JP3726640B2 - 発光装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信に用いる半導体レ−ザを用いた光送信器に関する。特に低コストで、小型で、高性能な光送信器を実現するためのものである。
【0002】
【従来の技術】
図1に従来例の半導体レ−ザの構造を示す。これは金属ケースの中に収容された縦型の構造を持つ光送信モジュールである。現在使用されている光送信モジュールの主流をなしている。この光送信モジュール1は金属製のパッケージを有する。金属円盤であるステム2の中央上面にポール3が形成され側面にLD4が固定される。ステム2の中央部にはPD5が受光面を上向きにして取り付けられている。上壁を有する円筒形金属のキャップ6がLD4、PD5の上部を覆っている。キャップの上壁には穴7が開口している。
【0003】
キャップ6の外側を覆うように上壁をもつ円筒形金属のレンズホルダ−8がステム2の上に固定される。円錐形のフェルールホルダ−10がレンズホルダ−8の上に溶接される。光ファイバ11を把持するフェルール12がフェルールホルダ−10の上部縦穴に差し込まれている。LD4は端面からレ−ザ光を発生する。これは発散角の広い光であるがレンズ9によって集光されて光ファイバ11の端面に入射する。光ファイバ・フェルールの端面は反射戻り光を避けるため、斜めに研磨してある。このように三次元的な構成をもつものではLD光が発散するのでレンズが不可欠である。レンズがないとレ−ザ光を光ファイバに高効率で入射させられない。
【0004】
このようにメタルパッケージをもつ立体構造のモジュールは現在も主流であり優勢である。金属パッケージを用いるからLDチップは完全にハーメチックシールされる。内部に水分や酸素が入らないので腐食酸化のおそれがない。ために信頼性が高い。メタルのパッケージは標準部品であるのでコストも低い。そのような長所に恵まれたモジュールである。
【0005】
しかし、そのようなモジュールでもなお、さらなる低コスト化への要求は強い。
本発明は、LDチップを問題にする。従来から頻用されるLDは長手方向に一様なストライプ構造を持つありふれたものである。図2はその中のLDチップの構造を示す。特に活性層のみを透視図として示している。ここでは最も単純なFP−LD(ファブリペローレーザ)の構造を略図として描いている。つまりチップ両端面で反射を繰り返すことによって光パワーを得るようにしたものである。鋸型凹凸を有する導波路を設けて、その作用で一定波長の光を選択して反射するようにしたLDもあるが活性層の形は同様である。
【0006】
例えば、1.3μmのLDの場合、活性層幅は1.2μm、活性層厚みは0.2μm、活性層長さ(キャビティ長)は300μm、チップ厚みは100μm、幅は300μmといったところである。この従来例では、活性層幅は全長にわたって一定である。従って、光ビームの放射角は30度から40度の程度である。つまりLD光はかなり広い角度で広がってしまう。
【0007】
一方光ファイバはコアとクラッドからなり、コア径は10μm、クラッド径は125μmである(1.3μm帯の場合)。レ−ザの活性層の断面は光ファイバコア断面よりも小さい。しかしレ−ザ光は30度〜40度で大きく広がり、光ファイバのコアは狭いので直接LDに光ファイバを接触させてもレ−ザ光の大部分は光ファイバに入射しない。そこで、光ファイバにレ−ザ光を結合する場合集光のためにレンズが不可欠であった。
【0008】
図1の光送信モジュールでは、LD4の広い放射角の光を最適の条件で光ファイバに結合するためにレンズ9による集光光学系が用いられる。この例では両面に凸面をもつ球面レンズが用いられている。LDと光ファイバの結合性を高めるために非球面レンズを用いることもある。しかし、より安価にし、取扱いを容易にするため、球レンズもしばしば用いられる。どのような場合でも図1のような三次元的な構造をもつモジュールには集光光学系が必要なのである。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
図1の立体的な構成をもつ発光装置は、直径5.6mmのメタルパッケージを使用している。レ−ザ(LD)は図2のような一様な厚み幅の活性層をもつ通常のものである。図2においてチップ13の中に活性層14を透視図によって示している。活性層の幅をw、活性層の厚みをdとする。長手方向の座標をzとする。図2の従来のLDは、幅w、厚みdともに長手方向に同一である構造になっている。図1のような光送信モジュールはレ−ザ光を光ファイバに導くための集光光学系として球レンズ或いは非球面レンズを用いる。ローパワー品の場合は、球レンズをキャップに設けた集光光学系によってLD光を光ファイバに結合している。
【0010】
球レンズは安価であるが大きい収差がある。収差のためLDとの結合効率を最適値まで高めることができない。通常の30mA前後の電流では、レ−ザ光出力が0.2mWから0.5mWの範囲のものを安定して生産できる。だから球レンズ集光光学系は、ローパワーで低コストが必須の低速、短距離通信の用途に限って用いられる。
【0011】
これに対して、長距離通信であってハイパワーを要する用途には非球面レンズ集光光学系を用いる。非球面レンズは収差を低く抑えることができる。非球面レンズの使用によって1mW〜2mWの高出力のレ−ザ光出力を得る事ができる。しかし非球面レンズは高価である。だから非球面レンズ集光光学系は幹線や局設備など高価であってもよい所に主として用いられる。
【0012】
以上のように、球レンズ集光光学系と非球面レンズ集光光学系は、ローパワーで低コストか、ハイパワーで高コストかという使い分けがなされている。
【0013】
低コスト品であっても、現状の非球面レンズ集光光学系なみのハイパワーを実現でき、非球面レンズ集光光学系を用いればさらにハイパワーで小型化できるという高付加価値の発光装置を提供することが本発明の目的である。
【0014】
レンズを用いることはなく、LDと光ファイバを直接に結合するためにLDを工夫して、スポットサイズ変換LDというものが提案されている。レンズを省くことができるから有用なLDである。
【0015】
そこでスポットサイズ変換レ−ザ(SSC−LD;spot-size converted laser diode)について説明する。これは活性層の幅や厚みを細くすることによって出射光のサイズを大きくしたものである。幅を狭くするものと、厚みを薄くするものの2種類がある。
【0016】
図3に示すものは縦テーパ型のスポットサイズ変換レ−ザである。このLDチップにおいて活性層の厚みdが先端で細くなっている。幅wは長手方向に一定である。つまりLDの背面をz=0として前面をz=Lとして、
