JP3728959B2 - 気体溶解水の製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体溶解モジュールに関する。さらに詳しくは、本発明は、水室に被処理水を、気体室に被処理水に溶解させる気体を供給する気体溶解モジュールにおいて、手動操作によるメンテナンスを必要とすることなく、長期間にわたって安定した濃度の気体溶解水を製造することができる気体溶解モジュールに関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子材料のウェット洗浄工程では、従来は、濃度が数％の濃厚な高純度薬液を用いるＲＣＡ洗浄などが行われていた。これに対して、本発明者らは、特定の気体を超純水に溶解した、薬品をほとんど使用しない優れた洗浄効果を有する機能性洗浄水を開発した。この機能性洗浄水は、省資源性と環境保全性が高く評価され、高濃度薬液に代わって使用されるようになった。
機能性洗浄水に用いられる気体としては、水素ガス、酸素ガス、オゾン、希ガス、炭酸ガスなどがある。これらの特定の気体を効率よく水に溶解するために、気体のみを透過させる性質を有する気体透過膜を内蔵した気体溶解モジュールが活用されている。気体溶解モジュールを用いると、気泡を含まない特定の気体溶解水を容易に製造することができる。
水などの液体を通さないことが気体透過膜の特性であるが、水蒸気は気体透過膜を透過する。このために、気体透過膜を介して水室から気体室への水蒸気の透過が起こる。気体溶解モジュールを取りまく気温の変化や、気体溶解モジュールに流入する水温の変化があると、気体室に移動した水蒸気がそこで結露を起こし、凝縮水として溜まる。凝縮水が少量であれば、気体溶解モジュールの性能に及ぼす影響は軽微であるが、凝縮水の量が増すと、気体室の底部から次第に上方へ溜まっていき、気体の溶解に寄与する気体透過膜の有効面積が減少し、気体溶解モジュールの性能が低下して、機能性洗浄水中に含まれる気体濃度が減少する。
気体透過膜を用いる装置として、気体溶解モジュールのほかに、水中の溶存気体を除去する脱気モジュールが知られている。脱気モジュールでは、気体透過膜を通して水中に溶解している気体が減圧に保たれた気体室側に移行するとともに、気体透過膜を通してかなりの量の水蒸気も移行する。このため、気体室に移行した水蒸気の除去は必須であり、適当な除去手段が講じられている。しかし、気体溶解モジュールの場合は、気体室に溶解すべき気体を送り込み、気体成分を膜を通して水室へ移行させるのであり、通常、膜を通して逆方向への気体の移行はほとんど考慮されず、凝縮水の対策は検討されていなかった。
気体室に凝縮水が溜まった場合は、従来は気体溶解モジュールの運転を中断し、溜まった凝縮水を排出する作業を行う必要があった。気体室における凝縮水の発生を防ぐためには、結露を起こさないように、気体室を常時温める方法も考えられるが、これはエネルギー的に不利な方法であり、製造される気体溶解水の温度にも影響を与え、さらに水温が上昇すると一般に気体の溶解度は低下するので好ましくない。このために、長期間にわたって自動運転することができ、安定して一定濃度の気体を溶解した機能性洗浄水を製造することができる気体溶解モジュールが求められていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、水室に被処理水を、気体室に被処理水に溶解させる気体を供給する気体溶解モジュールにおいて、手動操作によるメンテナンスを必要とすることなく、長期間にわたって安定した濃度の気体溶解水を製造することができる気体溶解モジュールを提供することを目的としてなされたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、気体透過膜を備えた気体溶解モジュールに、気体室に連通する凝縮水排出装置を設けることにより、気体室に溜まる水を排出して、長期間にわたって安定した濃度の気体溶解水を製造することが可能となることを見いだし、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、
（１）気体透過膜によって水室と気体室とに区画し、水室に被処理水を、気体室に被処理水に溶解させる気体を供給する気体溶解モジュールであって、該気体室の水相に連通する凝縮水排出装置を有し、該凝縮水排出装置には液面計及び凝縮水排出自動弁を備えた気体溶解モジュールによる気体溶解水の製造方法において、被処理水及び気体を気体溶解モジュールに連続的に供給しながら、前記凝縮水排出自動弁を閉の状態にして、気体室において発生した凝縮水を凝縮水排出装置に流れ込ませ、凝縮水排出装置へ流れ込んだ凝縮水の液面を液面計で検知して、液面が所定の位置に達すると、凝縮水の溜まりを検知する装置から信号を送って、凝縮水排出自動弁を開き、溜まった凝縮水を減圧によって吸引することにより系外に排出し、凝縮水の排出に続いて気体が排出されることのないように、凝縮水が所定量まで排出されたとき凝縮水排出自動弁を閉に戻す機構によって、凝縮水排出自動弁の開閉を自動的に反復させることを特徴とする気体溶解水の製造方法、及び、
（２）減圧による凝縮水の吸引を、水封式ポンプ又は凝縮水排出機能を具備した真空ポンプラインにより行う第(１)項記載の気体溶解水の製造方法、
を提供するものである。
さらに、本発明の好ましい態様として、
（３）溶解させる気体が、水素ガス、酸素ガス、オゾン、希ガス若しくは炭酸ガス、これらの気体の混合気体、又は、これらの気体と他の気体との混合気体である第(１)項記載の気体溶解水の製造方法、
を挙げることができる。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の気体溶解モジュールは、気体透過膜によって水室と気体室とに区画し、水室に被処理水を、気体室に被処理水に溶解させる気体を供給する気体溶解モジュールにおいて、気体室に連通する凝縮水排出装置を有するものである。本発明の気体溶解モジュールを用いて溶解する気体に特に制限はなく、例えば、水素ガス、酸素ガス、オゾン、希ガス、炭酸ガスなどや、これらの気体の混合気体、これらの気体と他の気体との混合気体などを挙げることができる。本発明の気体溶解モジュールは、超純水にこれらの気体を溶解した電子材料用洗浄水の製造に好適に使用することができる。
本発明の気体溶解モジュールにおいて、凝縮水の溜まりを検知する装置に特に制限はなく、例えば、溜まった凝縮水の重量を測定する装置、溜まった凝縮水の液面を検知する液面計などを挙げることができる。これらの中で、液面計は構造が簡単で正確に検知することができるので、好適に使用することができる。使用する液面計の液面検知機構に特に制限はなく、例えば、光、超音波、静電容量などを利用する液面計を挙げることができる。
本発明の気体溶解モジュールは、所定量の凝縮水の溜まりを検知する装置から送られる信号により作動する凝縮水排出自動弁により、凝縮水を排出する機構とすることができる。凝縮水のドレンラインに、通常閉の凝縮水排出自動弁を設け、検知装置からの信号を受けて凝縮水排出自動弁を開くことにより、凝縮水を排出することができる。
【０００６】
