JP3634868B2 - マイクロミキサ - Google Patents

Description

本発明は、第１入口チャネル構造に連結された混合室を含み、第２入口チャネル構造がこの混合室の壁に少なくとも１つの開口で通じているマイクロミキサに関する。
この形式のマイクロミキサは、化学分析の分野で益々重要になりつつある。それは、調査対象の非常に少量の液体またはガスと、それに対応して少量の試薬で十分な分析を行うことができるという利点を有する。所望の反応を得るために、調査対象の流体と試薬を互いに混合しなければならない。それから、反応生成物に対して所望の分析結果を定量的または定性的に決定することができる。また、そのようにして細胞、例えば血球または粒剤を流体または試薬と混合することもできる。
マイクロミキサは、マイクロ反応器として使用することもできる。例えば、それ自体は無毒であるが、混合処理で極めて有毒になる２つのガスを混合することができる。それが少量に制限される場合、大量の有毒ガスが発生する大型のミキサに比べて安全対策をわずかに低下させても十分である。
しかし、少量が混合室に供給される場合、乱流のために流体を十分に混合することが比較的困難になる。混合を拡散が支配的な処理に限定すると、特に異なった流体を混合室内へ適切に導入することによって、拡散を制御することができる。
従って、本発明の根底となる問題は、流体の迅速かつ予め決定可能な混合を容易にすることである。
その問題は、冒頭に述べた形式のマイクロミキサにおいて、壁の開口に隣接した位置に、流れの方向に横向きに延びる少なくとも１つの突出部を配置することによって解決される。その突出部の横向きの延びは流れの方向に直交する方向で開口の幅より広い。
流れは突出部で分断される。第１入口チャネル構造からの流体は突出部の周囲を流れなければならない。もちろん、入口チャネルを複数にすることができる。その時、第２入口チャネル構造からの流体が、正確に混合室のその領域の供給されると、それは、突出部による分断がない場合よりも壁に直交する方向に混合室で相当長く広がることができる。これは、突出部が流れ方向で開口の手前に位置している時に明らかにわかる。その場合、開口は、言うなれば突出部の裏に位置している。そして、第２入口チャネル構造から壁の開口を通って混合室に入った流体は突出部によって保護されて、まず混合室内で少し広がった後、第１入口チャネル構造から流れ方向に供給された流体と接触する。これによって、２つの流体を好都合に互いに接触させることができる。これによって得られる接合面に沿って拡散が生じるため、２つの流体、例えばサンプルと試薬が混合される。しかし、驚くべきことに、突出部を流れ方向において開口の背後に配置した時でも、やはり有用な結果が得られる。
好ましくは、突出部は壁にほぼ垂直に配置される。これによって製造しやすくなる。製造が困難なアンダーカットまたは他の形状を形成する必要がない。もちろん「垂直」とは、本例では技術的に実現可能なものを意味するだけである。一部のエッチング処理では、真に垂直な壁を形成することはほとんど不可能である。
突出部はまた、壁と対向した蓋壁の位置まで延びていることが好都合である。これによって、第２入口チャネル構造から混合室への流体の流入を保護できるように、開口を非常に良好に覆うことができる。それはまた、２つの流体間で、その開口を設けた壁にほぼ直交する接合面の独特な形成を行うことができるようにする。それによって、混合室内の流体の独特の積層化が生じると共に、同様にうまく制御できる拡散による混合が行われる。
突出部は、その少なくとも一部分が流れ方向において開口の手前付近にあるように配置されることが好都合である。その結果、開口の手前付近では、突出部が開口を保護するように覆っているか否かに応じて、第１入口チャネル構造からの流体または第２入口チャネル構造からの流体に対して一定の流れ関係が得られる。
