JP3642885B2 - Icチップ実装用インターポーザ及びicチップパッケージ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラスチック材料からなるインターポーザ及びこれにICチップを実装したICチップパッケージに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、インターポーザとしてポリイミドフィルムを用い、これにICチップをフリップチップ方式で実装したICパッケージは知られている。その断面図を図1に示す。
図1において、1はICチップ、2は半田バンプ、3はインナーパッド、4はアウターパッド、5はポリイミドフィルム、6はスルーホールを示し、7はそれらから構成されるICパッケージを示す。
このような従来のICパッケージにおいては、そのインターポーザとしてのポリイミドフィルムの線膨張係数(α)は15〜25ppm/℃の範囲にあり、ICチップ(Si製)の線膨張係数3ppm/℃に比べてかなり大きいため、電気的な接合部である金属電極部分(半田バンプ、金バンプ、Alパッド、Alパッド下地、Pd、Ti、W等の電極保護被膜等)にクラックが入り易く、接合部の信頼性に問題があった。また、急激な温度差が生じた場合には、ICチップ自体にもクラックを生じる等の問題もあった。
一般的に、接合部の信頼性は、温度サイクルやヒートショック試験等の加速試験で評価されるが、接合部のクラックの原因は繰返し応力による疲労破壊である。この応力は、ICチップとインターポーザの材質との間の線膨張係数(α)の差より生じるものである。現在、インターポーザとしては、ポリイミドフィルム(α=15〜25ppm/℃)、ガラス布BTレジン基板(α=15ppm/℃)が用いられているが、ICチップ(α=3ppm/℃)から大きくはなれた線膨張係数をもつために、疲労破壊を生じさせる程の応力が生じるという問題を有している。
一方、プラスチックモールドされたCSP(Chip Size Package)の場合には、パッケージクラックの問題がある。
図2に、図1に示したICパッケージを樹脂モールドしてプラスチック型CSPとした製品の断面図を示す。この図2において、符号1〜7は前記と同じ意味を有し、9は封止レジン、10はプラスチック型CSPを示す。
このようなCSPにおいては、図2に示すように、プラスチック封止CSPのポリイミドフィルム露出部(サイド又はパッケージ裏面(外部端子側)から、ポリイミドフィルムの吸水率が高い(2.4%程度)ために、水分がパッケージ内に浸入し易く、これによりたまった水分が高温下で水蒸気となり、その応力でパッケージクラックを生じさせる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、導電体パターンを表面に形成したプラスチックフィルムからなるインターポーザにICチップを実装したICチップパッケージ及び該ICチップパッケージを樹脂モールドしてプラスチックモールド型としたICチップパッケージにおいて、金属電極部分におけるクラックの発生を防止するとともに、プラスチック型ICチップパッケージにおけるパッケージクラックの発生を防止することをその課題とし、さらに導電体パターンを表面に形成した液晶ポリマーフィルムからなるインターポーザを提供することをその課題とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、前記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、本発明を完成するに至った。即ち、本発明によれば、表面に導電体パターンを有する液晶ポリマー分子が平面方向にランダムに配向した均方向性を有する液晶ポリマーフィルムからなり、該液晶ポリマーフィルムは、厚さが20〜100μmであり、無機充填剤の含有を必須としなくても、3〜9ppm/℃の線膨張係数と280℃以上の融点を有し、かつ該フィルムにおける1つの平面方向の線膨張係数Aと他の平面方向の線膨張係数Bの比A/Bが0.5〜2の範囲にあることを特徴とするICチップ実装用インターポーザが提供される。また、本発明によれば、前記インターポーザにICチップを実装したICチップパッケージが提供される。
【0005】
【発明の実施の形態】
本発明で用いる液晶ポリマー(LCP)フィルムにおいて、そのLCPとしては、280℃以上の融点を持つサーモトロピック液晶ポリマーであれば従来公知の各種のものを用いることができる。このような液晶ポリマーとしては、例えば、芳香族ジオール、芳香族カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸等のモノマーから合成される、溶融時に液晶性を示す芳香族ポリエステルがあり、その代表的なものとしては、パラヒドロキシ安息香酸(PHB)とテレフタル酸とビフェノールからなる第1のタイプのもの(下記式1)や、PHBと2,6−ヒドロキシナフトエ酸からなる第2のタイプのもの(下記式2)がある。
【0006】
【化1】
【0007】
【化2】
【0008】
前記一般式(1)のLCPとしては、例えば、スミカスーパー(住友化学社)や、Xyder(Amoco社)等があり、前記一般式(2)のLCPとしては、Vectra(ヘキスト社)等がある。
【0009】
本発明で用いるLCPフィルムは、LCP分子が平面方向にランダムに配向したもので、LCPフィルムに通常見られる異方向性の大幅に解消されたもの(本明細書では等方向性フィルムと言う)である。
前記等方向性LCPフィルムは、LCPフィルムの一方の面又は両方の面に熱可塑性樹脂多孔質体フィルムを加圧下及び加熱下で接触させ、少なくとも表面部が軟化した状態の該LCPフィルムに該多孔質体フィルムを熱圧着させ、必要に応じて冷却して、該多孔質体フィルムが該LCPフィルムに対して1〜500g/cmの剥離強度で接合している積層体を得る熱圧着工程と、得られた積層体を、該LCPフィルムは溶融するが多孔質体フィルムは軟化するが(ガラス転移点以上の温度)実質的に溶融しない温度条件下で、該LCPの配向方向に対し垂直の方向に延伸するか又は該LCPの配向方向と同じ方向に延伸するとともに、該LCP配向方向に対し垂直の方向に延伸する延伸工程と、得られた積層体延伸物を冷却する工程と、冷却された積層体延伸物から多孔質体フィルムを剥離する剥離工程によって工業的に有利に製造することができる。
【0010】
前記熱可塑性樹脂多孔質体フィルムとしては、多孔質構造を有する各種のものが用いられ、その平均細孔径は0.05〜5.0μm、好ましくは0.2〜1μmであり、空孔率は40〜95%、好ましくは60〜85%である。このような多孔質体フィルムを形成する熱可塑性樹脂としては、具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルホン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアリレート、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエステル、ポリアミド、ポリアミドイミドの他、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、ポリ三フッ化塩化エチレン等のフッ素樹脂等を例示することができる。これらの熱可塑性樹脂のうち、フッ素樹脂は、その高い耐熱性によって熱圧着温度を高くすることができ、使用する液晶ポリマーを広く選択できるので好ましい。本発明で用いる好ましい多孔質体フィルムは、耐熱性、耐薬品性の点で延伸多孔質フッ素樹脂フィルム、特に、延伸多孔質ポリテトラフルオロエチレンフィルムである。熱可塑性樹脂多孔質体フィルムは、発泡法や溶媒抽出法、固相延伸法、フィブリル化法等の従来公知の方法で得ることができる。
【0011】
本発明でインターポーザ用材料として用いる等方向性LCPのフィルムを得るには、先ず、LCP又はそのポリマーアロイ(以下、これらを単にLCPとも言う)の押出し成形フィルムを用意する。この場合のLCPの押出し成形フィルムは、異方向性を有し、LCPの溶融物を、押出機を用い、その先端のTダイやインフレーションダイを通してフィルム状に押出し成形することによって得ることができる。前記溶融温度は、液晶ポリマーが溶融状態を示す温度である。押出し成形装置としては、二軸押出機や、単軸押出機等の慣用の装置が用いられる。押出し成形フィルムの厚さは、20μm〜5mm、好ましくは50〜800μmである。
【0012】
