JP7145315B2 - 塊状窒化ホウ素粒子、熱伝導樹脂組成物及び放熱部材 - Google Patents
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Description
そのため、例えば、熱インターフェース材の製造時に、六方晶窒化ホウ素粒子の面内方向(a軸方向)と熱インターフェース材の厚み方向が垂直になり、六方晶窒化ホウ素粒子の面内方向(a軸方向)の高熱伝導率を十分に活かすことができなかった。
しかし、(1)配向したシートを次工程にて積層する必要があり製造工程が煩雑になり易い、(2)積層・硬化後にシート状に薄く切断する必要があり、シートの厚みの寸法精度を確保することが困難という課題があった。また、六方晶窒化ホウ素粒子の形状が鱗片形状であるため、樹脂への充填時に粘度が増加し、流動性が悪くなるため、高充填が困難であった。
これらを改善するため、六方晶窒化ホウ素粒子の熱伝導率の異方性を抑制した種々の形状の窒化ホウ素粉末が提案されている。
その他凝集窒化ホウ素を製造する方法として、スプレードライ法で作製した球状窒化ホウ素(特許文献3)や炭化ホウ素を原料として製造した凝集体の窒化ホウ素(特許文献4)やプレスと破砕を繰り返し製造した凝集窒化ホウ素(特許文献5)が知られている。
本発明は、上記の知見に基づくものであり、以下を要旨とする。
[1]六方晶窒化ホウ素一次粒子が凝集してなる塊状窒化ホウ素粒子であって、BET法により測定した比表面積が2~6m2/gであり、圧壊強度が5MPa以上である塊状窒化ホウ素粒子。
[2]六方晶窒化ホウ素一次粒子の厚さに対する長径の比(長径/厚さ)が8~15である上記[1]に記載の塊状窒化ホウ素粒子。
[3]平均粒子径が15~90μmである上記[1]又は[2]に記載の塊状窒化ホウ素粒子。
[4]上記[1]~[3]のいずれか1つに記載の塊状窒化ホウ素粒子を含む熱伝導樹脂組成物。
[5]上記[4]に記載の熱伝導樹脂組成物を用いた放熱部材。
本発明は、六方晶窒化ホウ素一次粒子が凝集してなる塊状窒化ホウ素粒子であって、BET法により測定した比表面積が2~6m2/gであり、圧壊強度が5MPa以上である。このような塊状窒化ホウ素粒子を用いることにより、放熱部材のボイドの発生を抑制できるとともに、放熱部材の絶縁破壊特性及び熱伝導性を改善できる。
本発明の塊状窒化ホウ素粒子のBET法により測定した比表面積は2~6m2/gである。塊状窒化ホウ素粒子のBET法により測定した比表面積が2m2/gよりも低いと、塊状窒化ホウ素粒子及び樹脂の間の接触面積が小さくなり、放熱部材にボイドが発生しやすくなる。また、高熱伝導性を発現させる凝集形態の維持が難しくなり、絶縁破壊特性及び放熱部材の熱伝導性が悪くなる。一方、塊状窒化ホウ素粒子のBET法により測定した比表面積が6m2/gよりも大きいと、塊状窒化ホウ素粒子を高充填で樹脂に加えることができなくなり、放熱部材にボイドが発生しやすくなるとともに、絶縁破壊特性も悪くなる。上記観点から、塊状窒化ホウ素粒子のBET法により測定した比表面積は、好ましくは2.0~5.5m2/gであり、より好ましくは2.5~5.0m2/gである。なお、塊状窒化ホウ素粒子のBET法により測定した比表面積は、後述の各種測定方法の項目に記載の方法で測定することができる。
本発明の塊状窒化ホウ素粒子の圧壊強度は5MPa以上である。塊状窒化ホウ素粒子の圧壊強度が5MPa未満であると、樹脂との混練時やプレス時などに応力で塊状窒化ホウ素粒子が崩れてしまい、熱伝導率が低下する恐れがある。上記観点から、塊状窒化ホウ素粒子の圧壊強度は、好ましくは6MPa以上であり、より好ましくは7MPa以上であり、さらに好ましくは8MPa以上である。なお、塊状窒化ホウ素粒子の圧壊強度の上限値は、特に限定されないが、例えば30MPaである。また、塊状窒化ホウ素粒子の圧壊強度は後述の各種測定方法の項目に記載の方法で測定することができる。