【0017】
【0018】
である。αは活性層先端の厚み変化の傾斜角である。式(4)は出射端で有限の活性層厚みが存在するという条件を示している。先端で活性層が薄くなり光の閉じ込めが不完全になるから光の断面が広がる。だからスポットサイズ変換をしているのである。断面が大きくなると反対に広がり角度は減少する。
【0019】
図4に示すものは横テーパ型のスポットサイズ変換レ−ザである。活性層の厚みdは長手方向に同一であるが幅wが先端で細くなる。
【0020】
【0021】
によって表現される。βは活性層先端の幅変化の傾斜角である。先端で活性層が細くなり光の閉じ込めが不完全になるから光の断面が広がる。だからスポットサイズ変換をする。断面が大きくなると広がり角度は減少する。
【0022】
[スポットサイズ変換LDの説明]
スポットサイズ変換LDは新規ではないが当業者によく知られているという訳でないから説明する必要がある。通常のLDは広がりの大きい光を発するからレンズが不可欠であった。しかしレンズを用いるという事はレンズ分だけコストを引上げるし、レンズの実装コストも必要になる。さらにレンズを取り付けるパッケージ構造も必要である。レンズを省略できれば、より安価のモジュールを作製することができるはずである。
【0023】
レンズなしに光ファイバとLDを結合したい。レンズなしでLD・光ファイバを結合するためにはLDの出射光の広がりを狭くすれば良いはずである。もとよりLD活性層は幅1.2μm厚み0.2μmといったものでシングルモードファイバコアの10μm径より小さくて、直接に接触させるとそのまま光が入りそうにも思えるがそうではない。スポットサイズが異なりすぎるので入射しにくいのである。それでLDのスポットサイズを大きく変化させて光ファイバのスポットサイズに近付けると結合が改善される筈である。
【0024】
導波路サイズを小さくすると閉じ込め力が不足して光の波動が導波路から滲み出す。導波路外をも光パワーが通過するようになり光のスポットサイズが大きくなる。そのような発想に基づいて活性層の先端を狭くしてスポットサイズを大きくしている。だからそのようなレ−ザをスポットサイズ変換LDという。スポットサイズが大きくなるとビームの広がり角は逆に減少するはずである。広がり角を狭くすればレンズの助けなしでもLD光を光ファイバに導入できる筈である。
【0025】
そのような考察から出射光の広がりを狭くしたものがスポットサイズ変換LDである。出射光の発散角を減らすために図3、図4のように活性層先端を狭くするのである。スポットサイズ変換LDに関しては様々のものが提案されている。
【0026】
▲1▼特開平9−61652号「半導体光導波路およびその作製方法」は、テーパ型の光導波路を提案し、テーパ型光導波路とLDを組み合わせたものを提案している。光導波路単独のものをも提案しているが、その場合は通常のLDと組み合わせることによってスポットサイズ変換できる。
【0027】
▲2▼特開平11−220220号「半導体レ−ザ装置及びその製造方法」は活性層幅を長手方向に狭くしたLDを提案している。(8)式によって幅の変化を表現できるがβが0.14度以下であるといっている。これによって広がり角の狭い出射光が発生するという。
【0028】
▲3▼板屋義夫、杉江利彦、山本援夫「スポットサイズ変換レ−ザ(Spot-size converted lasers(SSC-LD))」信学技報Technical Report of IEICE, OPE95-140, LQE95-134(1996-2), P31は2インチInP基板にスポットサイズ変換レ−ザを作製している。600μm×300μmのLDで、活性層の幅を、1.5μmから0.3μmへと漸減させている。レンズなしで光導波路と直接結合させると、結合損失は1.2〜2.5dBであったという。
【0029】
▲4▼稲葉雄一、鬼頭雅弘、石野正人、知野豊治、西川透、宇野智昭、松井康「低しきい値、高効率特性テーパ活性ストライプ型1.3μm帯狭放射角レ−ザ」信学技報Technical Report of IEICE EMD97-43, CPM97-81,OPE97-59, LQE97-55(1997-08), P81は、活性層幅が狭くなるようなスポットサイズ変換LDを提案している。前面での幅は0.6μmであり、後面での幅は1.6μm〜2.6μmの範囲で変化させている。さまざまの傾斜角のスポットサイズ変換LDを作製している。そして光ファイバとLDの距離を変えて結合効率を測定している。最大で−4.7dBの結合効率が得られるLD・光ファイバ距離の範囲は±3μmであるという。
【0030】
▲5▼板屋義夫、中島長明、永沼充、福田光男、横山清行、鳥羽弘「ハイブリッド集積光モジュール用光半導体技術」NTT R&D, Vol.46, No.5, 1997, P487-490は、活性層の厚みを先端で薄くするようなスポットサイズ変換LDを作製している。活性層のレ−ザ部での厚みは0.3μmである。先端部での厚みを0.1μmとしている。幅は1.5μmで一定幅としている。これによると出射角の半値幅が6゜〜9゜のものが得られたと述べている。広がり角はその2倍であるから12゜〜18゜ということである。通常のLDが30゜〜40゜の広がり角をもつから、その半分程度の狭い角度に閉じ込められるということを意味している。
【0031】
▲6▼「光・マイクロ波半導体応用技術」株式会社サイエンスフォーラム発行、1996年2月29日第1版第1刷発行p165「デジタル通信用光デバイス」は、スポットサイズ変換LDの解説記事を掲載している。通常のストライプLDは出射光の広がり角は33゜であるが、スポットサイズ変換LDは9゜であるという結果を述べている。レンズなしでの光ファイバとの結合損失は、通常のLDが10dB、スポットサイズ変換LDが4dBであるという。
【0032】
▲7▼特開平2−195309号「光結合素子」は発光素子ではなく、受動素子であるが、スポットサイズ変換作用のある素子を提案している。光導波路のコアの幅wを変化させて光の分布幅を調整し、スポットサイズ変換を行っている。光ファイバと別の光ファイバの間で光を結合するにはレンズを使うのが普通であるが、これはスポットサイズ変換光導波路を用いる。コア幅wを広くすると光の広がりは減少し、コア幅を狭くすると光の広がりはより大きくなる。それで中間では狭い幅、両端では広い幅のコアをもつ光導波路によって光ファイバを結合している。両端で光幅が減少するから光ファイバと高効率結合が可能になるという。
【0033】