前記等方向性LCPフィルムの製造における各工程について詳述すると、以下の通りである。
(熱圧着工程)
この工程は、LCPフィルムAの両方又は片方の表面、好ましくは両方の面に多孔質体フィルムB−1及びB−2をそれぞれ熱圧着させる工程である。熱圧着温度は、多孔質体フィルムB−1、B−2は実質的に溶融させないが、LCPフィルムAの少なくとも表面部、即ち、多孔質体フィルムB−1及びB−2に接触するフィルムAの表面部のみ又は全体を軟化させる温度である。
【0013】
この熱圧着工程においては、LCPフィルムAは、2つの多孔質体フィルムB−1、B−2により、両側から挟まれていることから、その表面部のみに限らず、全体が軟化状態であってもよい。このような熱圧着により、LCPフィルムAの両面に、多孔質体フィルムB−1、B−2が接合された積層体が形成される。
【0014】
前記のようにして積層体を製造する場合、その熱圧着装置としては、一対の熱圧着ロールや、熱プレス装置が用いられる。熱圧着ロールを用いる場合、液晶ポリマーフィルムAと2枚の多孔質体フィルムB−1、B−2を、一対の熱圧着ロールの間の間隙部(クレアランス)に供給し、この熱圧着ロール間の間隙部で熱圧着する。この場合、LCPフィルムAの両側に多孔質体フィルムB−1、B−2を供給する。LCPフィルムAは固体フィルム又は押出機のT−ダイから押出された溶融物フィルム等であることができる。一方、熱プレス装置を用いる場合、その熱プレス装置の底板上に第1の多孔質体フィルムを敷設し、その上にLCPフィルムを重ね、その上に第2の多孔質体フィルムを重ね、その上から上板で所定時間加圧して熱圧着し、冷却する。この場合、底板及び/又は上板を加熱し、LCPフィルムの少なくとも表面部を軟化させる。
前記のようにして、LCPフィルムAと多孔質体フィルムB−1、B−2との積層体が得られるが、この積層体において、そのLCPフィルムAと多孔質体フィルムB−1又はB−2との間の剥離強度は、1〜500g/cm、好ましくは2〜100g/cmである。剥離強度が前記範囲よりも小さくなると、積層体フィルムの延伸に際し、LCPフィルムと多孔質体フィルムとの間に剥離が生じ、LCPフィルムの円滑な延伸を行うことが困難になるので好ましくない。一方、剥離強度が前記範囲より大きくなると、延伸後に、多孔質体フィルムを剥離する場合に、その剥離が困難になるので好ましくない。LCPフィルムと多孔質体フィルムとの間の剥離強度は、両者のフィルムの熱圧着条件により調節することができる。
前記で得られた積層体は、その熱融着の状態のまま又はいったん冷却した後、次の延伸工程へ送られる。
【0015】
(延伸工程)
この工程は、前記積層体フィルム形成工程で得られた積層体フィルムを、その多孔質フィルムは軟化させるが実質的に溶融せずにLCPフィルムを溶融させる温度条件下で、1軸方向、即ち、そのLCPの配向方向とは垂直の方向(TD)へ延伸するか又は2軸方向、即ち、そのLCPの配向と同じ方向(MD)へ延伸するとともに、それとは垂直方向(TD)へ延伸する工程である。1軸延伸の場合、TDへの延伸倍率は1.5〜10倍、好ましくは2〜5倍である。2軸延伸の場合、MDへの延伸倍率は1〜10倍、好ましくは1〜5倍であり、TDへの延伸倍率は1.5〜20倍、好ましくは3〜15倍である。また、TDへの延伸倍率は、MDへの延伸倍率の1.0〜5.0倍、好ましくは1.5〜3.0倍に規定するのがよい。延伸スピードは、1〜200%/秒、好ましくは5〜50%/秒にするのがよい。
延伸装置としては、従来公知の1軸又は2軸延伸装置を用いることができる。
【0016】
(冷却工程)
この工程は、前記延伸工程で得られた積層体フィルム延伸物を冷却し、溶融状態の液晶ポリマーフィルムを冷却固化する工程であり、一対の冷却ロールを用いて実施することができる。また自然放冷で行ってもよい。
【0017】
(剥離工程)
この工程は、前記冷却工程で得られた積層体フィルムから、その両表面に熱圧着されている多孔質体フィルムを剥離する工程である。前記したように、この多孔質体フィルムは、LCPフィルムに対しては、剥離可能に接合しているので、その多孔質体フィルムを、LCPフィルムより上方に引張ることにより容易に剥離することができる。
【0018】