本発明の塊状窒化ホウ素粒子の平均粒子径は、好ましくは15~90μmである。塊状窒化ホウ素粒子の平均粒子径が15μm以上であると、塊状窒化ホウ素粒子を構成する六方晶窒化ホウ素一次粒子の長径を大きくすることができ、塊状窒化ホウ素粒子の熱伝導率を高くすることができる。また、放熱部材の絶縁破壊特性も向上する。一方、塊状窒化ホウ素粒子の平均粒子径が90μm以下であると、放熱部材を薄くすることができる。なお、熱の流量は熱伝導率と放熱部材の厚さに比例するので、薄い放熱部材が求められている。さらに、塊状窒化ホウ素粒子の平均粒子径が90μm以下であると、放熱させるべき対象物の表面に放熱部材を十分に密着させることができる。また、この場合も、放熱部材の絶縁破壊特性も向上する。上述の観点から、塊状窒化ホウ素粒子の平均粒子径は、より好ましくは20~70μmであり、さらに好ましくは25~50μmであり、とくに好ましくは25~45μmである。なお、塊状窒化ホウ素粒子の平均粒子径は、後述の各種測定方法の項目に記載の方法で測定することができる。
本発明の塊状窒化ホウ素粒子における六方晶窒化ホウ素一次粒子の厚さに対する長径の比(長径/厚さ)は、好ましくは8~15である。六方晶窒化ホウ素一次粒子の厚さに対する長径の比(長径/厚さ)が8~15であると、放熱部材の絶縁破壊特性がさらに向上する。上述の観点から、六方晶窒化ホウ素一次粒子の厚さに対する長径の比(長径/厚さ)は、より好ましくは8~14であり、さらに好ましくは8~13である。なお、六方晶窒化ホウ素一次粒子の厚さに対する長径の比(長径/厚さ)は、六方晶窒化ホウ素一次粒子の長径の平均値を厚さの平均値で割り算した値である。また、六方晶窒化ホウ素一次粒子の長径の平均値及び厚さの平均値は、後述の各種測定方法の項目に記載の方法で測定することができる。
本発明の塊状窒化ホウ素粒子における六方晶窒化ホウ素一次粒子の長径の平均値は、好ましくは2~12μmである。六方晶窒化ホウ素一次粒子の長径の平均値が2μm以上であると、塊状窒化ホウ素粒子の熱伝導性が良好になる。また、六方晶窒化ホウ素一次粒子の長径の平均値が2μm以上であると、塊状窒化ホウ素粒子に樹脂が浸透しやすくなり、放熱部材のボイドの発生を抑制できる。一方、六方晶窒化ホウ素一次粒子の長径の平均値が12μm以下であると、塊状窒化ホウ素粒子の内部が密な構造となり、塊状窒化ホウ素粒子の圧壊強度を高めたり、塊状窒化ホウ素粒子の熱伝導性を改善したりすることができる。上述の観点から、六方晶窒化ホウ素一次粒子の長径の平均値は、より好ましくは3~11μmであり、さらに好ましくは3~10μmである。
本発明の塊状窒化ホウ素粒子は、絶縁破壊特性及び熱伝導性の改善に寄与する。寄与の程度は、実施例1に記載の方法で測定した絶縁破壊強さが41(kV/mm)以上である。また、本発明によれば45(kV/mm)以上、50(kV/mm)以上にすることも十分に可能である。
本発明の塊状窒化ホウ素粒子は、加圧窒化焼成工程及び脱炭結晶化工程を含む塊状窒化ホウ素粒子の製造方法により製造することができる。以下、各工程を詳細に説明する。
加圧窒化焼成工程では、平均粒子径が6μm以上55μm以下で炭素量18%以上21%以下の炭化ホウ素を加圧窒化焼成する。これにより、本発明の塊状窒化ホウ素粒子の原料として好適な炭窒化ホウ素を得ることができる。
加圧窒化工程で使用する原料の炭化ホウ素の粒径が最終的にできる塊状窒化ホウ素粒子に強く影響するため、適切な粒径のものを選択する必要があり、平均粒子径6~55μmの炭化ホウ素を原料として使用することが望ましい。その際、不純物のホウ酸や遊離炭素が少ないことが望ましい。
加圧窒化焼成は、特定の焼成温度及び加圧条件の雰囲気にて行う。
加圧窒化焼成における焼成温度は、好ましくは1700℃以上であり、より好ましくは1800℃以上であり、そして、好ましくは2400℃以下であり、より好ましくは2200℃以下である。また、加圧窒化焼成における焼成温度は、より好ましくは、1800~2200℃である。
