JP3636639B2

JP3636639B2 - 有機ｅｌパネル及びその製造方法

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Publication number: JP3636639B2
Application number: JP2000180003A
Authority: JP
Inventors: 嘉一坂口
Original assignee: Samsung SDI Co Ltd
Current assignee: Samsung SDI Co Ltd
Priority date: 1999-06-16
Filing date: 2000-06-15
Publication date: 2005-04-06
Anticipated expiration: 2020-06-15
Also published as: JP2001060494A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電流の注入によって発光する有機化合物材料のエレクトロルミネッセンス（以下、ＥＬという）を利用した有機ＥＬパネル及びその製造方法に関し、特に、画素分離用の隔壁を備えた有機ＥＬパネル及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
画素分離用の隔壁を備えた有機ＥＬパネルが特開平９−１０２３９３号公報及び特開平８−３１５９８１号公報に開示されている。この公報に示される有機ＥＬパネルの製造方法においては、図１１（ａ）に示されるように、透明基板１上に、酸化スズインジウム（以下、ＩＴＯという）等からなるアノードとしての透明電極２をストライプ状に形成した後、フォトリソグラフィ法を用いて透明電極２と透明基板１上で直交するように電気絶縁性の分離用の隔壁３１を設ける。隔壁３１は下部に逆テーパ状の形状を有し、上部にオーバーハング部３１０を有する。
【０００３】
次に、図１１（ｂ）に示すように、透明基板１の隔壁３１が設置されている側から成膜用のシャドーマスク３７を用いてオーバーハング部３１０下にも回り込むように、一つの色に対応する有機発光材料を透明基板１に対して図中Ｐ、Ｑの矢印のように角度を付けて蒸着し、これを色毎に繰り返して有機発光層３２を形成する。さらに、図１２（ａ）に示すように、成膜用マスク３７を隔壁３１の上からはずした後、図中Ｓの矢印のように、透明基板１に対してほぼ垂直の方向からカソード電極材料を蒸着してカソード電極３３を形成する。隔壁３１はオーバーハング部３１０を有するため、カソード電極３３を隔壁３１の両側で電気的に絶縁することが出来る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１１（ａ）に示すように、隔壁３１はレジストを逆テーパ状に形成することにより得られ、隔壁３１を用いて画素及び陰極の分離を行う。レジストを用いる場合、レジストの残留現像液、エッチング液、微量水分が有機発光層３２やカソード電極３３の界面を劣化させる。
【０００５】
その結果、ダークスポットと呼ばれる非発光点が発生する。このダークスポットが発生すると、パネルの寿命を長くすることが困難となる。また、逆テーパの形状を呈する隔壁３１のオーバーハング部３１０は厚さ方向の露光量の違いからくる現像速度の差を利用して形成される。
【０００６】
このため、オーバーハング部３１０の大きさが不安定で分離不足を生じやすい。分離不足が生じると、カソード電極３３とアノードである透明電極２との間がショートして非発光素子が形成されるばかりでなく、ショートによる熱によりパネルを破壊してしまう場合がある。
【０００７】
また、係る表示パネルにおいては分離不足を起こさないために隔壁３１に一定以上の幅が必要であり、非発光部である隔壁３１の面積が大きくなるため、開口率を大きくすることができず微細化が困難であるという問題が生じていた。
【０００８】
従って、本発明の目的のひとつは、微細化が可能であり且つ生産性の向上を図ることができる有機ＥＬパネル及びその製造方法を提供することである。
また、本発明の他の目的は、より微細化され且つ高画質の装置として得られる有機ＥＬパネル及びその製造方法を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するために、本発明者らは、有機ＥＬパネルの微細化及びその生産工程のおける生産性の向上に関して鋭意研究を重ねた。その結果、本発明者らは、画素分離用の隔壁の形成方法として、透明電極上に形成される電荷発生層及び電荷移動層のうち、電荷移動層を帯電させた後、電荷発生層を選択的に露光して電荷移動層上に所定のパターンを有する静電潜像を形成し、現像剤を用いて前記静電潜像を現像した後定着させることにより隔壁を形成する着想を得、以下のような本発明の有機ＥＬパネル及びその製造方法に想到した。
【００１０】
即ち、本発明の有機ＥＬパネルは、透明基板上に形成された光透過性材料からなる第１電極と、前記第１電極を覆う電荷発生層及びその上の電荷移動層と、前記電荷移動層の上に所定のパターンに形成された現像剤パターンからなる隔壁と、前記隔壁の間に形成された発光層及び第２電極とその間に挟まれる電子輸送層を有することを特徴とし、前記隔壁の幅が１０〜４０μｍであり、前記第２電極は、前記隔壁が黒色である、というものである。
【００１１】
次に、本発明の有機ＥＬパネルの製造方法は、透明基板上に光透過性材料からなる第１電極を形成する工程と、前記第１電極上に電荷発生層及び電荷移動層を順に形成する工程と、前記電荷移動層を帯電させた後、前記電荷発生層を選択的に露光することにより前記電荷移動層上に所定のパターンを有する静電潜像を形成する工程と、前記静電潜像に対応する現像剤パターンを前記電荷移動層上に画素分離用の隔壁として形成する工程と、前記隔壁間に発光層及び第２電極を形成する工程とを有することを特徴とし、前記発光層及び前記第２電極は、少なくとも前記電荷移動層の一部が露出するような所定のパターンを有するマスクを前記隔壁上に設置した後、真空蒸着により形成されるか、或いは、前記電荷移動層上の前記発光層及び前記第２電極は、順に斜方蒸着により形成され、前記現像剤は、ポリエステル、アクリル、及びスチレン−アクリル共重合体のうち少なくとも１以上の材料に帯電制御剤を含有するものである、或いは、黒色材料を含有するものであり、前記黒色材料を含む現像剤を用いて黒色の隔壁を形成する、或いは、磁性粉を含有する、という形態を採るものである。
【００１２】
次に、本発明の有機ＥＬパネルのより具体的な製造方法は、基板上に光透過性材料からなるアノード電極を形成する工程と、前記アノード電極上に電荷発生層及び電荷移動層を順に形成する工程と、前記電荷移動層を帯電する工程と、前記電荷発生層の所定領域を露光することにより前記電荷移動層上に所定のパターンを有する静電潜像を形成する工程と、前記静電潜像を現像して現像剤パターンを形成する工程と、前記現像剤パターンを前記電荷移動層上に定着させることにより画素分離用の隔壁を形成する工程と、前記隔壁の間に発光層、電子輸送層及びカソード電極を順に形成する工程とを有することを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の基本的な実施形態を図１〜８を参照して説明する。
