JP3630073B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマエッチング方法に係り、エッチングに使用する活性ガス、特に地球温暖化ガスであるPFC、の使用量の低減を図ることのできるプラズマエッチング方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体装置の製造プロセスにおいて、半導体ウェハやその上に堆積された物質を部分的に削り取るエッチングが多く用いられている。そしてエッチングにはプラズマエッチングやスパッタエッチングあるいは反応性イオンエッチングなどの方法が知られており、特にプラズマエッチング(Plasma Etching)は、化学反応を用いているのでエッチングしたい物質だけを取り除く(いわゆる選択エッチング)ことが可能になっている。このためプラズマエッチングは、半導体装置の製造プロセスにおいて広く用いられている。
【0003】
図5は、プラズマエッチングを実施するチャンバの構造を示す説明図である。チャンバ1の内部には、プラズマの発生をなす電極が配置されており、当該電極はチャンバ1の外部に設けられた高周波プラズマ発生装置に接続されている。また同じくチャンバ1の内部には、半導体ウェハ設置部が設けられており、半導体ウェハやその上に堆積された物質についてのエッチングを可能にしている。
【0004】
このようなチャンバ1には、同図に示すように反応ガス供給口2と排出口3とが設けられ、減圧されたチャンバ1の内部に反応ガスを流量制御弁4を介して導入可能にしているとともに、排出口3の後段に設けられた図示しない真空ポンプによって前記反応ガスをチャンバ1から排出させることが可能になっている。なお反応ガスとしては、CF4、CHF3、C4F8などに代表されるPFCが用いられ、絶縁材となる酸化シリコン(SiO2)のエッチングなどを行うようにしている。
【0005】
図6は、チャンバ1の稼働経過を示すグラフである。同図に示すように、チャンバ1にて半導体ウェハへのエッチングを行うには、まず真空ポンプによってチャンバ1内を十分に減圧した後(図中▲1▼の範囲)、流量制御弁4を開き反応ガスをチャンバ1内に導入させる。そしてチャンバ1への反応ガスの導入とともに排出口3から反応ガスを排出させる。なお反応ガスの導入の際、流量制御弁4の開閉度合いを調整し、チャンバ1の圧力があらかじめ設定した値で安定するよう調整する(図中▲2▼の範囲)。
【0006】
このようにチャンバ1内の圧力が任意の値で安定した後は、高周波プラズマ発生装置を稼働させ電極間で反応ガスのプラズマを発生させ、半導体ウェハへのエッチング処理を行う(図中▲3▼の範囲)。そしてあらかじめ設定した時間が経過した後は流量制御弁4を閉じ、反応ガスの供給を停止するとともに高周波プラズマ発生装置を停止させ、エッチング処理を終了する(図中▲4▼の範囲)。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし上述したエッチングの手順では、以下に示すような問題点があった。
【0008】
エッチングを行う前段階(図中▲2▼の範囲)では、チャンバ1内の圧力を任意の値に設定する必要があるが、この設定にはプラズマ処理を行う反応ガスを使用していた。すなわちチャンバの圧力設定中では、プラズマエッチングに寄与しない反応ガスが排出口3から大気中にそのまま排出される形態となるが、コストアップになるし、反応ガスとなる前記PFCは、GWP(地球温暖化係数)が二酸化炭素に対して数千〜数万倍と高く、これを大気中に排出させることは環境上、好ましいものではなかった。
【0009】
本発明は上記従来の問題点に着目し、プラズマエッチングに寄与しないPFCの大気への排出を抑えることのできるプラズマエッチング方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は、チャンバにおける圧力調整をPFC(パーフルオロカーボンおよびそのフッ素の一部が水素に代態された化合物(HFC))以外のもので行い、圧力調整後にPFCに切り換えれば、プラズマエッチングに寄与しないPFCを大気中に排出することができるという知見に基づいてなされたものである。
【0011】
本発明の半導体装置の製造方法は、絶縁材が形成されたウエハをチャンバ内に送り込む工程と、前記チャンバ内を減圧する工程と、前記チャンバ内に不活性ガスを導入し、該チャンバを第1の圧力に設定する工程と、前記チャンバ内の圧力を前記第1の圧力に保つように、前記チャンバ内に活性ガスを導入し、該チャンバに導入されるガスを該不活性ガスから該活性ガスに完全に切り替える工程と、前記チャンバ内に導入されるガスが、前記不活性ガスから前記活性ガスに完全に切り替わるとともに、前記チャンバ内にプラズマを発生させ、前記絶縁材をエッチングする工程と、前記エッチングの終了後、前記活性ガスの導入を停止する工程と、を含む。
【0012】
また、本発明の半導体装置の製造方法は、前記半導体装置の製造方法において、少なくとも前記不活性ガスから前記活性ガスに完全に切り替える工程において、前記チャンバ内に導入される該不活性ガス及び該活性ガスの流量の総量は一定である。
【0013】
請求項3に係るプラズマエッチング方法は、減圧されたチャンバに不活性ガスを通過させ、任意の圧力に前記チャンバを設定した後に、前記不活性ガスにプラズマを発生させるとともに前記チャンバに活性ガスを導入させ、前記不活性ガスと前記活性ガスとの混合体に生じるプラズマにて前記チャンバに設置された半導体ウェハのエッチングを行うことを特徴としている。請求項3に記載のプラズマエッチング方法によれば、チャンバ内の圧力調整を不活性ガスを用いて行うため、圧力調整用として活性ガスを用いる必要が無く、活性ガスの使用量を低減させることができるとともに、エッチングに寄与しない活性ガスが大気中に放出されるのを防止することができる。また圧力調整後に不活性ガスにプラズマを発生させ、その後に不活性ガスから活性ガスの切り換えを行うことから、活性ガスの導入とともに当該活性ガスには(不活性ガスのプラズマ化の影響を受けて)プラズマが発生する。このため活性ガスを導入してからプラズマが安定するまでの時間を必要とせず、活性ガスを無駄にすることなくエッチングに用いることができる。ここで元々のエッチング条件の中に活性ガスだけでなく不活性ガスを含めたプロセスにしているので、エッチング時に不活性ガスから活性ガスに完全に切り換える必要がない。そして前記不活性ガスは、圧力調整時の際から継続してチャンバ内に導入されているので、チャンバ内の圧力や発生するプラズマの安定を図ることができる。
【0014】
また、本発明の半導体装置の製造方法は、前記半導体装置の製造方法において、前記チャンバを前記第1の圧力に設定した後から前記エッチングが終了するまでの間、前記チャンバ内に導入される該不活性ガス及び該活性ガスの流量の総量は一定である。
【0015】
また、本発明の半導体装置の製造方法は、前記半導体装置の製造方法において、前記チャンバを前記第1の圧力に設定した後から前記エッチングが終了するまでの間、前記チャンバ内の圧力は該第1の圧力に設定されている。
【0016】
また、本発明の半導体装置の製造方法は、前記半導体装置の製造方法において、前記活性ガスは PFC である。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、前記半導体装置の製造方法において、前記 PFC は、 CF 4 、 CHF 3 、 SF 6 、 NF 3 、 C 2 F 6 、 C 3 F 8 、及び C 4 F 8 のいずれかである。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、前記半導体装置の製造方法において、前記不活性ガスは、ヘリウムである。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、前記半導体装置の製造方法において、前記活性ガスに酸素が加えられている。
さらに、本発明の半導体装置の製造方法は、前記半導体装置の製造方法において、前記不活性ガスに酸素が加えられている。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下に本発明に係るプラズマエッチング方法に好適な具体的実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【0018】
図1は、本実施の形態に係るプラズマエッチング装置の構造を示す説明図である。同図に示すように本実施の形態に係るプラズマエッチング装置10は、半導体ウェハを取込可能とする真空チャンバ12と、当該真空チャンバ12の内部に設置され真空チャンバ12内に投入された半導体ウェハへのプラズマ処理をなすプラズマ処理部14と、真空チャンバ12の外部に設置され不活性ガスとなるヘリウムガス(以下、ヘリウムと称す)を送気可能にするヘリウム供給部16と、当該ヘリウム供給部16と同様に真空チャンバ12の外部に設置されPFCとなる四フッ化炭素(CF4)を送気可能にするPFC供給部18と、これらヘリウム供給部16およびPFC供給部18と真空チャンバ12との間に設けられ、当該真空チャンバ12の内部にヘリウムおよび四フッ化炭素を導入可能とする切り換え手段20と、当該切り換え手段20によって真空チャンバ12内に導入されたヘリウムおよび四フッ化炭素を前記真空チャンバ12より排出させる排出口22とから構成されている。
【0019】
真空チャンバ12は、真空予備室に隣接されて設けられているとともに、前記真空チャンバ12の排出口22の後段には真空ポンプが接続されている(ともに図示せず)。このため真空チャンバ12においては、一定の値に減圧された真空予備室からプラズマエッチングの対象となる半導体ウェハ26の受け渡しが可能になっており、また前記半導体ウェハ26を真空チャンバ12内に取り込んだ後は、真空ポンプを稼働させ、真空チャンバ12の真空度をあらかじめ設定した値に設定することができる。
【0020】
真空チャンバ12の内部に設置されるプラズマ処理部14は、一対の平行平板型の電極28を備えており、片側の電極28を真空チャンバ12の外部に設置された高周波電源30に接続するとともに、他方の電極28を接地電位とし、両電極28の間にプラズマを発生できるようにしている。なお本実施の形態では、半導体ウェハ26の設置場所を高周波電源30が接続された側の電極28の上方に設定しており、両電極28の間に生じるプラズマにて、半導体ウェハ26へのエッチング処理が行えるようになっている。
【0021】
ヘリウム供給部16とPFC供給部18とは圧力容器からなり、この圧力容器に設けられたバルブ(図示せず)を開くことで、これらガスを送気可能にしている。そしてこれらヘリウム供給部16とPFC供給部18は、切り換え手段20に接続されており、この切り換え手段20を介して真空チャンバ12の内部にガスを導入可能にしている。
【0022】
切り換え手段20は、真空チャンバ12内に導入するガスをヘリウムから四フッ化炭素に切り換えたり(あるいはその逆も可能)、ヘリウムの流量を任意の量だけ絞るとともに、絞られたヘリウムの量に相当する四フッ化炭素を導入することも可能になっている(但し真空チャンバ12に導入されるガス全体の流量は一定である)。なお切り換え手段20は、一般的に流量比例制御弁21で構成されており、外部電圧の変動により開閉度を調整することで、ガスの導入比率を設定できるようになっている。
【0023】
このように構成されてプラズマエッチング装置10を用いて半導体ウェハ26のエッチング処理を行う手順を説明する。
【0024】
図2は、真空チャンバ12内の圧力変化と、前記真空チャンバ12内に導入されるガスの流量変化を示すグラフである。
【0025】
プラズマエッチング装置10を用いて半導体ウェハ26のエッチング処理を行う場合には、まず真空予備室から半導体ウェハ26を真空チャンバ12内に送り込んだ後、図示しない真空ポンプを稼働させて、真空チャンバ12内の圧力を任意の値に設定する。そしてこの状態を図2においては▲1▼の範囲で示しており、同図(2)においては、ヘリウム供給部16やPFC供給部18から真空チャンバ12内にガスが導入されていないことから、流量は0(零)になっている。
【0026】
こうして真空チャンバ12内が任意の値に設定された後は、切り換え手段20を稼働させて真空チャンバ12内にヘリウムを導入させ、真空チャンバ12内の圧力を任意の値で安定させる。この状態を同図において▲2▼に示す。
【0027】
そして真空チャンバ12内の圧力がヘリウムによって安定した後は、切り換え手段20を稼働させ、真空チャンバ12内に導入されるガスをヘリウムから四フッ化炭素に切り換える。なおこのガスの切換の際、真空チャンバ12に導入されるガスの総量は一定であるものとし、真空チャンバ12内の圧力を一定に保てるようにしている。なお同図においては、上記ガスの切り換え作業を▲3▼の範囲で示している。
【0028】
ところで同図(2)に示すように▲3▼の範囲において、真空チャンバ12内に導入されるヘリウムが四フッ化炭素に完全に切り換わった後は、高周波電源30を稼働させ、一対の電極28の間にプラズマを発生させる。ここで高周波電源30の稼働タイミングを同図において破線32で示す。このように破線32の時点では、真空チャンバ12内のガスは全てヘリウムから四フッ化炭素に切り換わっており、この状態でプラズマを発生させることで、半導体ウェハ26の表面に形成された絶縁材(酸化シリコン:SiO2)のエッチングを行うことができる。そして破線32の時点から▲3▼の範囲が終了するまでの間、エッチング作業を行った後、▲3▼の範囲が終了する時点で高周波電源30の稼働を停止させ、エッチング作業を終了させる。
【0029】