脱炭結晶化工程では、加圧窒化工程にて得られた炭窒化ホウ素を、(a)常圧以上の雰囲気にて、(b)特定の昇温温度で(c)特定の温度範囲の焼成温度になるまで昇温を行い、(d)焼成温度で一定時間保持する熱処理を行う。これにより、一次粒子(一次粒子が鱗片状の六方晶窒化ホウ素)が凝集して塊状になった塊状窒化ホウ素粒子を得ることができる。とくに上記熱処理の条件を後述する範囲にすれば、塊状窒化ホウ素粒子のBET法により測定した比表面積を2~6m2/gとし、圧壊強度を5MPa以上とし、塊状窒化ホウ素粒子中の六方晶窒化ホウ素一次粒子の厚さに対する長径の比(長径/厚さ)を8~15とすることができる。
この脱炭結晶化工程において、上述の如き、調製された炭化ホウ素から得られた炭窒化ホウ素を、脱炭化させるとともに、所定の大きさの鱗片状にさせつつ、凝集させて塊状窒化ホウ素粒子とする。
上記「第2段階の昇温」の上限値は、好ましくは5℃/min以下、より好ましくは4℃/min以下、さらに好ましくは3℃/min以下、よりさらに好ましくは2℃/min以下である。昇温温度が低い方が、粒成長が均一になりやすいので好ましい。
本発明の塊状窒化ホウ素粒子は、金属カップリング剤によって表面処理されてもよい。これにより、表面に金属元素及び有機官能基が存在する塊状窒化ホウ素粒子を得ることができる。そして、塊状窒化ホウ素粒子及び樹脂の間の接合がより強くなり、放熱部材のボイドの発生をより抑制することができる。なお、金属カップリング剤による表面処理は、塊状窒化ホウ素粒子及び金属カップリング剤を乾式混合することによって行ってもよいし、塊状窒化ホウ素粒子及び金属カップリング剤に対して溶媒を加えて、湿式混合することによって行ってもよい。
このうち、好ましくは、3-グリシジロキシプロピルトリメトキシシラン、p-スチリルトリメトキシシラン(金属アルコキシド)、3-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン(金属アルコキシド)、ビニルトリメトキシシラン(金属アルコキシド)、シクロヘキシルメチルジメトキシシラン(金属アルコキシド)、7-オクテニルトリメトキシシラン、8-グリシドキシオクチルトリメトキシシラン、N-2-(アミノエチル)-8-アミノオクチルトリメトキシシランであり、より好ましくは7-オクテニルトリメトキシシラン、8-グリシドキシオクチルトリメトキシシラン、N-2-(アミノエチル)-8-アミノオクチルトリメトキシシランである。
このうち、好ましくは、イソプロピルトリイソステアロイルチタネート(金属アルコキシド)、テトライソプロピルビス(ジオクチルホスファイト)チタネート(金属キレート)、テトラオクチルビス(ジトリデシルホスファイト)チタネート(金属キレート)である。
このうち、好ましくは、テトラキス(2,4-ペンタンジオネート)ジルコニウム(金属アルコキシド)である。
このうち、好ましくは、アルミニウムビスエチルアセトアセテート・モノアセチルアセトネート(金属キレート化合物)である。
本発明の熱伝導樹脂組成物は、本発明の塊状窒化ホウ素粒子を含む。この熱伝導樹脂組成物は、公知の製造方法で製造することができる。得られた熱伝導樹脂組成物は、サーマルグリース、放熱部材等に幅広く使用することができる。
本発明の熱伝導樹脂組成物に使用する樹脂としては、例えばエポキシ樹脂、シリコーン樹脂、シリコーンゴム、アクリル樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、不飽和ポリエステル、フッ素樹脂、ポリアミド(例えば、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド等)、ポリエステル(例えば、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等)、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、全芳香族ポリエステル、ポリスルホン、液晶ポリマー、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、マレイミド変性樹脂、ABS樹脂、AAS(アクリロニトリル-アクリルゴム・スチレン)樹脂、AES(アクリロニトリル・エチレン・プロピレン・ジエンゴム-スチレン)樹脂等を用いることができる。エポキシ樹脂(好適にはナフタレン型エポキシ樹脂)は、耐熱性と銅箔回路への接着強度が優れていることから、とくにプリント配線板の絶縁層として好適である。また、シリコーン樹脂は耐熱性、柔軟性及びヒートシンク等への密着性が優れていることから、とくに熱インターフェース材として好適である。