【００１４】
本実施形態に係る有機ＥＬパネルは、図１に示されるように、ガラス基板等の透明基板１上に、ＩＴＯ、酸化スズ薄膜等のアノードとしての透明電極２が形成されている。透明電極２の上には電荷発生層３及び電荷移動層４が設置されている。また、電荷移動層４の上には複数の隔壁１１が並列に形成されており、隔壁１１の間に発光層１２が形成され、発光層１２上には電子輸送層１３を介してカソードである第２電極１４が形成されている。すなわち、電荷発生層３、電荷移動層４、発光層１２、及び電子輸送層１３を介して透明電極２と第２電極１４とが対向するように形成されている。
【００１５】
また、発光層１２は、レッド発光層１２０、グリーン発光層１２１、ブルー発光層１２２から構成される。
【００１６】
なお、図１においては有機ＥＬパネルが３色のカラーにより構成される場合を例にとり説明したが、有機ＥＬパネルが単色パネルであってもよく、その場合発光層１２は同色のみである。
【００１７】
電荷発生層３及び電荷移動層４は共に有機樹脂からなり、電荷発生層３が感光層となる。電荷発生層３は、ブチラール樹脂に無金属、銅、チタニル、バナジル等フタロシアニン化合物やペリレン系、多環キノン系、スクアリリウム色素やアズレニウム色素等の電荷発生剤等を含有している。
【００１８】
また、電荷移動層４は、ポリカーボネート樹脂にＮ，Ｎ’−ジフェニル −Ｎ、Ｎ’−ジ（３−メチルフェニル）−１，１’−ビフェニル −４，４’−ジアミン（ＴＰＤと略記）、Ｎ，Ｎ’−ジフェニル −Ｎ、Ｎ’−ビス（α−ナフチル）−１，１’−ビフェニル−４，４’−ジアミン（α−ＮＰＤと略記）等のジアミン誘導体や、４，４’，４” −トリス（３−メチルフェニルフェニルアミノ）−トリフェニルアミンなどのアリールアミン系、オキサジアゾール、オキサゾール、ピラゾリン等複素環式化合物、ヒドラゾン系化合物、縮合多環式化合物等の化合物を分散した塗液を用いて成膜される。
【００１９】
電荷発生層３及び電荷移動層４はディッピングにより、若しくはスピンコート法等を用いて透明電極２の上に形成される。電荷発生層３及び電荷移動層４の厚さは、キャリアの移動度、光を透明基板１側から取り出すように有機ＥＬパネルが構成されていること等を考慮すると、できるだけ薄い方が好ましいが、薄すぎるとピンホール等で絶縁破壊を起こすため、０．１〜５μｍ程度であるのが好ましい。
【００２０】
また、隔壁１１は絶縁体材料から構成され、ポリエステル、スチレン−アクリル共重合体、アクリル等の樹脂から形成されている。また、隔壁１１を形成する際に、樹脂にＦｅ₃Ｏ₄やＭｎＯ・Ｆｅ₂Ｏ₃、ＺｎＯ・Ｆｅ₂Ｏ₃に代表されるマグネタイト、フェライト等の磁性粉を混錬することにより、隔壁１１を黒色にすることもできる。
【００２１】
或いは、磁性粉の代わりに、ファーネスブラック、チャンネルブラック、アセチレンブラック、ケッチェンブラックに代表されるカーボンブラック等の黒色材料を微量混錬することにより隔壁を黒色にすることもできる。このように、画素間のスペース部である隔壁１１を黒色にすることにより、ディスプレイとしてのコントラストを向上させることができる。
【００２２】
発光層１２は、ホストにトリス（８−キノリノール）アルミニウムに代表される８−ヒドロキシキノリン金属錯体、１，４−ビス（２−メチルスチリル）ベンゼン等のジスチリルベンゼン誘導体、ビススチリルアントラセン誘導体、クマリン誘導体、ペリレン誘導体等を用いて形成される。グリーンの光を発する発光層１２１は、ホストとともに、ドーパントとして、キナクリドン、２，９−ジメチルキナクリドン等キナクリドン誘導体、３−（２−ベンゾチアゾリル）−７−ジエチルアミノクマリン（クマリン５４０）等クマリン誘導体を用い、ホストとドーパントとを共蒸着させることにより形成される。
【００２３】
レッド発光層１２０は、ドーパントとして、４−ジシアノメチレン−２−メチル−６−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）−４Ｈ−ピラン（ＤＣＭと略記）、４−ジシアノメチレン−２−メチル−６−〔２−（９−ユロリジル）エテニル〕−４Ｈ−チオピラン等ジシアノメチレンピラン色素、フェノキサゾン誘導体、スクアリリウム色素等を用い、ホストとドーパントとを共蒸着させることにより形成される。ブルー発光層１２２は、４，４’−ビス（２，２−ジフェニルビニル）ビフェニル等のジスチリルアリーレン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、テトラフェニルシクロペンタジエン、ペンタフェニルシクロペンタジエン、テトラフェニルブタジエン誘導体、ペリレン誘導体等を蒸着することにより形成される。
【００２４】
電子輸送層１３は、トリス（８−キノリノール）アルミニウム、ビス（８−キノリノール）マグネシウム等の８−ヒドロキシキノリン金属錯体、オキサジアゾール誘導体、ペリレン誘導体等電子をキャリアとする材料を用いて形成される。
【００２５】
また、本実施形態においてはカソードである第２電極１４は、Ｍｇ：ＡｇやＡｌ：Ｌｉを合金または共蒸着法を用いて真空蒸着を行い形成される。
【００２６】
次に、本実施形態に係る有機ＥＬパネルの製造工程について、図２〜図８を参照して説明する。
【００２７】
まず、図２（ａ）に示すように、ガラス等の透明基板１の上に、ＩＴＯ、酸化スズ薄膜等の光透過性材料からなる透明電極２を形成する。薄膜形成方法は、スパッタリング法、電子ビーム法、化学反応法等いずれを用いてもよい。
【００２８】
続いて、透明電極２の上に電荷発生層（正孔注入層）３及び電荷移動層（正孔輸送層）４で構成される有機材料を形成する。電荷発生層３は、ブチラール樹脂に前述した電荷発生剤を分散することにより得られた塗液を用いて成膜することにより形成される。
【００２９】
また、電荷移動層４は、前述したように、ポリカーボネート樹脂にＴＰＤ、α―ＮＰＤ等のジアミン誘導体や、４，４’，４” −トリス（３−メチルフェニルフェニルアミノ）−トリフェニルアミンなどのアリールアミン系、オキサジアゾール、オキサゾール、ピラゾリン等複素環式化合物、ヒドラゾン系化合物、縮合多環式化合物等の化合物を分散した塗液を用いて成膜することにより形成する。
【００３０】
電荷発生層３及び電荷移動層４の形成方法は、ディッピングによる方法、若しくはスピンコート法どちらを用いてもよい。電荷発生層３及び電荷移動層４はバインダ樹脂に正孔注入輸送材料を分散させて形成させることにより、透明電極２とこれらの有機層（電荷発生層３及び電荷移動層４）との密着性を高めることができるため、材料の凝集や膜質の変化がない。これにより電界集中による絶縁破壊やショートを防ぐことができ、パネルの耐熱性が向上し長寿命化を図ることができる。
【００３１】
