JP3714032B2

JP3714032B2 - ワイヤカット放電加工装置

Info

Publication number: JP3714032B2
Application number: JP14788399A
Authority: JP
Inventors: 康雄 ▲ひろ▼中; 清侍佐藤
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1999-05-27
Filing date: 1999-05-27
Publication date: 2005-11-09
Anticipated expiration: 2019-05-27
Also published as: JP2000334619A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ワイヤカット放電加工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ワイヤカット放電加工装置は、他の工作機械では加工できない微細な切断加工が可能なことから、金型製造分野を中心にあらゆる製造現場に導入され、工作機械としての１つの分野を構成するに至っている。
【０００３】
図１０は従来のワイヤカット放電加工装置の放電加工部の近傍を示す斜視図、図１１は図１０の矢視ＸＩ−ＸＩ線から見た要部の断面図である。図１０及び図１１において、例えば直径０．２５ｍｍのワイヤ電極１と被加工体２との間に存在する放電加工間隙に、上部のノズル３と下部のノズル３とからポンプ４より供給された加工液５を噴射しつつ、上部の通電子６と下部の通電子６とに負の電圧を印加することによって、ワイヤ電極１が負に帯電し、また被加工体２に正の電圧が印加されると、ワイヤ電極１と被加工体２との間で生じる電位差により、放電を発生させる。ワイヤ電極１から被加工体２へ放電する際、ワイヤ電極１の温度の上昇を防ぐために、加工液５をワイヤ電極１に吹き付けることを行っている。このとき、加工液５の気化熱を伴う放電時の熱エネルギーにより被加工体２が溶融飛散され、被加工体２に加工溝７が形成されて例えば０．３５ｍｍの幅を有する開口部７ａが形成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来のワイヤカット放電加工装置は以上のように構成されているので、ワイヤ電極１と加工溝７の溝壁との間隙は０．０５ｍｍである。一方、ワイヤ放電加工を行うときのノズル３と被加工体２との間隙は0．２ｍｍ程度であるので、加工液５を加工溝７に吹き付けても全ての加工液５が加工溝７に流入されず、加工溝７に入って開口部７ａに流れる流れ５ａと、ノズル３と被加工体２との間隙から漏れる流れ５ｂが生じる。このため、流れ５ａの流量が減少し、被加工体２の中央まで加工液５が流れないので、ワイヤ電極１の中央部の冷却が十分に行えなくなり、ワイヤ電極１が断線し、加工速度が低下するという問題があった。
【０００５】
また、流れ５ａの流量が減少するので、加工溝７内に溜まった加工屑が容易に排出されなくなって加工溝７に付着したり、ワイヤ電極１が加工溝７内に浮遊している加工屑に放電したりすることもあり、このため加工精度が低下するという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、加工液を加工溝に十分に流入させてワイヤ電極の冷却を十分に行い、加工速度を高くすることができるワイヤカット放電加工装置を提供することを目的とする。
また、加工屑を容易に排出することで加工精度を向上させることができるワイヤカット放電加工装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明に係るワイヤカット放電加工装置においては、被加工体に対して垂直に移動するワイヤ電極が貫通され、被加工体に対向して設けられたノズルから、ワイヤ電極に沿って加工液を供給しながらワイヤ電極と被加工体との間に放電を発生させて被加工体に加工溝を形成するワイヤカット放電加工装置において、ノズルの周りに被加工体に対向して設けられ、被加工体と対向する面に平坦部を有するノズルカバーを備えたものである。