以上のようにして、等方向性LCPフィルムを得ることができる。このフィルムは、延伸用原料フィルムとして用いたLCPフィルムにみられる異方向性の解消されたもので、平面物性の等方向性にすぐれたものである。
【0019】
前記等方向性LCPフィルムの製造において、その原料LCPフィルムとしては、充填剤を含有するLCPの押出し成形フィルムを用いるのが好ましい。この場合、充填剤には、無機系及び有機系のものが包含される。無機系充填剤としては、たとえば、シリカ、アルミナ、酸化チタン等の金属酸化物,炭酸カルシウム、炭酸バリウム等の金属炭酸塩;硫酸カルシウム、硫酸バリウム等の金属硫酸塩;タルク、クレー、マイカ、ガラス等のケイ酸塩の他、チタン酸カリウム、チタン酸カルシウム、ガラス繊維等が挙げられる。有機系充填剤としては、液晶ポリマーの加工温度において溶融しない耐熱性樹脂粉末や、カーボン、グラファイト、カーボン繊維等が挙げられる。前記耐熱性樹脂粉末としては、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、フッ素樹脂(PTFE、FEP、PFA、ETFE、CTFE、PVDF、E−CTFE等)、LCP等が挙げられる。
前記充填剤において、その平均粒径は0.01〜50μm、好ましくは0.1〜10μmである。また、充填剤を含有するLCP中のその充填剤の含有量は、5〜30容量%、好ましくは10〜20容量%である。前記押出し成形フィルムを得るには、LCPに充填剤を加えて溶融混合し、得られた混合物を押出機を用い、その先端のTダイやインフレーションダイを通してフィルム状に押出成形する。前記溶融混合温度は、LCPが溶融状態を示す温度である。もちろん、充填剤が樹脂粉末の場合には、その樹脂粉末が溶融する温度より低い温度である。混合装置としては、二軸押出機、単軸押出機、ニーダー、ミキサー等の慣用の混合装置が用いられる。
【0020】
前記のようにして得られる充填剤を含有する押出し成形フィルムは、表面状態の良好なフィルムであって、厚さ分布の平均値Cに対する厚さ分布の標準偏差Dの比D/Cが0.2以下という厚さ精度にすぐれたものである。
そして、このような充填剤を含有する押出し成形フィルムを原料として用いて得られる等方向性LCPフィルムは、表面状態の非常にすぐれたもので、そのフィルムの厚さ分布の平均値Cに対するその厚さ分布の標準偏差Dの比D/Cが0.2以下、特に0.15〜0.02の範囲にある。
【0021】
本発明で用いる等方向性LCPフィルムは、通常のLCPフィルムにみられる平面物性の異方向性の解消されたものであり、平面物性の等方向性にすぐれたものである。この場合の平面物性には、線膨張係数、熱膨張率、熱収縮率、引張り伸度、引張り強度、引張り弾性率等が包含される。本発明で用いる等方向性LCPフィルムは、低められた線膨張係数を有する。即ち、本発明で用いるLCPフィルムは、3〜9ppm/℃の線膨張係数を有する。線膨張係数の下限値は、通常、3ppm/℃程度である。本発明で用いるLCPフィルムは、前記のように、低められた線膨張係数を有すると同時に、その線膨張係数の等方向性にすぐれ、フィルムの1つの平面方向の線膨張係数Aと他の平面方向の線膨張係数Bとの比のA/Bは、0.5〜2の範囲にある。インターポーザとして用いるLCPフィルムにおける前記線膨張係数の等方向性は非常に重要であり、その線膨張係数に大きな異方向性があると、信頼性のあるインターポーザ及びICチップパッケージを得ることができなくなる。
【0022】
本発明のインターポーザとして用いる等方向性LCPフィルムにおいて、その厚さは10〜1000μm、好ましくは20〜100μm、その線膨張係数は、3〜9ppm/℃及びその吸水率は0.5重量%以下、好ましくは0.3重量%以下である。また、その吸湿膨張率(23℃、80%RH)は、通常、0.1%以下、好ましくは0.05%以下である。これらの物性は、LCPの種類や、LCPの押出し成形条件、LCPフィルムの延伸条件等によって調節することができる。
本発明においては、LCPフィルムには、特に、無機充填剤を含有させることが好ましい。無機充填剤を含有するLCPフィルムは、熱伝導性が向上し、高い放熱効果を有することから、インターポーザとしての機能においてすぐれている。この場合の無機充填剤としては、特に、シリカ、アルミナ、チタニア等を粉末状やウイスカー状で用いるのが好ましく、その含有量は、特に、5〜30容量%、好ましくは10〜20容量%である。
【0023】
本発明で用いる前記LCPフィルムは、その表面に導電体パターンを形成させて、ICチップを実装する場合のインターポーザとしてすぐれた効果を示す。即ち、LCPフィルムの線膨張係数(CTE)は、平面のどの方向をとっても3〜9ppm/℃の範囲にあり、ICチップの線膨張係数3ppm/℃とほぼマッチングしている。従って、ICチップをLCPフィルムに実装する場合に、半田バンプ等の金属接合部に生じる熱応力を著しく軽減することができ、接合部の信頼性を大幅に向上させることができる上、ICチップ自体に生じる応力を軽減できるので、ICチップの機能低下も防ぐことができ、さらに、ICチップ自体のクラック(引張応力で100MPa以上、圧縮応力で500MPa以上で一般的にはクラックを生じる)も効果的に防止することができる。
以上のように、本発明による等方向性LCPフィルムからなるインターポーザとするICチップパッケージは、ICチップとインターポーザとの間の熱応力の発生を減じ、パッケージ信頼性が著しく向上したものである。
また、本発明による前記ICチップパッケージをプラスチックモールドしたプラスチック型ICチップパッケージ(CSP、BGA等)は、LCPフィルムが非常に低い吸水率(0.1%以下)を示し、PCT(Pressure Cooker Test)(121℃、2atm、湿度100%)、65℃/95%RH及び85℃/85%RH等の吸湿試験においても、性能劣化やパッケージクラックを何ら生じることはなく、非常に高いパッケージ信頼性を有する。
【0024】
LCPフィルム上に形成する導電体パターンにおいて、その導電体としては、各種の導電性金属、例えば、銅、42%Ni−Fe合金等のインバー型合金等が用いられる。インバー型合金としては、特に、線膨張係数が7ppm/℃以下のものの使用が好ましく、これにより、そりや歪の低減されたインターポーザを得ることができる。また、LCPフィルム上にICチップを実装する場合、その実装方式としては、従来公知の各種の方式、例えば、ワイヤーボンディングの他、フリップチップ方式、ビームリード方式、TAB方式、STD方式等を採用することができる。本発明によるLCPフィルムからなるインターポーザは、前記のように、線膨張係数が小さく、ICチップの線膨張係数に近いことから、特に、フリップチップ方式によりICチップを実装する場合のインターポーザとしてすぐれた効果を示す。
【0025】
【実施例】
次に本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。
【0026】
参考例1
サーモトロピック液晶ポリマー(住友化学社製、スミカスーパーE6000)を、単軸押出機(スクリュー径50mm)内で溶融し、その押出機先端のTダイ(リップ長さ300mm、リップクリアランス1.0mm、ダイ温度350℃)より、フィルム状に押出し、冷却して厚さ250μmの液晶ポリマーフィルムを得た。この液晶ポリマーフィルムの両面に、厚さ40μmの多孔質ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)フィルム(平均孔径0.2μm、空孔率80%)を、一対の熱ロール(温度330℃、ロール周速2m/分)を有するラミネーターで熱圧着した後、一対の冷却ロール(温度150℃)を通して冷却した。この積層体のPTFEフィルムの剥離強度は5g/cmであった。
次に、このようにして得た積層体を二軸延伸機で延伸した。この時の延伸条件は、延伸温度350℃、延伸倍率MD方向1.3倍、TD方向3.9倍、延伸スピード20%/秒、であった。
最後に、多孔質PTFEフィルムを液晶ポリマーフィルムの両面から剥離し、厚さ50μmの液晶ポリマー延伸フィルム(a−1)を得た。
【0027】
参考例2
サーモトロピック液晶ポリマー(住友化学社製、スミカスーパーE6000)90重量部と天然シリカ(平均粒径3μm、電気化学社製FS−15)10重量部とを、二軸押出機を用いて溶融混合するとともに、その先端のストランドダイから押出してペレタイザーでペレットに成形した。
