JP3665669B2 - 研磨用スラリーの供給方法 - Google Patents
研磨用スラリーの供給方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3665669B2 JP3665669B2 JP24503695A JP24503695A JP3665669B2 JP 3665669 B2 JP3665669 B2 JP 3665669B2 JP 24503695 A JP24503695 A JP 24503695A JP 24503695 A JP24503695 A JP 24503695A JP 3665669 B2 JP3665669 B2 JP 3665669B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing slurry
- slurry
- polishing
- negative pressure
- sealed tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Description
【産業上の利用分野】
超音波によるダイヤモンド線引ダイスの成形研磨、シリコンウェーハなどの平坦化ラッピング加工などの精密研磨などに用いる。
【0002】
【従来の技術】
スラリーポンプを用いたもので、比較的少量で粒の揃った高価な研磨用砥粒を用いる用途には向かない。
【0003】
【発明が解決しょうとする課題】
比較的少量の研磨用スラリー内の砥粒濃度を常時一定化し、自動化された研磨工程の必要時点で所定量の研磨用スラリーを確実に供給することである。このために供給管内の砥粒目詰まりも防止しなければならない。
【0004】
【作用】
供給管内を上部に逆流する空気流は容器下部より細かい気泡群として容器内の研磨用スラリー中を上昇する。この攪拌作用により重い砥粒が容器低部にたまる傾向を防止し、砥粒が液中に一様濃度で浮遊するようにする。同時に砥粒の供給管路閉塞を未然に防止する。
容器内の空気を正圧、すなわち大気圧以上に加圧し、自由界面に働く全圧力値を研磨用スラリーの供給管路の抵抗値を上廻るように設定することにより、研磨用スラリーの開口端に向う流れを起こすことができる。ここで全圧力値とその持続時間を制御することにより、一回ごとの供給量を確定できる。
【0005】
【実施例】
図1は本発明の1実施例である。図1において密閉タンク1にOリング12を持つ蓋11を外すことにより開口部13を通して研磨用スラリー2を入れる。負圧用バルブ5を開き、正圧用バルブ6を閉じることにより上記密閉タンク1の内圧が負となり、ノズル4より外気が流入する。研磨用スラリー2は外気の気泡によって攪拌されると同時に研磨用スラリー供給管3とノズル4の砥粒目詰まりを防ぐ。
次に上記負圧用バルブ5を閉じ、上記正圧用バルブ6を開くことにより前記密閉タンク1の内圧が正となりノズル4より前記研磨用スラリー2が排出される。負圧用バルブ5及び正圧用バルブ6の切換制御は、負圧用バルブ5を常時開とし、正圧用バルブ6を閉としておき、研磨用スラリー2の供給要求に応じて負圧用バルブ5と正圧用バルブ6の開閉切換を同時に行う。切換の時間制御を行うことで、研磨用スラリー2の供給量が制御できる。負圧発生器7は負圧源を作るための発生器である。負圧流量調整弁8は負圧の流量を調整し、正圧流量調整弁9は正圧の流量を調整する。その流量源は圧空源である。
バッファタンク10は研磨用スラリー2の逆流防止のためのバッファタンクである。
【0006】
【発明の効果】
研磨工程の自動化、研磨工程の品質の安定に大きく寄与する。
【0007】
【図面の簡単な説明】
【図1】は研磨用スラリーの供給方法を実際の構成要素で示したものである。本要素は研磨用スラリーの攪拌要素である密閉タンク1,研磨用スラリー2,バッファタンク10、供給要素である研磨用スラリー供給管3,ノズル4とそれを制御する制御要素である負圧用バルブ5,正圧用バルブ6,負圧発生器7,負圧流量調整弁8,正圧流量調整弁9とで構成されている。
【0008】
【符号の説明】
1 ……… 密閉タンク
2 ……… 研磨用スラリー
3 ……… 研磨用スラリー供給管
4 ……… ノズル
5 ……… 負圧用バルブ
6 ……… 正圧用バルブ
7 ……… 負圧発生器
8 ……… 負圧流量調整弁
9 ……… 正圧流量調整弁
10 ……… バッファタンク
11 ……… 蓋
12 ……… Oリング
13 ……… 開口部
Claims (1)
- 研磨用スラリーを入れた密閉タンク内の空気圧を負に保つことにより、上記密閉タンクの底部に設けた研磨用スラリー供給管の開口端から空気を逆流させて、上記管内の残存スラリーを上記タンク内に戻すとともに、上記スラリー中の砥粒濃度を一様化し、ついで研磨工程のタイミングに合わせて上記密閉タンク内の空気を大気圧を越える正値に反転させることにより、所定量の研磨用スラリーを上記供給管に送り出す研磨用スラリーの供給方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24503695A JP3665669B2 (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 研磨用スラリーの供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24503695A JP3665669B2 (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 研磨用スラリーの供給方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0957627A JPH0957627A (ja) | 1997-03-04 |
JP3665669B2 true JP3665669B2 (ja) | 2005-06-29 |
Family
ID=17127636
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24503695A Expired - Fee Related JP3665669B2 (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 研磨用スラリーの供給方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3665669B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002337047A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-26 | Olympus Optical Co Ltd | 研磨剤供給装置および研磨剤供給方法 |
CN104175228B (zh) * | 2014-08-08 | 2017-02-15 | 北京迪蒙吉意超硬材料技术有限公司 | 用于平面研磨设备的自动磨料供给装置及其供给方法 |
-
1995
- 1995-08-18 JP JP24503695A patent/JP3665669B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0957627A (ja) | 1997-03-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8951095B2 (en) | High selectivity slurry delivery system | |
EP0990486B1 (en) | Polishing solution feeder | |
JP4372010B2 (ja) | 流れ調整システム | |
JPH05293358A (ja) | 流動体供給装置 | |
JPH04190889A (ja) | 汚水処理装置の運転方法 | |
JP3665669B2 (ja) | 研磨用スラリーの供給方法 | |
US2668598A (en) | Apparatus for removing gases from a liquid | |
TWI776326B (zh) | 研磨液供應系統、研磨液測試裝置及研磨液測試方法 | |
US2210719A (en) | Process and apparatus for filtering alcoholic beverages, food products, and like liquids | |
CN214447874U (zh) | 一种流延供料装置 | |
JP2007083366A (ja) | アブレイシブウォータージェットによる基板切断方法、及び、基板切断装置。 | |
JP3809337B2 (ja) | スラリー供給方法およびその装置 | |
CN213225745U (zh) | 一种用于现场研磨设备的便携式研磨液输送系统 | |
CN212216090U (zh) | 一种液槽密封过滤器的液槽涂胶装置 | |
CN211389418U (zh) | 一种搅拌系统自动刷机清洗装置 | |
CN111101111B (zh) | 一种可稳定硅源浓度的自动控制系统及其控制方法 | |
JP2002273659A (ja) | スラリー濃度自動管理システム | |
KR20050084139A (ko) | 약액 공급 장치 | |
US3815786A (en) | Slurry dispensing apparatus having vacuum controlled discharge | |
JPH05169075A (ja) | 浄化槽用液移送装置及び液移送方法 | |
US4329235A (en) | Apparatus and method for dispensing purifying media mixture | |
US1067786A (en) | Automatic intermittent solution control. | |
JPH0576855A (ja) | 水処理装置における薬液の注入方法と薬液の注入装置 | |
KR100423784B1 (ko) | 인조 대리석 제조에 있어서의 개시제 공급장치 | |
JPH0446769A (ja) | バリ取り装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040916 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041005 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20041201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050322 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050404 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090408 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090408 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100408 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100408 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110408 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120408 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130408 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140408 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |