JP2005169219A - マイクロミキサ - Google Patents
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Abstract
【課題】 小型化を妨げない構造にて、液体を短時間で充分に混合すること。
【解決手段】 各供給口3,4から供給された各々異なる液体が、微小流路6a,6bを流れて混合エリア9へ流入され、更に微小流路7を流れて流出口5から流出されるようにする。そして、混合エリア9内に、外部からの何らかの圧力振動に共振する例えばシリコーンゴム等による弾性体10を固定する。この弾性体10は、供給口3,4から流出口5へ流れる液体の変動圧力によって振動されるようになっており、この振動によって混合エリア9内の液体を攪拌させるようにした。
【選択図】 図1
【解決手段】 各供給口3,4から供給された各々異なる液体が、微小流路6a,6bを流れて混合エリア9へ流入され、更に微小流路7を流れて流出口5から流出されるようにする。そして、混合エリア9内に、外部からの何らかの圧力振動に共振する例えばシリコーンゴム等による弾性体10を固定する。この弾性体10は、供給口3,4から流出口5へ流れる液体の変動圧力によって振動されるようになっており、この振動によって混合エリア9内の液体を攪拌させるようにした。
【選択図】 図1
Description
本発明は、基板上に形成された微小な流路を用いて、微小容量の液体の混合・反応・分離・精製・抽出・分析などを行うためのマイクロミキサに関する。
近年、マイクロマシニング技術を用いてシリコンやガラス、プラスチックなどの基板上に微小流路(マイクロチャンネル)を形成し、この流路に蓋をすることによって形成される微小空間を、各種液体の混合・反応・分離・精製・抽出・分析などの場に利用する試みが注目されている。
これらの分野に供されるデバイスや装置は、その使用目的に応じて、マイクロミキサ、マイクロリアクタ、μTAS(マイクロトータルアナリシスシステム)等と呼ばれている。
これらの分野に供されるデバイスや装置は、その使用目的に応じて、マイクロミキサ、マイクロリアクタ、μTAS(マイクロトータルアナリシスシステム)等と呼ばれている。
このようなマイクロミキサにおいては、通常、反応流路の等価直径(流路の断面を円に換算したときの直径)が500μmよりも小さいものが微小流路とされている。このように、流路のスケールが微小化してくると、単位体積当たりの表面積が非常に大きくなるという特徴が得られる。
この特長によって、温度、圧力、濃度などの勾配が大きくなるため、熱伝導、物質移動拡散などの効率が向上し、反応系での反応時間の短縮、反応速度の向上等の利点が得られることになる。更に、微小反応で適量合成が可能であり、高い再現性も得られるので、薬品や触媒試薬類などの使用量を大幅に低減することができ、経済的にも有効である。
この特長によって、温度、圧力、濃度などの勾配が大きくなるため、熱伝導、物質移動拡散などの効率が向上し、反応系での反応時間の短縮、反応速度の向上等の利点が得られることになる。更に、微小反応で適量合成が可能であり、高い再現性も得られるので、薬品や触媒試薬類などの使用量を大幅に低減することができ、経済的にも有効である。
このようなマイクロミキサの構造に関する従来技術として、次のような各種の構造が提案されている。
まず、図11(a)及び(b)に示すような、Y型と呼ばれるマイクロミキサが知られている。