【００１０】
また、ノズルカバーとノズルとの隙間から加工液が漏れるのを防ぐ遮蔽部材を設けたものである。
【００１２】
また、加圧された加工媒体の流入口と、ワイヤ電極に対向して配置された環状の噴出口から加工媒体をワイヤ電極に向けて噴出させる流通口とをノズルカバーに設けたものである。
【００１３】
また、加圧された加工媒体の流入口と、被加工体に対向して配置された環状の噴出口から加工媒体を被加工体に向けて噴出させる流通口とをノズルカバーに設けたものである。
【００１４】
また、加工媒体がノズルから供給される加工液と同じであるものである。
【００１５】
また、加工媒体が気体であるものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１であるワイヤカット放電加工装置の概要を示す説明図、図２は図１の放電加工部の近傍を示す斜視図、図３は図２の矢視ＩＩＩ−ＩＩＩから見た断面図で、加工液の流れを示す説明図である。
図１〜図３において、ワイヤカット放電加工装置は、例えば直径０．２５ｍｍの黄銅からなるワイヤ１１を送り出す供給ボビン１２と、電磁ブレーキ１３ａに連結され、ワイヤ１１に所定の張力を与えるブレーキローラ１３と、ワイヤ１１の走行方向を変更させるアイドルローラ１４ａ，１４ｂ，１４ｃと、ワイヤ送出ローラ１５とを有し、これらローラ間にワイヤ１１が掛け渡されている。ワイヤ１１はアイドルローラ１４ｂと１４ｃとの間で垂直に延在し、被加工体１６に対して移動している。
【００１７】
ワイヤ１１の垂直延在部には、上部のノズル１７と下部のノズル１７とにそれぞれ被加工体１６に対向して設けられており、ワイヤ１１は両ノズル１７をそれぞれ貫通している。両ノズル１７には加工液ポンプ１８より加工液が供給される。両ノズル１７の内側には、それぞれワイヤ１１と導通接触する通電子１９が設けられている。両ノズル１７の周りには、それぞれ被加工体１６に対向して設けられ、被加工体１６と対向する平坦部２０ａを有するセラミック、樹脂などからなるノズルカバー２０が、図示されないボルトなどの締め付け具で取り付けられている。ノズルカバー２０は例えば、約８０ｍｍの外径を有し、その平坦部２０ａが被加工体１６に対向して間隙約０．２ｍｍをあけて配置されている。
【００１８】
尚、上部の通電子１９と下部の通電子１９とに導通接触し、両通電子１９の間に延在しているワイヤ１１を、ワイヤ電極１１ａと称する。また、ワイヤ電極１１ａのうちで、被加工体１６との間で放電加工を行う部位を放電加工部と称し、放電加工により被加工体１６に加工溝２２が形成されて例えば０．３５ｍｍの幅を有する開口部２２ａが形成される。両通電子１９は加工電源としてのパルス電源ユニット２３に電気的に接続されている。ワイヤ電極１１ａは上部と下部の両通電子１９によって支持され、被加工体１６との間に、例えば０．０５ｍｍの放電加工間隙を保っている。
【００１９】
次に、動作について説明する。ワイヤ電極１１ａと被加工体１６とが対向している放電加工間隙に、上部のノズル１７と下部のノズル１７とから加工液２４を噴射しつつ、上部の通電子１９と下部の通電子１９とに負の電圧を印加することによってワイヤ電極１１ａが負に帯電し、また被加工体１６に正の電圧が印加されると、ワイヤ電極１１ａと被加工体１６との間に生じる電位差により、放電を発生させる。ワイヤ電極１１ａから被加工体１６へ放電する際、ワイヤ電極１１ａの温度上昇を防ぐために、加工液２４をワイヤ電極１１ａに吹き付けることを行っている。ワイヤ電極１１ａと被加工体１６との間に存在する放電加工間隙において、放電時の熱エネルギーにより被加工体１６が溶融飛散される。