突出部は、２つの脚部分を有するＵ字形構造であり、開口は２つの脚部分の間の連結部分の近くに配置されていることが特に好ましい。その結果、流体は開口を通って混合室へ流入することができ、まずＵ字形の両脚部分間で広がった後、第１入口チャネル構造からの流体と接触する。その結果、第２入口チャネル構造からの流体の層状の流れが得られ、それに流体の両側から第１入口チャネル構造からの流体が付け加えられる、すなわち重なる。その層状構造は、複雑な方法で第３寸法に導入することを必要としないで得られる。一般的に、流体を１つの平面上で流せば十分であるが、もちろん、開口は、異なった平面に移る段差を必要とする。
脚部分の長さは、脚部分間の離隔距離または突出部の高さの倍数であることが特に好ましい。その場合、Ｕ字形の出口に、第２入口チャネル構造からの流体の高品質の平坦な層流が得られ、その上に、第１チャネル構造からの流体の同様な層流を加えることができる。その結果、流体の優れた積層化が得られ、流体が突出部の両側の周囲を流れる時、第１流体、すなわち第１チャネル構造からの流体が第２流体、すなわち第２チャネル構造からの流体に両側から追加される。このため、２つの接合面、すなわち二倍の拡散表面が得られる。また、個々の分子は他方の流体に浸透するために半分の距離だけを覆えばよいため、拡散長さが短くなる結果、混合処理が拡散だけ、または主にそれに基づいて行われる時でも、２つの流体の非常に迅速な混合を得ることができる。
脚部分は平坦で、特に平面的な構造であり、互いに平行に延びていることが好ましい。その結果、すでに開口から混合室内へ送り込まれた直後に、層状構造を有する層流が発生し、それがＵ字形の２つの脚部分の間の中間領域から出た後に、それに他方の流体の層を両側から重ねることができる。そのような層の形成は、開口の幅が脚の間の離隔距離にほぼ等しい時にも改善される。その場合、２つの脚部分の間の中間領域はその幅方向に均一に、またほとんど乱流を伴わないで満たされる。脚部分は、平面的であることが好ましい。あるいは、第１入口チャネル構造からの流体が曲げられた流路を進む場合、それらを同様に屈曲させてもよい。
変更構造として、突出部はＶ字形構造にすることができる。そのような構造によっても、開口から混合室に流入する第２入口チャネル構造からの流体は、まず混合室内に広がった後、第１入口チャネル構造からの流体と接触することができる。このようにしても、２つの流体は互いに良好に接触することができる。
混合室は出口を備えており、その幅は壁に平行な方向において狭くなっていることが好ましい。できる限り迅速な混合を得るために、流体の個々の層をできる限り薄くすることが望ましいであろう。しかし、製造の際に、特に〈100〉シリコンを使用する場合、無限に薄く完全に垂直な壁を有する突出部を設けることはできない。さらに、液体は、開口または２つの脚部分間の空間に詰まると大きな問題を引き起こす可能性がある粒子を含む場合がある。この理由から、個々の層を形成する時、厚くなることも容認しなければならない。しかし、これらの厚さを減じるために、例えば混合室の寸法を出口の方向に小さくすることによって、混合流体流全体を圧縮することができる。このため、流れ速度が増加する。しかし、同時に、層の厚さが減少するため、拡散によっても良好で迅速な混合が得られる。
開口を通る流れと第１入口チャネル構造からの流れの速度の比が調節可能であることが好ましい。その結果、層の厚さを制御することができる。さらに、２つの流体が互いに出合う時に同一速度にすることができる。これも、積層化を向上させ、それによって拡散表面の形成が容易になり、拡散が促進される。
壁に複数の開口を設けて、各開口に専用の突出部を設けることが好ましい。これによって、複数の層を得ることができる。各開口はそれに対応した突出部と協働して、混合室内に固有の液体層を形成し、この液体層は、開口を設けた壁に対してほぼ垂直である。その多重層は、比較的簡単な手段を用いて形成することができる。
開口を列状に配置し、流れ方向を横切る方向において互いにずらすことが好ましい。列状配置によって構成が容易になる。流れ方向において互いに横方向にずらすことによって、突出部を互いに接近させすぎることなく、互いに近接した複数の層を形成しやすくなる。