次にこのペレットを単軸押出機(スクリュー径50mm)内で溶融し、その押出機先端のTダイ(リップ長さ300mm、リップクリアランス1.0mm、ダイ温度350℃)より、フィルム状に押出し、冷却して厚さ250μmの液晶ポリマーフィルムを得た。この液晶ポリマーフィルムの両面に、厚さ40μmの多孔質ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)フィルム(平均孔径0.2μm、空孔率80%)を、一対の熱ロール(温度330℃、ロール周速2m/分)を有するラミネーターで熱圧着した後、一対の冷却ロール(温度150℃)を通して冷却した。この積層体のPTFEフィルムの剥離強度は5g/cmであった。
次に、このようにして得た積層体を二軸延伸機で延伸した。この時の延伸条件は、延伸温度350℃、延伸倍率MD方向1.3倍、TD方向3.9倍、延伸スピード20%/秒、であった。
最後に、多孔質PTFEフィルムを液晶ポリマーフィルムの両面から剥離し、厚さ50μmの液晶ポリマー延伸フィルム(a−2)を得た。
【0028】
参考例3
サーモトロピック液晶ポリマー(住友化学社製、スミカスーパーE6000)90重量部と天然シリカ(平均粒径3μm、電気化学社製FS−15)10重量部とを、二軸押出機を用いて溶融混合するとともに、その先端のストランドダイから押出してペレタイザーでペレットに成形した。
次にこのペレットを単軸押出機(スクリュー径50mm)内で溶融し、その押出機先端のTダイ(リップ長さ300mm、リップクリアランス2.5mm、ダイ温度350℃)より、フィルム状に押出し、冷却して厚さ650μmの液晶ポリマーフィルムを得た。この液晶ポリマーフィルムの両面に、厚さ40μmの多孔質ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)フィルム(平均孔径0.2μm、空孔率80%)を、一対の熱ロール(温度330℃、ロール周速2m/分)を有するラミネーターで熱圧着した後、一対の冷却ロール(温度150℃)を通して冷却した。この積層体のPTFEフィルムの剥離強度は5g/cmであった。
次に、このようにして得た積層体を二軸延伸機で延伸した。この時の延伸条件は、延伸温度350℃、延伸倍率MD方向1.3倍、TD方向3.9倍、延伸スピード20%/秒、であった。
最後に、多孔質PTFEフィルムを液晶ポリマーフィルムの両面から剥離し、厚さ125μmの液晶ポリマー延伸フィルム(a−3)を得た。
【0029】
参考例4
サーモトロピック液晶ポリマー(ポリプラスチックス社製、ベクトラA950)を、単軸押出機(スクリュー径50mm)内で溶融し、その押出機先端のTダイ(リップ長さ300mm、リップクリアランス1.0mm、ダイ温度300℃)より、フィルム状に押出し、冷却して厚さ250μmの液晶ポリマーフィルムを得た。この液晶ポリマーフィルムの両面に、厚さ40μmの多孔質ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)フィルム(平均孔径0.5μm、空孔率80%)を、一対の熱ロール(温度280℃、ロール周速2m/分)を有するラミネーターで熱圧着した後、一対の冷却ロール(温度100℃)を通して冷却した。この積層体のPTFEフィルムの剥離強度は5g/cmであった。
次に、このようにして得た積層体を二軸延伸機で延伸した。この時の延伸条件は、延伸温度300℃、延伸倍率MD方向1.6倍、TD方向3.2倍、延伸スピード20%/秒、であった。
最後に、多孔質PTFEフィルムを液晶ポリマーフィルムの両面から剥離し、厚さ50μmの液晶ポリマー延伸フィルム(a−4)を得た。
【0030】
参考例5
サーモトロピック液晶ポリマー(ポリプラスチックス社製、ベクトラA950)90重量部と天然シリカ(平均粒径3μm、電気化学社製FS−15)10重量部とを、二軸押出機を用いて溶融混合するとともに、その先端のストランドダイから押出してペレタイザーをペレットに成形した。
次にこのペレットを単軸押出機(スクリュー径50mm)内で溶融し、その押出機先端のTダイ(リップ長さ300mm、リップクリアランス2.5mm、ダイ温度300℃)より、フィルム状に押出し、冷却して厚さ250μmの液晶ポリマーフィルムを得た。この液晶ポリマーフィルムの両面に、厚さ40μmの多孔質ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)フィルム(平均孔径0.5μm、空孔率80%)を、一対の熱ロール(温度280℃、ロール周速2m/分)を有するラミネーターで熱圧着した後、一対の冷却ロール(温度100℃)を通して冷却した。この積層体のPTFEフィルムの剥離強度は5g/cmであった。