▲8▼平栗展明、白石和男「集積化結合用レンズドファイバと狭放射角LDとの結合特性」信学技報Technical Report of IEICE, EMD97-44, CPM97-82,OPE97-60, LQE97-56(1997-08), P87は、スポットサイズ変換LDの光を光ファイバに入れるために、先端を球状に加工したファイバ型のレンズを用いること提案している。先端に球が形成してあるので「先球ファイバ」と呼んでいる。光ファイバを酸水素炎で融かし融液とし、表面張力で自然に丸くなる現象を利用する。先球コアレスファイバレンズと、先球GIファイバレンズを用いている。
【0034】
コアレスファイバというのはコアのないファイバである。レンズとするのでコアのような屈折率の異常があるとかえって邪魔になる。それでコアレスのファイバを使う。特殊なファイバである。対象となるシングルモードファイバは10μmのコアを125μmのクラッドで包摂した構造である。コアレスファイバは全体が125μm径であるがクラッドと同じ材質よりなるものである。そのようなファイバ1mm程度のものを、シングルモードファイバの先端に融着する。そして酸水素炎でコアレスファイバをあぶり先端を丸くする。
【0035】
GIファイバというのは、graded index fiberの略であり、コアの屈折率が半径方向に少しずつ低くなりクラッド屈折率に等しくなるというものである。シングルモードファイバのように10μm径のコアというのではレンズ作用がない。そこで、ここでは広いコアをもつGIFを使う。
【0036】
細く短いファイバをシングルモードファイバの先端に融着接合するのは難しい。それに先端を融解して丸くするが、その作業は偶然的であり半径はばらつく。規定の半径の球を作るのは難しい。また先端位置決めのトレランスが非常に狭い。調芯作業に時間と手間がかかる。非常に凝った構造であるが大量生産には向かない。コスト高になる。それにこれはあくまで、スポットサイズ変換レ−ザと光ファイバとの直接結合しか念頭にない。直接接合をよくするために、光ファイバの先端に、レンズ加工を施したものである。
【0037】
このようにスポットサイズ変換LDはいくつもの種類のものが提案されている。本発明ではいずれのタイプをも利用できる。効果はいずれも同じである。
【0038】
スポットサイズ変換レ−ザは光ファイバ、光導波路と直接接合することを目的に製造されたものである。これまでは、図5のように光導波路端面に直接接合するか、或いは図6のように光ファイバ端面に直接に接着していた。
【0039】
図5はSSC−LDと光導波路の平面図である。図5において、LD18は、平行の活性層14の先に幅が狭くなるテーパ部16を有する横テーパ型SSC−LDである。光導波路20は屈折率が高くなったコア部21を有する。LD18の活性層14、16の先に光導波路20のコア部21を結合する。LD18と光導波路20は直接に結合する。間にレンズを挿入しない。活性層14が発生した光はテーパ部16でスポット径が大きくなり、端面からより狭い広がり角の光となって出射する。それが光導波路20のコア部21に入り伝搬光になる。
【0040】
図6はSSC−LDと光ファイバの縦断面図である。図6において、LD19は、平行の活性層14の先に厚みが薄くなるテーパ部15を有する縦テーパ型のSSC−LDである。光ファイバ22は中心に屈折率が高くなったコア部23を有する。LD19の活性層14、15の先に光ファイバ22のコア部23を結合する。LD19と光ファイバ22は直接に結合する。間にレンズを挿入しない。活性層14が発生した光はテーパ部15でスポット径が大きくなり、端面からより狭い広がり角の光となって出射する。それが光ファイバ22のコア部23に入り伝搬光になる。
【0041】
スポットサイズ変換レ−ザはもともと、このようなNA(Numerical Aperture)もしくは受光角の狭い導波路や光ファイバに高い効率で結合させ、ハイパワーの出力を得るために開発されたレ−ザである。光ファイバや導波路へ直接に接合するのでレンズが不要である。光は殆ど自由空間に出ない。レ−ザから光ファイバ、光導波路へ直接に伝搬する。だから集光光学系は不要である。スポットサイズ変換レ−ザには、レンズが介在する余地はない、と強く信じられてきた。
【0042】
一方、従来の発光装置では、図1に示すように、光源は普通のレ−ザ(広がり角30度〜40度)であって、集光光学系(球レンズ、球面レンズ、非球面レンズ)が不可欠であった。目的、用途によって最適の集光レンズを選択していたのである。
【0043】
通常のLDを用いるモジュールにおいて、球レンズ集光光学系と非球面レンズ集光光学系は、ローパワーで低コストか、ハイパワーで高コストかという使い分けがなされていた。
【0044】
先にも述べたように、低コスト品であっても現状の非球面レンズ集光光学系なみのハイパワーを実現でき、非球面レンズ集光光学系を用いればさらにハイパワーで小型化できるという高付加価値の発光装置を提供することが本発明の目的である。
【0045】
【課題を解決するための手段】
本発明は、光ファイバや光導波路と直接結合(バットジョイント)する事を目的として、ビームの広がり角を10度から20度以下に狭くしたスポットサイズ変換レ−ザを光源とし、このレ−ザ光をレンズを用いて光ファイバに結合させる。スポットサイズ変換レ−ザとレンズの結合を採用したということが本発明の特徴である。
【0046】
スポットサイズ変換LDは公知である。図1のようなLD+レンズ結合系も周知である。本発明はスポットサイズ変換LD+レンズの組み合わせを新たに提案する。端的にいえば、LD+レンズに代えて、SSC−LD+レンズを提案するものである。
【0047】
スポットサイズ変換LDはもともとレンズを省くために開発されたものであるからレンズとともに使用するということは考えられない。SSC−LDはいずれも光導波路・光ファイバと直接結合されていた。
【0048】
これらの従来技術に対して、本発明者は、誰もが思い付かなかった構成として、スポットサイズ変換レ−ザを、積極的にレンズ系を有する光結合系に適用することを思い付いた。
【0049】
スポットサイズ変換レ−ザ(SSC−LD)を光ファイバ、導波路に直接に接着しないで、光ファイバ、光導波路を離隔して設け、間に集光レンズを介し、集光レンズによって結合する。つまり本発明は、スポットサイズ変換レ−ザ・集光レンズ・光ファイバ(光導波路)という自由空間を経た結合系となる。
【0050】
こうすると、レ−ザからのビーム広がり角が元々狭いため、球レンズを用いた場合でも、ビームが球レンズの収差の影響を受け難い。だから球レンズを集光光学系に用いても、図1などの場合より高いパワーが光ファイバに入る。重要なことであるからこの点については後に説明する。