【００２０】
また、放電を継続的に行うためのワイヤ電極１１ａと被加工体１６との相対移動は、通常、Ｘ−Ｙクロステーブル（図示せず）を位置制御することにより行われている。上部のノズル１７と被加工体１６の相対移動は、被加工体１６の凹凸等に応じて、通常、Ｚ軸制御により上部のノズル１７が上下移動することにより所定値に保たれる。このようにして、被加工体１６に加工溝２２が形成される。
【００２１】
加工液２４は、ポンプ１８で加圧されてノズル１７内へ流入し、ノズル１７からワイヤ電極１１ａに沿って噴出される。噴出された加工液２４は被加工体１６の加工溝２２へ流入する流れ２４ａと被加工体１６の加工溝２２へ入らずに漏れる流れ２４ｂに分かれる。
しかし、ノズルカバー２０を設けることにより、ノズルカバー２０と被加工体１６との間を流れるときに生じる流動抵抗が大きくなるので、被加工体１６の加工溝２２へ入らずに漏れる流れ２４ｂが減少し、加工液の流量全体でバランスが取れるように加工溝２２の内側へ流入する流れ２４ａが増加する。
【００２２】
図４は、ノズルカバー２０の外径Ｄ１とノズル１７の外径Ｄ２との直径比（Ｄ１／Ｄ２）と、ノズルカバー２０と被加工体１６との間を加工液２４が流れるときに生じる流動抵抗Ｒ１とノズルカバー２０がないときの加工液２４が流れるときに生じる流動抵抗Ｒ２との流動抵抗比（Ｒ１／Ｒ２）との関係を示す説明図で、該関係を計算にて求めたグラフを示す。この計算はノズル外径を１８．５ｍｍ、ノズル穴径を４ｍｍとして計算したものである。直径比が１であるというのは、ノズルカバー２０がないときに相当し、このときの流動抵抗比が１となっている。ノズルカバー２０の外径が２倍となったときの流動抵抗比は約４倍、ノズルカバー２０の外径が３倍になったときの流動抵抗比は約９倍となっている。
【００２３】
このように、流動抵抗はノズルカバー２０の平坦部２０ａの面積に比例し、ノズルカバー２０を設けることにより、被加工体１６とノズルカバー２０との間隙の流動抵抗が増えるので、被加工体１６の加工溝２２へ入らずに漏れる加工液２４の流れ２４ｂの流量が減少し、加工溝２２へ流入する流れ２４ａの流量を増加できる。その結果、加工液２４を加工溝２２に十分に流入させることが可能となり、ワイヤ電極１１ａの冷却が行え、ワイヤ電極１１ａの断線を防げ、加工速度を高くすることができる。
また、加工溝２２へ流入する流れ２４ａの流量を増加できるので、加工屑を容易に排出することができ、加工屑への放電を防げ加工精度を向上させることができる。
【００２４】
尚、この実施の形態１では、被加工体１６の上部と下部のノズル１７にそれぞれノズルカバー２０を設けた例を示したが、上下いずれか一方のノズル１７のみにノズルカバー２０を設けてもよく、上記と同様の作用効果を奏する。
【００２５】
また、ノズル１７とノズルカバー２０とは一体成形されたものでもよく、上記と同様の作用効果を奏する。
【００２６】
実施の形態２．
図５は、この発明の実施の形態２であるワイヤカット放電加工装置の放電加工部の断面図で、加工液の流れを示す説明図である。なお、ワイヤカット放電加工装置の概要を示す説明図及び放電加工部の近傍を示す斜視図は、図１及び図２のものと同様である。図５で示した符号のうち、図１、図２で示した符号と同一のものは、同じまたは相当品を示し、その説明を省略する。
【００２７】
実施の形態２が実施の形態１の構成と異なるところは、ノズル１７の周りに図示されないボルトなどの締め付け具で取り付けられ、被加工体１６に対向して設けられ、被加工体１６と対向する面に平坦部３０ａを有するセラミック、樹脂などからなるノズルカバー３０が、その平坦部３０ａをノズル１７の端面の配置（図５において被加工体１６とノズル１７との間隙Ｓ２で表示した位置）に比し、より接近して被加工体１６に対して対向させて配置（図５において被加工体１６とノズルカバー３０との間隙Ｓ１で表示した位置）しているところ、及びノズル１７の端部とノズルカバー３０との間が、ゴム、樹脂、プラスチックなどからなる遮蔽部材としてのシール部材３１で塞がれているところである。
