JP3692912B2 - スクリーン印刷方法 - Google Patents
スクリーン印刷方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3692912B2 JP3692912B2 JP2000216941A JP2000216941A JP3692912B2 JP 3692912 B2 JP3692912 B2 JP 3692912B2 JP 2000216941 A JP2000216941 A JP 2000216941A JP 2000216941 A JP2000216941 A JP 2000216941A JP 3692912 B2 JP3692912 B2 JP 3692912B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- mask plate
- screen printing
- detected
- pattern hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Screen Printers (AREA)
- Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田などのペーストを印刷する方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法は、印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させ、マスクプレート上にクリーム半田を供給してスキージを摺動させることにより、パターン孔を介して基板上にクリーム半田を印刷するものである。
【0003】
このスクリーン印刷において良好な印刷位置精度を確保するためには、基板をマスクプレートに対して精度よく位置合わせする必要がある。すなわち、基板をマスクプレートに対して水平方向に正確に位置合わせすると共に、マスクプレートの下面に基板を隙間なく密着させることが必要である。このため、装置立ち上げ時や機種切り換え時には、良好な位置合わせが行えるよう、基板位置決め部の移動テーブルのマシンパラメータ設定などの各種の調整作業が行われる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記調整作業が正確に行われていても、実際の印刷作業時に常に基板がマスクプレートに対して正しく位置合わせされるとは限らない。すなわち、基板の寸法精度のばらつきや、マスクプレートの経時変形・装着状態のゆるみなどによって、マスクプレートのパターン孔が正しい位置からずれたり、また基板とマスクプレート下面との間に隙間が生じる場合がある。
【0005】
そしてこのような場合には、ペーストの印刷位置が正規位置からずれる「ずれ」や、ペーストが印刷位置からはみ出す「にじみ」などの不具合が生じる。このように、従来のスクリーン印刷においては、基板とマスクプレートの位置ずれが発生しやすく、印刷品質を安定して確保することが困難であるという問題点があった。
【0006】
そこで本発明は、基板とマスクプレートの位置ずれを防止して、印刷品質を確保することができるスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明のスクリーン印刷方法は、パターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させ、このマスクプレート上でスキージヘッドを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、基板が位置決めされた状態のマスクプレートを上面側から3次元的に測定し、パターン孔の端部部位に局部的に深い凹部が検出されて基板とマスクプレートの水平方向の位置ずれが検出された場合には、基板を水平方向へ移動させてこの位置ずれを補正し、また測定されたパターン孔の深さから基板の垂直方向の位置ずれが検出された場合には、基板を垂直方向へ移動させてこの位置ずれを補正したうえで、スキージヘッドを摺動させて基板にペーストを印刷する。
【0011】
本発明によれば、基板が位置決めされた状態のマスクプレートを上面側から3次元的に測定することにより基板の水平方向や垂直方向の位置ずれを検出し、この検出結果に基づいて水平方向や垂直方向の位置ずれを補正することにより、常に正しい位置合わせを行ってスクリーン印刷を実行することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図、図2は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図、図3は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図、図4は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のレーザ計測装置の斜視図、図5は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の制御系の構成を示すブロック図、図6、図7は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷における位置決め状態検出の説明図である。
【0013】
まず図1、図2および図3を参照してスクリーン印刷装置の構造を説明する。図1、図2において、基板位置決め手段である基板位置決め部1は、X軸テーブル2およびY軸テーブル3よりなる移動テーブル上にθ軸テーブル4を段積みし、さらにその上にZ軸テーブル5を配設して構成されており、Z軸テーブル5上にはクランパ8によって挟み込まれた基板6を下方から保持する基板保持部7が設けられている。印刷対象の基板6は、図1、図3に示す搬入コンベア14によって基板位置決め部1に搬入される。基板位置決め部1を駆動することにより、基板6の位置を調整することができる。印刷後の基板6は、搬出コンベア15によって搬出される。
【0014】
基板位置決め部1の上方には、スクリーンマスク10が配設されており、スクリーンマスク10はホルダ11にマスクプレート12を装着して構成されている。基板6は基板位置決め部1によってマスクプレート12に対して位置合わせされ下方から当接する。スクリーンマスク10上には、スキージヘッド13が水平方向に往復動自在に配設されている。基板6がマスクプレート12の下面に当接した状態で、マスクプレート12上にペーストであるクリーム半田9を供給し、スキージヘッド13のスキージ13aをマスクプレート12の表面に当接させて摺動させることにより、基板6の表面に形成された電極6a(図3参照)上にはマスクプレート12に設けられたパターン孔12a(図3参照)を介してクリーム半田9が印刷される。