図11は、Y型マイクロミキサの構成部材を示し、(a)は蓋板、(b)は基板の平面図である。図12は、図11(a)及び(b)に示す蓋板と基板の接合後のマイクロミキサを、(b)に示すC1−C2矢示線に沿って切断した際の断面図である。
まず、図11(a)及び(b)に示すような、Y型と呼ばれるマイクロミキサが知られている。
図11は、Y型マイクロミキサの構成部材を示し、(a)は蓋板、(b)は基板の平面図である。図12は、図11(a)及び(b)に示す蓋板と基板の接合後のマイクロミキサを、(b)に示すC1−C2矢示線に沿って切断した際の断面図である。
このマイクロミキサは、蓋板1と基板2より構成されており、図11(b)に示すように、基板2に双方でY字状となる微小流路6及び混合流路となる微小流路7が形成されている。また、図11(a)に示すように、蓋板1には、微小流路6の先端部に連結する位置に、各種の溶液、薬品、試薬等を微小流路6に供給するための供給口3,4が設けられ、更に、微小流路7の先端部に連結する位置には、混合又は反応した流体を取り出すための流出口5が形成されている。
そして、図12に示すように、蓋板1と基板2が接合され、供給口3,4から供給された各種液体は、微小流路7で混合され、流出口5から外部に取り出すことができるように、微小流路6及び微小流路7による連続流路が形成されている。
上記のような、等価直径が500μm以下の微小流路内では、レイノルズ数が10〜数100程度と極めて小さいため、流れは層流状態である。よって、上記のようなY型マイクロミキサにおいては、2つの供給口3,4から供給された液体は、微小流路では2層の流れとなり、その2層の混合は拡散に支配されるため、完全に混合するにはある一定の時間を必要とする。
上記のような、等価直径が500μm以下の微小流路内では、レイノルズ数が10〜数100程度と極めて小さいため、流れは層流状態である。よって、上記のようなY型マイクロミキサにおいては、2つの供給口3,4から供給された液体は、微小流路では2層の流れとなり、その2層の混合は拡散に支配されるため、完全に混合するにはある一定の時間を必要とする。
そこで、その混合時間を短縮するため、2層の流れを平面上で多数に分割して、多数の層流を作ることにより接触面積を増やす方法、また、圧電素子駆動などの外力を利用して、混合を促進する方法などが、提案されている。
図13は、従来の他のマイクロミキサの構成を示す図であり、(a)は基板の平面図、(b)は(a)に示す基板に蓋板を接合後のマイクロミキサを、(a)に示すC3−C4矢示線に沿って切断した際の断面図である。
図13は、従来の他のマイクロミキサの構成を示す図であり、(a)は基板の平面図、(b)は(a)に示す基板に蓋板を接合後のマイクロミキサを、(a)に示すC3−C4矢示線に沿って切断した際の断面図である。
この図13に示すマイクロミキサは、前述の基板2の合流部を拡張することによって混合エリア9を設けた基板8を用いて構成したものである。このようなマイクロミキサにおいては、混合エリア9に対して、図示せぬ圧電素子などによる外力を加えることにより、混合の促進を図っている。
この種の従来のマイクロミキサとして、例えば特許文献1及び非特許文献1に記載のものがある。
特開平10−337173号公報
Erbacher,C.;Bessoth,F.G.;Busch,M.;Verpoorte,E.;Manz,A.Mikrochim Acta 1999,133,19.
