JP3636514B2 - 六方晶bn焼結体、その製造方法及び半導体用基板 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体用基板、半導体や電子部品等の製造用もしくは組付け用治具、電気絶縁性放熱材料、耐熱性治具などとして利用可能な、高熱伝導性六方晶BN焼結体に関する。
【0002】
さらに詳しくは、熱伝導率が例えば100W/mKである高熱伝導性六方晶BN焼結体であり、長軸方向の大きさ10μm以上、厚みが1μm以上である六方晶BN粗粒子と長軸方向の大きさ10μm未満、厚みが1μm未満である六方晶BN微粒子とを主体として構成され、かつBN粗粒子の大部分が一方向に配列しその空隙にBN微粒子の多くが分散した組織を有する六方晶BN焼結体、その製造方法及び半導体用基板に関する。
【0003】
【従来の技術】
従来、IC基板用材料、ICパッケージ用材料としては、高熱伝導性を有するAlN焼結体の利用が盛んに行われており、熱伝導率110〜195W/mKの高い値が報告されている(例えば特開昭61−270264公報、特開昭62−36069公報、特開昭62−41766公報など)。しかしながら、AlN焼結体は切削加工が困難であり、目的とする形状にするためには成型・焼結工程を厳しく制御する必要があり、さらに加工コストが高くなるなどの欠点がある。
【0004】
また、AlN焼結体の高熱伝導性を保ちながら切削性を向上させるため、AlNと六方晶BNの複合材料が提案されており(例えば特開昭58−32073公報、特開昭60−195059公報)、熱伝導率55〜195W/mKで切削性に優れたAlN/BN複合材料が報告されている。さらには、異方性を付与した熱伝導率150W/mK以上のAlN/BN複合材料も知られている(特公平7−45344号公報)。
【0005】
しかしながら、AlN/BN複合材料では、AlN粉とBN粉の混合原料粉末の調製の重要性に加えて、一般的にはAlNの焼結助剤が必要であることからその制御が重要である。また、パワーモジュール用基板の用途などにおいては、材料の誘電率、誘電損失の低減が要求されるが、AlNはBNに比べて誘電率、誘電損失が大きいのでAlN/BN複合材料では望ましくなく、高熱伝導性のBN焼結体が望まれている。
【0006】
六方晶BN焼結体は、優れた被切削性、耐食性、耐熱性、熱伝導性、電気絶縁性、低誘電率、低誘電損失性などの性質を有しているため、さまざまな分野で広く用いられている。六方晶BN焼結体は、一般的には酸化物系の焼結助剤を加えてホットプレス法や常圧焼結法で製造され、六方晶BNの層状の結晶構造に起因する構造的な異方性を有し、それに伴い物性値に異方性があることが知られている。しかしながら、そのような異方性を有するBN焼結体においてもその熱伝導率は60W/mK程度(「エレクトロニク・セラミックス」Vol.17,No84,pp68(1986))であり、またBN焼結体の不純物を低減させたものであっても80W/mK程度(「ファインセラミックスレポート」Vol.8,No7 (1990))であった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の第1の目的は、優れた被切削性、耐食性、耐熱性、電気絶縁性、低誘電性、低誘電損失性を有する六方晶BN焼結体の熱伝導率を100W/mK以上に高めた六方晶BN焼結体を提供することである。本発明の第2の目的は、このように優れた特性を有する六方晶BN焼結体で構成された半導体用基板を提供することである。
【0008】
本発明の目的は、平均粒径15μm以上の高結晶性BN粗粉50〜95重量%と、平均粒径10μm以下で酸素含有量1.0重量%以上のBN微粉5〜50重量%とを混合し、それを100kg/cm2 以上の圧力で予備成型を行った後、常圧焼結を行い、六方晶BN焼結体を製造することによって達成することができる。
【0009】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明は、以下を要旨とするものである。
