JP3709493B2 - シリコン単結晶の引上げ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコン融液からシリコン単結晶棒を引上げて育成する装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の装置として、図4に示すように、チャンバ1内にシリコン融液2が貯留された石英るつぼ3が収容され、シリコン単結晶棒5の外周面と石英るつぼ3の内周面との間にシリコン単結晶棒5を囲むように筒状の熱遮蔽部材6が挿入され、更に熱遮蔽部材6の上端が外方に略水平方向に張り出されたものが知られている。この装置では、熱遮蔽部材6の下端はシリコン融液2表面近傍まで延びる。また熱遮蔽部材6の上端は保温筒9の上端に載置され、この熱遮蔽部材6によりヒータ8からシリコン単結晶棒5に照射される輻射熱が遮断される。更にチャンバ1に接続されたガス給排手段(図示せず)によりチャンバ1内に不活性ガスを供給すると、この不活性ガスは二点鎖線の矢印で示すようにシリコン単結晶棒5の外周面を流下し、熱遮蔽部材6下端及びシリコン融液2表面の隙間を通って石英るつぼ3外に排出されるようになっている。
【0003】
このように構成された装置では、シリコン融液2中の酸素がSiOガス等となって蒸発するが、このとき熱遮蔽部材6の存在により不活性ガスが熱遮蔽部材6下端及びシリコン融液2表面の隙間をシリコン単結晶棒5外周面側から石英るつぼ3内周面側に向って勢い良く流れるため、上記蒸発したSiOガス等の蒸発物をシリコン単結晶棒5から遠ざける。この結果、上記蒸発物がシリコン単結晶棒5に取り込まれてシリコン単結晶棒5に格子欠陥である転位が発生するのを防止できる。また熱遮蔽部材6は熱を効率よく遮蔽するため、シリコン単結晶棒5の生産性を向上できるようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来のシリコン単結晶の引上げ装置では、シリコン融液2から引上げられるシリコン単結晶棒5よりも上方に位置する部材から不純物が発生する場合があり、この不純物が不活性ガスに混入してシリコン単結晶棒5の外周面まで搬送される不具合がある。特に、カーボンやモリブデンなどからなる熱遮蔽部材6が図4に示すように下方に向って直径が小さく形成された場合には、この熱遮蔽部材6から生じた不純物が不活性ガスの流れによってシリコン単結晶棒5の下部に案内され、この不純物によりシリコン単結晶棒5が汚染される恐れがあった。
本発明の目的は、不活性ガスに混入した不純物によるシリコン単結晶棒の汚染を防止でき、高純度のシリコン単結晶棒を得ることができるシリコン単結晶の引上げ装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明は、図1に示すように、チャンバ11内の石英るつぼ13に貯留されたシリコン融液12から引上げられるシリコン単結晶棒25の外周面を包囲しかつ下端がシリコン融液12表面から間隔をあけて上方に位置しヒータ18からの輻射熱を遮る熱遮蔽部材26と、不活性ガスをシリコン単結晶棒25及び熱遮蔽部材26間を流下させかつシリコン融液12表面を通過させてチャンバ11外に排出するガス給排手段27とを備えたシリコン単結晶の引上げ装置の改良である。
その特徴ある構成は、短筒体31が熱遮蔽部材26の内周面から所定の間隔をあけて熱遮蔽部材26の下部に設けられたところにある。
この請求項1に記載されたシリコン単結晶の引上げ装置では、ガス給排手段27によりチャンバ11内に供給された不活性ガスにはチャンバ11内上部の部材から発生した不純物が混入する場合があり、この不純物はチャンバ11内上部の部材表面に沿う不活性ガスの流れに乗って流下し、更に熱遮蔽部材26内周面に沿って流下する。短筒体31は熱遮蔽部材26の下部においてこの不純物を含む不活性ガスをシリコン単結晶棒25に接近させることなくシリコン融液12の表面まで案内し、チャンバ11外に排出させる。このため、シリコン単結晶棒25が不純物により汚染されることは殆どない。
【0006】