この種の従来のマイクロミキサとして、例えば特許文献1及び非特許文献1に記載のものがある。
ところで、従来のマイクロミキサにおいては、微小流路に流れる液体は層流となるので、混合は拡散で支配される。このため、層流状態で混合効率を上げるには流れを幾つにも分割して多数の層流を作り出すか、圧電素子駆動などの外力を利用して液体を攪拌する等の方法によって、混合を効率化することが要求される。
しかし、流れを多数に分割した流路を用いる方法においては、混合のための液体が2種類ではなく多元系に及ぶ場合は、それに対応して多数分割流路を複数配置することになるので、流路基板面積が大となってマイクロミキサ全体が大きくなるという問題がある。
しかし、流れを多数に分割した流路を用いる方法においては、混合のための液体が2種類ではなく多元系に及ぶ場合は、それに対応して多数分割流路を複数配置することになるので、流路基板面積が大となってマイクロミキサ全体が大きくなるという問題がある。
また、圧電素子駆動を利用して液体を攪拌する方法においても、圧電素子の変位が小さ過ぎて液体に充分な振動が伝わらず攪拌能力が弱いので充分に混合することが困難である。このため混合時間が長くなるという問題がある。
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、小型化を妨げない構造にて、液体を短時間で充分に混合することができるマイクロミキサを提供することを目的としている。
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、小型化を妨げない構造にて、液体を短時間で充分に混合することができるマイクロミキサを提供することを目的としている。
上記目的を達成するために、本発明の請求項1によるマイクロミキサは、液体を供給する貫通穴による1乃至は複数の供給口及び、液体が流出する貫通穴による1乃至は複数の流出口が形成された蓋板と、前記供給口から供給されて流れる液体を、当該液体が混合される凹領域を介した後に前記流出口から流出するための流路となる溝が形成された基板とを有し、前記基板上に前記凹領域及び前記溝を覆って前記流路が形成されるように前記蓋板を貼り合わせて成るマイクロミキサにおいて、前記凹領域に、外部から加えられる変動圧力に応じて振動する少なくとも1つの弾性体を固定し、前記流路を流れる液体の圧力を変動させ、この変動圧力によって前記弾性体を振動させることを特徴としている。
この構成によれば、液体の変動圧力が弾性体に加わると、弾性体が振動して変位し、この変位によって凹領域内の液体が更に攪拌されるので、液体をより混合することができる。
また、本発明の請求項2によるマイクロミキサは、請求項1において、前記液体の変動圧力は、前記弾性体を、当該弾性体の共振周波数、この共振周波数の整数倍の周波数及び整数分の1の周波数のうち何れか1つの周波数で振動させる圧力であることを特徴としている。
また、本発明の請求項2によるマイクロミキサは、請求項1において、前記液体の変動圧力は、前記弾性体を、当該弾性体の共振周波数、この共振周波数の整数倍の周波数及び整数分の1の周波数のうち何れか1つの周波数で振動させる圧力であることを特徴としている。
この構成によれば、弾性体の伸縮が増幅されるので、凹領域内の液体の攪拌がより促進され、液体がより混合されることになる。
また、本発明の請求項3によるマイクロミキサは、請求項1において、前記弾性体に、電圧印加によって所定周波数で振動する圧電素子を接合したことを特徴としている。
この構成によれば、弾性体が、圧電素子の振動圧力によって振動され、この振動によって凹領域内の液体が更に攪拌されるので、液体をより混合することができる。
また、本発明の請求項3によるマイクロミキサは、請求項1において、前記弾性体に、電圧印加によって所定周波数で振動する圧電素子を接合したことを特徴としている。
この構成によれば、弾性体が、圧電素子の振動圧力によって振動され、この振動によって凹領域内の液体が更に攪拌されるので、液体をより混合することができる。
また、本発明の請求項4によるマイクロミキサは、請求項1において、前記基板に、前記弾性体を振動可能なように、電圧印加によって所定周波数で振動する圧電素子を固定したことを特徴としている。
この構成によれば、弾性体が、圧電素子の振動圧力によって振動され、この振動によって凹領域内の液体が更に攪拌されるので、液体をより混合することができる。
また、本発明の請求項5によるマイクロミキサは、請求項3または4において、前記圧電素子は、前記弾性体を、当該弾性体の共振周波数、この共振周波数の整数倍の周波数及び整数分の1の周波数のうち何れか1つの周波数で振動させるように振動することを特徴としている。
この構成によれば、弾性体が、圧電素子の振動圧力によって振動され、この振動によって凹領域内の液体が更に攪拌されるので、液体をより混合することができる。
また、本発明の請求項5によるマイクロミキサは、請求項3または4において、前記圧電素子は、前記弾性体を、当該弾性体の共振周波数、この共振周波数の整数倍の周波数及び整数分の1の周波数のうち何れか1つの周波数で振動させるように振動することを特徴としている。
この構成によれば、弾性体の伸縮が増幅されるので、凹領域内の液体の攪拌がより促進され、液体がより混合されることになる。
また、本発明の請求項6によるマイクロミキサは、請求項1から5の何れか1項において、前記弾性体の表面を多数の凹凸を有する形状としたことを特徴としている。
この構成によれば、弾性体が振動した際に、液体を凹凸部分で攪乱する効果が生じ、液体の攪拌がより促進される。
また、本発明の請求項7によるマイクロミキサは、請求項1から6の何れか1項において、前記供給口及び前記流出口を、前記凹領域に直接貫通及び前記流路を介して貫通する何れかの状態で、前記蓋板及び前記基板の少なくとも1つに形成することを特徴としている。
この構成によれば、マイクロミキサの用途や仕様装置に応じて、供給口及び流出口の配置を変えることによって、その用途や使用装置に適合したマイクロミキサを提供することができる。
また、本発明の請求項6によるマイクロミキサは、請求項1から5の何れか1項において、前記弾性体の表面を多数の凹凸を有する形状としたことを特徴としている。
この構成によれば、弾性体が振動した際に、液体を凹凸部分で攪乱する効果が生じ、液体の攪拌がより促進される。
また、本発明の請求項7によるマイクロミキサは、請求項1から6の何れか1項において、前記供給口及び前記流出口を、前記凹領域に直接貫通及び前記流路を介して貫通する何れかの状態で、前記蓋板及び前記基板の少なくとも1つに形成することを特徴としている。
この構成によれば、マイクロミキサの用途や仕様装置に応じて、供給口及び流出口の配置を変えることによって、その用途や使用装置に適合したマイクロミキサを提供することができる。
以上説明したように本発明によれば、小型化を妨げない構造にて、液体を短時間で充分に混合することができるという効果がある。
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るマイクロミキサの構成を示す図であり、(a)は基板の平面図、(b)は(a)に示す基板に図示せぬ蓋板を接合後のマイクロミキサを、(a)に示すD1−D2矢示線に沿って切断した際の断面図である。
但し、本明細書中の全図において相互に対応する部分には同一符号を付し、重複部分においては後述での説明を省略する。
図1に示すマイクロミキサが、図13に示した従来のマイクロミキサと異なる点は、混合エリア9の底面に、四角柱形状の弾性体10を設置して固定したことにある。但し、弾性体10の個数は複数個であってもよく、弾性体10の形状は、四角柱である必要は無く、多角形の柱形状、円柱形状などの立体形状であってもよい。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るマイクロミキサの構成を示す図であり、(a)は基板の平面図、(b)は(a)に示す基板に図示せぬ蓋板を接合後のマイクロミキサを、(a)に示すD1−D2矢示線に沿って切断した際の断面図である。
但し、本明細書中の全図において相互に対応する部分には同一符号を付し、重複部分においては後述での説明を省略する。
図1に示すマイクロミキサが、図13に示した従来のマイクロミキサと異なる点は、混合エリア9の底面に、四角柱形状の弾性体10を設置して固定したことにある。但し、弾性体10の個数は複数個であってもよく、弾性体10の形状は、四角柱である必要は無く、多角形の柱形状、円柱形状などの立体形状であってもよい。
弾性体10は、外部からの何らかの圧力振動に共振する例えばシリコーンゴム等によるものである。この弾性体10は、供給口3,4から流出口5へ流れる液体(流体)の変動圧力によって振動されるようになっており、この振動によって混合エリア9内の液体を攪拌させるものである。
また、液体の変動圧力の周波数は、弾性体10の共振周波数或いは、共振周波数の整数倍又は整数分の1に一致させるのが好ましい。このように一致させることによって、弾性体10の伸縮が増幅され、液体の攪拌がより促進されるからである。
また、液体の変動圧力の周波数は、弾性体10の共振周波数或いは、共振周波数の整数倍又は整数分の1に一致させるのが好ましい。このように一致させることによって、弾性体10の伸縮が増幅され、液体の攪拌がより促進されるからである。
このような構成のマイクロミキサにおいて、液体の変動圧力が弾性体10に加わると、弾性体10が振動して変位し、この変位によって混合エリア9内の液体が更に攪拌されるので、液体をより混合することができる。
また、液体の変動圧力の周波数を、弾性体10の共振周波数或いは、共振周波数の整数倍又は整数分の1とすると、弾性体10の伸縮が増幅されるので、混合エリア9内の液体の攪拌がより促進され、液体がより混合されることになる。
従って、第1の実施の形態のマイクロミキサによれば、マイクロミキサの小型化を妨げない構造にて、液体を短時間で充分に混合することができる。
この他、図2に示すように、弾性体10を混合エリア9の底面と対向する蓋板1の面に固定しても、上記同様の効果を得ることができる。
また、液体の変動圧力の周波数を、弾性体10の共振周波数或いは、共振周波数の整数倍又は整数分の1とすると、弾性体10の伸縮が増幅されるので、混合エリア9内の液体の攪拌がより促進され、液体がより混合されることになる。
従って、第1の実施の形態のマイクロミキサによれば、マイクロミキサの小型化を妨げない構造にて、液体を短時間で充分に混合することができる。
この他、図2に示すように、弾性体10を混合エリア9の底面と対向する蓋板1の面に固定しても、上記同様の効果を得ることができる。
(第2の実施の形態)
図3は、本発明の第2の実施の形態に係るマイクロミキサの構成を示す断面図である。
図3に示す第2の実施の形態のマイクロミキサが、図1に示した第1の実施の形態のマイクロミキサと異なる点は、弾性体10の下面に圧電素子11を一体に接合し、これを混合エリア9の底面に設置して固定したことにある。
つまり、弾性体10は、圧電素子11の振動圧力によって振動され、この振動によって混合エリア9内の液体を攪拌させるようになっている。
図3は、本発明の第2の実施の形態に係るマイクロミキサの構成を示す断面図である。
図3に示す第2の実施の形態のマイクロミキサが、図1に示した第1の実施の形態のマイクロミキサと異なる点は、弾性体10の下面に圧電素子11を一体に接合し、これを混合エリア9の底面に設置して固定したことにある。
つまり、弾性体10は、圧電素子11の振動圧力によって振動され、この振動によって混合エリア9内の液体を攪拌させるようになっている。
また、圧電素子11の振動周波数は、弾性体10の共振周波数或いは、共振周波数の整数倍又は整数分の1に一致させるのが好ましい。このように一致させることによって、弾性体10の伸縮が増幅され、液体の攪拌がより促進されるからである。
このような構成のマイクロミキサにおいて、圧電素子11の振動圧力が弾性体10に加わると、弾性体10が振動して変位し、この変位によって混合エリア9内の液体が更に攪拌されるので、液体をより混合することができる。
このような構成のマイクロミキサにおいて、圧電素子11の振動圧力が弾性体10に加わると、弾性体10が振動して変位し、この変位によって混合エリア9内の液体が更に攪拌されるので、液体をより混合することができる。
また、圧電素子11の振動周波数を、弾性体10の共振周波数或いは、共振周波数の整数倍又は整数分の1とすると、弾性体10の伸縮が増幅されるので、混合エリア9内の液体の攪拌がより促進され、液体がより混合されることになる。
従って、第2の実施の形態のマイクロミキサによれば、マイクロミキサの小型化を妨げない構造にて、液体を短時間で充分に混合することができる。
なお、圧電素子11の固定位置は、弾性体10の下面以外でも、上記のように弾性体10を振動可能であれば弾性体10の何処でもよい。
従って、第2の実施の形態のマイクロミキサによれば、マイクロミキサの小型化を妨げない構造にて、液体を短時間で充分に混合することができる。