図１は、本発明の気体溶解モジュールの一態様の説明図である。本態様の気体溶解モジュールは、気体透過膜１により水室２と気体室３に区画され、被処理水がモジュール下部の入口室４から水室に送られ、水室を流れる間に気体透過膜を介して気体を溶解して気体溶解水となり、出口室５を経由して排出される。本態様のモジュールにおいては、凝縮水貯留槽６と気体室３の下部が、水相連通自動弁７を有する配管で連通され、凝縮水貯留槽には、所定量の凝縮水の溜まりを検知する装置として、液面計８が設けられている。また、凝縮水貯留槽の上部には大気開放自動弁９が設けられ、凝縮水貯留槽の下部には、凝縮水を系外に排出する装置として、凝縮水排出自動弁１０が設けられている。
本態様の気体溶解モジュールにおいて、水相連通自動弁７を開の状態として被処理水への気体の溶解を行い、気体室において凝縮水が発生すると、凝縮水は水相連通自動弁を経由して凝縮水貯留槽６に流れ込み、気体室中の凝縮水の水面と凝縮水貯留槽中の凝縮水の水面は同一平面となる。したがって、凝縮水貯留槽中の凝縮水の水位から凝縮水の溜まりを検知することができる。所定量の凝縮水の溜まりを液面計を用いて検知し、水相連通自動弁７に信号を送って開→閉と作動させ、気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断すると同時に、又は、遮断したのちに、大気開放自動弁９及び凝縮水排出自動弁１０に信号を送って閉→開と作動させ、凝縮水貯留槽中の凝縮水を自重でドレンラインに排出させる。凝縮水貯留槽中の凝縮水の排出を終わったとき、大気開放自動弁及び凝縮水排出自動弁は開→閉と作動させ、水相連通自動弁は閉→開と作動させて、気体室において発生する凝縮水の貯留を再開する。
本態様の気体溶解モジュールにおいては、液面計から信号を送って、水相連通自動弁を作動させ、気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断し、次いで大気開放自動弁を作動させ、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることが好ましい。気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断し、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることにより、凝縮水貯留槽に溜まった凝縮水の排出がスムーズに進行するのみならず、気体室の内圧が大気圧より高い場合の被処理水に溶解させる気体の不用意な排出と、気体室の内圧が大気圧より低い場合の気体又は液体の逆流を確実に防止することができる。
【０００７】
図２は、本発明の気体溶解モジュールの他の態様の説明図である。本態様の気体溶解モジュールは、図１に示す態様の気体溶解モジュールの液面計８により検知する凝縮水排出基準面より上方に、気体室と凝縮水貯留槽を連通する気相連通自動弁１１を設けてなるものである。所定量の凝縮水の溜まりを液面計を用いて検知し、水相連通自動弁７と気相連通自動弁１１に信号を送って開→閉と作動させ、気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断すると同時に、又は、遮断したのちに、大気開放自動弁９及び凝縮水排出自動弁１０に信号を送って閉→開と作動させ、凝縮水貯留槽中の凝縮水を自重でドレンラインに排出させる。凝縮水貯留槽中の凝縮水の排出を終わったとき、大気開放自動弁及び凝縮水排出自動弁は開→閉と作動させ、水相連通自動弁と気相連通自動弁は閉→開と作動させて、気体室において発生する凝縮水の貯留を再開する。
本態様の気体溶解モジュールは、気体室と凝縮水貯留槽上部の気相を連通することができるので、気体室が減圧状態又は加圧状態に保たれている場合でも、気体室から凝縮水貯留槽へ凝縮水をスムーズに流入させることができる。本態様の気体溶解モジュールにおいては、液面計から信号を送って、水相連通自動弁と気相連通自動弁を作動させ、気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断し、次いで大気開放自動弁を作動させ、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることが好ましい。気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断し、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることにより、凝縮水貯留槽に溜まった凝縮水の排出がスムーズに進行するのみならず、気体室の内圧が大気圧より高い場合の被処理水に溶解させる気体の不用意な排出と、気体室の内圧が大気圧より低い場合の気体又は液体の逆流を確実に防止することができる。
【０００８】
図３及び図４は、本発明の気体溶解モジュールの他の態様の説明図である。本態様の気体溶解モジュールは、気体透過膜１により水室２と気体室３に区画され、被処理水がモジュール下部の入口室４から水室に送られ、水室を流れる間に気体透過膜を介して気体を溶解して気体溶解水となり、出口室５を経由して排出される。本態様のモジュールにおいては、凝縮水貯留槽６と気体室３の下部が、三方自動弁１２を有する配管で連通され、凝縮水貯留槽には、所定量の凝縮水の溜まりを検知する装置として液面計８が設けられ、さらに、所定量の凝縮水の排出を検出する装置として液面計１３が設けられている。また、凝縮水貯留槽の下部には、凝縮水を系外に排出する装置として、凝縮水排出自動弁１０が設けられている。
本態様の気体溶解モジュールにおいて、三方自動弁１２を気体室３と凝縮水貯留槽６が連通する図３に示す状態として被処理水への気体の溶解を行い、気体室において凝縮水が発生すると、凝縮水は三方自動弁を経由して凝縮水貯留槽に流れ込む。凝縮水貯留槽中の凝縮水の水位から、液面計により所定量の凝縮水の溜まりを検知し、三方自動弁に信号を送って図３に示す気体室と凝縮水貯留槽を連通する状態から、図４に示す凝縮水貯留槽を大気開放の状態にするように作動させると同時に、又は、作動させたのちに、凝縮水排出自動弁１０に信号を送って閉→開と作動させ、凝縮水貯留槽中の凝縮水を自重でドレンラインに排出させる。凝縮水貯留槽中の凝縮水の水面が所定の位置まで低下したことを液面計１３により検知し、凝縮水排出自動弁及び三方自動弁に信号を送って、凝縮水排出自動弁は開→閉と作動させ、三方自動弁は図３に示す気体室と凝縮水貯留槽を連通する状態に作動させて、気体室において発生する凝縮水の貯留を再開する。
本態様の気体溶解モジュールにおいては、液面計から信号を送って、三方自動弁を作動させ、気体室と凝縮水貯留槽の連通の遮断と、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることが好ましい。気体室と凝縮水貯留槽の連通の遮断と、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることにより、凝縮水貯留槽に溜まった凝縮水の排出がスムーズに進行するのみならず、気体室の内圧が大気圧より高い場合の被処理水に溶解させる気体の不用意な排出と、気体室の内圧が大気圧より低い場合の気体又は液体の逆流を確実に防止することができる。