【００２８】
図５を用いて加工液２４の流れを説明する。ノズル１７からワイヤ電極１１ａに沿って噴出された加工液２４は、被加工体１６の加工溝２２へ流入する流れ２４ｃと、被加工体１６の加工溝２２へ入らずに漏れる流れ２４ｄとに分かれる。流れ２４ｄがノズルカバー３０のエッジ部３０ｂを通過するときに流れが縮流することにより、流動抵抗が生じる。この縮流による流動抵抗はＳ１／Ｓ２が小さくなるにつれて大きくなり、流れ２４ｄの流量が減少し、加工液２４の全体の流量でバランスが取れるように加工溝２２内へ流入する流れ２４ｃの流量が増加する。
【００２９】
また、間隙Ｓ１を減少させることにより、被加工体１６とノズル１７とノズルカバー３０とシール部材３１とで形成される空間Ｖ１ができる。ノズル１７から噴出した加工液２４が直接加工溝２２に流入しなかった流れは、被加工体１６とノズルカバー３０との間に漏れる流れ２４ｄとなっていたが、空間Ｖ１ができることにより、その流れの一部は空間Ｖ１内で循環する流れ２４ｅとなり、再度ノズル１７から噴出される加工液２４と合流して加工溝２２へ流入しようとする。このため、空間Ｖ１がないときに比し、空間Ｖ１がある方が加工溝２２へ流入する流れ２４ｃの流量が増える。
【００３０】
図６にＳ１をＳ２より小さくすることにより増える流動抵抗を計算にて求めたグラフを示す。この計算は全てＳ２＝０．２ｍｍ、ノズルカバーと被加工体の間を漏れる流量は一定として計算したものである。横軸はＳ１／Ｓ２、縦軸はＳ１＝０．１９ｍｍを基準としたときの流動抵抗に対する比である。Ｓ１＝０．１９ｍｍを基準としたときの流動抵抗をとしたのは、ノズルカバーがない状態Ｓ２＝０．２０ｍｍのときは全く狭くならないため、狭くなることによる流動抵抗は０となり、基準抵抗としてこの抵抗値で割ることができないためである。
このグラフよりＳ１／Ｓ２＝０．５というのは、Ｓ１をＳ２の半分にしたときにノズルカバーがないときと同じ流量がこの間隙より漏れるときの抵抗を示しており、約８０倍まで大きくなる。このようにノズルカバー３０と被加工体１６との間の流動抵抗が増加し、ノズルカバー３０と被加工体１６との間隙から漏れる流れ２４ｄが減少し、加工液２４が加工溝２２へ流入しやすくなる。
【００３１】
その結果、加工溝２２に流入する加工液２４の流れ２４ｃの流量を増加させることができ、このため、ワイヤ電極１１ａの冷却を十分にすることが可能となり、ワイヤ電極１１ａの断線を防げ、加工速度を高くすることができる。
また、加工溝２２への加工液２４の流入量が増えることにより、加工屑を容易に排出することが可能になり、加工屑への放電を防げ、加工精度を向上させることができる。
【００３２】
尚、ノズル１７とノズルカバー３０との間の隙間から加工液２４が漏れるのを防ぐ遮蔽部材として、シール部材３１の替わりに、ノズル１７とノズルカバー３０との隙間の部分に図示しないカバーを設けてねじ止めするとか、隙間の部分に図示しない気体または液体で圧力をかけてもよく、上記と同様の作用効果を奏する。
【００３３】
実施の形態３．
図７は、この発明の実施の形態３であるワイヤカット放電加工装置の放電加工部の断面図で、加工液の流れを示す説明図である。なお、ワイヤカット放電加工装置の概要を示す説明図及び放電加工部の近傍を示す斜視図は、図１及び図２のものと同様である。図７で示した符号のうち、図１、図２で示した符号と同一のものは、同じまたは相当品を示し、その説明を省略する。
【００３４】
実施の形態３が実施の形態１の構成と異なるところは、ノズル１７の周りに図示されないボルトなどの締め付け具で取り付けられ、被加工体１６に対向して設けられ、被加工体１６と対向する面に平坦部４０ａを有するセラミック、樹脂などからなるノズルカバー４０が、ポンプ１８で加圧されて供給される加工液２４の流入口４０ｂと、ノズル１７に沿って設けられ、被加工体１６に対向して配置された噴出口４０ｃから加工液２４を被加工体１６に向けて噴出させる流通口４０ｄとを有しているところである。