なお、圧電素子11の固定位置は、弾性体10の下面以外でも、上記のように弾性体10を振動可能であれば弾性体10の何処でもよい。
(第3の実施の形態)
図4は、本発明の第3の実施の形態に係るマイクロミキサの構成を示す断面図である。
図4に示す第3の実施の形態のマイクロミキサが、図1に示した第1の実施の形態のマイクロミキサと異なる点は、上記基板8の混合エリア9の底面に対向する部分を、符号12aで示すような薄板状に成形した基板12を用い、弾性体10の固定部分に対向する薄板状部分12aの下面に圧電素子11を固定したことにある。
図4は、本発明の第3の実施の形態に係るマイクロミキサの構成を示す断面図である。
図4に示す第3の実施の形態のマイクロミキサが、図1に示した第1の実施の形態のマイクロミキサと異なる点は、上記基板8の混合エリア9の底面に対向する部分を、符号12aで示すような薄板状に成形した基板12を用い、弾性体10の固定部分に対向する薄板状部分12aの下面に圧電素子11を固定したことにある。
つまり、弾性体10は、薄板状部分12aを介して圧電素子11の振動圧力によって振動され、この振動によって混合エリア9内の液体を攪拌させるようになっている。
また、圧電素子11の振動周波数は、弾性体10の共振周波数或いは、共振周波数の整数倍又は整数分の1に一致させるのが好ましい。このように一致させることによって、弾性体10の伸縮が増幅され、液体の攪拌がより促進されるからである。
また、圧電素子11の振動周波数は、弾性体10の共振周波数或いは、共振周波数の整数倍又は整数分の1に一致させるのが好ましい。このように一致させることによって、弾性体10の伸縮が増幅され、液体の攪拌がより促進されるからである。
このような構成のマイクロミキサにおいて、圧電素子11の振動圧力が薄板状部分12aを介して弾性体10に加わると、弾性体10が振動して変位し、この変位によって混合エリア9内の液体が更に攪拌されるので、液体をより混合することができる。
また、圧電素子11の振動周波数を、弾性体10の共振周波数或いは、共振周波数の整数倍又は整数分の1とすると、弾性体10の伸縮が増幅されるので、混合エリア9内の液体の攪拌がより促進され、液体がより混合されることになる。
従って、第3の実施の形態のマイクロミキサによれば、マイクロミキサの小型化を妨げない構造にて、液体を短時間で充分に混合することができる。
なお、圧電素子11の固定位置は、弾性体10を上記のように振動可能であれば基板の何処でもよい。
また、圧電素子11の振動周波数を、弾性体10の共振周波数或いは、共振周波数の整数倍又は整数分の1とすると、弾性体10の伸縮が増幅されるので、混合エリア9内の液体の攪拌がより促進され、液体がより混合されることになる。
従って、第3の実施の形態のマイクロミキサによれば、マイクロミキサの小型化を妨げない構造にて、液体を短時間で充分に混合することができる。
なお、圧電素子11の固定位置は、弾性体10を上記のように振動可能であれば基板の何処でもよい。
(第4の実施の形態)
図5は、本発明の第4の実施の形態に係るマイクロミキサの構成を示す断面図である。
図5に示す第4の実施の形態のマイクロミキサが、図1に示した第1の実施の形態のマイクロミキサと異なる点は、上記弾性体10に代え、側面を波型に成形した弾性体13を混合エリア9に載置固定したことにある。
このような弾性体13は、側面が波型の凹凸が多い形状であるため、振動時に液体を凹凸部分で攪乱する効果が生じる。これによって、液体の攪拌がより促進される。
従って、第4の実施の形態のマイクロミキサによれば、マイクロミキサの小型化を妨げない構造にて、液体をより短時間で充分に混合することができる。
この他、弾性体を凹凸の多い表面形状とした変形例を図6に示す。この図6に示す弾性体14は、側面をネジ型に成形したものである。このようなネジ型形状によっても、振動時に液体を凹凸部分で攪乱する効果が生じ、液体の攪拌がより促進される。
図5は、本発明の第4の実施の形態に係るマイクロミキサの構成を示す断面図である。
図5に示す第4の実施の形態のマイクロミキサが、図1に示した第1の実施の形態のマイクロミキサと異なる点は、上記弾性体10に代え、側面を波型に成形した弾性体13を混合エリア9に載置固定したことにある。