【0015】
スクリーンマスク10の上方には、3次元測定手段であるレーザ計測装置20が設けられている。図3に示すように、レーザ計測装置20はX軸テーブル21およびY軸テーブル22によってXY方向に水平移動し、昇降手段23(図1、図2)によって昇降自在となっている。昇降手段23を駆動することにより、レーザ計測装置20は計測高さ位置まで下降する。X軸テーブル21およびY軸テーブル22および昇降手段23は、レーザ計測装置20を移動させる移動手段となっている。
【0016】
レーザ計測装置20はレーザ光を照射することにより垂直方向の変位を測定する機能とレーザ照射位置をXY方向に走査させる走査機構とを備えており、図4に示すように照射点Pを計測範囲R内で走査させることにより計測範囲R内の計測対象物表面の垂直方向位置を連続的に検出し、計測対象物の3次元形状を検出できるようになっている。
【0017】
レーザ計測装置20を前記移動手段によって基板6、マスクプレート12に対して移動させることにより、基板6、マスクプレート12の任意の範囲を対象として上面側から3次元形状測定を行うことができる。そして得られた検出データを処理することにより、基板6の特徴部である電極6aおよびマスクプレート12の特徴部であるパターン孔12aや位置検出用開孔などを検出することができるとともに、スクリーン印刷後の基板6を計測対象として3次元測定を行うことにより、基板6上に印刷されたクリーム半田9の形状を3次元的に検出することができる。
【0018】
また、基板6がマスクプレート12に対して位置決めされた状態、すなわち基板6をマスクプレート12に対して水平方向に位置合わせして下面に当接させた状態で、マスクプレート12の上面側から3次元測定を行うことにより、位置決め状態を検出することができる。この位置決め状態検出について、図6、図7を参照して説明する。
【0019】
図6、図7は、位置決め不良の2つの形態を示している。図6(a)は、基板6とマスクプレート12の水平方向の相対位置がずれている状態を示しており、基板6の電極6a上にパターン孔12aが正しく位置しておらず、パターン孔12aの端部には幅dの隙間が生じている。この状態をレーザ計測装置20によって3次元測定すると、図6(b)に示すようにパターン孔12aの断面形状を示す凹状の計測線の端部、すなわちパターン孔の端部部位に、位置ずれを示す余分な深い凹部(矢印で示す)が局部的にあらわれる。したがって、求められた計測線の形状を正規状態の形状と比較することにより(すなわち、この局部的な凹部の有無を検出することにより)、水平方向の位置ずれを検出することができる。
【0020】
図7(a)は、基板6とマスクプレート12の垂直方向の相対位置がずれている状態、すなわち基板6の電極6aがマスクプレート12の下面に正しく当接しておらず、隙間cが生じている状態を示している。この状態をレーザ計測装置20によって3次元測定すると、図7(b)に示すように、パターン孔12aを示す計測線の凹部の深さが、マスク厚tよりも隙間c分だけ大きく現れる。したがって、パターン孔12aを示す計測線の段差を正規寸法と比較することにより、垂直方向の位置ずれを検出することができる。
【0021】
次に、図5を参照してスクリーン印刷装置の制御系の構成について説明する。図5において、CPU30は全体制御部であり以下に説明する各部の全体制御を行う。プログラム記憶部31は、スクリーン印刷の動作プログラムや、レーザ計測装置20の検出信号から基板6やマスクプレート12の形状検出を行うための処理プログラム、基板6とマスクプレート12の位置決め補正処理プログラム、印刷検査における判定処理のプログラム、印刷条件設定処理のプログラムなどの各種のプログラムを記憶する。データ記憶部32は、印刷検査における判定処理の基準値データや、印刷条件の設定に必要なデータをまとめた印刷条件ライブラリとともに、各品種ごとに設定された印刷条件のデータを記憶する。
【0022】
機構制御部33は、基板位置決め部1や搬入コンベア14、搬出コンベア15、X軸テーブル21、Y軸テーブル22などの各機構部の動作を制御する。形状検出部34は、レーザ計測装置20を走査させて得られた検出信号を処理することにより、基板6に設けられた電極6aの平面配置を示す電極配置パターンおよびマスクプレート12に設けられたパターン孔12aの配置を示す開口パターン、印刷後の基板6上のクリーム半田9の形状を検出するとともに、前述のようにマスクプレート12に対する基板6の位置決め状態を検出する。
【0023】
印刷条件設定部35は、スクリーン印刷条件を設定する。すなわちスクリーン印刷時にマスクプレート12上でスキージ13aを摺動させるスキージ速度や、スキージ13aをマスクプレート12に対して押圧する印圧値、さらに印刷後に基板をマスクプレート12から離隔させる際の、基板6のマスクプレート12に対する相対速度を示す版離れ速度など、各種のパラメータを印刷対象の特性に応じて設定する。
【0024】
位置決め補正部(位置決め補正手段)36は、基板6が下面に位置合わせされた状態のマスクプレート12を上面から3次元測定して得られた位置決め状態検出結果に基づいて、位置決め状態を補正する。すなわち、基板6とマスクプレート12との水平方向および上下方向の相対位置を検出し、予め記憶された基準データと比較して偏差を求めることにより、正しい位置決め状態に補正する。
【0025】
基板・マスク判定部37は、形状検出部34によって検出された基板6の電極配置パターンとマスクプレート12の開口パターンとを設計データ上の基準パターンと比較することにより、スクリーン印刷装置に供給された基板6やマスクプレート12の良否を判定する。印刷判定部38は、スクリーン印刷後の基板6をレーザ計測装置20によって測定して得られたクリーム半田9の形状データを予め記憶された基準データと比較することにより、印刷状態の良否を判定する。
【0026】
このスクリーン印刷装置は上記のように構成されており、以下スクリーン印刷方法について説明する。まず、新たな印刷対象品種への品種切り替えが行われ、当該品種に対応してスクリーンマスク10が装着されると、マスク検査が行われる。この検査は、スクリーンマスク10が装着された状態で、レーザ計測装置20をX軸テーブル21およびY軸テーブル22によってマスクプレート12上で移動させながら、マスクプレート12を上面側から3次元測定することにより行われる。この検査により、装着されたマスクプレート12の厚み寸法が検出されると共に良否が判定される。
【0027】