このようにエッチング作業が終了した後は、切り換え手段20の稼働を停止させ、真空チャンバ12内にガスが導入されないようにし、既に真空チャンバ12に存在するガスは、真空ポンプにて吸引し、▲1▼と同様の圧力を真空チャンバ12内で得る。この一連の状態を同図において▲4▼に示す。
【0030】
そして真空チャンバ12が▲1▼と同様の圧力に達した後は、隣接する真空予備室に、エッチング処理済みの半導体ウェハ26を送り出すとともに、新規の半導体ウェハ26を再び真空チャンバ12へと取り込み、▲1▼→▲2▼→▲3▼→▲4▼の一連の作業を繰り返す。
【0031】
上述したようなプラズマエッチング方法では、真空チャンバ12の圧力調節をヘリウムにて行った後、四フッ化炭素に切り換えるので、プラズマエッチングに寄与しない四フッ化炭素を殆ど無くすことが可能になる。
【0032】
ところで上述した工程では、ヘリウムにて真空チャンバ12内の圧力安定を図った後、PFCに切り換えてプラズマエッチングを行うようにしたが、これに酸素を加えるようにしてもよい。すなわちエッチング対象物の表面にレジストが存在している場合には、まずヘリウムにて真空チャンバ12内の圧力調整を行い、その後、PFCと酸素との混合体を真空チャンバ12内に導入させエッチングを行うようにすればよい。
【0033】
またエッチング対象物の表面にレジストが無い場合には、酸素をヘリウムとともに導入してもよい(レジストに酸素が接すると、前記レジストは除去される)。そしてこのように酸素を加える方法は、層間の平坦性を向上させるエッチバックや、LDDのサイドウォールの形成などに用いることができる。
【0034】
図3は、図2で示したプラズマエッチング方法の応用例を示すグラフである。同図においては、図2との相違点は、破線32の位置が▲3▼に存在せず▲2▼の範囲にあるという点である。
【0035】
すなわち図3においては、真空チャンバ12内にヘリウムだけが導入されている際に高周波電源30を稼働させ、プラズマを発生させるようにしている。このようにヘリウムが導入されている際にプラズマを発生させ、真空チャンバ12内のガスを順次ヘリウムから四フッ化炭素に切り換えていけば、プラズマ化したヘリウムの影響を受け、導入された四フッ化炭素は直ぐにプラズマ化される。このためプラズマが安定するまでの時間にプラズマエッチングに寄与しない四フッ化炭素が真空チャンバ12の外に排出されることがなく、前記四フッ化炭素の使用量の削減を図ることができる。
【0036】
なお本実施の形態では不活性ガスとしてヘリウムを用いることとしたがこの形態に限定されることもなく、プラズマ化した際に半導体ウェハ26や、真空チャンバ12の内壁にスパッタリング等が発生しないものであれば他の不活性ガスを用いるようにしてもよい。
【0037】
図4は、図3で示したプラズマエッチング方法の応用例を示すグラフである。同図においては、図3との相違点は、真空チャンバ12内の圧力安定後に、ガスを完全に切り換えずに不活性ガスとPFCとの混合体によりプラズマエッチングを行うという点である。
【0038】
すなわち同図における▲3▼の時点で切り換え手段20を不活性ガスからPFCに完全に切り換えるのではなく、不活性ガスの流量を若干絞るとともに、それを補うようにPFCを導入させる。そして不活性ガスとPFCとの混合体でプラスマを発生させ、半導体ウェハ26のエッチングを行うというものである。このような場合でも▲2▼の時点で不活性ガスによる圧力調整が行われており、プラズマエッチングに寄与しないPFCが真空チャンバ12の外に排出されることがない。このためPFCの使用量の削減を図ることができる。
【0039】
なお図4における具体例を以下に示す。
【0040】
図4における具体例では、不活性ガスをヘリウムとし、PFCをCF4とCHF3とする。そして同図における▲2▼の時点では真空チャンバ12に導入されるガスの比率をヘリウム100%とし真空チャンバ12内の圧力調整と安定化を図る。そして真空チャンバ12内の圧力が安定した後は、▲3▼の時点に示すようにヘリウムの導入量を絞るとともに(導入比率:100%→50%)、CF4(導入比率:25%)とCHF3(導入比率:25%)とを導入させ、ヘリウムを含んだ状態でプラズマエッチングを行う。なお発明者は上記ガスを用い半導体ウェハ28の表面に形成された酸化膜(SiO2)をエッチングするのに、高周波電源のパワーを900W(ワット)とした場合、エッチングレートが450〜500nmとなることを確認している。
【0041】