(請求項1) 長軸方向の大きさ10μm以上、厚みが1μm以上である六方晶BN粗粒子(以下、「BN粗粒子」という)50〜90体積%と、長軸方向の大きさ10μm未満、厚みが1μm未満である六方晶BN微粒子(以下、「BN微粒子」という)10〜50体積%と、上記以外の六方晶BN粒子(以下、「BN他形粒子」という)20体積%以下(0%を含む)とで構成されてなるものであって、BN粗粒子の大部分が一方向に配列しており、しかもその空隙にBN微粒子の多くが分散していることを特徴とする六方晶BN焼結体。
(請求項2) 熱伝導率が100W/mK以上であることを特徴とする請求項1記載の六方晶BN焼結体。
(請求項3) 平均粒径15μm以上の高結晶性の六方晶BN粉末50〜95重量%と、平均粒径10μm以下で酸素含有量1.0重量%以上の六方晶BN粉末5〜50重量%とを混合し、100kg/cm2 以上の圧力で予備成型を行った後、常圧焼結することを特徴とする六方晶BN焼結体の製造方法。
(請求項4) 請求項1又2に記載の六方晶BN焼結体で構成されてなることを特徴とする半導体用基板。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について詳細に説明する。
【0011】
本発明の高熱伝導性を有する六方晶BN焼結体は、BN粗粒子50〜90体積%とBN微粒子10〜50体積%とからなり、BN他形粒子は20体積%以下(0体積%を含む)の範囲で任意に含み、かつBN粗粒子の大部分が一方向に配列しその空隙にBN微粒子の多くが分散している組織を有していることが特徴である。このような六方晶BN粒子の大きさと厚み、量及び配列、分散状態は、焼結体の縦方向と横方向の破断面をSEM観察することによって求めることができる。
【0012】
BN粗粒子の長軸方向の大きさは10μm以上、厚さは1μm以上は必要であり、それよりも小さかったり薄かったりすると粒子の配列の乱れや、配列の空隙の増加により熱伝導性が低下する。また、BN粗粒子の割合は50〜90体積%が適切であり、50%未満ではBN微粒子がBN粗粒子の配列の空隙部以外にも存在し、また90体積%をこえるとBN粗粒子の配列の空隙をBN微粒子が埋めきれず、いずれの場合も焼結体の密度が低下し熱伝導性が低下する。
【0013】
本発明においては、BN粗粒子の大部分は一方向に配列しているものであり、その程度は後述の実施例の方法で評価した場合に「普通」以上の評価を持って配列していることが好ましい。
【0014】
BN微粒子の長軸方向の大きさは10μm未満、厚さは1μm未満が必要であり、それ以上ではBN粗粒子の配列した空隙に多くが納まらず、BN粗粒子の配列の乱れや、配列の空隙の増加により熱伝導性が低下する。また、BN微粒子の割合は10〜50体積%が適切であり、10体積%未満ではBN粗粒子の配列の空隙を埋めきれず、また50体積%をこえるとBN粗粒子の空隙以外にもBN微粒子が存在し、いずれの場合も焼結体の密度低下により熱伝導性が低下する。
【0015】
本発明においては、BN微粒子の多くがBN粗粒子の配列した空隙に分散しているものであり、その程度は後述の実施例の方法で評価した場合に「普通」以上の評価を持って分散していることが好ましい。
【0016】
本発明においては、BN他形粒子すなわち長軸方向の大きさが10μm以上で厚さが1μm未満のBN粒子や、長軸方向の大きさが10μm未満で厚さが1μm以上のBN粒子である粒子は、それらの合計で20体積%以下(0体積%を含む)の割合で含まれていても、本発明の目的を達成することができる。
【0017】
上記した組織からなる本発明の六方晶BN焼結体にあっては、六方晶BN焼結体の優れた被切削性、耐食性、耐熱性、電気絶縁性、低誘電性、低誘電損失性を保持したままでその熱伝導率が100W/mK以上にもなる。
【0018】
六方晶BNは層状の結晶構造を有しているため、焼結体組織と物性値に異方性が生じやすい。例えば、成型後の常圧焼結やホットプレス法により焼結体を作製した場合、加圧方向と垂直な方向に六方晶BNの長軸方向が配向しやすく長軸方向の配向方向の熱伝導性が大きくなる。従って、本発明においては、六方晶BN焼結体の熱伝導性には異方性があってもよいが、その場合には一方向の熱伝導率が所定値例えば100W/mK以上であればよい。半導体用基板用途などで板厚方向に高い熱伝導性が要求される場合には、六方晶BN焼結体の厚みを大きくしておき、必要な厚さにスライスして使用する。