【００３５】
図７を用いて加工液２４の流れを説明する。ノズル１７からワイヤ電極１１ａに沿って噴出された加工液２４は、被加工体１６の加工溝２２へ流入する流れ２４ｆと、被加工体１６の加工溝２２へ入らずに漏れる流れ２４ｇとに分かれる。ワイヤ電極１１ａと加工溝２２の溝壁との間隙は０．０５ｍｍであるのに対し、ノズル１７と被加工体１６との間隙は0．２ｍｍぐらいあり、加工液２４を加工溝２２に吹き付けても全部の加工液が加工溝２２に入らず、ノズル１７と被加工体１６との間隙から漏れる流れ２４ｇの方に多く流れる。
【００３６】
しかし、ノズルカバー４０に設けられた流通口４０ｄから噴出口４０ｃを介して噴出される加工液２４の流れ２４ｈにより、液体で形成された壁が形成されて流れ２４ｇが遮られる。このため、流れ２４ｇが空間Ｖ２内で循環する流れ２４ｉとなり、再度ノズル１７から噴出されてくる加工液２４と合流し、加工溝２２へ流入しようとする。そのため、流れ２４ｇを遮るようにする流れ２４ｈがないときと比べて、加工溝２２へ流入する流れ２４ｆの流量が増える。
【００３７】
その結果、加工溝２２に流入する流れ２４ｆの流量を増加させることができ、このため、ワイヤ電極１１ａの冷却を十分にすることが可能となり、ワイヤ電極１１ａの断線を防げ、加工速度を高くすることができる。
また、加工溝２２への加工液２４の流入量が増えることにより、加工屑を容易に排出することが可能になり、加工屑への放電を防げ、加工精度を向上させることができる。
【００３８】
また、ノズル１７及びノズルカバー４０を被加工体１６に近づけることなく加工溝２２へ流入する流れ２４ｆの流量を増加することができるため、被加工体１６に凹凸がある場合には、ノズル１７やノズルカバー４０を被加工体１６から離して加工していても、加工液２４を加工溝２２に十分流入させてワイヤ電極１１ａの冷却を行うことが可能となる。
【００３９】
また、ポンプ（図示せず）を１台にして、バイパス（図示せず）をノズル１７とノズルカバー５０とに接続して加工液２４を供給してもよく、上記と同様の効果を奏する。この場合は、特別に別の加工液を供給する構造にする必要がなく、加工液及びポンプを共有化することができるため、構造も簡単にすることができる。
【００４０】
尚、流入口４０ｂにはポンプ１８により加圧された気体を流入させてもよく、上記と同様の効果を奏する。
【００４１】
実施の形態４．
図８は、この発明の実施の形態4であるワイヤカット放電加工装置の放電加工部の断面図で、加工液の流れを示す説明図である。なお、ワイヤカット放電加工装置の概要を示す説明図及び放電加工部の近傍を示す斜視図は、図１及び図２のものと同様である。図８で示した符号のうち、図１、図２で示した符号と同一のものは、同じまたは相当品を示し、その説明を省略する。
【００４２】
実施の形態４が実施の形態１の構成と異なるところは、ノズル１７の周りに図示されないボルトなどの締め付け具で取り付けられ、被加工体１６に対向して設けられ、被加工体１６と対向する面に平坦部５０ａを有するセラミック、樹脂などからなるノズルカバー５０が、ポンプ１８より供給されて流入口５０ｂから流入した加工液２４を全周に漏れなく供給する開口部５０ｃと、この開口部５０ｃから加工液２４を流入させ、ノズル１７の下方に配置された噴出口５０ｄから加工液２４をワイヤ電極１１ａに向けて噴出させる流通口５０ｅを有しているところである。
【００４３】
図８を用いて加工液２４の流れを説明する。加工液２４はポンプ１８で加圧されノズル１７内へ流入し、ノズル１７からワイヤ電極１１ａに沿って噴出される構造となっている。噴出された加工液２４は被加工体１６の加工溝２２へ流入する流れ２４ｊと、被加工体１６の加工溝２２へ入らずに漏れる流れ２４ｋとに分かれる。ワイヤ電極１１ａと加工溝２２の溝壁との間隙は０．０５ｍｍであるのに対し、ノズル１７と被加工体１６との間隙は０．２ｍｍぐらいあり、加工液２４を加工溝２２に吹き付けても全部の加工液が加工溝２２に入らず、ノズル１７と被加工体１６との間隙から漏れる流れ２４ｋの方に多く流れる。
【００４４】
しかし、ポンプ１８で加圧され、ノズルカバー５０に設けられた流通口５０ｅから噴出口５０ｄを介して噴出される加工液２４の流れ２４ｌにより、ノズル１７からワイヤ電極１１ａに沿って噴出される加工液２４が周りから加圧され、ノズル１７の噴出口１７ａから離れても広がりにくくなる。また、加工液２４の周りをノズルカバー５０の噴出口５０ｄから噴出される加工液２４の流れ２４ｌで覆われているため、被加工体１６に接触しても飛び散りにくくなり、このため、流れ２４ｌがないときに比べて被加工体１６の加工溝２２に流入しやすくなる。
【００４５】
その結果、加工溝２２に流入する加工液２４の流れ２４ｊの流量を増加させることができ、このため、ワイヤ電極１１ａの冷却を十分にすることが可能となり、ワイヤ電極１１ａの断線を防げ、加工速度を高くすることができる。
また、加工溝２２へ流入する流れ２４ｊの流入量が増えることにより、加工屑を容易に排出することが可能になり、加工屑への放電を防げ、加工精度を向上させることができる。
【００４６】
また、ノズル１７及びノズルカバー５０を被加工体１６に近づけることなく加工溝２２へ流入する流れ２４ｍの流量を増加することができるため、被加工体１６に凹凸がある場合には、ノズル１７やノズルカバー５０を被加工体１６から離して加工していても、加工液２４を加工溝２２に十分流入させてワイヤ電極１１ａの冷却を行うことが可能となる。
【００４７】
また、ポンプ（図示せず）を１台にして、バイパス（図示せず）をノズル１７とノズルカバー５０とに接続して加工液２４を供給してもよく、上記と同様の効果を奏する。この場合は、特別に別の加工液を供給する構造にする必要がなく、加工液及びポンプを共有化することができるため、構造も簡単にすることができる。
【００４８】
尚、流入口５０ｂにはポンプ１８より加圧された気体を流入させてもよく、上記と同様の効果を奏する。
【００４９】
実施の形態５．
図９は、この発明の実施の形態５であるワイヤカット放電加工装置の放電加工部の断面図で、加工液の流れを示す説明図である。なお、ワイヤカット放電加工装置の概要を示す説明図及び放電加工部の近傍を示す斜視図は、図１及び図２のものと同様である。図９で示した符号のうち、図１、図２で示した符号と同一のものは、同じまたは相当品を示し、その説明を省略する。
【００５０】
実施の形態５が実施の形態１の構成と異なるところは、ノズル１７の周りに図示されないボルトなどの締め付け具で取り付けられ、被加工体１６に対向して設けられ、被加工体１６と対向する面に平坦部６０ａを有するセラミック、樹脂などからなるノズルカバー６０が、ポンプ１８より供給されて流入口６０ｂから流入した加工液２４を全周に漏れなく供給する開口部６０ｃと、この開口部６０ｃから加工液２４を流入させ、平坦部６０ａに配置された噴出口６０ｄから加工液２４を被加工体１６に向けて噴出させる流通口６０ｅとを有しているところである。
【００５１】
図９を用いて加工液２４の流れを説明する。加工液２４はポンプ１８で加圧されてノズル１７内へ流入し、ノズル１７からワイヤ電極１１ａに沿って噴出される構造となっている。噴出された加工液２４は被加工体１６の加工溝２２へ流入する流れ２４ｐと、被加工体１６の加工溝２２へ入らずに漏れる流れ２４ｑとに分かれる。ワイヤ電極１１ａと加工溝２２の溝壁との間隙は０．０５ｍｍであるのに対し、ノズル１７と被加工体１６との間隙は０．２ｍｍぐらいあり、加工液２４を加工溝２２に吹き付けても全部の加工液が加工溝２２に入らず、ノズル１７と被加工体１６との間隙から漏れる流れ２４ｑの方に多く流れる。
【００５２】
しかし、ポンプ１８で加圧され、ノズルカバー６０に設けられた流通口６０ｅから噴出口６０ｄを介して噴出される加工液２４の流れ２４ｒが、被加工体１６とノズルカバー６０との間隙に高圧力の液体膜を張るようになる。このため、ノズルカバー６０と被加工体１６の間隙に漏れていた加工液の流れが遮られ、この遮られた加工液の流れがノズルカバー６０とノズル１７と被加工体１６で形成された空間Ｖ３内で循環する流れ２４ｓとなり、再度ノズル１７からの噴出される加工液２４と合流して加工溝２２へ流入されるので、被加工体１６の加工溝２２に流入しやすくなる。
【００５３】
その結果、加工溝２２に流入する流れ２４ｐの流量を増加させることができ、このため、ワイヤ電極１１ａの冷却を十分にすることが可能となり、ワイヤ電極１１ａの断線を防げ、加工速度を高くすることができる。
また、加工溝２２への加工液２４ｐの流入量が増えることにより、加工屑を容易に排出することが可能になり、加工屑への放電を防げ、加工精度を向上させることができる。
【００５４】
また、ノズル１７及びノズルカバー６０を被加工体１６に近づけることなく加工溝２２へ流入する流れ２４ｐの流量を増加することができるため、被加工体１６に凹凸がある場合には、ノズル１７やノズルカバー６０を被加工体１６から離して加工していても、加工液２４を加工溝２２に十分流入させてワイヤ電極１１ａの冷却を行うことが可能となる。
【００５５】
また、ポンプ（図示せず）を１台にして、バイパス（図示せず）をノズル１７とノズルカバー６０とに接続して加工液２４を供給してもよく、上記と同様の効果を奏する。この場合は、特別に別の加工液を供給する構造にする必要がなく、加工液及びポンプを共有化することができるため、構造も簡単にすることができる。
【００５６】
尚、流入口６０ｂにはポンプ１８より加圧された気体を流入させてもよく、上記と同様の効果を奏する。
【００５７】
【発明の効果】
この発明は、以上に説明したように構成されているので、以下に示すような効果を奏する。
【００５８】
この発明に関わるワイヤカット放電加工装置によれば、ノズルの周りに被加工体に対向して設けられ、被加工体と対向する面に平坦部を有するノズルカバーを備えたことにより、被加工体とノズルカバーとの間隙の流動抵抗が増えるので、被加工体とノズルカバーとの間隙に漏れる加工液の流れの流量が減少し、加工溝へ流入する加工液の流れの流量を増加でき、このため、加工液を加工溝に十分に流入させることが可能となり、ワイヤ電極の冷却が行え、ワイヤ電極の断線を防げ、加工速度を高くすることができる。
また、加工溝へ流入する加工液の流れの流量が増えることにより、加工屑を容易に排出することが可能となり、加工屑への放電を防げ加工精度を向上させることができる。
【００６１】
また、ノズルカバーとノズルとの隙間から加工液が漏れるのを防ぐ遮蔽部材を設けたことにより、被加工体とノズルカバーと遮蔽部材とノズルとで形成される空間を形成し、加工溝に流入しない加工液のうちの一部の流れは、該空間内で循環する流れとなり、ノズルから供給される加工液と合流して加工溝へ流入しようとするため、加工溝へ流入する加工液の流れの流量を増加できる。
【００６３】
また、加圧された加工媒体の流入口と、ワイヤ電極に対向して配置された環状の噴出口から加工媒体を前記ワイヤ電極に向けて噴出させる流通口とを前記ノズルカバーに設けたことにより、ノズルからワイヤ電極に沿って供給される加工液が、噴出口から噴出される加工媒体の流れで加圧されて覆われるため、被加工体に接触しても飛び散りにくくなるので、加工溝へ流入する加工液の流れの流量を増加できる。
【００６４】