次に、図２（ｂ）に示すように、電荷発生層３及び電荷移動層４からなる有機層を形成した基板に、スコロトロン等のコロナ放電を用いる非接触式帯電器５を用いて電荷移動層４表面の帯電を行う。非接触式帯電器５の代わりに、図６（ａ）に示すように、ブラシやブレード、ローラ帯電等の接触式帯電器６を用いても良い。電荷移動層４の表面電位の最適帯電電位Ｖｏは、有機感光層である電荷発生層３の膜厚や移動度により異なるが、例えば、負帯電現像剤を用いて反転現像を行う場合、−３００〜−１０００Ｖ程度である。以上の工程により、電荷移動層４の表面に表面電荷７を形成する。
【００３２】
続いて、図３（ａ）に示すように、半導体レーザやＬＥＤ等からなる露光器８を用いて、隔壁１１となる部分の電荷発生層３を選択的に露光するか、若しくは隔壁１１となる部分以外の領域を遮光パターンとするフォトマスクを介して隔壁１１となる部分の電荷発生層３を選択的に露光する。半導体レーザを用いての露光は、フォトマスクを用いる場合に比べて、自由な形状の隔壁が得られ、且つ、微細に走査できるので非常に有用である。図３（ａ）は、正現像である例を示している。反転現像の場合、隔壁１１となる部分以外の電荷発生層３を選択的に露光する一方、正現像の場合、隔壁１１となる部分の電荷発生層３を選択的に露光する。露光器８から発射される光の波長は電荷発生層３の吸収波長である７８０ｎｍ前後である。
【００３３】
正現像の場合、図３（ａ）に示されるように、露光器８から発射されたレーザ光等が電荷発生層３まで到達することにより、電荷発生層３内で正孔と電子が発生し、電荷移動層４の表面電位（電荷移動層４表面が帯電することにより生じる電位Ｖｏ）に基づく電界により正孔が電荷移動層４に注入されて電荷移動層４内を移動し、電荷移動層４表面まで到達する。
【００３４】
ここで、図３（ｂ）に示すように、光が発射された部分においては電荷移動層４表面に達した正孔が電荷移動層４表面の帯電電荷と結合することにより表面電荷７が消滅し、潜像電位Ｖｉを有し、所定のパターンからなる静電潜像９が形成される。ここで、静電潜像９とは、潜像電位Ｖｉを有し、所定のパターンからなる電荷をいう。なお、正現像の場合、後の工程において、電荷移動層４表面において表面電荷７が消滅した部分に隔壁１１が形成される。
【００３５】
図３（ａ）に続いて、図３（ｂ）に示すように、静電潜像９に対して現像剤１０を用いて現像を行う。現像剤１０は、帯電制御剤（ＣＣＡ）を混練したポリエステル、スチレンーアクリル共重合体、アクリル等のバインダ樹脂を適当な粒径まで粉砕することにより得られたものを用いる。
【００３６】
現像剤１０を一様に帯電させた後、現像するための現像器２７の一例を図６（ｂ）に示す。現像器２７は図６（ｂ）に示されるように、現像剤１０を貯留するホッパ２１、現像剤１０の帯電と静電潜像９を形成した有機層への現像とを行う現像室２２を有している。ホッパ２１内の現像剤１０は、撹拌部材２３によって撹拌され、回転駆動する（図６（ｂ）においては反時計方向に回転する）現像剤供給部材２４によって、反時計方向に回転するマグネトローラ式若しくは弾性ゴム材料からなる現像剤担持体２５に供給される。現像剤担持体２５に供給された現像剤１０は、薄層形成部材２６によって規制され、数層程度の均一な薄層となる。
【００３７】
薄層形成部材２６は、シリコーン、ウレタン等の高分子材料やステンレス等の金属薄板から形成されている。薄層となった帯電制御剤を含む現像剤１０は、現像剤担持体２５の回転にしたがって現像剤担持体２５と有機層の対向部分まで運ばれ、電荷移動層４の表面電位Ｖｏ、潜像電位Ｖｉと現像剤担持体２５に印加されている現像バイアス電位Ｖｂとの電位差に基づく電界により、電荷移動層４表面の静電潜像９に移動し像を形成する（図３（ｂ）参照）。現像剤担持体２５と電荷移動層４とは接触していてもよいし、近接した距離であれば、現像剤１０は電界により電荷移動層４へと飛翔するので、１００〜３００μｍ程度離れていても現像することができる。
【００３８】
このように、現像剤担持体２５と電荷移動層４とを接触させずに現像を行うことにより、現像されていない部分へのカブリやチリを減少させることができる。現像プロセスとしては、電荷移動層４の電位と現像剤１０の帯電とが逆極性である正現像法、電荷移動層４の電位と現像剤との帯電極性が同極性である反転現像法の２つのうちどちらを用いてもよい。
【００３９】
次に、図４（ａ）に示すように、電荷移動層４表面の静電潜像９に移動して像を形成した現像剤１０を、定着器３０を用いて電荷移動層４表面に定着させる。定着器３０にはキセノンフラッシュランプが設置されており、定着器３０と電荷移動層４とを接触させることなく現像剤１０を電荷移動層４に定着させることにより隔壁１１を形成する。
【００４０】
または、図７（ａ）に示すように、所定のパターンを有する静電潜像９に対して、ハロゲンランプを内在したアルミ素管の外周にポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）やポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）等フッ素系化合物等離型性を有する材料をコートして形成されたヒートローラ１６を用いて、現像剤１０を電荷移動層４表面に定着させてもよい。定着温度は、用いる現像剤中のバインダ樹脂の種類によって異なるが、通常１００〜１４０℃である。静電潜像９は用途・目的に応じて自在な形に形成できるため、静電潜像９を用いて現像を行うことによりいかなる形の表示パネルやサブピクセルの配置にも対応することができる。
【００４１】
続いて、図４（ｂ）に示すように、シャドーマスク１８を透明電極２の延在方向と直交するように配置し、真空蒸着法により、有機材料からなる発光層１２及び電子輸送層１３、カソードである第２電極１４を順に成膜する。シャドーマスク１８はＳＵＳ、銅ニッケル等のメッキされた金属材料から作成されており、複数のストライプ状のマスク部１８０と、マスク部１８０間に設置されたエッチング部（マスク孔）１８１とを有している。
【００４２】
カラー有機ＥＬパネルに用いるカラーパネル用のシャドーマスクは一般に２色分のサブピクセル＋スペース幅１５０〜２５０μｍの間隔おきに１色のサブピクセル幅（エッチング部１８１の幅）６０〜１００μｍがエッチング加工されている。一方、単色ドットパネル用のシャドーマスクの場合、マスク部１８０の幅が２００〜３００μｍでエッチング加工されており、エッチング部（マスク孔）１８１の幅は１５〜３０μｍである。
【００４３】
例えば、レッド発光層１２０、グリーン発光層１２１、ブルー発光層１２２をそれぞれ形成する場合、成膜しようとするサブピクセル、例えば、レッドピクセルにシャドーマスク１８のエッチング部（マスク孔）１８１が位置するように、隔壁１１上にシャドーマスク１８を設置後（図４（ｂ）参照）、図５（ａ）に示すように、レッド発光層１２０、電子輸送層（ＥＴＬ）１３、第２電極１４を順に蒸着し成膜する。
【００４４】
次に、シャドーマスク１８を１サブピクセル分（１色分）ずらしてグリーン発光層１２１、電子輸送層（ＥＴＬ）１３、第２電極１４を順に蒸着し成膜する。
【００４５】