【０００９】
図５は、本発明の気体溶解モジュールの他の態様の説明図である。本態様の気体溶解モジュールは、図３及び図４に示す態様の気体溶解モジュールの三方自動弁１２に代えて、大気開放自動弁９及び水面連通自動弁１４を設けてなるものである。本態様の気体溶解モジュールにおいて、大気開放自動弁９と凝縮水排出自動弁１０を閉の状態とし、水面連通自動弁１４を開の状態として被処理水への気体の溶解を行い、気体室において凝縮水が発生すると、凝縮水は水面連通自動弁を経由して凝縮水貯留槽に流入する。凝縮水貯留槽中の凝縮水の水位から、液面計により所定量の凝縮水の溜まりを検知し、水面連通自動弁に信号を送って開→閉と作動させ、気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断すると同時に、又は、遮断したのちに、大気開放自動弁及び凝縮水排出自動弁に信号を送って閉→開と作動させ、凝縮水貯留槽中の凝縮水を自重でドレンラインに排出させる。凝縮水貯留槽中の凝縮水の水面が所定の位置まで低下したことを液面計１３により検知し、凝縮水排出自動弁、大気開放自動弁及び水面連通自動弁に信号を送って、凝縮水排出自動弁及び大気開放自動弁は開→閉と作動させ、水面連通自動弁は閉→開と作動させて、気体室において発生する凝縮水の貯留を再開する。
本態様の気体溶解モジュールにおいては、液面計から信号を送って、水面連通自動弁を作動させ、気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断し、次いで大気開放自動弁を作動させ、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることが好ましい。気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断し、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることにより、凝縮水貯留槽に溜まった凝縮水の排出がスムーズに進行するのみならず、気体室の内圧が大気圧より高い場合の被処理水に溶解させる気体の不用意な排出と、気体室の内圧が大気圧より低い場合の気体の逆流を確実に防止することができる。
【００１０】
本発明の気体溶解モジュールにおいては、所定量の凝縮水の溜まりが検知されたとき、凝縮水の溜まりを検知する装置から信号を送って、気体室の内圧を高め、凝縮水排出自動弁を開き、気体室の内圧により溜まった凝縮水を系外に排出することができる。気体室の内圧を高める方法に特に制限はなく、例えば、気体室の内圧が常に大気圧以上である運転の場合は、単に凝縮水排出自動弁の作動のみにより凝縮水を排出することができ、気体室の内圧が大気圧未満である場合には、一時的な気体供給量の増加又は不活性気体の供給により気体室の内圧を高めることができる。一時的な気体供給量の増加や不活性気体の供給は、気体供給系に設けた自動弁の作動などにより容易に行うことができる。例えば、通常は定流量弁やマスフローコントローラーなどを用いて一定流量の気体を供給し、一時的に流量を増加させるときには、これらの流量コントロール部のバイパスラインの自動弁を閉→開と作動させるような装置などを挙げることができる。被処理水に溶解させる気体が不燃性であり、毒性を有しない場合には、気体室の内圧を上昇させる装置を好適に用いることができる。また、一時的な気体供給量の増加により、製造される気体溶解水の気体濃度も一時的に上昇するが、多少の気体濃度の変動が許容される場合には、気体室の内圧を上昇させる装置を好適に用いることができる。凝縮水の排出に続いて気体まで排出されることのないように、凝縮水が所定量まで排出されたとき、凝縮水排出自動弁を閉に戻す機構を備えることが好ましい。
【００１１】
本発明の気体溶解モジュールにおいては、所定量の凝縮水の溜まりが検知されたとき、凝縮水の溜まりを検知する装置から信号を送って凝縮水排出自動弁を開き、溜まった凝縮水を減圧によって吸引することにより系外に排出することができる。減圧により凝縮水を吸引する装置に特に制限はなく、例えば、水封式ポンプ、凝縮水排出機能を具備した真空ポンプの吸引ラインなどを挙げることができる。気体室の圧力より低圧に保たれた吸引ラインにドレンラインを接続することにより、大気開放自動弁又は大気開放自動弁と水相連通自動弁の双方を設けることなく、凝縮水を排出することができる。水相連通自動弁を設けない場合には、凝縮水の排出に続いて被処理水に溶解させる気体まで排出されることのないように、凝縮水が所定量まで排出されたとき、凝縮水排出自動弁を閉に戻す機構を備えることが好ましい。
本発明の気体溶解モジュールを使用して気体溶解水を製造するとき、気体を溶解させる被処理水は、あらかじめ脱気して飽和度を低下させ、水中の気体溶解キャパシティに空きを作ることが好ましい。脱気して飽和度を低下させ、気体溶解キャパシティに空きを作ることにより、雰囲気と平衡状態にある水の溶存気体を置換しつつ目的とする気体を溶解させる場合に比べて、迅速に目的とする気体を溶解させて、気体溶解水を製造することができる。
本発明の気体溶解モジュールによれば、気体室に溜まる凝縮水を自動的に排出し、気体透過膜の有効面積を一定に保つことができるので、人手に頼るメンテナンスを行うことなく、長期間にわたって一定濃度の特定の気体を溶解した気体溶解水を安定して製造することができる。
【００１２】
【実施例】
以下に、実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものではない。
実施例１
ポリ(４−メチルペンテン−１)膜を備えた脱気モジュールの気体室を、水封式真空ポンプを用いて２０Torrに保ち、超純水を毎時１ｍ3で供給して脱気を行った。次いで、脱気した超純水を、図２に示す構造の凝縮水貯留槽を接続し、ポリプロピレン膜を備えた気体溶解モジュールの水室に送り、気体室に毎時１.２ｇ（２２４Ｎml／分）の水素ガスを供給して、水素ガス溶解水を１カ月間連続して製造した。
凝縮水貯留槽中の凝縮水の量が５０mlに達したとき、液面計より信号を送って、水相連通自動弁と気相連通自動弁を閉じ、大気開放自動弁と凝縮水排出自動弁を開いて、凝縮水を排出し、次いで、凝縮水排出自動弁と大気開放自動弁を閉じ、水相連通自動弁と気相連通自動弁を開いて、ふたたび凝縮水の貯留を開始するように設定した。
１カ月間の運転期間中を通じて、気体室の圧力は０.９×１０5Paであり、水素ガス濃度１.２mg／リットルの水素ガス溶解水を、毎時１ｍ3製造することができた。凝縮水貯留槽からの凝縮水の排出は、ほぼ３０〜１２０分に１回の頻度で自動的に行われた。
実施例２
気体溶解モジュールの気体室に、図３に示す構造の凝縮水貯留槽を接続し、三方自動弁を図３に示す状態に保ったまま、気体室の加圧により凝縮水を排出した以外は、実施例１と同様にして、水素ガス溶解水の製造を行った。
凝縮水貯留槽内の凝縮水の量が７０mlに達したとき、高水位側の液面計より信号を送って、水素ガスの供給量を９００Ｎml／分に増加して気体室の内圧を高め、凝縮水排出自動弁を開いて凝縮水を排出し、凝縮水５０mlが排出されたとき、低水位側の液面計から信号を送って、凝縮水排出自動弁を閉じ、水素ガスの供給量を２２４Ｎml／分に戻すように設定した。