【0019】
次に、本発明の六方晶BN焼結体の製造方法について説明する。本発明で使用される六方晶BN粉末の平均粒径とは、マイクロトラックで測定された粒度分布の累積度数が50%となる粒子径である。また、六方晶BN粉末の結晶性とは、黒鉛の結晶性を示す黒鉛化度と同様にして六方晶BN粉末のX線回折を行い、その(100)、(101)、(102)面からのピーク強度を用い、(1)式で計算された値である。さらに、六方晶BN粉末の酸素含有量は、BN粉末をメタノール洗浄してB2 O3 を除去した後乾燥を行い、例えば堀場製作所社製ON同時分析装置で測定されるものである。
黒鉛化度=(I100 +I101 )/I102 (1)
【0020】
本発明で用いられる高結晶性の六方晶BN粉末(以下、「高結晶性BN粉末」という)の平均粒径は15μm以上好ましくは20μm以上であることが必要である。平均粒径が15μm未満であると、焼結体の長軸方向の大きさが10μm以上で厚さが1μm未満のBN他形粒子の割合が増加し、焼結体組織中のBN粗粒子の配列が乱れ熱伝導性が低下する。
【0021】
また、本発明で用いられる高結晶性BN粉末は黒鉛化度が2以下であることが好ましい。黒鉛化度が2をこえると酸素含有量が多くなるためか焼結時にBN粗粒子の配列が乱れ熱伝導性が低下するようになる。さらには、高結晶性BN粉末の酸素含有量は0.5重量%未満であることが好ましい。酸素含有量が0.5重量%以上であると、焼結体中のBN粗粒子の配列の乱れや、長軸方向の大きさが10μm以上で厚さが1μm未満のBN他形粒子の割合が増加し、熱伝導率が低下する。
【0022】
高結晶性BN粉末の配合量は、50〜95重量%好ましくは60〜90重量%である。50重量%未満では焼結体密度の低下によって熱伝導性が低下し、また95重量%をこえると焼結体の強度が低下する。
【0023】
一方、本発明で使用される酸素含有量1.0重量%以上の六方晶BN粉末の平均粒径は10μm以下であることが必要である(以下、この粉末を「高酸素含有BN粉末」という)。高酸素含有BN粉末の平均粒径が10μmをこえると、焼結体中の長軸方向の大きさが10μm以上で厚さが1μm未満のBN他形粒子の割合が増加し、BN粗粒子の配列の乱れ、熱伝導率が低下する。
【0024】
本発明において、高酸素含有BN粉末の酸素含有量が1.0重量%未満であると焼結体の強度が低下し、また3.0重量%をこえると大きなインゴットを焼成する場合に焼結体にクラックが発生したり、焼結時の重量減少により焼結体密度が低下して熱伝導性が低下したりするようになるので、酸素含有量は1.5〜3.0重量%であることが好ましい。
【0025】
さらには、本発明で使用される高酸素含有BN粉末の黒鉛化度は2以上であることが好ましい。黒鉛化度が2未満では焼結が困難となる場合もある。
【0026】
高酸素含有BN粉末の配合量は、5〜50重量%好ましくは10〜40重量%である。5重量%未満では焼結体強度が低下し、また50重量%をこえると焼結体密度の低下によって熱伝導性が低下する。
【0027】
上記、高結晶性BN粉末と高酸素含有BN粉末の混合は、リボンブレンダーやスーパーミキサーなどの一般的な混合方法・装置を用いて行うことができる。
【0028】
高結晶性BN粉末と高酸素含有BN粉末からなる混合原料粉末の予備成型は、100kg/cm2 以上好ましくは200kg/cm2 の圧力で金型成型を行い、次いで静水圧プレスを行う。金型成型圧力が100kg/cm2 未満ではBN粗粒子の配列が乱れ熱伝導性が低下する。なお、静水圧プレス圧力は2ton/cm2 以上であることが望ましい。
【0029】
上記で得られた成型体の焼結は常圧焼結で行われる。その雰囲気はN2 又はArなどの非酸化性雰囲気下であり、温度は1800℃以上、焼結時間は30分以上である。焼結温度が1800℃未満であったり焼結時間が30分未満であると焼結が十分行われず熱伝導性が低下する。
【0030】
【実施例】