第２入口チャネル構造は、異なった流体を送ることができる複数の連結部分を含み、各開口がそれぞれ１つの連結部分に連結されていることが好ましい。これによって、各開口で１つの流体だけが、むしろ特定形式の１つの流体が供給される。このようにして、複数の異なった流体を混合室内で同時に、またはほぼ同時に互いに混合することができ、これは、複数の試薬を必要とする時に分析を簡単にすることができる。
好適な構造では、隣接の突出部間、及び突出部と混合室の側壁の間には、第１入口チャネル構造と出口を結んだ線に対して所定角度を成す流路が形成されている。その角度は、好ましくは０゜より大きく、90゜より小さい。その方法によっても、個々の流体の層の厚さを小さくすることができる。流体はまず、（第１流体用の）流路と、（第２流体用の）突出部を流れ、流体は互いに平行である。２つの流体が出合った直後に、結合流体流は曲がり、それによって薄くなる。厚さは、角度の選択によって制御することができる。角度が90゜に近づくほど、層は薄くなる。しかし、進路が変化する時に流れが分裂する危険性があるので、角度を鋭くしすぎてはならない。
混合室の側壁に最も近い位置にある突出部は、隣接の突起からの離隔距離よりもその側壁からの離隔距離が小さい位置にあることが好ましい。これによって、結合流体流の縁部で流体厚さが薄くなる。これらの薄い流れの厚さは、例えば混合室の内部の同じ流体の流体層の厚さの半分である。その場合、その流体の拡散長さが、混合室全体で一定に保持される。混合室の内部の層では、拡散が両側から生じることができるので、統計的に言うと、個々の分子は半分の距離だけを覆う。縁部の層では、そのような可能性がない。そのため、そこでは半分の厚さが選択される。短時間後でも、主に拡散によって良好な混合が得られた平衡状態に達する。
第２入口チャネル構造は、第１入口チャネル構造にほぼ平行に開口まで設けられていることが好ましい。２つの入口チャネル構造で搬送された２つの流体に対してほぼ同一の圧力損が得られる。それは、流体の混合及び混合作動の制御を容易にする。
次に、添付の図面と関連させて好適な実施例を参照しながら本発明を説明する。
第１図は、マイクロミキサの部分断面図であり、
第２図は、流線を示す概略図であり、
第３図は、マイクロミキサの第２構造を示しており、
第４図は、マイクロミキサの第３構造を示しており、
第５図は、マイクロミキサの第４構造を示しており、
第６図は、第５図に従ったマイクロミキサの流れを示す概略図である。
マイクロミキサの２、３の基本構成部材を説明するため、まず第４図を参照する。それに示されているミキサは第１入口２を備えており、これから第１流体、例えば液体が混合室３へ供給される。混合室３は出口４を備えており、混合室３内で第２流体と混合した流体がこの出口４を通って混合室３から出ることができる。混合室内に複数の個別混合点５が設けられており、各混合点は個別にマイクロミキサとして使用される。そのような混合点５のさらに詳細な構造が、第１図に概略的に説明されている。
第１図は、混合室３の壁６を示している。この壁６は、第４図では中間平面上に配置された壁である。その壁６にほぼ直交するように、Ｕ字形の突出部７が配置されている。従って、突出部７は、２つの脚部分９を互いに連結するベース部分８を含む。一方の脚部分のみが図示されている。ベース部分８の付近において、壁６に開口10が設けられており、この開口は、第２入口チャネル構造の一部を形成している第２入口チャネル11に連結されている。
わかりやすくするために、選択図面は正しい縮尺率で示されていない。実際には、開口10はもっと幅が広い、すなわち、それは２つの脚部分９の間の中間領域のもっと広い範囲を占めている。その結果、脚部分９は、２つの脚部分の離隔距離ａよりも長い。脚部分９の長さは、一般的に２つの脚部分の離隔距離ａの倍数である。突出部７の半分だけが示されているので、もっと正確に言えばその離隔距離は２ａになる。いずれの場合も、脚部分９は互いに平行に延び、平面的な壁の形に構成されている。
第１矢印12が、第１入口チャネル構造、本例では入口２から流入する第１液体または第１流体を記号表示している。突出部７のベース部分８が流れ方向において開口10の手前に配置されているので、流体12は突出部７の周囲を流れなければならない。その後、それは再び突出部の脚部分９によって向きが定められるため、それはほぼ真っ直ぐな層流を形成する。同じことが反対側にも発生するが、わかりやすくするために図示されていない。従って、突出部７の端部13付近において、第１流体12は脚部分９の長さ方向にほぼ平行に流れる。
矢印14で記号表示されている第２流体が開口10から供給される。開口10は、言うなれば突出部７の内側に、さらに正確に言えば、ベース部分８の裏にあるため、第２流体14はまずＵ字形突出部７の内部で広がってから、突出部７の端部13に向かって流れ始める。それは、第２流体14の流れを表すために流線15が引かれている第２図に示されている。この点において、突出部７は通常は壁６と対向する側が、本例の場合は上側が、混合室３の蓋壁で覆われている。このため、第１流体12はほぼ１つの平面で突出部７の周囲を流れることができる。
突出部７の端部13において、第１及び第２流体12、14は同じ流れ方向になる、すなわち、それらは大まかに言うと、互いに平行に流れる。さらに、流れ速度は、両流体12、14が実際にその点で同一速度になるように調節することができる。その構造では、２つの流れが滑らかに互いに接触する。このため、第２流体14の長手方向の両側に第１流体12の層が重なる。拡散を生じさせることができる比較的大きい接触面積が生じる。従って、大きい拡散表面が得られるので、拡散処理を比較的迅速に行うことができる。入口チャネル11が、壁６の下側で入口２にほぼ平行な平面上に設けられているので、第１流体12と第２流体14は、第２流体14が開口10に到達するまで、ほとんど平行に流れる。好ましくは、第２流体を同一方向に流すことができる。あるいは、それらをそれぞれの平面で異なった方向に流すことができる。それによって、２つの流体12、14の圧力損をほぼ同一に保つことができる。
例えば、第３図に示されているように、幾つかのそのような混合点を互いに結合することができる。第３図には、２つの混合点5a、5bが概略的に示されており、各混合点5a、5bはそれぞれ専用の突出部7a、7bを有する。各混合点5a、5bはそれぞれ専用の供給開口10a、10bに連結されており、また図示しない方法で各開口10a、10bに専用の入口チャネルを設けて、各混合点5a、5bで異なった液体を混合できるようにすることも可能である。しかし、混合原理は、第１図及び第２図に従った説明と変わらない。
もちろん、可能な多様な変更を実行することができる。流れ方向を横切る方向において２つの突出部7a、7bの間に空間がある場合、第１入口チャネル構造から出る流体を１、異なった連結部分から出る液体を２及び３で表すと、液体F1、F2及びF3はF1−F2−F1−F3−F1の順序で層を成す。２つの突出部7a、7bの間に空間がない場合、F1−F2−F3−F1の層に変えることができる。それは、そのような層をどのように形成したいかに応じて決まる。
突出部７は、壁６と一体成形することができる。それは、例えばミキサ１の基本的な本体をシリコンから形成し、その本体を顕微製造技術を用いて処理することによって行うことができる。例えば、突出部７だけが残るようにして、すべての不要部分をエッチングすることができる。次に、混合室３の蓋を、例えばガラス板で形成することができる。チャネル11は、壁６に接着剤で取り付けられた下側部材に形成することができる。
〈100〉シリコンから製造する場合、技術的理由から、突出部７の壁の厚さを特定厚さより薄くすることができない。また、多くの場合、突出部７を壁６に対して完全に垂直な配置にすることができない。さらに、液体は、開口10または脚部分９間の中間領域に詰まると大きな問題を引き起こす可能性がある粒子を含む場合がある。従って、詰まりが発生しないように、また製造の際の不正確さの影響を最小限に抑えることができるように、隙間を十分に大きくする努力が払われている。その結果、混合中の層の厚さが大きくなり、対策を追加しなければ、相当な大きさになるであろう。拡散の場合、混合時間がおおよそ層の厚さの二乗倍になり、その結果、混合時間が比較的長くなり、それに対応して混合領域が長くなる。
それを避けるため、第４図に示されているように、混合室３を横方向に広くすることができる。その場合、液体または流体の個々の層を必要な厚さで形成することができる。狭くなった出口４を流れが通る時、それらの層の厚さが圧縮される。同時に、流れ速度も増加する。しかし、それは重要ではない。そのように、個々の流体の層の厚さが比較的薄くなる結果、混合時間が比較的短くなる。
他方、この解決策には、混合室３の容積が増加し、それに対応して死空間も増大するという欠点がある。
このため、第４図ではさらに、様々な混合点５を、入口２と出口４の間の主方向にほぼ直交する列に並べ、個々の混合点５を横方向において互いにずらして配置する方法を選択している。それらは、言わば互い違いになっているため、多重混合の結果、比較的多数の層が発生し、これらの層は互いに隣接していると共に、比較的薄い。混合室３の側壁17に最も近い混合点16とその側壁17の間の距離は、隣接した突出部の間の離隔距離よりも小さい。これによって、最も外側の層、すなわち混合室３の壁17に隣接した液体層を、混合室３の内部の層の約半分の厚さにすることができる。これによって、混合室３内の液体領域全体における拡散長さがほぼ同一になる。
第４図に従った構造には幾つかの利点がある、すなわち、突出部７の脚部分９間の距離を大きくすることができるので、ミキサ１が粒子で詰まる危険性を低減させることができる。突出部と突出部内の開口10の間の距離を調節することによって、混合室３内で形成されるすべての層がほぼ同じ暑さになるように入口２からの流体の速度のプロフィールを調節することができる。縁部での拡散時間が混合室３のその他の部分と同じになるように、縁部の層の厚さをその他の層の厚さの半分にすることができる。両液体の圧力損が同一になるように、開口10に通じるチャネル11をミキサ１の入口チャネル２に平行に設けることができる。周囲状態が変化しても、本装置は比較的安定している。
しかし、すべての混合物が平行に流れるわけではなく、空間的及び時間的の両方でわずかにずれる。また、混合流体が出口４を通る時だけ、個々の層の厚さが最終寸法になる。しかし、それぞれが４つの混合点５を有する５列がある図示の構造では、20の混合作動が得られ、対応の薄さを有する対応の多数の層が得られるため、これは問題なく容認することができる。
変更構造が第５図に示されている。ここでも、１列に並んだ突出部７が混合室３内に設けられている。しかし、これらの突出部７はさらに接近しており、入口２と出口４の間の主方向に対して特定角度を付けて傾斜した流路18がその間に形成されており、その角度は０゜より大きいが90゜より小さい。その効果が第６図に示されている。個々の混合点の前後の両方での流れの進路の変化の結果、２つの流体が互いに出合った直後に比較的薄い層が得られるため、拡散による混合が比較的迅速に行われる。また、最も外側の混合点16とハウジングの側壁の間の流路19が、隣接した混合部材間の流路18の幅のほぼ半分しかないことがわかるであろう。この場合も、出口４の幅がわずかに小さいため、液体の流れがさらに圧縮される。しかし、個々の層の厚さは液体の流れの旋回すなわち曲りによってすでに得ることができているので、これは重要ではない。
この構造は、ミキサの死空間が他のミキサに比べて小さいという利点を有する。しかし、それはやはり無視できない。まさに結合中に最終的層の厚さを得ることができており、これは混合時間または反応時間の短縮に役立つ。本例でも、縁部での層の厚さを減少させることによって、縁部領域での拡散時間を装置のその他と同じ長さに保つことができる。
もちろん、第２液体の供給は、ベース部分６の下方で、入口２の第１液体の供給に平行に行うことができる。しかし、わかりやすくするためにそれは示されていない。
そのようなミキサは、可動部分をまったく含まないため、静的ミキサとも呼ばれる。突出部７を混合室３に導入することによって、流体または液体を１つまたは複数の流体または液体と結合することができる。個々の流体または液体は、薄い層で互いに接触するため、拡散表面が大きくなり、拡散長さが短くなる。そのため、拡散処理が比較的迅速に行われ、また迅速に完了することができる。
突出部７を最適化することによって、粒子汚染物による詰まりをほとんど回避することができ、形成される死空間が小さくなる。第５図及び第６図に従った構造では、対称的な混合が行われる。
構造体の製造は、既知の技術、例えば２層マスキングフィルムを異方性プラズマエッチングと組み合わせて用いることによって行われる。〈100〉シリコンの代わりに〈110〉シリコンを用いる場合、比較的正確に直交する壁を得ることができ、それによって装置をさらにコンパクトにし、さらに正確に最適化することができる。しかし、例えばKOHでエッチングした下側のチャネルを上側のプラズマエッチングチャネルからダイアフラムで分離すれば、〈100〉シリコンプレートを使用しても十分である。その場合、開口10はダイアフラムの穴として形成できる。あるいは、マイクロミキサを別の方法で、例えばプラスチック成形か、中実部品のフライス加工によって製造することもできる。
図面では、第１液体または第１流体12が１つの個別入口２で供給されるように示されている。変更例として、その個別入口２の代わりに、多数の個別チャネルを有する入口チャネル構造を用いることもできる。同じことが第２入口チャネル構造にも言える。
本発明の本質的概念を放棄することなく、図示の構造を多くの点で変更することが可能である。例えば、Ｕ字形突出部の代わりに、Ｖ字形突出部を使用することができる。やはり任意であるが、Ｖ字形の脚部分に平行な壁を結合することによって、Ｖ字形基部を有するＵ字形を得ることもできる。
Ｕ字形の開口は必ずしも流れ方向に向いている必要はない。脚部分が流れ方向と反対の方向で開口よりも先まで延びている場合、それを流れ方向と逆の方向を向けることもできる。流体の流量を適当に調整することによって、そのような構造でも流体を互いに積層化することができる。Ｕ字形突出部の代わりにＶ字形突出部を用いた時でも同じことがいえる。後者の場合、突出部の側面を利用して混合室の出口の狭窄部を形成することさえできる。
また、混合室の進路を屈げまたは湾曲させることもでき、その場合には第１流体に対して同様に曲げまたは湾曲した流路が形成される。その場合、突出部は、第２流体を第１流体に平行に流す対応の曲げられた形状の脚部分を有することが好都合であろう。
最後になるが、一部の例では、流れ方向において開口の手前の１つの壁と、それにほぼ平行か、それとは異なった方向に向けた開口の後側の壁を有する突出部構造でも十分である。その場合、流体は、開口からまず混合室内に広がった後、第１入口チャネル構造からの流体と接触する。
最後に、突出部は必ずしも、壁と対向配置されている混合室の蓋の位置まで延びる必要はない。その場合、第２入口チャネル構造からの流体は、第１入口チャネル構造からの流体によって３方が覆われる。流れ方向においてそれの後方に、突起のない別の開口が設けられている場合、結果的に第２入口チャネル構造からの流体を第１入口チャネル構造からの流体で包囲または被覆することができる。

Claims (18)

1. 第１の流体の供給用の第１入口チャネル構造に連結され且つ第２の流体の供給用の第２の入り口チ ャネル構造に連結された混合室を含み、その混合室には、それの壁にしてそれに沿って流体が流れる壁が含ま れている、マイクロミキサであって、第２の入り口チャ ネル構造は、壁（６）の少なくとも１つの開口（10）を 介して混合室（３）へと通じており、開口（10）に隣接した位置で壁（６）上に混合室（３）内へと突出する突出部（７）が配置され、その突出部（７）は、２つの脚 部分（９）を有するＵ字形構造であり、開口（10）が２ つの脚部分（９）の間でそれらの連結部分（８）の近く に位置するように配置されていることを特徴とするマイクロミキサ。
2. 突出部（７）は壁（６）にほぼ垂直に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロミキサ。
3. 突出部（７）は、壁（６）と対向した蓋壁の位置まで延び出していることを特徴とする請求項１または２に記載のマイクロミキサ。
4. 突出部（７）は、その少なくとも一部分が流れ方向において開口（10）の手前付近にあるように配置されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のマイクロミキサ。
5. 脚部分（９）の長さは、脚部分（９）間の離隔距離（2a）または突出部の高さの倍数であることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のマイクロミキサ。
6. 脚部分（９）は平坦で、特に平面的な構造であり、互いに平行に延びていることを特徴とする請求 項１〜５の何れか１項に記載のマイクロミキサ。
7. 第１の流体の供給用の第１入口チャネル構 造に連結され且つ第２の流体の供給用の第２の入り口チ ャネル構造に連結された混合室を含み、その混合室に は、それの壁にしてそれに沿って流体が流れる壁が含ま れている、マイクロミキサであって、第２の入り口チャ ネル構造は、壁（６）の少なくとも１つの開口（10）を 介して混合室（３）へと通じており、開口（10）に隣接 した位置で壁（６）上に混合室（３）内へと突出する突 出部が配置され、その突出部は、２つの脚部分を有する Ｖ字形構造であり、開口（10）が２つの脚部分の間でそ れらの連結部分の近くに位置するように配置されている ことを特徴とするマイクロミキサ。
8. 突出部は壁（６）にほぼ垂直に配置されて いることを特徴とする請求項７に記載のマイクロミキ サ。
9. 突出部は、壁（６）と対向した蓋壁の位置 まで延び出していることを特徴とする請求項７または８ に記載のマイクロミキサ。
10. 突出部は、その少なくとも一部分が流れ 方向において開口（10）の手前付近にあるように配置さ れていることを特徴とする請求項７〜９の何れか１項に 記載のマイクロミキサ。
11. 混合室（３）は出口（４）を備えており、その幅は壁（６）に平行な方向において狭くなっていることを特徴とする請求項１〜10の何れか１項に記載のマイクロミキサ。
12. 開口（10）を通る流れと第１入口チャネル構造（２）からの流れの速度の比が調節可能であることを特徴とする請求項１〜11の何れか１項に記載のマイクロミキサ。
13. 壁に複数の開口（10）が設けられており、各開口（10）は専用の突出部（７）を備えていることを特徴とする請求項１〜12の何れか１項に記載のマイクロミキサ。
14. 開口（10）は列状に配置されており、流れ方向を横切る方向において互いにずれていることを特徴とする請求項13に記載のマイクロミキサ。
15. 第２入口チャネル構造（11）は、異なった流体を送ることができる複数の連結部分を含み、各開口（10a、10b）はそれぞれ１つの連結部分に連結されていることを特徴とする請求項13または14に記載のマイクロミキサ。
16. 隣接の突出部（７）間、及び突出部（７）と混合室（３）の側壁（17）の間には、第１入口チャネル構造（２）と出口（４）を結んだ線に対して所定角度を成す流路（18、19）が形成されていることを特徴とする請求項13〜15の何れか１項に記載のマイクロミキサ。
17. 混合室（３）の側壁（17）に最も近い位置にある突出部（16）は、隣接の突起からの離隔距離よりもその側壁（17）からの離隔距離が小さい位置にあることを特徴とする請求項13〜16の何れか１項に記載のマイクロミキサ。
18. 第２入口チャネル構造（11）は、第１入口チャネル構造（２）にほぼ平行に開口（10）まで設けられていることを特徴とする請求項１から17の何れか１ 項に記載のマイクロミキサ。

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