１カ月間の運転期間中を通じ、凝縮水の排出時を除いて、気体室の圧力は０.９×１０5Paであり、水素ガス濃度１.２mg／リットルの水素ガス溶解水を、毎時１ｍ3製造することができた。ただし、凝縮水排出後の約３分間は、水素ガス溶解水の水素ガス濃度は最高１.４mg／リットルまで上昇した。凝縮水貯留槽からの凝縮水の排出は、ほぼ３０〜１２０分に１回の頻度で自動的に行われた。
実施例３
気体溶解モジュールの気体室に、図３に示す構造の凝縮水貯留槽を接続し、三方自動弁を図３に示す状態に保ったまま、ドレンラインの減圧により凝縮水を排出した以外は、実施例１と同様にして、水素ガス溶解水の製造を行った。
凝縮水貯留槽内の凝縮水の量が７０mlに達したとき、高水位側の液面計より信号を送り、脱気モジュールの減圧に用いている水封式真空ポンプを利用して、凝縮水排出ラインに減圧をかけ、凝縮水排出自動弁を開いて凝縮水を排出し、凝縮水５０mlが排出されたとき、低水位側の液面計から信号を送って、凝縮水排出自動弁を閉じるとともに、凝縮水排出ラインを大気圧に開放した。
１カ月間の運転期間中を通じて、気体室の圧力は０.９×１０5Paであり、水素ガス濃度１.２mg／リットルの水素ガス溶解水を、毎時１ｍ3製造することができた。凝縮水貯留槽からの凝縮水の排出は、ほぼ３０〜１２０分に１回の頻度で自動的に行われた。
比較例１
凝縮水貯留槽を接続して凝縮水を排出することを行わなかった以外は、実施例１と同様にして、１カ月間連続して水素ガス溶解水の製造を行った。
運転開始４日目までは、水素ガス濃度１.２mg／リットルの水素ガス溶解水を毎時１ｍ3製造することができた。しかし、運転開始５日後からは、超純水の供給量を毎時１ｍ3、気体室の圧力を０.９×１０5Paに保つと、気体室に供給し得る水素ガスの量が徐々に減少するとともに、水素ガス溶解水の水素ガス濃度が徐々に低下してきた。運転開始１カ月後には、水素ガスの供給量は１６８Ｎml／分となり、水素ガス溶解水の水素ガス濃度は０.９mg／リットルまで低下した。運転を停止して、気体溶解モジュールを開くと、気体室の下部約４分の１まで凝縮水が溜まっていた。
実施例１〜３の結果から、気体室に連通する凝縮水排出装置を有する本発明の気体溶解モジュールを用いると、自動的に凝縮水の排出が行われ、長期間にわたって人手に頼るメンテナンスを行うことなく、一定濃度の水素ガス溶解水を安定して製造し得ることが分かる。これに対して、凝縮水排出装置を有しない気体溶解モジュールを用いた比較例１においては、水素ガス溶解水の水素ガス濃度は、１カ月で初期の濃度の４分の３にまで低下してしまう。
【００１３】
【発明の効果】
本発明の凝縮水排出装置を有する気体溶解モジュールを用いることにより、特定の気体を溶解した一定濃度の気体溶解水を、手動操作によるメンテナンスを行うことなく、長期間にわたって安定して製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の気体溶解モジュールの一態様の説明図である。
【図２】図２は、本発明の気体溶解モジュールの他の態様の説明図である。
【図３】図３は、本発明の気体溶解モジュールの他の態様の説明図である。
【図４】図４は、図３に示す気体溶解モジュールの自動弁を作動させた状態を示す説明図である。
【図５】図５は、本発明の気体溶解モジュールの他の態様の説明図である。
【符号の説明】
１ 気体透過膜
２ 水室
３ 気体室
４ 入口室
５ 出口室
６ 凝縮水貯留槽
７ 水相連通自動弁
８ 液面計
９ 大気開放自動弁
１０ 凝縮水排出自動弁
１１ 気相連通自動弁
１２ 三方自動弁
１３ 液面計
１４ 水面連通自動弁
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体溶解モジュールに関する。さらに詳しくは、本発明は、水室に被処理水を、気体室に被処理水に溶解させる気体を供給する気体溶解モジュールにおいて、手動操作によるメンテナンスを必要とすることなく、長期間にわたって安定した濃度の気体溶解水を製造することができる気体溶解モジュールに関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子材料のウェット洗浄工程では、従来は、濃度が数％の濃厚な高純度薬液を用いるＲＣＡ洗浄などが行われていた。これに対して、本発明者らは、特定の気体を超純水に溶解した、薬品をほとんど使用しない優れた洗浄効果を有する機能性洗浄水を開発した。この機能性洗浄水は、省資源性と環境保全性が高く評価され、高濃度薬液に代わって使用されるようになった。
機能性洗浄水に用いられる気体としては、水素ガス、酸素ガス、オゾン、希ガス、炭酸ガスなどがある。これらの特定の気体を効率よく水に溶解するために、気体のみを透過させる性質を有する気体透過膜を内蔵した気体溶解モジュールが活用されている。気体溶解モジュールを用いると、気泡を含まない特定の気体溶解水を容易に製造することができる。
水などの液体を通さないことが気体透過膜の特性であるが、水蒸気は気体透過膜を透過する。このために、気体透過膜を介して水室から気体室への水蒸気の透過が起こる。気体溶解モジュールを取りまく気温の変化や、気体溶解モジュールに流入する水温の変化があると、気体室に移動した水蒸気がそこで結露を起こし、凝縮水として溜まる。凝縮水が少量であれば、気体溶解モジュールの性能に及ぼす影響は軽微であるが、凝縮水の量が増すと、気体室の底部から次第に上方へ溜まっていき、気体の溶解に寄与する気体透過膜の有効面積が減少し、気体溶解モジュールの性能が低下して、機能性洗浄水中に含まれる気体濃度が減少する。
気体透過膜を用いる装置として、気体溶解モジュールのほかに、水中の溶存気体を除去する脱気モジュールが知られている。脱気モジュールでは、気体透過膜を通して水中に溶解している気体が減圧に保たれた気体室側に移行するとともに、気体透過膜を通してかなりの量の水蒸気も移行する。このため、気体室に移行した水蒸気の除去は必須であり、適当な除去手段が講じられている。しかし、気体溶解モジュールの場合は、気体室に溶解すべき気体を送り込み、気体成分を膜を通して水室へ移行させるのであり、通常、膜を通して逆方向への気体の移行はほとんど考慮されず、凝縮水の対策は検討されていなかった。
気体室に凝縮水が溜まった場合は、従来は気体溶解モジュールの運転を中断し、溜まった凝縮水を排出する作業を行う必要があった。気体室における凝縮水の発生を防ぐためには、結露を起こさないように、気体室を常時温める方法も考えられるが、これはエネルギー的に不利な方法であり、製造される気体溶解水の温度にも影響を与え、さらに水温が上昇すると一般に気体の溶解度は低下するので好ましくない。このために、長期間にわたって自動運転することができ、安定して一定濃度の気体を溶解した機能性洗浄水を製造することができる気体溶解モジュールが求められていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、水室に被処理水を、気体室に被処理水に溶解させる気体を供給する気体溶解モジュールにおいて、手動操作によるメンテナンスを必要とすることなく、長期間にわたって安定した濃度の気体溶解水を製造することができる気体溶解モジュールを提供することを目的としてなされたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、気体透過膜を備えた気体溶解モジュールに、気体室に連通する凝縮水排出装置を設けることにより、気体室に溜まる水を排出して、長期間にわたって安定した濃度の気体溶解水を製造することが可能となることを見いだし、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、