ところで本実施の形態では、PFCをCF4とCHF3として説明を行ったが、前記PFCは、この2種類だけでなく、SF6、NF3、C2F6、C3F8、C4F8などに示されるように様々な種類が存在する。そしてこれらPFCに対しても上述した方法を用いることで、使用量の低減を図れることはいうまでもない。
【0042】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係るプラズマエッチング方法によれば、減圧されたチャンバに不活性ガスを通過させ、任意の圧力に前記チャンバを設定した後に、前記不活性ガスを活性ガスに切り換えるとともに当該活性ガスにプラズマを発生させ、前記チャンバに設置された半導体ウェハのエッチングを行ったり、
減圧されたチャンバに不活性ガスを通過させ、任意の圧力に前記チャンバを設定した後に、前記不活性ガスにプラズマを発生させ、当該プラズマの発生後に前記不活性ガスを活性ガスに切り換え、前記チャンバに設置された半導体ウェハのエッチングを行ったり、
減圧されたチャンバに不活性ガスを通過させ、任意の圧力に前記チャンバを設定した後に、前記不活性ガスにプラズマを発生させるとともに前記チャンバに活性ガスを導入させ、前記不活性ガスと前記活性ガスとの混合体に生じるプラズマにて前記チャンバに設置された半導体ウェハのエッチングを行ったことから、活性ガスの使用量の低減を図ることができるとともに、プラズマエッチングに寄与しない活性ガスの大気への排出を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態に係るプラズマエッチング装置の構造を示す説明図である。
【図2】真空チャンバ12内の圧力変化と、前記真空チャンバ12内に導入されるガスの流量変化を示すグラフである。
【図3】図2で示したプラズマエッチング方法の応用例を示すグラフである。
【図4】図3で示したプラズマエッチング方法の応用例を示すグラフである。
【図5】プラズマエッチングを実施するチャンバの構造を示す説明図である。
【図6】チャンバ1の稼働経過を示すグラフである。
【符号の説明】
1………チャンバ
2………反応ガス供給口
3………排出口
4………流量制御弁
10………プラズマエッチング装置
12………真空チャンバ
14………プラズマ処理部
16………ヘリウム供給部
18………PFC供給部
20………切り換え手段
21………流量比例制御弁
22………排出口
26………半導体ウェハ
28………電極
30………高周波電源
32………破線
Claims (9)
- 絶縁材が形成されたウエハをチャンバ内に送り込む工程と、
前記チャンバ内を減圧する工程と、
前記チャンバ内に不活性ガスを導入し、該チャンバを第1の圧力に設定する工程と、
前記チャンバ内の圧力を前記第1の圧力に保つように、前記チャンバ内に活性ガスを導入し、該チャンバに導入されるガスを該不活性ガスから該活性ガスに完全に切り替える工程と、
前記チャンバ内に導入されるガスが、前記不活性ガスから前記活性ガスに完全に切り替わるとともに、前記チャンバ内にプラズマを発生させ、前記絶縁材をエッチングする工程と、
前記エッチングの終了後、前記活性ガスの導入を停止する工程と、を含む、半導体装置の製造方法。 - 請求項1において、
少なくとも前記不活性ガスから前記活性ガスに完全に切り替える工程において、前記チャンバ内に導入される該不活性ガス及び該活性ガスの流量の総量は一定である、半導体装置の製造方法。 - 請求項1において、
前記チャンバを前記第1の圧力に設定した後から前記エッチングが終了するまでの間、前記チャンバ内に導入される該不活性ガス及び該活性ガスの流量の総量は一定である、半導体装置の製造方法。 - 請求項1から3のいずれかにおいて、
前記チャンバを前記第1の圧力に設定した後から前記エッチングが終了するまでの間、前記チャンバ内の圧力は該第1の圧力に設定されている、半導体装置の製造方法。 - 請求項1から4のいずれかにおいて、前記活性ガスは PFC である、半導体装置の製造方法。
- 請求項5において、前記 PFC は、 CF 4 、 CHF 3 、 SF 6 、 NF 3 、 C 2 F 6 、 C 3 F 8 、及び C 4 F 8 のいずれかである、半導体装置の製造方法。
- 請求項1から6のいずれかにおいて、
前記不活性ガスは、ヘリウムである、半導体装置の製造方法。 - 請求項1から7のいずれかにおいて、
前記活性ガスに酸素が加えられている、半導体装置の製造方法。 - 請求項1から7のいずれかにおいて、
前記不活性ガスに酸素が加えられている、半導体装置の製造方法。
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