最後に、マスクを１サブピクセル分ずらしてブルー発光層１２２、電子輸送層（ＥＴＬ）１３、第２電極１４を順に蒸着し成膜する。これらの発光層１２及び電子輸送層１３は前述した３色材料を用いて形成する。カソードである第２電極１４は、Ｍｇ：ＡｇやＡｌ：Ｌｉを合金または共蒸着法を用いて真空蒸着を行うことにより形成する。以上の工程により、発光パターン及び陰極が隔壁１１により分離された有機ＥＬパネルを得る。
【００４６】
上記方法によると、従来用いられている真空蒸着でマスクをスライドさせる方法と比較して、シャドーマスク１８と透明基板１との間の距離が常に一定となることから、マスクが基板に接触することによる傷の発生等物理的な画素欠陥を少なくすることができる。
【００４７】
さらに、ショートの発生やマスクの歪みや位置ずれによる材料の回り込みを低減することができるため、色ずれ・位置ずれが発生せずエッジのシャープなパネルを得ることができる。そのうえ、分離不足を起こすことがなくなる。以上により高い寸法精度、位置精度を確保することができる。
【００４８】
また、真空蒸着時に分離用隔壁１１をガイドとして用いることができるため、マスクの位置合わせが容易となり、製造時に必要とされる労力を少なくすることができる。
【００４９】
また、前述した図４（ｂ）に示される工程における真空蒸着法により発光層１２、電子輸送層１３、第２電極１４を順に成膜する方法の代わりに、図７（ｂ）に示すような斜方蒸着によりこれらを形成することもできる。斜方蒸着により発光層１２等を形成する場合、分離用の隔壁１１をシャドーマスク１８のように用い、透明基板１を蒸着源２０から一定角度をつけ、蒸発流２１１が透明基板１に対して斜めに入射するように蒸着を行うことにより色分離及び陰極分離を行う。
【００５０】
この場合、透明電極２上に電荷発生層３、電荷移動層４を塗膜し、帯電器を用いて電荷移動層４表面を一様に帯電させる工程までは、シャドーマスク１８を用いる方法と基本的に同様である。次に、半導体レーザを用いてＩＴＯの透明電極パターンに直交するように、後の工程後において所望の分離用の隔壁１１となる箇所を選択的に露光を行い静電潜像９を形成する。
【００５１】
ＲＧＢ３色塗り分けのためには、図７（ｂ）に示されるように、分離用隔壁の高さを変えると色分離が容易となる。このような隔壁の高さを変える方法としては、露光量を変えて露光電位Ｖｉに差を持たせるか、若しくは低い方の隔壁となる部分への露光デューティを小さくするか、或いは現像バイアスを変えることにより現像剤１０の現像効率を変えることにより行ってもよい。また、上記方法を組み合わせて隔壁を作成してもよい。隔壁として、ＲＧＢ１画素の両側に低い隔壁１１０を２本と、各色のスペース部（ここではＲとＧ、ＧとＢのサブピクセル間）に高い隔壁１１１を設ける。
【００５２】
隔壁の高さは各材料の蒸着流の入射角により決定される。しかしながら、隔壁が低すぎると入射角が浅くなり膜厚ムラや各色エッジ部の切れが悪くなるため混色が発生しやすい。一方、隔壁が高すぎると蒸着流の制御が困難である。このことから、サブピクセル幅：隔壁の高さの比を０．５〜１０にするのがよい。
【００５３】
また、隔壁を利用して斜方蒸着により色分離を行う場合に磁性紛を添加した現像剤を用いて現像を行い隔壁を作成することにより、磁力を利用することにより現像剤１０の幅・高さをより精密に制御できるため、画質を向上させることができる。この様にして作製された高さの異なる隔壁をシャドーマスクとして利用し蒸着を行う。
【００５４】
前述したレッド又はブルーの発光材料を透明電極付き基板と蒸着源に角度をもたせ、低い隔壁１１０と高い隔壁１１１との間に（例えば矢印Ｘ方向から）斜方蒸着を行う。
【００５５】
次に、レッド、ブルーのうち、先に蒸着をしなかった材料を反対の方向（例えば矢印Ｙ方向から）から透明基板１と蒸着源に角度をもたせ低い隔壁１１０と高い隔壁１１１との間に斜方蒸着を行う。
【００５６】
最後に、グリーンの発光材料を蒸着する。この場合、トリス（８−キノリノール）アルミニウム等に代表される電子輸送性の緑色材料を用いた場合、グリーン発光層１２１は、レッド発光層１２０、ブルー発光層１２２に対しては電子輸送層として用いることができるため、既にレッド、ブルーの蒸着が行われた基板に対して一様にグリーンの発光材料の蒸着を行う。最後に、前述したようにＡｌ：Ｌｉ等の第２電極１４を一様に蒸着する。
【００５７】
また、図３（ｂ）に示される工程において、現像剤１０中に含まれるバインダ樹脂にＦｅ₃Ｏ₄やＭｎＯ・Ｆｅ₂Ｏ₃、ＺｎＯ・Ｆｅ₂Ｏ₃に代表されるマグネタイト、フェライト等の磁性粉を混錬して用いてもよい。磁性粉を加えた現像剤１０を用いて現像を行う場合、ヒートローラ内部に磁性をもたせたマグネットローラを用いるか、若しくはフラッシュランプ使用時に電荷移動層４近傍に磁石を設置し
、現像剤を引きつける。これにより分離用隔壁１１の微細化や高さの調整を図ることができる。
【００５８】
マグネットローラを用いる場合は、図６（ｂ）に示される現像器２７における現像剤担持体２５の代わりに、図８に示すように、マグネットローラ２８を用い、マグネットローラ２８を回転させることにより、磁性粉を添加した現像剤１０を電子移動層４表面に供給する現像器２９を用いて現像を行う。この場合、マグネットローラ２８の磁石を現像剤１０に近接させることにより、現像剤１０の幅、高さをより精密に制御することができる。
【００５９】
また、磁性粉は黒色着色顔料としても用いられていることから、磁性粉をバインダ樹脂に添加した現像剤１０を用いて黒色の隔壁１１を形成することにより、ディスプレイとしての画質のコントラストを向上させることができる。或いは、磁性粉の代わりに、ファーネスブラック、チャンネルブラック、アセチレンブラック、ケッチェンブラックに代表されるカーボンブラック等の黒色材料を微量混錬することにより、隔壁を黒色にすることもできる。
【００６０】
以上の工程により得られた本実施形態に係る有機ＥＬパネルにおいては、隔壁の幅が１０〜４０μｍであること、すなわち隣接する発光層間の距離が１０〜４０μｍであることが望ましい。ここで、隔壁１１の幅が１０μｍ未満である場合には、発光層１２を十分に分離することができないため、画質の低下が考えられる。
【００６１】
一方、隔壁１１の幅が４０μｍより大きい場合には、開口率が小さくなるため画素の高精細化が困難となることが考えられる。しかしながら、本実施形態に係る有機ＥＬパネルにおいては、隔壁の幅が１０〜４０μｍであること、すなわち隣接する発光層間の距離が１０〜４０μｍであることにより、発光層を確実に分離することができるとともに、開口率を大きくすることができるため画素が微細化された高精細表示パネルが実現できる。
【００６２】
また、本実施形態に係る有機ＥＬパネルの製造方法においては、色分離、パターン形成、陰極分離等が簡便に行うことができる。さらに、これらの工程はいずれもドライプロセスを利用するものであるため、ダークスポットの発生、成長を防ぐことができ、生産性の向上を図ることができる。また、隔壁の幅を１０〜４０μｍの幅に微細加工することができるため、画素数を増やすことが可能となり画像の分解能を向上させることができる。
【００６３】