次に、このようにして得た積層体を二軸延伸機で延伸した。この時の延伸条件は、延伸温度300℃、延伸倍率MD方向1.6倍、TD方向3.2倍、延伸スピード20%/秒、であった。
最後に、多孔質PTFEフィルムを液晶ポリマーフィルムの両面から剥離し、厚さ50μmの液晶ポリマー延伸フィルム(a−5)を得た。
【0031】
以上で得た各々の液晶ポリマーフィルムの物性を以下のようにして測定し、その結果を表1に示す。
(1)TD厚さ分布
ダイヤルゲージのニードル型測定子(ミツトヨ社製、先端R:0.4mm)を鉛直方向に向かい合わせて固定し、100gの力で接触させる。つぎにこの測定子間にサンプルフィルムをはさみ、TD方向に移動させる。このようにして、フィルムのTDの厚さ分布データを得る。
(i)平均値C
1000mm幅、0.5mm間隔で2000ポイント測定し、その平均値を求めた。
(ii)標準偏差D
前記平均値Cに対する2000ポイントの標準偏差Dを求めた。
(2)線膨張係数
TMA法:荷重5g、200℃まで昇温後、150℃から25℃への降温時に測定。試料幅4.0mm、チャック間隔10mm。
(3)吸水率
5×5cmのフィルムを真水中に24時間浸漬し、その前後の重量を測定して吸水量を算出し、その浸漬前のフィルム重量に対する%で示した。
【0032】
【表1】
【0033】
実施例1
参考例1で示した厚さ50μmのLCPフィルムに、図3に示すように、銅を蒸着して導電体部を形成した。このフィルムの幅は35mmで、導電体部は幅26mmで、両サイドにスプロケット孔を設けた35mm幅のスタンダードTABフィルムキャリアの仕様とした。テープは長さ20mの長尺で、連続蒸着した後、メッキ法で厚さ10μmに銅を厚くした。導電体は両面に形成した。エキシマレーザを用いて直径40μmのスルーホールをあけ、スルーホールメッキを行い、両面にそれぞれ電極パターンを形成した。片面の基板実装側の外部端子には、さらに半田バンプを形成した。以上の工程により、CSP用のインターポーザを得た。
【0034】
実施例2
図4に示すように、実施例1で得たインターポーザにICチップをフリップチップ方式で実装した。接合部はPbリッチの高融点半田バンプとした。さらにこれをエポキシ系レジンでトランスファーモールドで封止し、4箇所の吊り部を切断して、CSPを得た。
【0035】
実施例3
図5に示すように、インナーリード部を熱圧着するタイプのインターポーザを作製した。これは、参考例2のLCPフィルムの表面をKOH溶液で処理して、銅を0.5μm蒸着し、電気メッキで25mm厚にして導電体部を形成した。エキシマレーザでスルーホールをあけ、スルーホールメッキしたのち、エッチングでパターンを形成した。さらに、外部端子に半田バンプを形成した。こうして、インナーリード付BGAタイプのインターポーザを得た。
【0036】
実施例4
図6に示すように、実施例3のインターポーザにAuバンプ付ICチップをインターポーザのインナーリード部に500℃で熱圧着した。これを、エポキシ系レジンで封止して、BGAタイプのCSPができた。
【0037】
実施例5
図7に示すように、ICチップの放熱性を高めるため、参考例3で得たSiO2フィラー10重量%を含有するLCPフィルム(厚さ125μm、CTE;X方向:7ppm/℃、Y方向:8ppm/℃)にスルーホール、インナーパッド、アウターパッドを設けたものにICチップを熱伝導性の高いダイボンディング樹脂で接着し、ワイヤーボンディングした後、保護用樹脂で封止して、ICパッケージを得た。このものは、ICチップに生じる熱応力が小さく良好なパッケージである。
【0038】
実施例6