このような弾性体13は、側面が波型の凹凸が多い形状であるため、振動時に液体を凹凸部分で攪乱する効果が生じる。これによって、液体の攪拌がより促進される。
従って、第4の実施の形態のマイクロミキサによれば、マイクロミキサの小型化を妨げない構造にて、液体をより短時間で充分に混合することができる。
この他、弾性体を凹凸の多い表面形状とした変形例を図6に示す。この図6に示す弾性体14は、側面をネジ型に成形したものである。このようなネジ型形状によっても、振動時に液体を凹凸部分で攪乱する効果が生じ、液体の攪拌がより促進される。
(第5の実施の形態)
図7は、本発明の第5の実施の形態に係るマイクロミキサの構成を示す断面図である。
図7に示す第5の実施の形態のマイクロミキサが、図1に示した第1の実施の形態のマイクロミキサと異なる点は、上記基板8の液体供給側の各微小流路6の一端に基板8の下面から貫通する各供給口3a,4aと、液体流出側の微小流路7の一端に下面から貫通する流出口5aを形成した基板16と、上記蓋板1の各供給口3,4及び流出口5を無くした何も形成されていない蓋板15とを張り合わせて構成したことにある。
図7は、本発明の第5の実施の形態に係るマイクロミキサの構成を示す断面図である。
図7に示す第5の実施の形態のマイクロミキサが、図1に示した第1の実施の形態のマイクロミキサと異なる点は、上記基板8の液体供給側の各微小流路6の一端に基板8の下面から貫通する各供給口3a,4aと、液体流出側の微小流路7の一端に下面から貫通する流出口5aを形成した基板16と、上記蓋板1の各供給口3,4及び流出口5を無くした何も形成されていない蓋板15とを張り合わせて構成したことにある。
このような、第5の実施の形態のマイクロミキサにおいては、各供給口3a,4a及び流出口5が基板16の下面に開口しているので、第1の実施の形態のマイクロミキサ構成では不可能な用途や仕様部材に適合させることができる。この蓋板15と基板16から成るマイクロミキサ構成は、上記第2〜第4の実施の形態においても適用することができる。
つまり、マイクロミキサの用途や仕様装置に応じて、供給口及び流出口の配置を変えることによって、その用途や使用装置に適合したマイクロミキサを提供することができる。
このような効果を奏する第5の実施の形態の変形例を図8〜図10に示し、その説明を行う。
つまり、マイクロミキサの用途や仕様装置に応じて、供給口及び流出口の配置を変えることによって、その用途や使用装置に適合したマイクロミキサを提供することができる。
このような効果を奏する第5の実施の形態の変形例を図8〜図10に示し、その説明を行う。
図8は、本発明の第5の実施の形態の変形例1に係るマイクロミキサの構成を示す断面図である。
図8に示すマイクロミキサは、基板17を、液体供給側の各微小流路6bと、液体流出側の微小流路7bとを基板側面まで貫通させて形成することによって、基板側面に各供給口3b,4b及び流出口5bを設けて構成したことにある。
図9は、本発明の第5の実施の形態の変形例2に係るマイクロミキサの構成を示す断面図である。
図8に示すマイクロミキサは、基板17を、液体供給側の各微小流路6bと、液体流出側の微小流路7bとを基板側面まで貫通させて形成することによって、基板側面に各供給口3b,4b及び流出口5bを設けて構成したことにある。
図9は、本発明の第5の実施の形態の変形例2に係るマイクロミキサの構成を示す断面図である。
図9に示すマイクロミキサは、基板19を、図1に示した混合エリア9から流出口5に繋がる微小流路を無くして形成し、また、蓋板18を、流出口5cの位置を混合エリア9に貫通する位置にして形成したことにある。
図10は、本発明の第5の実施の形態の変形例3に係るマイクロミキサの構成を示す断面図である。
図10に示すマイクロミキサは、基板21を、図1に示した全ての微小流路6,7を無くし、混合エリア9の底面から下面に貫通して流出口5dを形成し、また、蓋板20を、流出口5cを無くし、各流出口5の位置を混合エリア9に貫通する位置にして形成したことにある。なお、この構成おいては、弾性体10が混合エリア9に対向する蓋板20の面に固定されている。
図10は、本発明の第5の実施の形態の変形例3に係るマイクロミキサの構成を示す断面図である。