なお、有機ＥＬパネルの発光層の形成方法において、電荷発生層を選択的に露光し、電荷移動層上に形成された静電潜像を現像して発光パターンを形成する技術が特開平１１−１２６６８７号公報に開示されているが、同公報は、隔壁のないＥＬパネルを対象とするものであり、本発明の隔壁を備えた有機ＥＬパネルの製造方法を示唆する記載は見当たらない。単に静電潜像を利用する点にのみ共通点があるに過ぎない。
【００６４】
以下、基本的な本実施形態に係る有機ＥＬパネル及び有機ＥＬパネルの製造方法の、より具体的な実施形態について、図面を参照して説明する。
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態として、カラー有機ＥＬパネル及びその製造方法について説明する。
【００６５】
図９の平面図に示すように、厚さ１．１ｍｍのガラス等からなる透明基板１にスパッタによりＩＴＯ膜を１３０ｎｍ成膜したのちリソグラフィーとウェットエッチングにより複数のストライプ状の透明電極２を形成した。透明電極２のシート抵抗は、１２Ω／ｃｍ²、配線幅は２４０μｍ、スペース２０μｍであった。
【００６６】
次に、無金属フタロシアニンとブチラール樹脂を重量比で３．０：１となるよう秤量し、ＴＨＦに溶かしミキサーで分散させ、固形分比率３ｗｔ％の分散塗料を作製した。この分散塗料をスピンコートにより透明電極２の上に塗布することにより膜厚１５０ｎｍの電荷発生層３を形成した。続いて、Ｎ，Ｎ’−ジフェニル −Ｎ、Ｎ’−ビス（α−ナフチル）−１，１’−ビフェニル−４，４’−ジアミンとポリカーボネートを重量比で２．５：１となるよう秤量した後、これらをジクロロメタンに溶かし固形分比率２ｗｔ％の分散塗料を作製した。この分散塗料をスピンコートにより電荷発生層３の上に塗布することにより膜厚２００ｎｍの電荷移動層４を形成した（図２（ａ）参照）。
【００６７】
上記有機層（電荷発生層３及び電荷移動層４）を形成した透明基板１に、図２（ｂ）に示すように、スコロトロン等のコロナ放電を用いる非接触式帯電器５を用いて表面電位Ｖｏ＝−４００Ｖに帯電させた。スコロトロンワイヤの印加電圧はＤＣ約−３ＫＶ、定電流制御５００μＡ、グリッド電圧Ｖｇ＝−４００Ｖであった。
【００６８】
次に、反転現像を行うために、図３（ａ）に示すように、半導体レーザを用いた露光器８を用いて透明電極２のストライプ状の配線パターンに直交するように、後の工程において形成するカソード電極間の溝に該当する部分（図９の１１参照）を選択的に露光を行った。露光器の波長は、電荷発生層に含まれる電荷発生剤の吸収波長である７８０ｎｍであった。露光量は０．３ｍＷ／ｃｍ２、露光スポット径は１０μｍ、露光幅３０μｍである。電荷移動層４の表面電位Ｖｏ＝−４００Ｖ、露光電位Ｖｉ＝−４０Ｖの静電潜像９（図３（ｂ）参照）を形成した。
【００６９】
次に、図３（ｂ）に示すように、現像剤として黒色着色材料であるチャンネルブラックを７％及び電子受容性物質であるモノアゾ染料の金属錯体を用いた帯電制御剤を２％混練したポリエステル樹脂を、体積中心粒径４μｍまで粉砕することにより平均帯電量−１１μＣ／ｇとし、現像バイアスＶｂ＝−１５０Ｖを印加して現像を行い、隔壁部分（露光部）に現像剤１０を付着させた。
【００７０】
続いて、図４（ａ）に示すように、キセノンフラッシュランプ等の定着器３０を用いて１２０℃で現像剤１０を非接触定着させることにより隔壁１１を形成した。
【００７１】
次に、図４（ｂ）に示すように、シャドーマスク１８のマスク孔１８１をレッドの発光層部分（図９のＲ）に合わせるようにシャドーマスク１８を隔壁１１の上に位置合わせして設置した。レッド発光層１２０としてトリス（８−キノリノール）アルミニウムにドーパントとして４−ジシアノメチレン−２−メチル−６−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）−４Ｈ−ピラン（ＤＣＭ、ドーピング濃度２．５ｗｔ％）を３５ｎｍ共蒸着、電子輸送層１３としてＡｌｑ３を３５ｎｍ蒸着により形成した。
【００７２】
最後に、電子輸送層１３上にＡｌ：Ｌｉを共蒸着により３０ｎｍ、その後アルミニウムのみを１５０ｎｍ蒸着することにより第２電極１４を形成した。グリーン発光層の形成は、シャドーマスク１８をずらしてグリーン発光層を形成する箇所へマスク孔１８１の位置合わせを行い、レッド発光層１２０を形成するのと同様にグリーン発光層１２１、電子輸送層１３、第２電極１４を蒸着により形成した。トリス（８ーキノリノール）アルミニウムをホストに、ドーパントとして２，９―ジメチルキナクリドン（ドーピング濃度３ｗｔ％）を用いて３５ｎｍ厚に共蒸着させてグリーン発光層１２１を形成した。
【００７３】
続いて、グリーン発光層１２１の上にトリス（８ーキノリノール）アルミニウムを３５ｎｍ厚に蒸着させることにより電子輸送層１３を形成した後
、Ａｌ：Ｌｉを３０ｎｍ厚に共蒸着し、その後アルミニウムのみを１５０ｎｍ蒸着することにより第２電極１４を形成した。
【００７４】
ブルー発光層形成についても同様に、シャドーマスク１８をずらしてブルー発光層を形成する箇所へマスク孔１８１の位置合わせを行い、レッド発光層１２０を形成するのと同様にブルー発光層１２２、電子輸送層１３、第２電極１４を蒸着により形成した。ブルーの発光層１２２には、４，４’−ビス（２，２−ジフェニルビニル）ビフェニルを３５ｎｍ厚に蒸着し、さらにレッド、グリーンと同様な材料を用いて、電子輸送層１３、第２電極１４を蒸着により形成した。
【００７５】
１ピクセル２７０×２７０μｍ、サブピクセル７０μｍ、スペース２０μｍ、画素数水平３２０×垂直２４０ドットのカラー表示が可能な有機ＥＬパネルを得た（図５（ａ）参照）。係る有機ＥＬパネルにおいては、黒色着色材料を添加した現像剤を用いたため隔壁が黒色であり、コントラストは３００Ｌｕｘ下で８０：１であった。
（第２の実施形態）
次に、本発明の有機ＥＬパネル及びその製造方法の第２の実施形態について説明する。
【００７６】
図１０（ａ）の平面図に示すように、厚さ１．１ｍｍのガラス等からなる透明基板１にスパッタによりＩＴＯ膜を１３０ｎｍ成膜したのちリソグラフィーとウェットエッチングにより透明電極２をストライプ状に形成した。透明電極２のシート抵抗は１２Ω／ｃｍ²であり、また、透明電極２の上にＲＧＢ３色を塗り分けるため、第１の実施形態とは異なって、透明電極２の配線幅は７０μｍ、透明電極２のスペースは１５μｍとした。
【００７７】
次に、銅フタロシアニンとブチラール樹脂を重量比で３．０：１となるよう秤量し、ＴＨＦに溶かしミキサーで分散させ、固形分比率３ｗｔ％の分散塗料を作製した。この分散塗料をスピンコートにより透明電極２の上に塗布することにより膜厚１５０ｎｍの電荷発生層３を形成した。
【００７８】
続いて、Ｎ，Ｎ‘−ジフェニル−Ｎ、Ｎ’−ビス（α―ナフチル）−１，１’−ビフェニル−４，４’−ジアミンとポリカーボネートとを重量比で２．５：１となるよう秤量した後、これらをジクロロメタンに溶かし固形分比率２ｗｔ％の分散塗料を作製した。この分散塗液をスピンコートにより電荷発生層３の上に塗布することにより、膜厚２００ｎｍの電荷移動層４を形成した（図２（ａ）参照）。