なお、熱伝導樹脂組成物には、塊状窒化ホウ素粒子、樹脂以外の成分が含まれてもよい。その他の成分は添加剤、不純物等であり、5体積%以下、3体積%以下、1体積%以下であってよい。
本発明の放熱部材は、本発明の熱伝導樹脂組成物を用いたものである。本発明の放熱部材は、放熱対策に用いる部材であれば、とくに限定されない。本発明の放熱部材には、例えば、パワーデバイス、トランジスタ、サイリスタ、CPU等の発熱性電子部品を実装するプリント配線板、上記発熱性電子部品又は上記発熱性電子部品を実装したプリント配線板をヒートシンクに取り付ける際に用いる電気絶縁性の熱インターフェース材等が挙げられる。放熱部材は、例えば、熱伝導樹脂組成物を成形して成形体を作製し、作製した成形体を自然乾燥し、自然乾燥した成形体を加圧し、加圧した成形体を加熱乾燥し、加熱乾燥した成形体を加工することにより製造することができる。
各種測定方法は、以下の通りである。
(1)比表面積
塊状窒化ホウ素粒子の比表面積は、比表面積測定装置(カンターソーブ、ユアサアイオニクス社製)を用いて、BET1点法により測定した。なお測定に際しては、試料1gを300℃、15分間乾燥脱気してから測定に供した。
JIS R1639-5に準じて測定を実施した。測定装置としては、微小圧縮試験器(「MCT-W500」島津製作所社製)を用いた。粒子強度(σ:MPa)は、粒子内の位置によって変化する無次元数(α=2.48)と圧壊試験力(P:N)と粒子径(d:μm)からσ=α×P/(π×d2)の式を用いて20粒子以上で測定を行い、累積破壊率63.2%時点の値を算出した。
作製した塊状窒化ホウ素粒子に対し、表面状態で長径および短径が確認できる粒子の観察を行い、走査型電子顕微鏡(例えば「JSM-6010LA」(日本電子社製))を用いて観察倍率1000~5000倍で観察した。得られた粒子像を画像解析ソフトウェア、例えば「Mac-view」に取り込み粒子の長径及び厚さを計測し、任意の粒子100個の長径及び厚さを求めその平均値を長径の平均値及び厚さの平均値とした。
平均粒子径の測定にはベックマンコールター製レーザー回折散乱法粒度分布測定装置、(LS-13 320)を用いた。得られた平均粒子径は測定処理の前にホモジナイザーをかけずに測定したものを平均粒子径値として採用した。また、得られた平均粒子径は体積統計値による平均粒子径である。
炭素量は炭素/硫黄同時分析計「CS-444LS型」(LECO社製)にて測定した。
(絶縁破壊強さ)
放熱部材の絶縁破壊強さは、JIS C 2110に準拠して測定した。
具体的には、シート状の放熱部材を10cm×10cmの大きさに加工し、加工した放熱部材の一方の面にφ25mmの円形の銅層を形成し、他方の面は面全体に銅層を形成して試験サンプルを作製した。
試験サンプルを挟み込むように電極を配置し、電気絶縁油(スリーエム ジャパン株式会社製、製品名:FC-3283)中で、試験サンプルに交流電圧を印加した。電圧の印加開始から平均10~20秒後に絶縁破壊が起こるような速度(500V/s)で、試験サンプルに印加する電圧を0Vから上昇させた。一つの試験サンプルにつき15回絶縁破壊が起きたときの電圧V15(kV)を測定した。そして、電圧V15(kV)を試験サンプルの厚さ(mm)で割り算して絶縁破壊強さ(kV/mm)を算出した。なお、絶縁破壊強さは41(kV/mm)以上が良好、45(kV/mm)以上がより良好、50(kV/mm)以上がさらに良好である。
放熱部材の熱伝導率をASTM D5470に準拠して測定した。
