入出力端子3を介してヒューズF1に印加されるので、入出力端子に接続された半導体集積回路内部のゲート酸化膜破壊は発生しない。尚、ESDにより発生する電流は微弱であるので、ヒューズF1は溶断されない。
【0033】
内部回路2の動作を確認するため、半導体集積回路をテストボードに装着後、半導体集積回路の第1の入出力端子3と第2の入出力端子4との間に溶断設定電流を流しヒューズF1を溶断し、第1の入出力端子3と第2の入出力端子4を電気的に分離させ、一旦保護状態を解除する。ヒューズF1の溶断条件は、金属配線の材質と断面積によって定められる。半導体集積回路上に搭載される内部回路2は、製品出荷前に確認すべき仕様の通り動作するか評価される。評価終了後に、アンチヒューズAFは、導通設定電圧が印加され、電気的に導通するようになる。アンチヒューズAFが導通すると、第1の入出力端子3及び第2の入力端子4がヒューズF2によって接続され、保護状態に戻る。アンチヒューズAFが導通後、チップの状態である半導体集積回路は、評価ボードから取り外される。
【0034】
評価ボードから取り外された半導体集積回路は、出荷後回路基板に実装される。回路基板に実装された半導体集積回路の再溶断用ヒューズF2は、第1の入出力端子3と第2の入出力端子4との間に溶断設定電流を流すと溶断される。
【0035】
第4の実施の形態に係る入力保護回路によれば、実装以前の工程において、ESDによるゲート酸化膜破壊を抑制することができる。また、実装後、溶断部を溶断することにより、第1の入出力端子3、第2の入出力端子4に容量成分を有する素子が接続されていないので、第1の入出力端子3、第2の入出力端子4から入出力される入出力信号の信号レベルの減衰や伝搬遅延を生じることなく、小型化が可能となる。更に、アンチヒューズAFに電圧を印加し再度入出力端子間をヒューズF2で接続し保護することにより、内部回路2の動作評価後も内部回路2を再び保護することができる。
【0036】
(その他の実施の形態)
上記のように、本発明は第1〜第4の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【0037】
既に述べた第2及び第3の実施の形態の説明においては、それぞれの入出力端子はヒューズで接続されると説明しているが、第4の実施の形態で示すようなアンチヒューズAFを含む溶断部5を用いることが可能である。
【0038】
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【0039】
【発明の効果】
本発明によれば、実装以前の工程において、ESDによるゲート酸化膜破壊を抑制することができる。また、実装後、溶断部を溶断することにより、入出力信号の信号レベルの減衰や伝搬遅延を生じることなく、小型化が可能な入力保護回路を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る入力保護回路を説明する図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態に係る入力保護回路の溶断部を説明する図である。
【図3】本発明の第1の実施の形態に係る入力保護回路の内部回路を説明する図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態に係る入力保護回路を説明する図である。
【図5】本発明の第2の実施の形態に係る入力保護回路にESDが印加された場合の電流経路を説明する図である。
【図6】本発明の第3の実施の形態に係る入力保護回路を説明する図である。
【図7】本発明の第3の実施の形態に係る入力保護回路にESDが印加された場合の電流経路を説明する図である。
【図8】本発明の第3の実施の形態に係る入力保護回路を説明する図である。
【図9】本発明の第4の実施の形態に係る入力保護回路を説明する図である。
【符号の説明】
1…半導体チップ
2…内部回路
3…第1の入出力端子
4…第2の入出力端子
5…溶断部
11a〜11i,12a〜12i,13a〜13i,14a〜14i…入出力端子
15…電流経路
21a〜21i,22a〜22i,23a〜23i,24a〜24i…溶断部
25…電気配線
26…電気配線
31a〜31i,32a〜32i,33a〜33i,34a〜34i…入出力
31〜34…第1〜第4の端子群
35…電流経路
41a〜41h,42a〜42h,43a〜43h,44a〜44h…溶断部
AF…アンチヒューズ
F1…ヒューズ
F2…再溶断用ヒューズ
Claims (13)
- 半導体チップと、
前記半導体チップ上に配置された内部回路と、
前記半導体チップ上に配置され、前記内部回路に接続された第1の入出力端子と、
前記半導体チップ上に配置され、前記内部回路に接続され、且つ、前記第1の入出力端子に隣接する位置に配置された第2の入出力端子と、
前記半導体チップ上に配置され、一端が前記第1の入出力端子に接続され、他端が前記第2の入出力端子に接続された溶断部
とを備えることを特徴とする入力保護回路。 - 前記溶断部は、前記第1の入出力端子と前記第2の入出力端子間に溶断設定電流を流すと溶断されることを特徴とする請求項1に記載の入力保護回路。
- 前記溶断部は、前記第1の入出力端子と前記第2の入出力端子との間に接続されたヒューズを備えることを特徴とする請求項1に記載の入力保護回路。
- 前記溶断部は、前記ヒューズと並列に、前記第1の入出力端子と前記第2の入出力端子間に直列に接続されたアンチヒューズ及び再溶断用ヒューズとを更に備えることを特徴とする請求項3に記載の入力保護回路。
- 前記アンチヒューズは、導通設定電圧が印加されると導通するようになることを特徴とする請求項4に記載の入力保護回路。
- 前記再溶断用ヒューズは、前記アンチヒューズの導通後に、更に前記第1の入出力端子と前記第2の入出力端子間に溶断設定電流を流すと溶断されることを特徴とする請求項5に記載の入力保護回路。
- 半導体チップと、
前記半導体チップ上に配置された内部回路と、
前記半導体チップ上に配置され、前記内部回路に接続された複数の入出力端子と、
前記半導体チップ上に配置され、前記複数の入出力端子のうち互いに隣接する入出力端子間に配置され、一端及び他端が前記隣接する入出力端子のそれぞれに接続された複数の溶断部
とを備えることを特徴とする入力保護回路。 - 半導体チップと、
前記半導体チップ上に配置された内部回路と、
前記半導体チップ上に配置され、前記内部回路に接続された複数の入出力端子を有する複数の端子群と、
前記半導体チップ上に配置され、前記複数の端子群を互いに接続する電気配線と、
前記半導体チップ上に配置され、前記複数の入出力端子のうち互いに隣接する入出力端子間のそれぞれに配置され、一端及び他端が前記隣接する入出力端子のそれぞれに接続された複数の溶断部
とを備えることを特徴とする入力保護回路。 - 前記複数の溶断部は、前記複数の入出力端子のうち互いに隣接する入出力端子間のそれぞれに溶断設定電流を流すと溶断されることを特徴とする請求項7または8に記載の入力保護回路。
- 前記溶断部は、前記複数の入出力端子のうち互いに隣接する入出力端子間のそれぞれの間に接続されたヒューズを備えることを特徴とする請求項7または8に記載の入力保護回路。
- 前記溶断部は、前記ヒューズと並列に、前記複数の入出力端子のうち互いに隣接する入出力端子間のそれぞれに直列に接続されたアンチヒューズ及び再溶断用ヒューズとを更に備えることを特徴とする請求項10に記載の入力保護回路。
- 前記アンチヒューズは、前記複数の入出力端子のうち互いに隣接する入出力端子間のそれぞれの間に導通設定電圧が印加されると導通するようになることを特徴とする請求項11に記載の入力保護回路。
- 前記再溶断用ヒューズは、前記アンチヒューズの導通後に、更に前記複数の入出力端子のうち互いに隣接する入出力端子間のそれぞれの間に溶断設定電流を流すと溶断されることを特徴とする請求項12に記載の入力保護回路。
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