【００７９】
上記有機層（電荷発生層３及び電荷移動層４）を形成した透明基板１に対して、図２（ｂ）に示すように、スコロトロン等の非接触式帯電器５を用いて電荷移動層４の表面を表面電位Ｖｏ＝−４００Ｖに帯電させた。スコロトロンワイヤの印加電圧はＤＣ約−３ＫＶ、定電流制御５００μＡ、グリッド電圧Ｖｇ＝−４００Ｖであった。
【００８０】
次に、反転現像を行うために、図３（ａ）に示すように、半導体レーザ等の露光器８を用いて、透明電極２のストライプ状の配線パターンに直交し、所望の形状を有する隔壁を形成するために電荷発生層３に対して選択的に露光を行った。
【００８１】
各画素を図１０（ａ）の平面図に示されるような形状とするため、隔壁もクランク状とする。露光器の波長、露光量、露光スポット径、露光幅は第１の実施形態と同様である。電荷移動層４の表面に表面電位Ｖｏ＝−４００Ｖ、露光電位Ｖｉ＝−５０Ｖの静電潜像９（図３（ｂ）参照）を形成した。
【００８２】
次に、現像剤として黒色着色材料であるチャンネルブラックを７％、電子受容性物質であるモノアゾ染料の金属錯体を用いた帯電制御剤を２％混練したポリエステル樹脂を、体積中心粒径４μｍまで粉砕することにより平均帯電量−１１μＣ／ｇとした。この現像剤を用いて、図３（ｂ）のように、現像バイアスＶｂ＝−１５０Ｖを印加して現像を行い、隔壁部分（露光部）に現像剤１０を付着させた。
【００８３】
続いて、図４（ａ）に示すように、キセノンフラッシュランプ等の定着器３０を用いて１２０℃で現像剤１０を非接触定着させることにより隔壁１１を形成した。隔壁１１の高さは７μｍであった。
【００８４】
次に、図４（ｂ）に示すように、シャドーマスク１８のマスク孔１８１をレッド発光層部分に合わせるように（透明電極２の配線パターン上に）シャドーマスク１８を隔壁１１の上に位置合わせして設置した。
【００８５】
次に、図５（ａ）に示すように、レッド発光層１２０としてトリス（８ーキノリノール）アルミニウム（Ａｌｑ３）にドーパントとして４−ジシアノメチレン−２−メチル−６−（ｐ− ジメチルアミノスチリル）−４Ｈ−ピラン（ＤＣＭ、ドーピング濃度２．５ｗｔ％）を３５ｎｍ厚に共蒸着し、電子輸送層１３としてトリス（８−キノリノール）アルミニウムを蒸着により３５ｎｍ厚に形成した。
【００８６】
グリーン発光層１２１の形成は、シャドーマスク１８をずらしてグリーン発光層１２１を形成する箇所へマスク孔１８１の位置合わせを行い、レッド発光層１２０を形成するのと同様に発光層１２、電子輸送層１３を蒸着により形成した。トリス（８ーキノリノール）アルミニウムをホストに、ドーパントとして２，９―ジメチルキナクリドン（ドーピング濃度３ｗｔ％）を用いて３５ｎｍ厚に共蒸着してグリーン発光層１２１を形成した。
【００８７】
続いて、グリーン発光層１２１の上にトリス（８ーキノリノール）アルミニウムを３５ｎｍ厚に蒸着させることにより電子輸送層１３を形成した。
【００８８】
ブルー発光層１２２の形成についても同様に、シャドーマスク１８をずらしてブルー発光層１２２を形成する箇所へマスク孔１８１の位置合わせを行い、レッド発光層１２０を形成するのと同様に発光層１２、電子輸送層１３を蒸着により形成した。ブルー発光層１２２として、４，４’−ビス（２，２−ジフェニルビニル）ビフェニルを３５ｎｍ厚に成膜し、さらにレッド発光層１２０、グリーン発光層１２１の形成時と同様な材料を用いて、電子輸送層１３を蒸着により形成した。
【００８９】
最後に、カソードである第２電極１４として、Ａｌ：Ｌｉを共蒸着により３０ｎｍの膜厚に成膜し、その後アルミニウムのみを１００ｎｍ厚に蒸着した。
【００９０】
このとき、透明基板１の上にシャドーマスク１８を用いず一様に蒸着を行っても隔壁１１の段差により第２電極１４は分離され、第２電極１４はショートすることはなく、容易にカソード電極パターンが作成される。
【００９１】
以上の工程により、１ピクセル２７０×２７０μｍ、サブピクセル７０μｍ、スペース２０μｍ、画素数水平３２０×垂直２４０ドットのカラー表示が可能な有機ＥＬパネルを得た。コントラストは３００Ｌｕｘ下で９０：１であった。
【００９２】
なお、本方法によれば、露光の自由度が大きく、複雑なパターンを有する隔壁を用途・目的に応じて自由に作成することができるため、図１０（ｂ）の平面図に示されるように、市松模様に配置された陰極である第２電極１４を接続するバス電極１５を用い、ＲＧＢをデルタ配列に配置した有機ＥＬパネルを作成することも可能である。
（第３の実施形態）
次に、本発明の有機ＥＬパネル及びその製造方法の第３の実施形態について説明する。
【００９３】
厚さ１．１ｍｍのガラス等の透明基板１にスパッタによりＩＴＯ膜を１３０ｎｍ成膜したのちリソグラフィーとウェットエッチングによりストライプ状の透明電極２を形成した。透明電極２のシート抵抗は、１５Ω／ｃｍ²、配線幅は２５０μｍ、スペース２０μｍであった。
【００９４】
次に、無金属フタロシアニンとブチラール樹脂とを重量比で３．０：１となるよう秤量し、ＴＨＦに溶かしミキサーで分散させ、固形分比率３ｗｔ％の分散塗料を作製した。この分散塗料をスピンコートにより透明電極２の上に塗布することにより膜厚１５０ｎｍの電荷発生層３を形成した。
【００９５】
続いて、Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−Ｎ、Ｎ’−ビス（α―ナフチル）−１，１’−ビフェニル−４，４’−ジアミンとポリカーボネートとを重量比で２．５：１となるよう秤量した後、これらをジクロロメタンに溶かし固形分比率２ｗｔ％の分散塗料を作製した。この分散塗料をスピンコートにより電荷発生層３の上に塗布することにより膜厚２００ｎｍの電荷移動層４を形成した（図２（ａ）参照）。
【００９６】
上記有機層（電荷発生層３及び電荷移動層４）を形成した透明基板１に、図２（ｂ）に示すように、スコロトロン等の非接触式帯電器５を用いて電荷移動層４の表面を表面電位Ｖｏ＝−４００Ｖに帯電させた。スコロトロンワイヤの印加電圧はＤＣ約−３ＫＶ、定電流制御５００μＡ、グリッド電圧Ｖｇ＝−４００Ｖであった。
【００９７】
次に、図３（ａ）に示すように、半導体レーザ等の露光器８を用いて透明電極２の配線パターンに直交するように、後の工程において発光層を形成する箇所の電荷発生層３を選択的に露光した（正現像）。露光器の波長及び露光スポット径露光幅は第１の実施形態と同様である。露光量は０．３ｍＷ／ｃｍ²及び０．１ｍＷ／ｃｍ²とした。電荷移動層４の表面電位Ｖｏ＝−４００Ｖ、露光電位Ｖｉは、露光量が０．３ｍＷ／ｃｍ²のときはＶｉ＝−４０Ｖ、露光量が０．１ｍＷ／ｃｍ²のときはＶｉ＝−１００Ｖの静電潜像が形成された。
【００９８】
次に、黒色着色材料であるチャンネルブラックを８％、磁性粉Ｆｅ₃Ｏ₄を１７％、正帯電性帯電制御剤である第４級アンモニウム塩２％を含有させた現像剤を、体積中心粒径４μｍまで粉砕することにより平均帯電量１０μＣ／ｇとした。係る球状の現像剤を用いて、現像バイアスＶｂ＝−２００Ｖを印加して現像を行い、隔壁部分（露光部）に現像剤１０を付着させた。
【００９９】
続いて、図７（ａ）に示す方法を用いて、現像剤をハロゲンランプを内在したマグネットローラの外周にポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）をコートしたヒートローラ１６を用いて定着して隔壁１１とした。隔壁１１の高さは３μｍ及び４５μｍ、幅８μｍであった。このスチレンーアクリル共重合体は、定着プロセススピード３０ｍｍ/ｓｅｃ時の定着温度１２０℃である。
【０１００】
次に、レッド発光層１２０としてトリス（８−キノリノール）アルミニウムにドーパントとして４−ジシアノメチレン−２−メチル−６−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）−４Ｈ−ピラン（ＤＣＭ、ドーピング濃度３ｗｔ％）を３０ｎｍ厚に共蒸着させた。
【０１０１】
このとき、図７（ｂ）に示すように、透明基板１を蒸着源から一定角度をつけ、蒸着流が図中の矢印Ｘのように透明基板１に対して斜めになるように斜方蒸着を行った。続いて、ブルーの発光材料の蒸着を行った。ブルーの発光材料の蒸着は、透明基板１を蒸着源からレッド蒸着時とは反対の方向となるよう配置し、透明基板１に対して蒸着流が図中の矢印Ｙのようにレッド蒸着時とは逆の方向から入射するようにする。ジフェニルビニルビフェニルを３０ｎｍ厚に蒸着することによりブルー発光層１２２を形成した。
【０１０２】
続いて、グリーン発光材料の蒸着を行った。グリーンの発光材料の蒸着には、トリス（８ーキノリノール）アルミニウムを用いた。この場合、他の２色の発光層に対して電子輸送層として働くため、透明基板１の直下に蒸着源を配置し、全ての発光層上に４０ｎｍ厚の蒸着を行うことによりグリーン発光層１２１を形成した。
【０１０３】
最後に、シャドーマスクを用いずＡｌ：Ｌｉを共蒸着により３０ｎｍの膜厚に成膜し、その後アルミニウムのみを１００ｎｍ厚に蒸着して、カソードである第２電極１４を形成した。第２電極１４は低い隔壁１１０及び高い隔壁１１１により各色毎に分離されている。
【０１０４】
以上の工程により、１ピクセル２７０×２７０μｍ、サブピクセル７０μｍ、スペース２５μｍ、画素数が水平３２０×垂直２４０ドットのカラー表示が可能な有機ＥＬパネルを得た。コントラストは、３００Ｌｕｘ下で１００：１であった。
（第４の実施形態）
最後に、本発明の第４の実施形態として、緑単色発光用の有機ＥＬパネル及びその製造方法について説明する。
【０１０５】
基板として厚さ０．７ｍｍのガラス等の透明基板１を用い、透明基板１の上にスパッタによりＩＴＯ膜を１５０ｎｍ形成し、リソグラフィーとウェットエッチングにより、アノードである透明電極２を形成した。透明電極２のシート抵抗は１０Ω／ｃｍ²、配線幅３００μｍ、スペース幅３０μｍであった。
【０１０６】
次に、銅フタロシアニンとブチラール樹脂を重量比で３．０：１となるよう秤量し、ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）に溶かしミキサーで分散させ、固形分比率３ｗｔ％の分散塗料を作製した。この分散塗料をスピンコートにより透明電極２の上に塗膜、乾燥して膜厚１５０ｎｍの薄膜からなる電荷発生層３（正孔注入層）を形成した。
【０１０７】
続いて、Ｎ，Ｎ’−ジフェニルーＮ、Ｎ’−ジ（３―メチルフェニル）−１，１’−ビフェニル−４，４’−ジアミンとポリカーボネートを重量比で２．５：１となるよう秤量し、ジクロロメタンに溶かし固形分比率３ｗｔ％の分散塗料を作製した。ＴＨＦに溶かした分散塗料をスピンコートにより電荷発生層３の上に成膜することにより膜厚２００ｎｍの薄膜からなる電荷輸送層４を形成した（図２（ａ）参照）。
【０１０８】
上記有機層（電荷発生層３及び電荷輸送層４）を形成した透明基板１を、図６（ａ）に示すように、帯電ローラを用いた接触式帯電器６を用いて帯電させた。帯電ローラへの印加電圧は−６００Ｖ、定電圧制御で透明基板１への表面電位Ｖｏは−４００Ｖであった。
【０１０９】
次に、図３（ａ）に示すように、半導体レーザ等の露光器８を用いて、透明電極２の配線パターンに直交するように、後の工程において作成するカソード電極間の溝以外の部分（後の工程において所望の発光層を形成する箇所）に対して選択的にパターン露光を行った。露光器の波長は、電荷発生層３に含まれる電荷発生剤の吸収波長である７８０ｎｍであった。露光量、露光スポット径、露光幅は第１の実施形態と同様で、潜像電位Ｖｉ＝−４０Ｖの静電潜像を得た。
【０１１０】
次に、図６（ｂ）に示すように、現像剤１０としては、バインダ樹脂としてスチレン−アクリル共重合体を用い、重合時に黒色着色材料であるチャンネルブラック８％、正帯電性帯電制御剤であるニグロシン染料２％を包含させた体積中心粒径６μｍ、平均帯電量８μＣ／ｇの球形の重合現像剤を用いた。
【０１１１】
この現像剤１０を用いて、現像バイアス電位Ｖｂ＝−１６０Ｖを現像剤担持体２５に印加し、図３（ｂ）に示すように、現像を行った。
【０１１２】
次に、図４（ａ）に示すように、キセノンフラッシュランプ等の定着器３０を用いて１２０℃で現像剤１０を電荷移動層４の上に非接触定着させて隔壁１１を形成した。その上に、図５（ｂ）に示すように、グリーン発光層１２１として、ホストにトリス（８−キノリノール）アルミニウム、ドーパントとしてキナクリドン（ドーピング濃度２．５ｗｔ％）を２５ｎｍ厚に共蒸着し、続いて、電子輸送層１３としてトリス（８−キノリノール）アルミニウムを３０ｎｍ厚に蒸着した。
【０１１３】
次に、カソードである第２電極１４としてＭｇ：Ａｇを二源からの共蒸着により２００ｎｍ厚に形成した。以上の工程により、ドットピッチ３００×３００μｍ、スペース３０μｍ、画素数２５６×６４ドットのグリーン発光層１２１のみを有する有機ＥＬパネルを得た。コントラストは３００Ｌｕｘ下で１００：１であった。
（比較例）
上記実施形態と比較するために、比較例として、図１２（ｂ）に示す方法を用いて、従来の有機ＥＬパネルを作製した。
【０１１４】
厚さ１．１ｍｍのガラス等の透明基板１の上に膜厚１２０ｎｍのＩＴＯ薄膜をスパッタにより形成し、シート抵抗が１５Ω／ｃｍ²、配線幅２５０μｍ、スペース２０μｍのアノードであるストライプ状の透明電極２を作成した。その上に正孔注入、輸送層として、Ｎ，Ｎ’−ジフェニル −Ｎ、Ｎ’−ビス（α−ナフチル）−１，１’−ビフェニル −４，４’−ジアミンを５０ｎｍ厚に真空蒸着により形成し有機層３４とした。
【０１１５】
次に、シャドーマスク３７を透明電極２パターンと直交するようにマスク孔をレッドの領域に位置合わせし有機層３４の上に設置した。レッドの発光材料として、トリス（８−キノリノール）アルミニウムに４−ジシアノメチレン−２−メチル−６−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）−４Ｈ−ピランを３ｗｔ％ドーピングするように２５ｎｍ共蒸着を行い、発光層３５を形成した。
【０１１６】
続いて、発光層３５の上に、図示は省略するが、電子輸送層としてトリス（８−キノリノール）アルミニウムを３０ｎｍ厚に蒸着した。さらに、電子輸送層の上にＡｌ：Ｌｉを共蒸着により３０ｎｍ厚に堆層させた後、アルミニウムのみを１２０ｎｍ厚に蒸着することによりカソード電極を形成した。