図10に示すマイクロミキサは、基板21を、図1に示した全ての微小流路6,7を無くし、混合エリア9の底面から下面に貫通して流出口5dを形成し、また、蓋板20を、流出口5cを無くし、各流出口5の位置を混合エリア9に貫通する位置にして形成したことにある。なお、この構成おいては、弾性体10が混合エリア9に対向する蓋板20の面に固定されている。
1,15,18,20 蓋板
2,8,12,16,17,19,21 基板
3,4,3a,4a,3b,4b 供給口
5,5a,5b,5c,5d 流出口
6,6b,7b 微小流路
9 混合エリア
10,13,14 弾性体
11 圧電素子
12a 薄板状部分
2,8,12,16,17,19,21 基板
3,4,3a,4a,3b,4b 供給口
5,5a,5b,5c,5d 流出口
6,6b,7b 微小流路
9 混合エリア
10,13,14 弾性体
11 圧電素子
12a 薄板状部分
Claims (7)
- 液体を供給する貫通穴による1乃至は複数の供給口及び、液体が流出する貫通穴による1乃至は複数の流出口が形成された蓋板と、前記供給口から供給されて流れる液体を、当該液体が混合される凹領域を介した後に前記流出口から流出するための流路となる溝が形成された基板とを有し、前記基板上に前記凹領域及び前記溝を覆って前記流路が形成されるように前記蓋板を貼り合わせて成るマイクロミキサにおいて、
前記凹領域に、外部から加えられる変動圧力に応じて振動する少なくとも1つの弾性体を固定し、
前記流路を流れる液体の圧力を変動させ、この変動圧力によって前記弾性体を振動させる
ことを特徴とするマイクロミキサ。 - 前記液体の変動圧力は、前記弾性体を、当該弾性体の共振周波数、この共振周波数の整数倍の周波数及び整数分の1の周波数のうち何れか1つの周波数で振動させる圧力である
ことを特徴とする請求項1に記載のマイクロミキサ。 - 前記弾性体に、電圧印加によって所定周波数で振動する圧電素子を接合した
ことを特徴とする請求項1に記載のマイクロミキサ。 - 前記基板に、前記弾性体を振動可能なように、電圧印加によって所定周波数で振動する圧電素子を固定した
ことを特徴とする請求項1に記載のマイクロミキサ。 - 前記圧電素子は、前記弾性体を、当該弾性体の共振周波数、この共振周波数の整数倍の周波数及び整数分の1の周波数のうち何れか1つの周波数で振動させるように振動する
ことを特徴とする請求項3または4に記載のマイクロミキサ。 - 前記弾性体の表面を多数の凹凸を有する形状とした
ことを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載のマイクロミキサ。 - 前記供給口及び前記流出口を、前記凹領域に直接貫通及び前記流路を介して貫通する何れかの状態で、前記蓋板及び前記基板の少なくとも1つに形成する
ことを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載のマイクロミキサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003410813A JP2005169219A (ja) | 2003-12-09 | 2003-12-09 | マイクロミキサ |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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---|---|
JP2005169219A true JP2005169219A (ja) | 2005-06-30 |
Family
ID=34731796
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003410813A Pending JP2005169219A (ja) | 2003-12-09 | 2003-12-09 | マイクロミキサ |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2005169219A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2003
- 2003-12-09 JP JP2003410813A patent/JP2005169219A/ja active Pending
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