次いで、基板6の検査が行われる。搬入コンベア14より印刷対象の基板6が基板位置決め部1上に搬入されたならば、基板位置決め部1をスクリーンマスク10の下方からY方向に移動させて基板測定位置へ移動させる(図2にて破線で示す基板位置決め部1および基板6参照)。そしてレーザ計測装置20によって同様に基板6を上面側から3次元測定する。これにより、基板6の印刷対象の電極の幅、長さが求められる。
【0028】
次いで、実印刷開始前の試し印刷を行う。まずマスクプレート12上にクリーム半田9が供給され、スキージ13aを往復動させてクリーム半田9を練る予備スキージングを行った後に、基板位置決め部1のZ軸テーブル5を上昇させて基板6をマスクプレート12の下面に当接させ、基板をマスクプレート12に対して位置決めする。そして、この後位置決め状態検出が行われる。
【0029】
すなわち、レーザ計測装置20をマスクプレート12上に移動させ、予め位置決め検出位置として特定された所定のパターン孔位置を3次元測定する。これにより、位置決め状態検出結果、すなわち基板6とマスクプレート12との水平方向および垂直方向の位置ずれの有無が検出される。そして、位置ずれが検出された場合には、CPU30および機構制御部33によって基板位置決め部1のX軸テーブル2、Y軸テーブル3、およびZ軸テーブル5を制御して駆動し、基板を水平方向(X方向、Y方向)あるいは垂直方向(Z方向)へ移動させることにより、検出された位置ずれが補正され、基板6はマスクプレート12に対して正しく位置決めされる。CPU30および機構制御部33は、位置決め状態検出結果に基づいて基板位置決め手段を制御して位置決め状態を補正する制御手段となっている。
【0030】
この後スキージヘッド13を移動させてスキージング動作を行う。これにより、各パターン孔12aにはクリーム半田9が充填され、Z軸テーブル5を下降させて版離れを行うことにより、基板6の電極6a上にはクリーム半田9が印刷される。
【0031】
この後、試し印刷後の基板6の印刷検査を行う。この検査は、基板位置決め部1を再びスクリーンマスク10の下方から基板計測位置へ移動させ、レーザ計測装置20によって印刷後の基板6を上面側から3次元測定することによって行われる。そしてこの検査により印刷状態が良好であると判定されたならば、印刷条件は適正であると判断する。
【0032】
なお、上記実施の形態ではスキージヘッドの種類として板状のスキージ13aを備えた開放型のスキージヘッドの例を示しているが、これに限定されず、内部にクリーム半田を貯溜してこのクリーム半田を加圧しながらマスクプレート上で摺動してパターン孔内にクリーム半田を充填する密閉型のスキージヘッドを用いてもよい。
【0033】
【発明の効果】
本発明によれば、基板が位置決めされた状態のマスクプレートを上面側から3次元的に測定することにより基板の水平方向や垂直方向の位置ずれを検出し、この検出結果に基づいて水平方向や垂直方向の位置ずれを補正することにより、常に正しい位置合わせを行ってスクリーン印刷を実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図
【図2】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図
【図3】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図
【図4】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のレーザ計測装置の斜視図
【図5】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の制御系の構成を示すブロック図
【図6】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷における位置決め状態検出の説明図
【図7】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷における位置決め状態検出の説明図
【符号の説明】
1 基板位置決め部
6 基板
9 クリーム半田
10 スクリーンマスク
12 マスクプレート
12a パターン孔
13 スキージヘッド
20 レーザ計測装置
32 データ記憶部
34 形状検出部
36 位置決め補正部
Claims (1)
- パターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させ、このマスクプレート上でスキージヘッドを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、基板が位置決めされた状態のマスクプレートを上面側から3次元的に測定し、パターン孔の端部部位に局部的に深い凹部が検出されて基板とマスクプレートの水平方向の位置ずれが検出された場合には、基板を水平方向へ移動させてこの位置ずれを補正し、また測定されたパターン孔の深さから基板の垂直方向の位置ずれが検出された場合には、基板を垂直方向へ移動させてこの位置ずれを補正したうえで、スキージヘッドを摺動させて基板にペーストを印刷することを特徴とするスクリーン印刷方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000216941A JP3692912B2 (ja) | 2000-07-18 | 2000-07-18 | スクリーン印刷方法 |
US09/907,188 US6609458B2 (en) | 2000-07-18 | 2001-07-17 | Screen printing apparatus and method of the same |
GB0117414A GB2367034B (en) | 2000-07-18 | 2001-07-17 | Screen printing apparatus and method of the same |
SG200104382A SG99920A1 (en) | 2000-07-18 | 2001-07-17 | Screen printing apparatus and method of the same |
US10/600,312 US6907824B2 (en) | 2000-07-18 | 2003-06-20 | Screen printing apparatus and method of the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000216941A JP3692912B2 (ja) | 2000-07-18 | 2000-07-18 | スクリーン印刷方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002029034A JP2002029034A (ja) | 2002-01-29 |