（１）気体透過膜によって水室と気体室とに区画し、水室に被処理水を、気体室に被処理水に溶解させる気体を供給する気体溶解モジュールであって、該気体室の水相に連通する凝縮水排出装置を有し、該凝縮水排出装置には液面計及び凝縮水排出自動弁を備えた気体溶解モジュールによる気体溶解水の製造方法において、被処理水及び気体を気体溶解モジュールに連続的に供給しながら、前記凝縮水排出自動弁を閉の状態にして、気体室において発生した凝縮水を凝縮水排出装置に流れ込ませ、凝縮水排出装置へ流れ込んだ凝縮水の液面を液面計で検知して、液面が所定の位置に達すると、凝縮水の溜まりを検知する装置から信号を送って、凝縮水排出自動弁を開き、溜まった凝縮水を減圧によって吸引することにより系外に排出し、凝縮水の排出に続いて気体が排出されることのないように、凝縮水が所定量まで排出されたとき凝縮水排出自動弁を閉に戻す機構によって、凝縮水排出自動弁の開閉を自動的に反復させることを特徴とする気体溶解水の製造方法、及び、
（２）減圧による凝縮水の吸引を、水封式ポンプ又は凝縮水排出機能を具備した真空ポンプラインにより行う第(１)項記載の気体溶解水の製造方法、
を提供するものである。
さらに、本発明の好ましい態様として、
（３）溶解させる気体が、水素ガス、酸素ガス、オゾン、希ガス若しくは炭酸ガス、これらの気体の混合気体、又は、これらの気体と他の気体との混合気体である第(１)項記載の気体溶解水の製造方法、
を挙げることができる。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の気体溶解モジュールは、気体透過膜によって水室と気体室とに区画し、水室に被処理水を、気体室に被処理水に溶解させる気体を供給する気体溶解モジュールにおいて、気体室に連通する凝縮水排出装置を有するものである。本発明の気体溶解モジュールを用いて溶解する気体に特に制限はなく、例えば、水素ガス、酸素ガス、オゾン、希ガス、炭酸ガスなどや、これらの気体の混合気体、これらの気体と他の気体との混合気体などを挙げることができる。本発明の気体溶解モジュールは、超純水にこれらの気体を溶解した電子材料用洗浄水の製造に好適に使用することができる。
本発明の気体溶解モジュールにおいて、凝縮水の溜まりを検知する装置に特に制限はなく、例えば、溜まった凝縮水の重量を測定する装置、溜まった凝縮水の液面を検知する液面計などを挙げることができる。これらの中で、液面計は構造が簡単で正確に検知することができるので、好適に使用することができる。使用する液面計の液面検知機構に特に制限はなく、例えば、光、超音波、静電容量などを利用する液面計を挙げることができる。
本発明の気体溶解モジュールは、所定量の凝縮水の溜まりを検知する装置から送られる信号により作動する凝縮水排出自動弁により、凝縮水を排出する機構とすることができる。凝縮水のドレンラインに、通常閉の凝縮水排出自動弁を設け、検知装置からの信号を受けて凝縮水排出自動弁を開くことにより、凝縮水を排出することができる。
【０００６】
図１は、本発明の気体溶解モジュールの一態様の説明図である。本態様の気体溶解モジュールは、気体透過膜１により水室２と気体室３に区画され、被処理水がモジュール下部の入口室４から水室に送られ、水室を流れる間に気体透過膜を介して気体を溶解して気体溶解水となり、出口室５を経由して排出される。本態様のモジュールにおいては、凝縮水貯留槽６と気体室３の下部が、水相連通自動弁７を有する配管で連通され、凝縮水貯留槽には、所定量の凝縮水の溜まりを検知する装置として、液面計８が設けられている。また、凝縮水貯留槽の上部には大気開放自動弁９が設けられ、凝縮水貯留槽の下部には、凝縮水を系外に排出する装置として、凝縮水排出自動弁１０が設けられている。
本態様の気体溶解モジュールにおいて、水相連通自動弁７を開の状態として被処理水への気体の溶解を行い、気体室において凝縮水が発生すると、凝縮水は水相連通自動弁を経由して凝縮水貯留槽６に流れ込み、気体室中の凝縮水の水面と凝縮水貯留槽中の凝縮水の水面は同一平面となる。したがって、凝縮水貯留槽中の凝縮水の水位から凝縮水の溜まりを検知することができる。所定量の凝縮水の溜まりを液面計を用いて検知し、水相連通自動弁７に信号を送って開→閉と作動させ、気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断すると同時に、又は、遮断したのちに、大気開放自動弁９及び凝縮水排出自動弁１０に信号を送って閉→開と作動させ、凝縮水貯留槽中の凝縮水を自重でドレンラインに排出させる。凝縮水貯留槽中の凝縮水の排出を終わったとき、大気開放自動弁及び凝縮水排出自動弁は開→閉と作動させ、水相連通自動弁は閉→開と作動させて、気体室において発生する凝縮水の貯留を再開する。
本態様の気体溶解モジュールにおいては、液面計から信号を送って、水相連通自動弁を作動させ、気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断し、次いで大気開放自動弁を作動させ、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることが好ましい。気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断し、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることにより、凝縮水貯留槽に溜まった凝縮水の排出がスムーズに進行するのみならず、気体室の内圧が大気圧より高い場合の被処理水に溶解させる気体の不用意な排出と、気体室の内圧が大気圧より低い場合の気体又は液体の逆流を確実に防止することができる。
【０００７】
図２は、本発明の気体溶解モジュールの他の態様の説明図である。本態様の気体溶解モジュールは、図１に示す態様の気体溶解モジュールの液面計８により検知する凝縮水排出基準面より上方に、気体室と凝縮水貯留槽を連通する気相連通自動弁１１を設けてなるものである。所定量の凝縮水の溜まりを液面計を用いて検知し、水相連通自動弁７と気相連通自動弁１１に信号を送って開→閉と作動させ、気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断すると同時に、又は、遮断したのちに、大気開放自動弁９及び凝縮水排出自動弁１０に信号を送って閉→開と作動させ、凝縮水貯留槽中の凝縮水を自重でドレンラインに排出させる。凝縮水貯留槽中の凝縮水の排出を終わったとき、大気開放自動弁及び凝縮水排出自動弁は開→閉と作動させ、水相連通自動弁と気相連通自動弁は閉→開と作動させて、気体室において発生する凝縮水の貯留を再開する。