また、加圧された加工媒体の流入口と、被加工体に対向して配置された環状の噴出口から加工媒体を前記被加工体に向けて噴出させる流通口とを前記ノズルカバーに設けたことにより、流通口から噴出口を介して噴出される加工媒体の流れが、被加工体とノズルカバーとの間隙に高圧力の液体膜を張るようになるため、ノズルカバーと被加工体との間隙に漏れていた加工液の流れが遮られ、この遮られた加工液の流れがノズルカバーとノズルと被加工体で形成された空間内で循環する流れとなり、ノズルから供給される加工液と合流し、加工溝へ流入しようとするため、加工溝へ流入する加工液の流れの流量を増加できる。
【００６５】
また、加工媒体がノズルから供給される加工液と同じであることにより、加工溝へ流入する加工液の流れの流量を増加できる。
【００６６】
さらにまた、加工媒体が気体であることにより、加工溝へ流入する加工液の流れの流量を増加できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１を示すワイヤカット放電加工装置の概要を示す説明図である。
【図２】図１の放電加工部の近傍を示す斜視図である。
【図３】図２の矢視ＩＩＩ−ＩＩＩ線から見た断面図で、加工液の流れを示す説明図である。
【図４】ノズルカバーの直径に対する流動抵抗を計算にて求めたグラフである。
【図５】この発明の実施の形態２を示すワイヤカット放電加工装置の放電加工部を示す断面図で、加工液の流れを示す説明図である。
【図６】ノズルカバーと被加工体との間隙に対する流動抵抗を計算にて求めたグラフである。
【図７】この発明の実施の形態３を示すワイヤカット放電加工装置の放電加工部を示す断面図で、加工液の流れを示す説明図である。
【図８】この発明の実施の形態４を示すワイヤカット放電加工装置の放電加工部を示す断面図で、加工液の流れを示す説明図である。
【図９】この発明の実施の形態５を示すワイヤカット放電加工装置の放電加工部を示す断面図で、加工液の流れを示す説明図である。
【図１０】従来のワイヤカット放電加工装置の放電加工部の近傍を示す斜視図で、加工液の流れを示す説明図である。
【図１１】図１０の矢視ＸＩ−ＸＩ線から見た要部の断面図である。
【符号の説明】
１１ａワイヤ電極
１６被加工体
１７ノズル
２０，３０，４０，５０，６０ノズルカバー
２０ａ，３０ａ，４０ａ，５０ａ，６０ａ平坦部
２２加工溝
２４加工液
３１遮蔽部材
４０ｂ，５０ｂ，６０ｂ流入口
４０ｃ，５０ｄ，６０ｄ噴出口
４０ｅ，５０ｅ，６０ｅ流通口

Claims

被加工体に対して垂直に移動するワイヤ電極が貫通され、前記被加工体に対向して設けられたノズルから、前記ワイヤ電極に沿って加工液を供給しながら前記ワイヤ電極と前記被加工体との間に放電を発生させて前記被加工体に加工溝を形成するワイヤカット放電加工装置において、ノズルカバーの平坦部をノズルと被加工体との間隙より小さい間隙で前記被加工体と対向して配置させ、且つ加圧された加工媒体の流入口と、前記ノズルカバーの内周面に設けられ前記ワイヤ電極に対向して配置された環状の噴出口から前記加工媒体を前記ワイヤ電極に向けて噴出させる流通口とを前記ノズルカバーに設けたことを特徴とするワイヤカット放電加工装置。
被加工体に対して垂直に移動するワイヤ電極が貫通され、前記被加工体に対向して設けられたノズルから、前記ワイヤ電極に沿って加工液を供給しながら前記ワイヤ電極と前記被加工体との間に放電を発生させて前記被加工体に加工溝を形成するワイヤカット放電加工装置において、ノズルカバーの平坦部をノズルと被加工体との間隙より小さい間隙で前記被加工体と対向して配置させ、且つ加圧された加工媒体の流入口と、前記ノズルカバーの平坦部に設けられ前記ワイヤ電極に対向して配置された環状の噴出口から前記加工媒体を前記被加工体に向けて噴出させる流通口とを前記ノズルカバーに設けたことを特徴とするワイヤカット放電加工装置。
加工媒体がノズルから供給される加工液と同じであることを特徴とする請求項１ないし２のいずれか１項に記載のワイヤカット放電加工装置。
加工媒体が気体であることを特徴とする請求項１ないし２のいずれか１項に記載のワイヤカット放電加工装置。