以下、本発明を実施例、比較例をあげてさらに具体的に説明する。
【0031】
実施例1〜9 比較例1〜6
表1に示す高結晶性BN粉末A1〜A3と高酸素含有BN粉末B1〜B4とを表2に示す配合比で種々配合し、リボンブレンダーにより約2時間混合した。得られた混合原料粉末を100mm角の金型を用い、表2に示す圧力で成型した後2.7ton/cm2 の圧力で静水圧プレスをし、表2に示す雰囲気、焼結温度、焼結時間で焼結して六方晶BN焼結体を製造した。
【0032】
得られた焼結体について厚みを測定後、焼結体の縦方向と横方向の破断面を形成し、そのSEM観察を行ってBN粗粒子、BN微粒子及びBN他形粒子の体積%を求め、さらにBN粗粒子の一方向への配列状態及びその空隙へのBN微粒子の分散状態を観察し、以下に従ってBN粗粒子の配列状態とBN微粒子の分散状態を評価した。それらの結果を表2に示す。
【0033】
(1)BN粗粒子の配列状態
BN粗粒子全体の配列状態から配列方向に直線を引き、各BN粗粒子の長軸方向がこの直線となす角度を測定し、その角度Aの範囲をもってBN粗粒子の配列状態を評価した。
「◎特に良好」:Aが±20度以内
「○良好」 :Aが±30度以内
「△普通」 :Aが±60度以内
「×不良」 :Aが±60度をこえる
【0034】
(2)BN微粒子の分散状態
BN粗粒子の配列の空隙にあるBN微粒子とBN他形粒子、さらにはBN粗粒子の配列の空隙にある気孔量から評価した。
「◎特に良好」:BN微粒子がBN粗粒子の配列の空隙以外にはほとんど認められない、またBN粗粒子の配列の空隙がほとんどBN微粒子で埋まっている状態。
「○良好」 :BN粗粒子の配列の空隙に存在するBN微粒子の量がそれ以外の箇所に存在する量よりも多く、かつBN粗粒子の配列の空隙の半分以上がBN微粒子で埋まっている状態。
「△普通」 :BN粗粒子の配列の空隙に存在するBN微粒子の量がそれ以外の箇所に存在する量よりも多いか、又はBN粗粒子の配列の空隙の半分以上がBN微粒子で埋まっているかのいずれかの状態。
「×不良」 :BN粗粒子の配列の空隙に存在するBN微粒子の量がそれ以外の箇所に存在する量と同等以下であるか、又はBN粗粒子の配列の空隙の半分以上がBN微粒子で埋まっていないかのいずれかの状態。
【0035】
さらに、焼結体から金型成型時のプレス方向に対して垂直方向の熱伝導率が測定できるように試験片(直径10mm×厚み1.5mm)を切り出し、レーザーフラッシュでその熱伝導率を測定した。それらの結果を表2に示す。
【0036】
【表1】
【0037】
【表2】
【0038】
【発明の効果】
本発明によれば、六方晶BN焼結体が有する優れた被切削性、耐食性、耐熱性、電気絶縁性、低誘電性、低誘電損失性の特性を保持したままで、熱伝導率100W/mK以上の六方晶BN焼結体を得ることができる。
【0039】
従って、本発明の六方晶BN焼結体は、半導体用基板、半導体や電子部品等の製造もしくは組付け用治具、電気絶縁性放熱材料、耐熱性治具など幅広い用途に適用でき、特に半導体用基板として好適な材料となる。
Claims (4)
- 長軸方向の大きさ10μm以上、厚みが1μm以上である六方晶BN粗粒子50〜90体積%と、長軸方向の大きさ10μm未満、厚みが1μm未満である六方晶BN微粒子10〜50体積%と、上記以外の六方晶BN粒子20体積%以下(0%を含む)とで構成されてなるものであって、六方晶BN粗粒子の大部分が一方向に配列しており、しかもその空隙に六方晶BN微粒子の多くが分散していることを特徴とする六方晶BN焼結体。
- 熱伝導率が100W/mK以上であることを特徴とする請求項1記載の六方晶BN焼結体。
- 平均粒径15μm以上の高結晶性の六方晶BN粉末50〜95重量%と、平均粒径10μm以下で酸素含有量1.0重量%以上の六方晶BN粉末5〜50重量%とを混合し、100kg/cm2 以上の圧力で予備成型を行った後、常圧焼結することを特徴とする六方晶BN焼結体の製造方法。
- 請求項1又2に記載の六方晶BN焼結体で構成されてなることを特徴とする半導体用基板。
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