図8に示すように、リードフレームタイプのCSPに、LCPフィルムの保護及び絶縁のための層を設けたものである。まず、リードフレームのワイヤーボンディングのセカンド面に対して裏面に実施例5で示したLCPフィルムを貼り付ける。この絶縁体付リードフレームにICチップをフェースダウンで接着し、ワイヤーボンディングを行う。さらに樹脂で封止してCSPができ上がる。このものは、ICチップとCTE値が近いLCPフィルムを用いたことで、リードフレームとICチップとのCTE値のミスマッチによって生じる熱応力が軽減でき、良好なCSPを得ることができた。
【0039】
【発明の効果】
本発明のインターポーザは、融点が280℃以上と高く、半田耐熱性にすぐれ、かつ線膨張率を低くコントロールした特定物性のLCPフィルムを用いて構成したことから、信頼性の高いICチップパッケージを与えるもので、その産業的意義は非常に高い。
本発明のICチップパッケージは、そのインターポーザに線膨張係数がICチップの線膨張係数である3ppm/℃に近いLCPフィルムからなるインターポーザを用いたことにより、従来のポリイミドフィルムをインターポーザとして用いたものよりも接合部の信頼性が高く、さらにこれを樹脂モールドしたパッケージにおいては、LCPフィルムの吸水率が低いことにより、パッケージクラックを低減できる。また、従来のセラミックスインターポーザに比べ、安価でかつ薄いパッケージとすることができる。さらに、本発明のICチップパッケージの場合、そのLCPフィルムの吸水率が低く、かつそのモールド樹脂との接着性が良いことから、モールドする樹脂の量を少なくでき、安価で、薄く、軽くすることができる。そして、軽いCSP、BGAは大変な利点がある。これはこのようなパッケージを基板に実装する際に行う、半田バンプを用いたCCB(コントロール、コラップス、ボンディング)法による接合の際、軽い方がよりセルファライメントがききやすい点である。
【図面の簡単な説明】
【図1】ポリイミドフィルムを用いた従来のICチップパッケージの断面図を示す。
【図2】図1のICチップパッケージを樹脂モールドして形成したプラスチックモールド型CSPの断面図を示す。
【図3】本発明のインターポーザの構造説明図を示す。
a:概略図
b:そのA−A’断面図
【図4】図3に示すインターポーザにICチップを実装し、さらに樹脂モールドして形成したプラスチックモールド型CSPの断面図を示す。
【図5】本発明によるインナーリード付CSP用インターポーザの構造説明図を示す。
a:概略図
b:そのB−B’断面図
【図6】図5に示すインターポーザを用いて形成したCSPの断面図を示す。
【図7】本発明のシリカ含有インターポーザを用いて形成したワイヤーボンディングタイプICチップパッケージの断面図を示す。
【図8】本発明のインターポーザを用いたリードフレームタイプCSPの断面図を示す。
【符号の説明】
1 ICチップ
2 半田バンプ
3 インナーパッド
4 アウターパッド
5 ポリイミドフィルム
6 スルーホール
7 インターポーザ
8 LCPフィルム
9 封止レジン
10 CSP
11 吊り部
12 スプロケットホール
13 外部端子用半田バンプ
14 インナーリード
15 Auバンプ
16 接着樹脂
17 Auワイヤー
18 ダイボンド樹脂
19 リードフレーム
20 Alパッド
Claims (6)
- 表面に導電体パターンを有する液晶ポリマー分子が平面方向にランダムに配向した均方向性を有する液晶ポリマーフィルムからなり、
該液晶ポリマーフィルムは、厚さが20〜100μmであり、無機充填剤の含有を必須としなくても、3〜9ppm/℃の線膨張係数と280℃以上の融点を有し、かつ該フィルムにおける1つの平面方向の線膨張係数Aと他の平面方向の線膨張係数Bの比A/Bが0.5〜2の範囲にあることを特徴とするICチップ実装用インターポーザ。 - 前記線膨張係数の比A/Bが0.89〜1.14である請求項1のICチップ実装用インターポーザ。
- 該導電体パターンが、7ppm/℃以下の線膨張係数を有するインバー型合金からなる請求項1又は2のICチップ実装用インターポーザ。
- 請求項1〜3のいずれかのインターポーザにICチップを実装したICチップパッケージ。
- 樹脂モールドしてプラスチックモールド型ICチップパッケージとした請求項4のICチップパッケージ。
- 該ICチップの実装方式が、フリップチップ方式である請求項4又は5のICチップパッケージ。
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