JP3692912B2 true JP3692912B2 (ja) | 2005-09-07 |
Family
ID=18712122
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000216941A Expired - Fee Related JP3692912B2 (ja) | 2000-07-18 | 2000-07-18 | スクリーン印刷方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3692912B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003237031A (ja) * | 2002-02-13 | 2003-08-26 | Dainippon Printing Co Ltd | スクリーン印刷用アライメント装置 |
JP2013141752A (ja) * | 2012-01-10 | 2013-07-22 | Panasonic Corp | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 |
EP3680105B1 (en) * | 2017-09-07 | 2023-10-18 | Fuji Corporation | Screen printing machine |
JP7326052B2 (ja) * | 2019-07-11 | 2023-08-15 | 株式会社Fuji | マスク印刷機、ずれ取得方法 |
-
2000
- 2000-07-18 JP JP2000216941A patent/JP3692912B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002029034A (ja) | 2002-01-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101260429B1 (ko) | 전자 부품 실장 시스템, 전자 부품 탑재 장치 및 전자 부품실장 방법 | |
JP4379348B2 (ja) | 電子部品実装システムおよび電子部品実装方法 | |
KR20120049172A (ko) | 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법 | |
US20190118525A1 (en) | Screen printing apparatus and screen printing method | |
KR20070095351A (ko) | 전자 부품 실장 시스템 및 전자 부품 실장 방법 | |
US5493969A (en) | Screen printing apparatus and screen printing method | |
JP4237158B2 (ja) | 実装基板製造装置および製造方法 | |
JP2002176292A (ja) | 電子部品装着装置 | |
JP2577140B2 (ja) | 基板の位置合わせ装置 | |
WO2018193773A1 (ja) | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 | |
JP3750484B2 (ja) | スクリーン印刷方法 | |
JP3692912B2 (ja) | スクリーン印刷方法 | |
JP3758463B2 (ja) | スクリーン印刷の検査方法 | |
TWI423354B (zh) | 導電球安裝裝置 | |
JP2000326495A (ja) | クリーム半田印刷の検査方法 | |
JP3296726B2 (ja) | はんだペースト認識方法及びスクリーン印刷機 | |
JP2006272583A (ja) | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法ならびに基板 | |
JPWO2018216132A1 (ja) | 測定位置決定装置 | |
JP4363093B2 (ja) | スクリーン印刷機 | |
JP4013861B2 (ja) | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 | |
JP3613082B2 (ja) | スクリーン印刷方法 | |
JPH05273288A (ja) | プリント基板検査方法および検査装置 | |
JP2002029027A (ja) | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 | |
JP2001315299A (ja) | スクリーン印刷におけるスクリーンマスクの位置合わせ方法 | |
JP2018202691A (ja) | スクリーン印刷システムおよびスクリーン印刷方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040824 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041221 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050209 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20050315 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050531 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050613 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090701 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100701 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110701 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110701 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120701 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |