JP3687029B2 - 加速度計 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明はシリコン微細加工によりダイアフラムを形成し、そのダイアフラムの加速度入力による変位を、ダイアフラムと対向配置した電極とダイアフラムとの間の静電容量の変化によって検出し、その検出した静電容量の変化から入力加速度を検知する構造とされた加速度計に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種の加速度計の従来構成の一例を図4を参照して説明する。図4Bに示したように、方形状とされたダイアフラム11は、その周囲が枠状をなす固定部12によって支持されており、ダイアフラム11の中央には重り接合部13が肉厚とされて形成されている。これらダイアフラム11,固定部12及び重り接合部13はシリコン基板をエッチング加工することによって一体に形成され、ダイアフラム11部分はエッチングにより肉薄とされて弾性変形可能とされている。
【0003】
重り接合部13には直方体状をなす重り14が接合され、この重り14の各側面に近接対向する4つのマスフレーム15が、同時に固定部12の各辺に接合される。これら重り14及びマスフレーム15はガラス基板をダイシング加工することによって一括形成され、シリコンよりなる重り接合部13及び固定部12との接合には陽極接合が用いられる。
【0004】
一方、固定部12の、これらマスフレーム15及び重り14が位置する側と反対側の面にはベース16が接合される。ベース16は方形板状とされてガラスよりなり、図4Cに示したように、その板面には凹部17が例えばエッチングにより形成されている。凹部17には一対の電極18,19がスパッタ等により形成されており、これら電極18,19にはベース16の端縁に至る導出部18a,19aがそれぞれ設けられている。なお、ベース16と固定部12との接合も陽極接合によって行われる。
【0005】
図5Aは上記のようにして構成された加速度計21の断面構造を示したものであり、ベース16の凹部17に形成された一対の電極18,19はダイアフラム11と微小間隙を介して対向するものとなっている。
図5Bは加速度入力による動作状態の一例を示したものであり、矢印22方向の入力加速度により、重り14には矢印23方向の慣性力が働き、これにより重り14が図に示したように傾く。重り14が傾くことにより、ダイアフラム11は変形(変位)し、このダイアフラム11の変位を電極18,19とダイアフラム11との間の各静電容量の変化として検出する。入力加速度はこの検出した静電容量の変化から算出される。なお、図4及び5においては固定部12上に設けられるダイアフラム11用の電極の図示は省略している。
【0006】
上記における図4は1つの加速度計21について、その全体構造及びシリコン、ガラス毎の各部に分解した構造を示しているが、この加速度計21はウェハアセンブリとして多数同時に形成されたものを切り離すことによって作製される。つまり、シリコンウェハに図4Bの構成を多数配列形成し、2枚のガラスウェハにそれぞれ図4A及び図4Cの構成を同様に配列して形成し、これらシリコンウェハと2枚のガラスウェハとを陽極接合により一体化して作製した3層構造のウェハアセンブリをダイシング加工することによって加速度計21が個別に切り出される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述のようにして作製される加速度計21においては、陽極接合時に薄肉のダイアフラム11に応力が発生し、この応力によって特に固定部12に連結支持されている4隅部分において、ダイアフラム11に塑性変形(歪み)が生じやすいといった問題があり、これによりダイアフラム11の回転中心線が図6に示したように、本来の位置Cから例えば位置C′にずれてしまうといった状況が発生していた。
【0008】
このような回転中心線のずれが生じると、加速度計21の入力軸Xに対して回転中心線が傾きをもつことになり、言い換えれば入力軸Xの方向が本来の方向からずれてしまったことになり、その分検出精度が低下し、所望の性能が得られないものとなる。なお、このような変形の発生に起因する入力軸の方向のずれは一定ではなく、製造ばらつきがあるため、補正は困難なものとなっていた。
【0009】
この発明の目的は上述した問題点に鑑み、ダイアフラムの塑性変形を防止することにより、入力軸のずれの発生を防止できるようにした加速度計を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
この発明によれば、中央に肉厚とされた重り接合部を有する方形状ダイアフラムと、そのダイアフラムの周囲を支持する固定部とがシリコン基板より一体形成され、重り接合部に重りが陽極接合され、固定部の、重りが位置する側と反対側の面にベースが陽極接合され、そのベースにダイアフラムと対向する電極が形成されてなり、上記方形の一辺と平行方向からの入力加速度を検知する加速度計において、重り接合部の、ダイアフラムの4隅と対峙する部分よりそれぞれダイアフラムの回転中心線と平行に伸びる厚肉部がダイアフラムに一体に形成され、それら厚肉部の伸長方向各先端は固定部に至ることなく、固定部と離間されているものとされる。
【0011】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を図面を参照して実施例により説明する。なお、図4,5と対応する部分には同一符号を付し、その説明を省略する。
図1はこの発明の一実施例を示したものである。この例では図1Bに示したように、ダイアフラム11に方向性をもった厚肉部31が設けられる。厚肉部31は重り接合部13の、ダイアフラム11の4隅と対峙する部分からそれぞれ図に示したように突出延長されて設けられており、即ちダイアフラム11上、重り接合部13のまわりの4箇所に設けられている。
【0012】
これら厚肉部31の伸長方向はダイアフラム11の回転中心線Cと平行方向とされ、つまり4つの厚肉部31のダイアフラム11上に占める各先端を図1B中に示したように、P1 〜P4 とした時、点P1 ,P2 を結ぶ線及び点P3 ,P4 を結ぶ線がそれぞれ回転中心線Cと平行とされる。
厚肉部31はシリコンの異方性エッチングにより形成され、ダイアフラム11を形成する時のエッチング工程で同時に一体形成される。図2は厚肉部31の形状を示したものであり、図3は図1Bの点P3 ,P4 を結ぶ線における断面形状を示したものである。
【0013】
上記のように厚肉部31をダイアフラム11に設けたことにより、陽極接合時に塑性変形(歪み)が生じやすいダイアフラム11の4隅部分が補強され,よって陽極接合時のダイアフラム11の変形を抑制することができる。なお、各厚肉部31は入力軸X方向において、重り接合部13の前縁13aより前方に突出せず、また後縁13bより後方に突出しないように形成されているため、加速度入力によるダイアフラム11の本来の動き(変位)を妨げることはない。
【0014】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によればダイアフラムに厚肉部を設けたことにより、陽極接合時におけるダイアフラムの塑性変形(歪み)の発生を防止することができ、よって陽極接合において従来発生していた入力軸の方向が本来の方向からずれてしまうといった問題を解消することができるため、良好な検出精度を有する加速度計を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】Aはこの発明の一実施例を示す断面図、BはAにおけるダイアフラム(シリコン部分)の底面図。
【図2】図1Bにおける厚肉部の形状を示す斜視図。
【図3】図1BにおけるP3 P4 線断面図。
【図4】従来の加速度計を説明するための図、A〜Cは分解斜視図、Dは完成体斜視図。
【図5】Aは図4Dの断面図、Bはその加速度入力状態を示す図。
【図6】ダイアフラムの回転中心線のずれを説明するための図。
Claims (1)
- 中央に肉厚とされた重り接合部を有する方形状ダイアフラムと、そのダイアフラムの周囲を支持する固定部とがシリコン基板より一体形成され、上記重り接合部に重りが陽極接合され、上記固定部の、上記重りが位置する側と反対側の面にベースが陽極接合され、そのベースに上記ダイアフラムと対向する電極が形成されてなり、上記方形の一辺と平行方向からの入力加速度を検知する加速度計において、
上記重り接合部の、上記ダイアフラムの4隅と対峙する部分より、それぞれ上記ダイアフラムの回転中心線と平行に伸びる厚肉部が上記ダイアフラムに一体に形成され、それら厚肉部の伸長方向各先端は上記固定部に至ることなく、上記固定部と離間されていることを特徴とする加速度計。
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