【0051】
さらに光ファイバとのスポットサイズ比が半減するので、光学系の距離そのものを短くできる。装置をより小型にすることが可能になる。
【0052】
また図1のようなレンズ付きキャップを用いると、LDチップは完全にハーメチックシールされるので信頼性が高い。メタルのパッケージは標準部品であるのでコストも低い。ここまでは図1の従来例でも同様である。本発明はそれに加えてSSC−LDを使うからハイパワーが取り出せるので申し分ない発光装置を提供することができる。
【0053】
【発明の実施の形態】
本発明はどのような集光レンズを用いても良い。球レンズ、球面レンズ、非球面レンズのいずれでも良い。これらのレンズについての定義を簡単に述べる。球レンズ(BALL LENS)というのは完全な球体をレンズとしたものである。収差は極めて大きい。球面レンズ(SPHERICAL LENS)というのは両面が球面の一部で構成されているレンズである。両面を簡単に曲率半径によって表現することができる。これも収差がある。非球面レンズ(ASPHERICAL LENS)というのは球面でない表面を持つレンズである。これは半径の累冪の形で形状を表現する必要がある。1面を表現するのに8〜10個のパラメータが必要である。非球面レンズは特定の収差をなくすことができる。しかし加工が複雑で高価になる。
【0054】
本発明はどのような集光レンズを用いても実現することができるが、最も効果的なのは低コストの球レンズを用いた場合である。球レンズは球面収差が最も著しいから集光点が広く分布するのである。球面収差は後にも述べるが近軸光線(軸の近くを通る光線)と遠軸光線(光軸から離れたところを通る光線)で集光点が相違することをいう。しからばどの程度の球面収差があるのか?これを厳密に求めてみる。図12は球レンズでの光線の屈折の有り様を示す説明図である。
【0055】
球レンズの中心をOとする。光軸上の点Aから出た光線がレンズ上の点Cで屈折され、点Dでさらに屈折され、光軸と点Bで交差するものとする。点Aの像が点Bにできるというわけであるが収差のためにB点だけに収束するのではない。
【0056】
点Aでの光軸との成す角度θによって交差点Bが相違する。角度θが小さいものを近軸光線といい、θが大きいものをここでは遠軸光線と呼ぶ(そのような言葉はないが、ここでは便宜のためにそう呼ぶのである)。中心Oから第1屈折点Cへ引いた半径OCの延長線上に点Gを取る。中心Oから第2屈折点Dへ引いた半径ODの延長線上に点Hを取る。点Bでの光線と光軸がなす角度をφとする。
【0057】
光源点Aとレンズ中心Oの距離OAをaとする(OA=a)。像点Bとレンズ中心Oの距離OBをbとする(OB=b)。球レンズの半径をrとする。
三角形CDOは二等辺三角形である。底角が等しい。
【0058】
∠OCD=∠ODC (9)
【0059】
スネルの法則が成り立つので、レンズ屈折率をnとして、屈折点で
【0060】
nsin∠OCD=sin∠GCA (10)
nsin∠ODC=sin∠HDB (11)
【0061】
が成立する。式(9)〜(11)から、∠GCAと∠HDBが等しいということがわかるので、これをΨとする。
【0062】
∠GCA=∠HDB=Ψ (12)
【0063】
三角形AOCにおいて二つの内角の和は外角に等しいから、
∠COA=∠GCA−∠CAO=Ψ−θ (13)
【0064】
三角形BODにおいて二つの内角の和は外角に等しいから、
∠DOB=∠HDB−∠DBO=Ψ−φ (14)
【0065】
∠CODは180度から∠COAと∠DOBを引いたものだから、
【0066】
∠COD=π−2Ψ+φ+θ (15)
【0067】
である。三角形OCDは二等辺三角形だから、
∠OCD=∠ODC=Ψ−(φ+θ)/2 (16)
である。
【0068】
三角形OCAにおいて正弦定理を適用して、
a/sinΨ=r/sinθ (17)
【0069】
三角形ODBにおいて正弦定理を適用して、
b/sinΨ=r/sinφ (18)
【0070】
式(17)からθを求めると、
θ=sin−1(rsinΨ/a) (19)
【0071】
式(18)からφを求めると、
φ=sin−1(rsinΨ/b) (20)
【0072】
スネルの法則を表す式(10)(11)は同一の式に纏められる。
【0073】
【数1】
【0074】
これが距離a、bをΨの関数として与える厳密式である。近似を含んでいない。Ψは点Cの入射角、点Dの出射角である。
【0075】
近軸光線の極限では、θ、φ、Ψ→0である。光線が光軸から離れるに従ってθ、Ψ、φが増えてゆく。遠軸光線の極限では、線ACがレンズ球面の接線になる。これ以上になるとレンズに入らなくなる。ACが接線だからOGはACと直交する。だから遠軸光線の極限ではΨ=π/2(90度)である。θの遠軸極限は当然にsin−1(r/a)である。つまり近軸から遠軸へ、θが0からsin−1(r/a)に変化するうちに、Ψは0からπ/2に変化する。
【0076】
【0077】
[a.近軸光線の極限]
式(21)において、Ψを0に接近させると近軸光線の関係が得られる。
sin−1(r/a)+sin−1(r/b)=2{1−(1/n)}(24)
であるが、r/a、r/bは1よりずっと小さいという近似で、より簡明な式をうる。
【0078】
【数2】
【0079】
つまり焦点距離f1を定義すれば、
【0080】
【数3】
である。
【0081】
[b.遠軸光線の極限]
式(21)において、Ψをπ/2に接近させると遠軸光線の関係が得られる。
sinΨ=1、sin{(π/2)−Θ}=cosΘであるから、
【0082】
【数4】
【0083】
つまり
【0084】
sin−1(r/a)+sin−1(r/b)=2cos−1(1/n)(28)
【0085】
となる。近軸光線極限の場合の式(24)の2{1−(1/n)}が、遠軸光線極限では式(28)の2cos−1(1/n)に置き代わる。これの大小関係は明らかである。nはレンズ屈折率であって、1より大きい。だから
【0086】
2{1−(1/n)}<2cos−1(1/n) (29)
【0087】
である。遠軸光線の場合の方が、近軸光線よりも、sin−1(r/a)+sin−1(r/b)の値が大きいということである。r,aは同じであるから、遠軸光線の場合、bが小さくなるという事である。
【0088】
それだけではない。屈折光がレンズから出られないということがある。光源が無限遠にあると(a無限大)、屈折光がレンズの外へ出られないという極限の屈折率ncがある。それは、b=r、a=無限大として式(28)から、
【0089】
nc=21/2=1.414 (30)
【0090】
つまりレンズ屈折率が1〜1.414の場合、無限遠の光源からの光であると屈折光は外部へ出られない。
【0091】
光源がレンズに近くなると、sin−1(r/a)が大きくなるから、ncの場合でも屈折光がレンズ外部に出ることができる。
【0092】
しかし、さらに屈折率が大きい場合、光源がレンズに接近すると、屈折光が最早外部に出られないということがある。そのような臨界の光源距離acは、b/r=1とおいて、式(28)から
【0093】
ac=r/cos(2/n) (31)
【0094】
である。つまりa>acの範囲でなければならない。
【0095】
たとえばn=1.5の場合その臨界比は
ac=4.2r (32)
である。a>4.2rである。
【0096】
しかしながら実際のところ遠軸光線がレンズの接線になるまで広がったビームを扱うのは珍しいことである。Ψが90゜の広がりをもたず、それ以下の範囲にあるという場合について考える必要がある。つまり、より小さいΨにおいて、bのΨ依存性を調べるということになる。
【0097】
式(21)は厳密式であるが、これをΨに関して解析的に解くのは難しい。また解く必要もないのである。式(21)をnで割り、両辺の逆sinをとり、Ψを移項してΨ=sin−1(sinΨ)という変形をして、両辺を2倍すると、
【0098】
【数5】
【0099】
となる。zが1より小さい時、sin−1zの累冪展開の最初の2項は、
sin−1z=z+z3/6+… (34)
である。z=sinΨとおくと、式(33)は
【0100】
【数6】
【0101】
ということになるが、式(34)の近似をすると、
【0102】
【数7】
【0103】
zでわって、zを含まない項とzの2乗の項に分けると、
【0104】
【数8】
【0105】
というようになる。zの0次の項からの第0近似では
【0106】
(r/a)+(r/b)=2{1−(1/n)} (38)
【0107】
となる。2次近似に話を進めるために、r/a=1−(1/n)、r/b=1−(1/n)というようにして、(37)の2乗の項に代入する。
【0108】
【数9】
【0109】
となるので式(38)を押し進めて、第2近似では
(r/a)+(r/b)=2{1−(1/n)}{1+z2/2n} (40)
【0110】
ということになる。z=sinΨである。式(40)のz2/2nが補正項を与える。
a点に光源をおいて球レンズで収束させた場合、近軸光線(Ψ=0)の収束点をb0とし、任意のΨの光線の収束点をbとする。
【0111】
(r/a)+(r/b0)=2{1−(1/n)} (41)
【0112】
【数10】
【0113】
ということになる。b0とbの差異は、
【0114】
【数11】
【0115】
これが収束点bのΨによる変化を表す式である。たとえば、n=1.5、r=750μm、a=1600μmとすると、
【0116】
b0=3790μm (44)
【0117】
b=3790/(1+1.123z2) (45)
【0118】
である。
例えば従来のLDであって、広がり角が広くてΨ=18゜(広がり角36゜の半分)とすると、z=sin18゜=0.309となるから、
【0119】
b=3460μm (18゜の時) (46)
【0120】
となり、b0よりも330μmも短い。近軸光線と遠軸光線の収束点が330μmも異なる。球面収差が大きいということがよく分かる。
【0121】
例えばSSC−LDであって、広がり角が狭くΨ=6゜(広がり角12゜の半分)とすると、z=sin6゜=0.1045となるから、
【0122】
b=3750μm (6゜の時) (47)
となる。b0より40μm短いだけである。遠軸光線というものがなくて近軸ばかりだと収束点のばらつきは40μmにすぎず、従来のLDの約1/8程度である。球面収差がほとんどないということがよく分かる。
【0123】
【実施例】
[実施例1(図7)]
本発明の第1の実施例を図7に示す。これは集光レンズとして球レンズを用いた実施例である。シングルモード光ファイバ22の軸線延長上に球レンズ24、SSC−LD18(あるいは19)が設けられる。
【0124】
球レンズとLDの距離をL0、球レンズと光ファイバの距離をL1、球レンズの半径をRとする。LD18、19でのビーム広がり角をθ0、光ファイバ22でのビーム広がり角をθ1とする。LD18、19の出射面でのビームウエストをω0、光ファイバの端面近くでのビームウエストをω1とする。ビームウエストというのはビームの最も細い部分をいう。ω0のビームウエストがレンズによってω1になるのであるからレンズによる像倍率はω1/ω0によって与えられる。活性層の断面が小さいLDからの光はウエストが小さいからω0は小さい。光ファイバはコアが10μm径であって大きい。ビームウエストがコア径程度であれば光ファイバに多くのパワーが入る。それで像倍率を、光ファイバコアの断面積とLD活性層断面積の比の程度にすると良好な結合が実現される。さらにまた、レンズ中心を通過する光が物体と像の対応点を通ることから像倍率はレンズ中心・光ファイバ間距離とレンズ中心・LD間距離の比に等しいはずである。
【0125】
【数12】
【0126】
もちろん、そのようなことはレンズによってLD端面の像が光ファイバ端面に生ずるという結像条件が成り立って初めて言えることである。
【0127】
球レンズの半径は750μm、屈折率は1.5である。両面にAR(反射防止膜;antireflection film)がコートしてある。
【0128】
光ファイバはモードフィールド径約10μmの1.3μm用シングルモードファイバ(SMF;single-mode fiber)である。
【0129】
レ−ザ前端面とレンズ中心までの距離は1600μm、レンズ中心からファイバ端面までの距離は3400μmである。
【0130】
光源として、従来の広がり角の大きい(広がり角35度)LD(A)を用いた装置と、本発明で提案するスポットサイズ変換レ−ザLD(B)とを用いた装置の二通りのものを作製した。
【0131】
これは従来例のLD(A)と比較して、本発明(LD(B))の効果を確認するためである。
【0132】
LD(A)…活性層幅1.0μm、活性層厚み0.2μm、キャビティ長300μm、 ビーム広がり角35度
【0133】
LD(B)…活性層幅(後端)1.5μm、活性層幅(前端)0.5μm、活性層厚み0.2μm、キャビティ長300μm、ビーム広がり角12度
【0134】
何れのLDも前端面は劈開面である。後端面も劈開面であるが反射率90%の多層膜コ−ティングがなされている。LDに電流が注入されると電子正孔が発生し、これらが再結合することによって光が発生する。前端面と後端面が共振器となって往復する光が増幅される。前端面から光が外部へ放射される。後端面からも僅かな光が出るが、それはモニタ用PDでパワーを監視する必要があるからである。
【0135】
この実施例で用いるスポットサイズ変換レ−ザ(B)は、従来例のLD(A)と、チップサイズ、外形、コ−ティング構造、キャビティ長、活性層厚みは同じであるが、活性層幅が後ろで太く前で細い傾斜状(テーパ状)となっている点で相違する。そのためにLD(B)はビーム広がり角度が12度で、従来LD(A)の約1/3にせばまっている。
【0136】
図7のようなLD・球レンズ・光ファイバ構造で、光学系の長さを同一にし、LD(A)、LD(B)を組み込んだLDモジュールA、Bを作製した。
【0137】
いずれのLDも駆動電流30mAで駆動した。LD自体の光出力は同じである。モジュールAでは光ファイバ終端で0.5mWの光出力が得られた。モジュールBでは光ファイバ終端で0.7mWの光出力が得られた。これはLD・球レンズ・光ファイバ結合の違いによる光出力の違いである。本発明の方が約40%もパワーが大きいということである。これは大きな違いである。dBで表現すると、1.5dBもの光出力の向上をもたらしたということである。
【0138】
この効果は、スポットサイズ変換レ−ザの放射角(広がり角)が狭く、球レンズにおいて収差の少ない近軸光線にエネルギーが集中するためである事を見いだした。この点は重要である。球レンズは安価であって方向性がないから取扱いに便利である。しかし球レンズは曲率が大きいので収差が極めて大きい。収差にはザイデルの5収差と色収差などがある。単色光を用いるから色収差は問題でない。ザイデル5収差は、球面収差、コマ収差、非点収差、像面彎曲、映像歪曲をさす。モジュールのレンズは光をしぼって光ファイバ、導波路に入れるだけの事であるから、あとの4つの収差は問題にならない。このうち球面収差だけが問題である。球面収差というのは球面レンズには必ずともなうもので近軸光線と遠軸光線の集光点が異なるという収差である。
【0139】
球面レンズは凸面であるにしろ凹面であるにしろ両面が球面の一部を成している。光軸に近いところでは面の傾きが小さいので屈折角も小さい。だから集光点がレンズから遠いところになる。反対に、光軸から遠いところでは面の傾きが大きいから屈折角も大きいために集光点がレンズの近くになる。であるから集光点が光軸上に広く分布して1点にならないのである。球面レンズには必ずおこるのであるが薄肉レンズの場合はこの収差は小さい。厚肉レンズになればなるほど球面収差が大きくなる。球レンズというのはレンズ厚みが縦方向の直径に等しい。つまり球レンズというのは球面レンズの中でも厚肉レンズの極限だと考えて良い。だから球レンズでは球面収差が最も強く現れるのである。つまり、あらゆるレンズの中で球面収差が最も顕著なのが球レンズだということである。
【0140】
されば球レンズを使用する限り球面収差があって屈折光線を絞りきれないのか?というと必ずしもそうではない。遠軸光線と近軸光線の間で集光点が異なるという収差なのだから、入射する全ての光線を遠軸にしてしまえば球面収差はなくなるのである。反対に入射する全ての光線を近軸にしてしまえば球面収差は消滅する。言ってみれば簡単なことである。が、そのような手段がなかったので光線の広がりを制御して球面収差を打ち消すというような発想はなかった。これまで球面収差が問題の場合は非球面レンズにするか、2枚以上の組レンズを用いるかによって球面収差を打ち消すようにしていた。しかしビームを遠軸だけ近軸だけにすることによって球面収差を発生させないというのも一つの方途である。
光線追跡法によるシミュレーションによってその効果を確認した。
【0141】
その結果を図8に示す。図8(A)は従来の広がり角の大きいLDからの光を球レンズで集光した場合(モジュールA)の光線を1本1本追跡したものである。球レンズの半径はR=750μm、LD・レンズ中心間は1600μm、レンズ中心・光ファイバ間は3400μmである。モジュールAでは広がり角が大きく、光軸から大きくずれる(遠軸光線)割合が多い。遠軸光線は速く収束し、その後発散に転ずる。近軸光線は遅く収束する。近軸光線の収束点に光ファイバ端を合わせる。遠軸光線は発散しており光ファイバに入ることができない。それは損失になってしまう。だから結合効率が低い。
【0142】
図8(B)はスポットサイズ変換LDからの光を球レンズで集光した場合(モジュールB)を示す。広がり角が狭いから、モジュールBでは光軸付近(近軸光線)の割合が多い。図8(A)に比べてビーム線が中央部に密集しているのがよく分かる。近軸光線ばかりである。だから収束点はほぼ同一点となる。それだけでなく収束点からの発散角も小さい。だから光ファイバに入りやすいのである。モジュールBでは光線は球レンズの球面収差の影響を受けない。そのために集光性が優れているのである。集光性が良いために光ファイバへより多くのパワーが入り40%ものパワー増大をもたらしたのである。
【0143】
[実施例2(広がり角8度、14度、20度)]
実施例1のLD(B)はビーム広がり角が12度のスポットサイズ変換レ−ザを用いた。スポットサイズ変換レ−ザにおいてはテーパの角度を変えることによって、広がり角を自在に与えることができる。ここでは3種類のスポットサイズ変換レ−ザを用いてLDモジュールを作製して、結合効率を調べた。配置や寸法はは図7、図8に示すものと同様である。
【0144】
LD(C)…ビーム広がり角 8度
LD(D)…ビーム広がり角 14度
LD(E)…ビーム広がり角 20度
これらのLDでは結合効率は20%〜24%であった。
【0145】
従来のLDではビーム広がり角が35度〜45度であるが、これを組み込んだLDモジュールでは結合効率は10%〜14%であった。
【0146】
本発明は従来例の1.5倍〜2倍の結合効率を得ることができる。光ファイバに入る光量が1.5倍〜2倍になれば、伝送距離を増やすことができる。S/N比が上がるから伝送信号量を増やすことも可能である。優れた効果をあげることができる。
【0147】
[実施例3(レンズホルダ−・レンズを狭小化できること)]
LDモジュールにスポットサイズ変換レ−ザ(SSC−LD)を用いることにより、LDモジュールが際だった特徴をもつようにできるということに本発明者は気付いた。同じ結合効率で良いなら、レンズ系を小さくして、発光装置そのものを小型化できるということである。
【0148】
図8から分かるように、スポットサイズ変換レ−ザはビーム径が狭いのでレンズの全体でなく一部だけを使う。同じ曲率半径のレンズでも開口は狭くて良い。開口が狭いとレンズホルダ−を小さくすることができる。レンズホルダ−を小さくすれば発光装置の全体を小さくすることができる。
【0149】
この点を、図8の光線図にパッケージ部分を追加記入した図9で説明する。図9(A)は従来のLD(A)30からの広がり角の大きいビームを集光する機構を示す。レンズホルダ−31はかなり大きい開口部をもち球レンズ32を把持している。LD(A)からのビームを全部レンズに入れるためレンズ面は広い。当然にレンズホルダ−の開口部も大きい。LD(A)の場合、実装の位置ズレも考慮すると、レンズの開口は最低12mm必要である。
【0150】
図9(B)はスポットサイズ変換LD33を用いた場合の球レンズ集光機構を示す。レンズホルダ−34の中央開口部に円柱形の球レンズ35が挿入固定される。LDのビーム広がりが狭いからレンズ自体を小さくすることができる。レンズ開口は6mm程度で済む。LD(A)に比べて、LD(B)は開口径を半減することができる。
【0151】
但し、ここでの球レンズと前実施例の球レンズは寸法が著しく異なる。前の実施例では球レンズ半径は750μmで直径にすると1.5mmであった。この実施例では球レンズの半径は15mm程度である。だから開口を12mmから6mmに減らすということに意味がある。
【0152】
従って、レンズの開口が小型化を制限することはない。レンズ開口を狭くして小型のモジュールを作製することができる。このレンズホルダ−寸法削減の効果は、レンズが大きいほど顕著になる。
【0153】
[実施例4(ピグテール型モジュールへの応用)]
本発明はSSC−LDとレンズの組み合わせに係るものであるから任意の形式の送信器に応用できる。図10は本発明をピグテール型モジュールに適用した実施例を示す。ピグテールというのは光ファイバとLDが一つのパッケージに密封されており離脱できないようなものをいう。光ファイバが豚のしっぽのように垂れ下がっているからピグテールの名がある。ピグテールの先に光コネクタがあって、そこで光ファイバの着脱ができるようになっている。
【0154】
リードピン39を底面に有する金属製のステム40の中央にサブマウント41、PD42が固定される。ステム40には隆起したポール43があり、側面にサブマウント44、LD45が固定される。PD42、LD45を囲むように有天円筒形のキャップ46が設けられる。キャップ46の上天井には球レンズ47がありLD45の光を集光している。
【0155】
ステム40の上に金属円筒形のスリーブ48が溶接される。スリーブ48の上には、フェルール49を把持するための鍔付き円筒形のフェルールホルダ−50が溶接される。フェルールホルダ−50の外側には柔軟な材料よりなるベンドリミッタ51が差し込まれている。フェルール49に光ファイバ52の先端が挿入されている。フェルール49は先端にプラグ53を有し、光ファイバのクラッドはプラグ53とフェルール49によって保持される。
【0156】
光ファイバ52の外皮をベンドリミッタ51が抑え、極度の曲げを防止する。外皮を剥離した部分がフェルールに差し込んである。LD45の光が球レンズ47によって集光されて光ファイバ先端のコアに入射する。光ファイバ先端は斜めに研磨してある。反射光がLDに戻るのを防ぐためである。このようなピグテール型モジュールの構造は公知である。
【0157】
ここでスポットサイズ変換レ−ザ45を光源に用いている。球レンズ47を集光レンズとしているが、近軸光線の比率が高く光ファイバに入る光量が増える。ために結合効率が高い。30mAの駆動電流によってSSC−LDを駆動した。光ファイバの出力パワーは0.7mWで、安定していた。
従来の広い広がり角のLDを使った場合は0.5mWであった。40%もパワーが増強されている。
【0158】
[実施例5(レセプタクル型モジュールへの応用)]
図11は本発明をレセプタクル型モジュールに適用した実施例を示す。レセプタクル型というのは、LDに対して光ファイバを着脱できるようにした形式である。
【0159】
リードピン59を底面に有する金属製のステム60の中央にサブマウント61、PD62が固定される。ステム60には隆起したポール63がある。ポール63の側面にサブマウント64、LD65が固定される。PD62、LD65を囲むように有天円筒形のキャップ66が設けられる。キャップ66の上天井には球レンズ67がありLD65の光を集光している。
【0160】
円盤状ステム60の上に金属円筒形のスリーブ68が溶接される。スリーブ68の上には、鍔付き円筒形の雌型コネクタ70が溶接される。雌型コネクタ70は広い円盤状の鍔71を有する。鍔71には幾つかの穴72が穿孔されている。雌型コネクタ70の中央のハブ73において前記のスリーブ68と溶接されている。
ハブ73の中心には縦に通し穴74が穿たれている。通し穴74の内面にはスリーブ75がはめこまれる。雌型コネクタ70の上部筒部の外側に凹溝76があり、その外側の円筒部には雄螺子77が刻設される。LD65の光はレンズ67によってスリーブ68の上頂部辺りに集光される。
【0161】
雄型コネクタ78は、先端に軸状のフェルール79を有する。フェルール79の外側同心にカラー80が設けられる。カラー80は、雌型コネクタ70の凹溝76に挿入される。カラー80の外側に位置決めピン81がある。これは雌型コネクタ70のハブ73の穴(図に現れない)に差し込まれ円周方向の位置を決める。その外側には円筒形ナット82が遊嵌される。ナット80のすぐ後ろはローッレット83になっており滑り止めになっている。前記のフェルール79は雄型コネクタ78のハウジング84の内部の通し穴に挿通固定してある。ハウジング84の後ろから柔軟部材のベンドリミッタ85が突き出ている。光ファイバ86はベンドリミッタ85、ハウジング84を貫き、先端のフェルール79にいたる。
【0162】
図11は分離した状態を示す。両者を結合するには、雄型コネクタ78のフェルール79を雌型コネクタ70の通し穴74に差し込み、位置決めピン81を所定の穴に入れ、ローレット83を廻して、ナット82と雄螺子77を締結する。締結した状態でフェルール79はスリーブ75の内部にある。光ファイバ先端はスリーブ68・雌型コネクタ70の境界に位置する。
【0163】
雌型雄型コネクタ70、78が組み合わさった状態で、LD65の光はレンズ67によって、ファイバ端面に集光される。このようなレセプタクル型モジュールの構造は公知である。
【0164】
この実施例において、スポットサイズ変換レ−ザ65を光源に用いている。球レンズ67を集光レンズとしている。スポットサイズ変換レ−ザの使用のため、近軸光線の比率が高く光ファイバに入る光量が増える。ために結合効率が高い。30mAの駆動電流によってSSC−LDを駆動した。光ファイバの出力パワーは0.7mWで、安定していた。
【0165】
従来の広い広がり角のLDを使った場合は0.5mWであった。40%もパワーが増強されているということである。
【0166】
【発明の効果】
本発明は、スポットサイズを広くし、ビーム広がり角を狭くして、光ファイバや、光導波路との結合効率を、50%〜100%も高めることができる。非常に優れた発明である。
【0167】
また、同じ光出力を得るためには、駆動電流が低くて済み、消費電力が低くなって、省エネルギーになる。
また駆動電流が低くなるからレ−ザ寿命も長くなるといった大きな利点がある。
【0168】
スポットサイズ変換レ−ザは、光ファイバ、光導波路とLDの直接接合のために開発されたものである。だから、今まで誰もが光ファイバ、光導波路と直接接合するものと思い込んでいた。ために、レンズ、特に球レンズを用いた集光レンズに適用した場合に、このような意外な効果があるということを誰もが思い付かなかったのである。本発明者は全く観点を変え、スポットサイズ変換レ−ザをレンズ系を介する間接接合に用いてすばらしい効果を得た。
【図面の簡単な説明】
【図1】LDチップと集光レンズを金属パッケージに収容した従来例にかかる光送信モジュールの縦断面図。
【図2】長手方向に厚み、幅が一定の活性層を有する従来のLDチップの概略透視図。
【図3】長手方向に厚みが変化し幅が一定の活性層を有する縦テーパ型スポットサイズ変換LDチップの概略透視図。
【図4】長手方向に幅が変化し厚みが一定の活性層を有する横テーパ型スポットサイズ変換LDチップの概略透視図。
【図5】平板に屈折率の高いコア部を設けた光導波路と、スポットサイズ変換LDを直接結合したものの平面図。
【図6】シングルモード光ファイバと、スポットサイズ変換LDを直接結合したものの縦断面図。
【図7】本発明の原理を示すための、シングルモード光ファイバと、スポットサイズ変換LDを球レンズによって間接結合した結合系の正面図。
【図8】LD・レンズ・像面よりなる光学系においてビーム軌跡を示す図。図8(A)は35度のビーム広がり角をもつ従来例にかかるLDの光を、球レンズによって光ファイバ端に集光した光学系において光線追跡法によって求めたビーム軌跡の図。図8(B)は12度のビーム広がり角をもつスポットサイズ変換LDの光を、球レンズによって光ファイバ端に集光した光学系において光線追跡法によって求めたビーム軌跡の図。
【図9】図8のビーム軌跡にレンズホルダ−を描き加えたもので、LD・レンズ・レンズホルダ−よりなる光学系のビーム軌跡を示す図。図9(A)は35度のビーム広がり角をもつ従来例にかかるLDの光を、レンズホルダ−に支持された球レンズによって光ファイバ端に集光した光学系において光線追跡法によって求めたビーム軌跡の図。ビームが広いのでレンズホルダ−が大きい。図9(B)は12度のビーム広がり角をもつスポットサイズ変換LDの光を、レンズホルダ−に支持された球レンズによって光ファイバ端に集光した光学系において光線追跡法によって求めたビーム軌跡の図。ビームが狭いのでレンズホルダ−が小さい。
【図10】ピグテール型モジュールに応用した実施例を示す縦断面図。
【図11】レセプタクル型モジュールに応用した実施例を示す縦断面図。
【図12】球レンズにおける光線の屈折を説明するための図。
【符号の説明】
1 光送信モジュール
2 ステム
3 ポール
4 LD
5 PD
6 キャップ
7 穴
8 レンズホルダ−
9 レンズ
10 フェルールホルダ−
11 光ファイバ
12 フェルール
13 LDチップ
14 幅厚みともに一定の活性層
15 厚みが変化する縦テーパ部活性層
16 幅が変化する横テーパ部活性層
18 横テーパ型スポットサイズ変換LD
19 縦テーパ型スポットサイズ変換LD
20 光導波路
21 コア部
22 シングルモード光ファイバ
23 コア部
24 球レンズ
30 活性層幅厚みが一定である通常のLD
31 レンズホルダ−
32 レンズ
33 活性層幅厚みが変化するスポットサイズ変換LD
34 レンズホルダ−
35 レンズ
39 リードピン
40 ステム
41 サブマウント
42 PD
43 ポール
44 サブマウント
45 SSC−LD
46 キャップ
47 球レンズ
48 スリーブ
49 フェルール
50 フェルールホルダ−
51 ベンドリミッタ
52 光ファイバ
53 プラグ
59 リードピン
60 ステム
61 サブマウント
62 PD
63 ポール
64 サブマウント
65 SSC−LD
66 キャップ
67 球レンズ
68 スリーブ
70 雌型コネクタ
71 鍔部
72 穴
73 ハブ
74 通し穴
75 スリーブ
76 凹溝
77 雄螺子
78 雄型コネクタ
79 フェルール
80 カラー
81 位置決めピン
82 ナット
83 ローレット
84 ハウジング
85 ベンドリミッタ
86 光ファイバ
Claims (6)
- 先細り幅と一定厚み又は先細り厚みと一定幅あるいは先細り幅と先細り厚みをもつ活性層を有するスポットサイズ変換レ−ザを金属製のパッケージに搭載し、球レンズを有するキャップをパッケージにかぶせ、光ファイバ・光導波路と離隔した球レンズによってスポットサイズ変換レ−ザの光をファイバ・光導波路に結合することを特徴とする発光装置。
- 外部とのインターフェイスがレセプタクルタイプであることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- 外部とのインターフェイスがピグテールタイプであることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- 外部とのインターフェイスが光導波路であることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- スポットサイズ変換レ−ザが、縦テーパ型若しくは横テーパ型、或いは縦・横両テーパ型である事を特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の発光装置。
- スポットサイズ変換レ−ザが、InGaAsP系の半導体材料よりなることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の発光装置。
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