請求項2に係る発明は、請求項1に係る発明であって、図3に示すように、熱遮蔽部材26のシリコン単結晶棒25を包囲する部分26aが下方に向って直径が小さく形成され、先端が熱遮蔽部材26の内面に当接可能に構成された複数の取付リブ31aが短筒体31の外周に放射状に形成されたシリコン単結晶の引上げ装置である。
この請求項2に記載されたシリコン単結晶の引上げ装置では、シリコン単結晶棒25を包囲する部分26aに上方から短筒体31を挿入することにより、放射状に形成された取付リブ31aの先端が熱遮蔽部材26の下部における内周面に当接して短筒体31が取付けられる。このため、下方に向って直径が小さく形成された既存の熱遮蔽部材に容易に本発明に係る短筒体31を取付けることができる。
【0007】
一方、取付リブ31aの先端を熱遮蔽部材26の内周面に当接して取付けた短筒体31は、上方に持上げることにより熱遮蔽部材26から容易に取外すこともでき、シリコン単結晶棒25引上げ後における引上げ装置から短筒体31のみを取外して清掃することもできる。
請求項3に係る発明は、請求項1又は2に係る発明であって、短筒体31が石英により作られたシリコン単結晶の引上げ装置である。
この請求項3に記載されたシリコン単結晶の引上げ装置では、赤外線を透過させる石英により短筒体31を作ることにより、短筒体31を熱遮蔽部材26に取付けても、取付けない場合と比較してシリコン単結晶棒25の周囲の温度分布を変更させることはない。
【0008】
【発明の実施の形態】
次に本発明の第1の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1に示すように、シリコン単結晶の引上げ装置10のチャンバ11内には、シリコン融液12を貯留する石英るつぼ13が設けられ、この石英るつぼ13の外面は黒鉛サセプタ14により被覆される。石英るつぼ13の下面は上記黒鉛サセプタ14を介して支軸16の上端に固定され、この支軸16の下部はるつぼ駆動手段17に接続される。るつぼ駆動手段17は図示しないが石英るつぼ13を回転させる第1回転用モータと、石英るつぼ13を昇降させる昇降用モータとを有し、これらのモータにより石英るつぼ13が所定の方向に回転し得るとともに、上下方向に移動可能となっている。石英るつぼ13の外方にはこの石英るつぼ13の外周面を所定の間隔をあけて包囲するヒータ18が設けられ、ヒータ18の外方にはこのヒータ18の外周面を所定の間隔をあけて包囲する保温筒19が設けられる。ヒータ18により石英るつぼ13に投入された高純度のシリコン多結晶が溶融してシリコン融液12になる。
【0009】
またチャンバ11の上面にはチャンバ11より小径の円筒状のケーシング21が設けられる。このケーシング21には引上げ手段22が設けられる。引上げ手段22はケーシング21の上端部に水平状態で旋回可能に設けられた引上げヘッド(図示せず)と、このヘッドを回転させる第2回転用モータ(図示せず)と、ヘッドから石英るつぼ13の回転中心に向って垂下されたワイヤケーブル23と、上記ヘッド内に設けられワイヤケーブル23を巻取り又は繰出す引上げ用モータ(図示せず)とを有する。ワイヤケーブル23の下端にはシリコン融液12に浸してシリコン単結晶棒25を引上げるための種結晶24が取付けられる。
【0010】
シリコン単結晶棒25の外周面と石英るつぼ13の内周面との間にはシリコン単結晶棒25の外周面を包囲するように熱遮蔽部材26が挿入される。熱遮蔽部材26は黒鉛により形成され、シリコン単結晶棒25を包囲する部分である下方に向うに従って直径が小さくなる筒状の筒状部26aと、この筒状部26aの上端から外方に略水平方向に張り出す円板状のフランジ部26bとを有する。筒状部26aの下端はシリコン融液12表面近傍まで延び、上端は保温筒19の上端と略同一高さとなるまで延びる。上記熱遮蔽部材26のフランジ部26bの下面を保温筒19の上面に設置すると、熱遮蔽部材26の筒状部26aがチャンバ11内をシリコン単結晶側とるつぼ内周面側とに区画しかつヒータ18からシリコン単結晶棒25に照射される輻射熱を遮断するようになっている。
【0011】