2つの銅治具を用いて100Nの荷重で放熱部材を上下に挟んだ。なお、放熱部材と銅治具との間に、グリース(信越化学工業株式会社製、商品名「G-747」)を塗布した。上側の銅治具をヒーターで加熱し、上側の銅治具の温度(TU)及び下側の銅治具の温度(TB)を測定した。そして、以下の式(1)から熱伝導率(H)を算出した。
H=t/((TU-TB)/Q×S) (1)
なお、式中、tは放熱部材の厚さ(m)、Qはヒーターの電力より算出した熱流量(W)、Sは放熱部材の面積(m2)である。
3つのサンプルの熱伝導率を測定し、3つのサンプルの熱伝導率の平均値を放熱部材の熱伝導率とした。そして、放熱部材の熱伝導率を比較例1の放熱部材の熱伝導率で割り算して、熱伝導率相対値を算出した。
放熱部材をダイヤモンドカッターで断面加工後、CP(クロスセクションポリッシャー)法により加工し、試料台に固定した後にオスミウムコーティングを行った。そして、放熱部材の断面を走査型電子顕微鏡(例えば「JSM-6010LA」(日本電子社製))を用いて500倍の倍率で10視野観察し、放熱部材におけるボイドを調べた。シート表面近傍の500倍の倍率で10視野確認し、1視野当たりの平均で長さ5μm以上のボイドが5個以上観察されなかった場合は「無」と評価し、観察された場合は「有」と評価した。なお、断面観察写真の一例として、実施例1の放熱部材の電子顕微鏡による断面観察写真を図1に、比較例1の放熱部材の電子顕微鏡による断面観察写真を図2にそれぞれ示す。
実施例1は、以下のように、炭化ホウ素合成、加圧窒化工程、脱炭結晶化工程にて、塊状窒化ホウ素粒子を合成し、樹脂に充填した。
新日本電工株式会社製オルトホウ酸(以下ホウ酸)100質量部と、デンカ株式会社製アセチレンブラック(HS100)35質量部とをヘンシェルミキサーを用いて混合したのち、黒鉛ルツボ中に充填し、アーク炉にて、アルゴン雰囲気で、2200℃にて5時間加熱し炭化ホウ素(B4C)を合成した。合成した炭化ホウ素塊をボールミルで1時間粉砕し、篩網を用いて粒径75μm以下に篩分け、更に硝酸水溶液で洗浄して鉄分等不純物を除去後、濾過・乾燥して平均粒子径20μmの炭化ホウ素粉末を作製した。得られた炭化ホウ素粉末の炭素量は20.0%であった。
合成した炭化ホウ素を窒化ホウ素ルツボに充填した後、抵抗加熱炉を用い、窒素ガスの雰囲気で、2000℃、9気圧(0.8MPa)の条件で10時間加熱することにより炭窒化ホウ素(B4CN4)を得た。
合成した炭窒化ホウ素100質量部と、ホウ酸90質量部とをヘンシェルミキサーを用いて混合したのち、窒化ホウ素ルツボに充填し、抵抗加熱炉を用い0.2MPaの圧力条件で、窒素ガスの雰囲気で、室温から1000℃までの昇温速度を10℃/min、1000℃からの昇温速度を2℃/minで昇温し、焼成温度2020℃、保持時間10時間で加熱することにより、一次粒子が凝集して塊状になった塊状窒化ホウ素粒子を合成した。合成した塊状窒化ホウ素粒子をヘンシェルミキサーにより10分解砕をおこなった後、篩網を用いて、篩目75μmのナイロン篩にて分級を行った。焼成物を解砕及び分級することより、一次粒子が凝集して塊状になった塊状窒化ホウ素粒子を得た。
得られた表面処理塊状窒化ホウ素粒子及びシリコーン樹脂の合計100体積%に対して50体積%の塊状窒化ホウ素粒子及び50体積%のシリコーン樹脂(東レ・ダウコーニング・シリコーン社製、商品名「CF-3110」)、シリコーン樹脂100質量部に対して1質量部の架橋剤(化薬アクゾ株式会社製、商品名「カヤヘキサAD」)、並びに固形分濃度が60wt%となるように秤量した粘度調整剤としてのトルエンを攪拌機(HEIDON社製、商品名「スリーワンモーター」)に投入し、タービン型撹拌翼を用いて15時間混合して熱伝導樹脂組成物を作製した。
そして、コンマコーターを使用して、ガラスクロス(ユニチカ株式会社製、商品名「H25」)の一方の面の上に0.2mmの厚さで、作製した熱伝導樹脂組成物を塗工し、75℃で5分乾燥させた。その後、コンマコーターを使用して、ガラスクロスの他方の面の上に0.2mmの厚さで熱伝導樹脂組成物を塗工し、75℃で5分乾燥させ、積層体を作製した。
平板プレス機(株式会社柳瀬製作所製)を用いて、積層体に対して、温度150℃、圧力150kgf/cm2の条件で45分間の加熱プレスを行い、厚さ0.3mmのシート状の放熱部材を作製した。次いでそれを常圧、150℃で4時間の二次加熱を行い、実施例1の放熱部材を作製した。
実施例2では、脱炭結晶化工程の炭窒化ホウ素100質量部と混合するホウ酸量を90質量部から110質量部に変更した以外は実施例1と同様に塊状窒化ホウ素粒子を合成し、放熱部材を作製した。
実施例3では、脱炭結晶化工程の炭窒化ホウ素100質量部と混合するホウ酸量を90質量部から75質量部に変更した以外は実施例1と同様に塊状窒化ホウ素粒子を合成し、放熱部材を作製した。
実施例4では、脱炭結晶化工程の1000℃からの昇温速度を2℃/minから0.4℃/minに変更した以外は実施例1と同様に塊状窒化ホウ素粒子を合成し、放熱部材を作製した。
実施例5では、脱炭結晶化工程の1000℃からの昇温速度を2℃/minから4℃/minに変更した以外は実施例1と同様に塊状窒化ホウ素粒子を合成し、放熱部材を作製した。
実施例6では、炭化ホウ素合成工程における炭化ホウ素塊のボールミル粉砕時間を1時間から2時間半に変更し、篩分けを75μm以下から33μm以下に変更することによって、炭化ホウ素粉末の平均粒子径を20μmから7μmに変更した以外は実施例1と同様に塊状窒化ホウ素粒子を合成し、放熱部材を作製した。
実施例7では、炭化ホウ素合成工程における炭化ホウ素塊のボールミル粉砕時間を1時間から20分に変更し、篩分けを75μm以下から150μm以下に変更することによって、炭化ホウ素粉末の平均粒子径を20μmから48μmに変更した以外は実施例1と同様に塊状窒化ホウ素粒子を合成し、放熱部材を作製した。
比較例1では、脱炭結晶化工程の炭窒化ホウ素100質量部と混合するホウ酸量を90質量部から50質量部に変更し、脱炭結晶化工程の焼成温度を2020℃から1950℃に変更した以外は実施例1と同様に塊状窒化ホウ素粒子を合成し、放熱部材を作製した。
比較例2では、脱炭結晶化工程の炭窒化ホウ素100質量部と混合するホウ酸量を90質量部から150質量部に変更し、さらに炭窒化ホウ素100質量部に対して炭酸ナトリウムを1質量部添加し混合し、脱炭結晶化工程の焼成温度を2020℃から1950℃に変更した以外は実施例1と同様に塊状窒化ホウ素粒子を合成し、放熱部材を作製した。
比較例3では、脱炭結晶化工程の炭窒化ホウ素100質量部と混合するホウ酸量を90質量部から50質量部に変更し、さらに炭窒化ホウ素100質量部に対して炭酸カルシウムを3質量部添加し混合し、脱炭結晶化工程の焼成温度を2020℃から1950℃に変更した以外は実施例1と同様に塊状窒化ホウ素粒子を合成し、放熱部材を作製した。
さらに、六方晶窒化ホウ素一次粒子の厚さに対する長径の比(長径/厚さ)が8~15である塊状窒化ホウ素粒子を放熱部材に用いることにより、放熱部材の絶縁破壊特性をさらに改善できることがわかった。
また、さらに、平均粒子径が15~90μmである塊状窒化ホウ素粒子を放熱部材に用いることにより、放熱部材の絶縁破壊特性をさらに改善できることがわかった。
本発明は、詳しくは、パワーデバイスなどの発熱性電子部品の放熱部材の原料として好適に用いられる。
本発明の熱伝導樹脂組成物は、放熱部材などに幅広く使用することができる。
Claims (5)
- 六方晶窒化ホウ素一次粒子が凝集してなる塊状窒化ホウ素粒子であって、
BET法により測定した比表面積が2~6m2/gであり、
圧壊強度が5MPa以上である塊状窒化ホウ素粒子(ただし、バインダーを含むものを除く。)。 - 前記六方晶窒化ホウ素一次粒子の厚さに対する長径の比(長径/厚さ)が8~15である請求項1に記載の塊状窒化ホウ素粒子。
- 平均粒子径が15~90μmである請求項1又は2に記載の塊状窒化ホウ素粒子。
- 請求項1~3のいずれか1項に記載の塊状窒化ホウ素粒子を含む熱伝導樹脂組成物。
- 請求項4に記載の熱伝導樹脂組成物を用いた放熱部材。
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