【０１１７】
続いて、グリーン発光層、ブルー発光層、及びこれらの電子輸送層、カソード電極もシャドーマスク３７をスライドさせて、レッド発光層の形成時と同様に成膜した。グリーン発光層としては、トリス（８−キノリノール）アルミニウムにドーパントとしてキナクリドンを３ｗ％含むように２５ｎｍ厚に共蒸着し、続いて電子輸送層としてトリス（８−キノリノール）アルミニウムを３０ｎｍ厚に蒸着した。
【０１１８】
さらに、Ａｌ：Ｌｉを共蒸着により３０ｎｍの膜厚に成膜し、その後アルミニウムのみを１２０ｎｍ厚に蒸着することによりカソード電極を形成した。
【０１１９】
ブルー発光層として、ジフェニルビニルビフェニルを２５ｎｍ厚に蒸着し、続いて電子輸送層としてトリス（８−キノリノール）アルミニウムを３０ｎｍ厚に蒸着し、続いてＡｌ：Ｌｉを共蒸着により３０ｎｍの膜厚に成膜し、その後アルミニウムのみを１２０ｎｍ厚に蒸着することによりカソード電極を形成した。
【０１２０】
ＲＧＢ各３色の色分離には、図１２（ｂ）に示すように、シャドーマスク３７をスライドさせて行っただけであり、隔壁は存在しない。
【０１２１】
図１２（ｂ）に示す色分離方法では、ドットピッチ８０μｍ、スペース４０μｍ以下ではマスクの位置合わせが困難であり、且つ、蒸着時の回り込みで色ずれが発生してしまい、パネル作成は困難であった。そのため、回り込みを防ぐためマスクを既に形成された有機層３４に接触させたところ、マスクによる有機層３４のキズ等が発生し、不良画素が多くなった。また、この方式では本発明のような黒色顔料を含む隔壁が陰極間に無く、陰極からの反射光を抑えることができないため、３００Ｌｕｘ下でのコントラストは１０：１であった。
【０１２２】
【発明の効果】
上述のように、本発明の有機ＥＬパネル及びその製造方法によれば、ドライプロセスを用いて形成した隔壁により、色分離、パターン形成、陰極分離等の工程も、いずれもドライプロセスを利用して行っており、ダークスポットの発生、成長を防ぐことができ、生産性の向上を図ることができる。また、隔壁の幅を１０〜４０μｍの幅に微細加工することができるため、画素数を増やすことが可能となり画像の分解能を向上させることができる。また、隔壁の幅が１０〜４０μｍであること、すなわち隣接する発光層間の距離が１０〜４０μｍであることにより、発光層を確実に分離することができるとともに、開口率を大きくすることができるため画素が微細化された高精細表示パネルが実現できる、という効果も有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基本的な実施形態に係る有機ＥＬパネルを示す模式断面図である。
【図２】本発明の基本的な実施形態に係る有機ＥＬパネルの製造工程を説明する模式断面図である。
【図３】図２に続く製造工程を示す模式断面図である。
【図４】図３に続く製造工程を示す模式断面図である。
【図５】（ａ）は、図４に続く製造工程により得られる有機ＥＬパネルの模式断面図であり、（ｂ）は、（ａ）とは異なる形態として得られる有機ＥＬパネルの模式断面図である。
【図６】（ａ）は、図２（ｂ）に示される工程の代替工程を説明する模式断面図であり、（ｂ）は、図３（ｂ）に示される工程に用いられる現像装置による現像工程を説明する模式断面図である。
【図７】（ａ）は、図４（ａ）に示される工程の代替工程を説明する模式断面図であり、（ｂ）は、図４（ｂ）に示される工程の代替工程を説明する模式断面図である。
【図８】図６（ｂ）に示される装置の代替装置を説明する模式断面図である。
【図９】本発明の第１の実施形態に係る有機ＥＬパネルにおける透明電極、隔壁及び発光層の平面パターンを示す平面図である。
【図１０】（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係る有機ＥＬパネルにおける透明電極、隔壁及び発光層の平面パターンを示す平面図であり、（ｂ）は、本発明の第２実施形態の変形例に係る有機ＥＬパネルにおける透明電極、隔壁及び発光層の平面パターンを示す平面図である。
【図１１】従来の有機ＥＬパネルの製造工程を説明する模式断面図である。
【図１２】（ａ）は、図１１に続く製造工程を示す模式断面図である。（ｂ）は、従来の有機ＥＬパネルの別の製造方法による蒸着工程を説明する模式断面図である。
【符号の説明】
１透明基板
２透明電極
３電荷発生層
４電荷移動層
５非接触式帯電器
６接触式帯電器
７表面電荷
８露光器
９静電潜像
１０現像剤
１１、３１隔壁
１２発光層
１３電子輸送層
１４第２電極
１５バス電極
１６ヒートローラ
１８、３７シャドーマスク
２０蒸着源
２１ホッパ
２２現像室
２３撹拌部材
２４現像剤供給部材
２５現像剤担持体
２６薄層形成部材
２７現像器
２８マグネットローラ
２９現像器
３０定着器
３２有機発光層
３３カソード電極
３７シャドーマスク
１１０低い隔壁
１１１高い隔壁
１２０レッド発光層
１２１グリーン発光層
１２２ブルー発光層
１８０マスク部
１８１エッチング部（マスク孔）
２１１蒸発流
３１０オーバーハング部

Claims

透明基板上に光透過性材料からなる第１電極を形成する工程と、前記第１電極上に電荷発生層及び電荷移動層を順に形成する工程と、前記電荷移動層を帯電させた後、前記電荷発生層を選択的に露光することにより前記電荷移動層上に所定のパターンを有する静電潜像を形成する工程と、前記静電潜像に対応する現像剤パターンを前記電荷移動層上に画素分離用の隔壁として形成する工程と、前記隔壁間に発光層及び第２電極を形成する工程とを有することを特徴とする有機ＥＬパネルの製造方法。
前記発光層及び前記第２電極は、少なくとも前記電荷移動層の一部が露出するような所定のパターンを有するマスクを前記隔壁上に設置した後、真空蒸着により形成される請求項１記載の有機ＥＬパネルの製造方法。
前記電荷移動層上の前記発光層及び前記第２電極は、順に斜方蒸着により形成される請求項１記載の有機ＥＬパネルの製造方法。
前記現像剤は、ポリエステル、アクリル、及びスチレン−アクリル共重合体のうち少なくとも１以上の材料に帯電制御剤を含有するものである請求項１、２又は３記載の有機ＥＬパネルの製造方法。
前記現像剤は、黒色材料を含有するものであり、前記黒色材料を含む現像剤を用いて黒色の隔壁を形成する請求項１、２又は３記載の有機ＥＬパネルの製造方法。
前記現像剤は、磁性粉を含有する請求項１、２又は３記載の有機ＥＬパネルの製造方法。
基板上に光透過性材料からなるアノード電極を形成する工程と、前記アノード電極上に電荷発生層及び電荷移動層を順に形成する工程と、前記電荷移動層を帯電する工程と、前記電荷発生層の所定領域を露光することにより前記電荷移動層上に所定のパターンを有する静電潜像を形成する工程と、前記静電潜像を現像して現像剤パターンを形成する工程と、前記現像剤パターンを前記電荷移動層上に定着させることにより画素分離用の隔壁を形成する工程と、前記隔壁の間に発光層、電子輸送層及びカソード電極を順に形成する工程とを有することを特徴とする有機ＥＬパネルの製造方法。