チャンバ11にはアルゴンガスや窒素ガス等の不活性ガスをシリコン単結晶棒25及び熱遮蔽部材26間を流下させかつシリコン融液12表面を通過させてチャンバ11外に排出するガス給排手段27が接続される。ガス給排手段27は一端がケーシング21の上部周壁に接続され他端がエアタンク(図示せず)に接続されたガス供給パイプ27aと、一端がチャンバ11の下壁に接続され他端が真空ポンプ(図示せず)に接続されたガス排出パイプ27bとを有する。ガス供給パイプ27a及びガス排出パイプ27bにはこれらのパイプ27a,27bを流れる不活性ガスの流量を調整する第1及び第2流量調整弁27c,27dがそれぞれ設けられる。
【0012】
引上げ用モータの出力軸(図示せず)にはロータリエンコーダ(図示せず)が接続され、るつぼ駆動手段17には石英るつぼ13内のシリコン融液12の重量を検出する重量センサ(図示せず)と、支軸16の昇降位置を検出するリニヤエンコーダ(図示せず)とが設けられる。ロータリエンコーダ、重量センサ及びリニヤエンコーダの各検出出力はコントローラ(図示せず)の制御入力に接続され、コントローラの制御出力は引上げ手段22の引上げ用モータ、るつぼ駆動手段17の昇降用モータにそれぞれ接続される。またコントローラにはメモリ(図示せず)が設けられ、このメモリにはロータリエンコーダの検出出力に対するワイヤケーブル23の巻取り長さ、即ちシリコン単結晶棒25の引上げ長さがマップとして記憶され、重量センサの検出出力に対する石英るつぼ13内のシリコン融液12の液面レベルがマップとして記憶される。コントローラは重量センサの検出出力に基づいて石英るつぼ13内のシリコン融液12の液面が常に一定のレベルに保つように、るつぼ駆動手段17の昇降用モータを制御する。
【0013】
この実施の形態の特徴ある構成は、短筒体31が熱遮蔽部材26の内周面から所定の間隔をあけて熱遮蔽部材26の下部に設けられたところにある。図3に示すように、短筒体31の外周には4本の取付リブ31aが放射状に形成され、取付リブ31aの先端は熱遮蔽部材26の内面に当接可能に構成される。短筒体31及び取付リブ31aは透明な石英により一体的に作られ、短筒体31の熱遮蔽部材26への取付けは下方に向って直径が小さく形成された筒状部26aに上方から図の実線矢印で示すように挿入することにより行われる。筒状部26aに上方から挿入された短筒体31は筒状部26aの下部において放射状に形成された取付リブ31aの先端が内周面に当接することにより取付けられ、短筒体31は図の破線矢印で示すように上方に持上げることにより熱遮蔽部材26から取外し可能に取付けられる。なお、図では4本の取付リブ31aが形成された場合を示すが、この取付リブ31aは4本に限らず、3本又は5本以上でも良い。
【0014】
このように構成されたシリコン単結晶の引上げ装置の動作を説明する。
図1に示すように、シリコン単結晶棒25を引上げるときには、第1及び第2流量調整弁27c,27dを調整することにより、シリコン融液12表面と熱遮蔽部材26下端との間に不活性ガスを通過させ、シリコン融液12から蒸発するSiOガス等の蒸発物をシリコン単結晶棒25から遠ざける。
【0015】
一方、ガス供給パイプ27aからチャンバ11内に供給された不活性ガスにはチャンバ11内上部の部材から発生した鉄や銅等の重金属の不純物が混入する場合がある。この不純物はチャンバ11内上部の部材表面に沿う不活性ガスの流れに乗って流下し、図2の一点鎖線矢印で示すように熱遮蔽部材26の筒状部26a内周面に沿って流下する。この場合、短筒体31は熱遮蔽部材26の下部においてシリコン単結晶棒25及び熱遮蔽部材26間を流下する不活性ガスのうち熱遮蔽部材26の表面に沿って流下する不活性ガスをシリコン単結晶棒25から離間させた状態でシリコン融液12の表面まで案内する。即ち、短筒体31は不純物を含む不活性ガスをシリコン単結晶棒25に接近させることなくシリコン融液12の表面まで案内し、シリコン融液12の表面まで案内された不活性ガスはその後熱遮蔽部材16下端及びシリコン融液12表面の隙間を通り、不純物を殆ど含まない破線矢印で示す不活性ガスとともにチャンバ11外に排出される。この結果、シリコン融液12から引上げられるシリコン単結晶棒25周囲の不活性ガスは不純物を殆ど含まず、上記シリコン単結晶棒25が不純物により汚染されることは殆どないので、高純度のシリコン単結晶棒25を製造することができる。
【0016】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、シリコン単結晶棒及び熱遮蔽部材間を流下する不活性ガスのうち熱遮蔽部材の表面に沿って流下する不純物を含む不活性ガスを短筒体がシリコン単結晶棒に接近させることなく案内してチャンバ外に排出するように構成したので、シリコン単結晶棒周囲の不活性ガスは不純物を殆ど含まず、上記シリコン単結晶棒が不純物により汚染されることは殆どない。この結果、高純度のシリコン単結晶棒を製造することができる。
また、熱遮蔽部材のシリコン単結晶棒を包囲する部分が下方に向って直径が小さく形成された場合に、放射状に形成された複数の取付リブを介して短筒体を取付けるようにすれば、上方から短筒体を挿入するだけの簡単な作業で短筒体を取付けることができ、下方に向って直径が小さく形成された既存の熱遮蔽部材に容易に本発明に係る短筒体を取付けることができる。一方、取付リブを介して取付けられた短筒体は上方に持上げることにより熱遮蔽部材から取外すことができるので、シリコン単結晶棒引上げ後における引上げ装置から短筒体のみを取外して清掃することもできる。
更に、短筒体を透明な石英により作れば、この石英は赤外線を透過するので短筒体を熱遮蔽部材に取付けても、取付けない場合と比較してシリコン単結晶棒の周囲の温度分布を変更させることはない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の引上げ装置の縦断面図。
【図2】図1のA部拡大断面図。
【図3】その引上げ装置の短筒体を含む熱遮蔽部材の要部破断斜視図。
【図4】従来例を示す図2に対応する断面図。
【符号の説明】
10 シリコン単結晶の引上げ装置
11 チャンバ
12 シリコン融液
13 石英るつぼ
18 ヒータ
25 シリコン単結晶棒
26 熱遮蔽部材
27 ガス給排手段
31 短筒体
31a 取付リブ
Claims (3)
- チャンバ(11)内の石英るつぼ(13)に貯留されたシリコン融液(12)から引上げられるシリコン単結晶棒(25)の外周面を包囲しかつ下端が前記シリコン融液(12)表面から間隔をあけて上方に位置しヒータ(18)からの輻射熱を遮る熱遮蔽部材(26)と、不活性ガスを前記シリコン単結晶棒(25)及び前記熱遮蔽部材(26)間を流下させかつ前記シリコン融液(12)表面を通過させて前記チャンバ(11)外に排出するガス給排手段(27)とを備えたシリコン単結晶の引上げ装置において、
短筒体(31)が前記熱遮蔽部材(26)の内周面から所定の間隔をあけて前記熱遮蔽部材(26)の下部に設けられたことを特徴とするシリコン単結晶の引上げ装置。 - 熱遮蔽部材(26)のシリコン単結晶棒(25)を包囲する部分(26a)が下方に向って直径が小さく形成され、先端が前記熱遮蔽部材(26)の内面に当接可能に構成された複数の取付リブ(31a)が短筒体(31)の外周に放射状に形成された請求項1記載のシリコン単結晶の引上げ装置。
- 短筒体(31)が石英により作られた請求項1又は2記載のシリコン単結晶の引上げ装置。
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JP05144199A JP3709493B2 (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | シリコン単結晶の引上げ装置 |
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CN111519241B (zh) * | 2019-02-01 | 2021-12-17 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种半导体晶体生长装置 |
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- 1999-02-26 JP JP05144199A patent/JP3709493B2/ja not_active Expired - Lifetime
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