本態様の気体溶解モジュールは、気体室と凝縮水貯留槽上部の気相を連通することができるので、気体室が減圧状態又は加圧状態に保たれている場合でも、気体室から凝縮水貯留槽へ凝縮水をスムーズに流入させることができる。本態様の気体溶解モジュールにおいては、液面計から信号を送って、水相連通自動弁と気相連通自動弁を作動させ、気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断し、次いで大気開放自動弁を作動させ、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることが好ましい。気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断し、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることにより、凝縮水貯留槽に溜まった凝縮水の排出がスムーズに進行するのみならず、気体室の内圧が大気圧より高い場合の被処理水に溶解させる気体の不用意な排出と、気体室の内圧が大気圧より低い場合の気体又は液体の逆流を確実に防止することができる。
【０００８】
図３及び図４は、本発明の気体溶解モジュールの他の態様の説明図である。本態様の気体溶解モジュールは、気体透過膜１により水室２と気体室３に区画され、被処理水がモジュール下部の入口室４から水室に送られ、水室を流れる間に気体透過膜を介して気体を溶解して気体溶解水となり、出口室５を経由して排出される。本態様のモジュールにおいては、凝縮水貯留槽６と気体室３の下部が、三方自動弁１２を有する配管で連通され、凝縮水貯留槽には、所定量の凝縮水の溜まりを検知する装置として液面計８が設けられ、さらに、所定量の凝縮水の排出を検出する装置として液面計１３が設けられている。また、凝縮水貯留槽の下部には、凝縮水を系外に排出する装置として、凝縮水排出自動弁１０が設けられている。
本態様の気体溶解モジュールにおいて、三方自動弁１２を気体室３と凝縮水貯留槽６が連通する図３に示す状態として被処理水への気体の溶解を行い、気体室において凝縮水が発生すると、凝縮水は三方自動弁を経由して凝縮水貯留槽に流れ込む。凝縮水貯留槽中の凝縮水の水位から、液面計により所定量の凝縮水の溜まりを検知し、三方自動弁に信号を送って図３に示す気体室と凝縮水貯留槽を連通する状態から、図４に示す凝縮水貯留槽を大気開放の状態にするように作動させると同時に、又は、作動させたのちに、凝縮水排出自動弁１０に信号を送って閉→開と作動させ、凝縮水貯留槽中の凝縮水を自重でドレンラインに排出させる。凝縮水貯留槽中の凝縮水の水面が所定の位置まで低下したことを液面計１３により検知し、凝縮水排出自動弁及び三方自動弁に信号を送って、凝縮水排出自動弁は開→閉と作動させ、三方自動弁は図３に示す気体室と凝縮水貯留槽を連通する状態に作動させて、気体室において発生する凝縮水の貯留を再開する。
本態様の気体溶解モジュールにおいては、液面計から信号を送って、三方自動弁を作動させ、気体室と凝縮水貯留槽の連通の遮断と、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることが好ましい。気体室と凝縮水貯留槽の連通の遮断と、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることにより、凝縮水貯留槽に溜まった凝縮水の排出がスムーズに進行するのみならず、気体室の内圧が大気圧より高い場合の被処理水に溶解させる気体の不用意な排出と、気体室の内圧が大気圧より低い場合の気体又は液体の逆流を確実に防止することができる。
【０００９】
図５は、本発明の気体溶解モジュールの他の態様の説明図である。本態様の気体溶解モジュールは、図３及び図４に示す態様の気体溶解モジュールの三方自動弁１２に代えて、大気開放自動弁９及び水面連通自動弁１４を設けてなるものである。本態様の気体溶解モジュールにおいて、大気開放自動弁９と凝縮水排出自動弁１０を閉の状態とし、水面連通自動弁１４を開の状態として被処理水への気体の溶解を行い、気体室において凝縮水が発生すると、凝縮水は水面連通自動弁を経由して凝縮水貯留槽に流入する。凝縮水貯留槽中の凝縮水の水位から、液面計により所定量の凝縮水の溜まりを検知し、水面連通自動弁に信号を送って開→閉と作動させ、気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断すると同時に、又は、遮断したのちに、大気開放自動弁及び凝縮水排出自動弁に信号を送って閉→開と作動させ、凝縮水貯留槽中の凝縮水を自重でドレンラインに排出させる。凝縮水貯留槽中の凝縮水の水面が所定の位置まで低下したことを液面計１３により検知し、凝縮水排出自動弁、大気開放自動弁及び水面連通自動弁に信号を送って、凝縮水排出自動弁及び大気開放自動弁は開→閉と作動させ、水面連通自動弁は閉→開と作動させて、気体室において発生する凝縮水の貯留を再開する。
本態様の気体溶解モジュールにおいては、液面計から信号を送って、水面連通自動弁を作動させ、気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断し、次いで大気開放自動弁を作動させ、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることが好ましい。気体室と凝縮水貯留槽の連通を遮断し、凝縮水貯留槽の大気開放を行ったのちに、凝縮水排出自動弁を作動させることにより、凝縮水貯留槽に溜まった凝縮水の排出がスムーズに進行するのみならず、気体室の内圧が大気圧より高い場合の被処理水に溶解させる気体の不用意な排出と、気体室の内圧が大気圧より低い場合の気体の逆流を確実に防止することができる。
【００１０】
本発明の気体溶解モジュールにおいては、所定量の凝縮水の溜まりが検知されたとき、凝縮水の溜まりを検知する装置から信号を送って、気体室の内圧を高め、凝縮水排出自動弁を開き、気体室の内圧により溜まった凝縮水を系外に排出することができる。気体室の内圧を高める方法に特に制限はなく、例えば、気体室の内圧が常に大気圧以上である運転の場合は、単に凝縮水排出自動弁の作動のみにより凝縮水を排出することができ、気体室の内圧が大気圧未満である場合には、一時的な気体供給量の増加又は不活性気体の供給により気体室の内圧を高めることができる。一時的な気体供給量の増加や不活性気体の供給は、気体供給系に設けた自動弁の作動などにより容易に行うことができる。例えば、通常は定流量弁やマスフローコントローラーなどを用いて一定流量の気体を供給し、一時的に流量を増加させるときには、これらの流量コントロール部のバイパスラインの自動弁を閉→開と作動させるような装置などを挙げることができる。被処理水に溶解させる気体が不燃性であり、毒性を有しない場合には、気体室の内圧を上昇させる装置を好適に用いることができる。また、一時的な気体供給量の増加により、製造される気体溶解水の気体濃度も一時的に上昇するが、多少の気体濃度の変動が許容される場合には、気体室の内圧を上昇させる装置を好適に用いることができる。凝縮水の排出に続いて気体まで排出されることのないように、凝縮水が所定量まで排出されたとき、凝縮水排出自動弁を閉に戻す機構を備えることが好ましい。
【００１１】
本発明の気体溶解モジュールにおいては、所定量の凝縮水の溜まりが検知されたとき、凝縮水の溜まりを検知する装置から信号を送って凝縮水排出自動弁を開き、溜まった凝縮水を減圧によって吸引することにより系外に排出することができる。減圧により凝縮水を吸引する装置に特に制限はなく、例えば、水封式ポンプ、凝縮水排出機能を具備した真空ポンプの吸引ラインなどを挙げることができる。気体室の圧力より低圧に保たれた吸引ラインにドレンラインを接続することにより、大気開放自動弁又は大気開放自動弁と水相連通自動弁の双方を設けることなく、凝縮水を排出することができる。水相連通自動弁を設けない場合には、凝縮水の排出に続いて被処理水に溶解させる気体まで排出されることのないように、凝縮水が所定量まで排出されたとき、凝縮水排出自動弁を閉に戻す機構を備えることが好ましい。
本発明の気体溶解モジュールを使用して気体溶解水を製造するとき、気体を溶解させる被処理水は、あらかじめ脱気して飽和度を低下させ、水中の気体溶解キャパシティに空きを作ることが好ましい。脱気して飽和度を低下させ、気体溶解キャパシティに空きを作ることにより、雰囲気と平衡状態にある水の溶存気体を置換しつつ目的とする気体を溶解させる場合に比べて、迅速に目的とする気体を溶解させて、気体溶解水を製造することができる。
本発明の気体溶解モジュールによれば、気体室に溜まる凝縮水を自動的に排出し、気体透過膜の有効面積を一定に保つことができるので、人手に頼るメンテナンスを行うことなく、長期間にわたって一定濃度の特定の気体を溶解した気体溶解水を安定して製造することができる。
【００１２】
【実施例】
以下に、実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものではない。
実施例１
ポリ(４−メチルペンテン−１)膜を備えた脱気モジュールの気体室を、水封式真空ポンプを用いて２０Torrに保ち、超純水を毎時１ｍ3で供給して脱気を行った。次いで、脱気した超純水を、図２に示す構造の凝縮水貯留槽を接続し、ポリプロピレン膜を備えた気体溶解モジュールの水室に送り、気体室に毎時１.２ｇ（２２４Ｎml／分）の水素ガスを供給して、水素ガス溶解水を１カ月間連続して製造した。
凝縮水貯留槽中の凝縮水の量が５０mlに達したとき、液面計より信号を送って、水相連通自動弁と気相連通自動弁を閉じ、大気開放自動弁と凝縮水排出自動弁を開いて、凝縮水を排出し、次いで、凝縮水排出自動弁と大気開放自動弁を閉じ、水相連通自動弁と気相連通自動弁を開いて、ふたたび凝縮水の貯留を開始するように設定した。
１カ月間の運転期間中を通じて、気体室の圧力は０.９×１０5Paであり、水素ガス濃度１.２mg／リットルの水素ガス溶解水を、毎時１ｍ3製造することができた。凝縮水貯留槽からの凝縮水の排出は、ほぼ３０〜１２０分に１回の頻度で自動的に行われた。
実施例２
気体溶解モジュールの気体室に、図３に示す構造の凝縮水貯留槽を接続し、三方自動弁を図３に示す状態に保ったまま、気体室の加圧により凝縮水を排出した以外は、実施例１と同様にして、水素ガス溶解水の製造を行った。
凝縮水貯留槽内の凝縮水の量が７０mlに達したとき、高水位側の液面計より信号を送って、水素ガスの供給量を９００Ｎml／分に増加して気体室の内圧を高め、凝縮水排出自動弁を開いて凝縮水を排出し、凝縮水５０mlが排出されたとき、低水位側の液面計から信号を送って、凝縮水排出自動弁を閉じ、水素ガスの供給量を２２４Ｎml／分に戻すように設定した。
１カ月間の運転期間中を通じ、凝縮水の排出時を除いて、気体室の圧力は０.９×１０5Paであり、水素ガス濃度１.２mg／リットルの水素ガス溶解水を、毎時１ｍ3製造することができた。ただし、凝縮水排出後の約３分間は、水素ガス溶解水の水素ガス濃度は最高１.４mg／リットルまで上昇した。凝縮水貯留槽からの凝縮水の排出は、ほぼ３０〜１２０分に１回の頻度で自動的に行われた。
実施例３
気体溶解モジュールの気体室に、図３に示す構造の凝縮水貯留槽を接続し、三方自動弁を図３に示す状態に保ったまま、ドレンラインの減圧により凝縮水を排出した以外は、実施例１と同様にして、水素ガス溶解水の製造を行った。
凝縮水貯留槽内の凝縮水の量が７０mlに達したとき、高水位側の液面計より信号を送り、脱気モジュールの減圧に用いている水封式真空ポンプを利用して、凝縮水排出ラインに減圧をかけ、凝縮水排出自動弁を開いて凝縮水を排出し、凝縮水５０mlが排出されたとき、低水位側の液面計から信号を送って、凝縮水排出自動弁を閉じるとともに、凝縮水排出ラインを大気圧に開放した。
１カ月間の運転期間中を通じて、気体室の圧力は０.９×１０5Paであり、水素ガス濃度１.２mg／リットルの水素ガス溶解水を、毎時１ｍ3製造することができた。凝縮水貯留槽からの凝縮水の排出は、ほぼ３０〜１２０分に１回の頻度で自動的に行われた。
比較例１
凝縮水貯留槽を接続して凝縮水を排出することを行わなかった以外は、実施例１と同様にして、１カ月間連続して水素ガス溶解水の製造を行った。
運転開始４日目までは、水素ガス濃度１.２mg／リットルの水素ガス溶解水を毎時１ｍ3製造することができた。しかし、運転開始５日後からは、超純水の供給量を毎時１ｍ3、気体室の圧力を０.９×１０5Paに保つと、気体室に供給し得る水素ガスの量が徐々に減少するとともに、水素ガス溶解水の水素ガス濃度が徐々に低下してきた。運転開始１カ月後には、水素ガスの供給量は１６８Ｎml／分となり、水素ガス溶解水の水素ガス濃度は０.９mg／リットルまで低下した。運転を停止して、気体溶解モジュールを開くと、気体室の下部約４分の１まで凝縮水が溜まっていた。
実施例１〜３の結果から、気体室に連通する凝縮水排出装置を有する本発明の気体溶解モジュールを用いると、自動的に凝縮水の排出が行われ、長期間にわたって人手に頼るメンテナンスを行うことなく、一定濃度の水素ガス溶解水を安定して製造し得ることが分かる。これに対して、凝縮水排出装置を有しない気体溶解モジュールを用いた比較例１においては、水素ガス溶解水の水素ガス濃度は、１カ月で初期の濃度の４分の３にまで低下してしまう。
【００１３】
【発明の効果】
本発明の凝縮水排出装置を有する気体溶解モジュールを用いることにより、特定の気体を溶解した一定濃度の気体溶解水を、手動操作によるメンテナンスを行うことなく、長期間にわたって安定して製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の気体溶解モジュールの一態様の説明図である。
【図２】図２は、本発明の気体溶解モジュールの他の態様の説明図である。
【図３】図３は、本発明の気体溶解モジュールの他の態様の説明図である。
【図４】図４は、図３に示す気体溶解モジュールの自動弁を作動させた状態を示す説明図である。
【図５】図５は、本発明の気体溶解モジュールの他の態様の説明図である。
【符号の説明】
１ 気体透過膜
２ 水室
３ 気体室
４ 入口室
５ 出口室
６ 凝縮水貯留槽
７ 水相連通自動弁
８ 液面計
９ 大気開放自動弁
１０ 凝縮水排出自動弁
１１ 気相連通自動弁
１２ 三方自動弁
１３ 液面計
１４ 水面連通自動弁
Claims (2)
- 気体透過膜によって水室と気体室とに区画し、水室に被処理水を、気体室に被処理水に溶解させる気体を供給する気体溶解モジュールであって、該気体室の水相に連通する凝縮水排出装置を有し、該凝縮水排出装置には液面計及び凝縮水排出自動弁を備えた気体溶解モジュールによる気体溶解水の製造方法において、被処理水及び気体を気体溶解モジュールに連続的に供給しながら、前記凝縮水排出自動弁を閉の状態にして、気体室において発生した凝縮水を凝縮水排出装置に流れ込ませ、凝縮水排出装置へ流れ込んだ凝縮水の液面を液面計で検知して、液面が所定の位置に達すると、凝縮水の溜まりを検知する装置から信号を送って、凝縮水排出自動弁を開き、溜まった凝縮水を減圧によって吸引することにより系外に排出し、凝縮水の排出に続いて気体が排出されることのないように、凝縮水が所定量まで排出されたとき凝縮水排出自動弁を閉に戻す機構によって、凝縮水排出自動弁の開閉を自動的に反復させることを特徴とする気体溶解水の製造方法。
- 減圧による凝縮水の吸引を、水封式ポンプ又は凝縮水排出機能を具備した真空ポンプラインにより行う請求項１記載の気体溶解水の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37383898A JP3728959B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 気体溶解水の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37383898A JP3728959B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 気体溶解水の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000189742A JP2000189742A (ja) | 2000-07-11 |
| JP3728959B2 true JP3728959B2 (ja) | 2005-12-21 |
Family
ID=18502846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37383898A Expired - Fee Related JP3728959B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 気体溶解水の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3728959B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006071340A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Kurita Water Ind Ltd | 液体中の溶存気体濃度の測定方法、測定装置及び窒素ガス溶解水の製造装置 |
| JP4957946B2 (ja) * | 2005-12-15 | 2012-06-20 | エイブル株式会社 | ガス溶解装置 |
| JP4919385B2 (ja) * | 2006-01-11 | 2012-04-18 | オルガノ株式会社 | ガス溶解方法および装置 |
| JP2007319843A (ja) * | 2006-06-05 | 2007-12-13 | Kurita Water Ind Ltd | 気体溶解モジュール |
| JP4893592B2 (ja) * | 2007-11-09 | 2012-03-07 | 栗田工業株式会社 | ガス溶解水の製造装置及び製造方法 |
| JP5380870B2 (ja) * | 2008-03-14 | 2014-01-08 | 栗田工業株式会社 | ガス溶解水の製造方法及び装置 |
| JP2010234298A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Kurita Water Ind Ltd | ガス溶解水供給装置及びガス溶解水の製造方法 |
| JP4551964B1 (ja) | 2009-05-21 | 2010-09-29 | 株式会社シェフコ | 飲料用水素含有水を製造する方法 |
| JP6407764B2 (ja) * | 2015-02-26 | 2018-10-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム、基板処理システムの制御方法、及び記憶媒体 |
| JP5999222B2 (ja) * | 2015-05-29 | 2016-09-28 | 栗田工業株式会社 | ガス溶解水供給装置及びガス溶解水の製造方法 |
| JP6476150B2 (ja) * | 2016-03-18 | 2019-02-27 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 微小気泡発生装置 |
| JP6702344B2 (ja) | 2018-02-15 | 2020-06-03 | 栗田工業株式会社 | 好気性生物処理装置 |
| CN112443973B (zh) * | 2019-08-29 | 2022-05-13 | 青岛经济技术开发区海尔热水器有限公司 | 一种排气装置及热水器 |
| JP6866918B2 (ja) * | 2019-12-11 | 2021-04-28 | 栗田工業株式会社 | 好気性生物処理装置 |
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1998
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000189742A (ja) | 2000-07-11 |
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| A977 | Report on retrieval |
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|
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| A521 | Written amendment |
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| A521 | Written amendment |
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|
| A02 | Decision of refusal |
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| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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