JP3619084B2 - 液体噴射記録ヘッドおよびその組み立て方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体噴射記録方式において、微細な吐出口から記録液を液滴として吐出させて記録紙等の被記録媒体に付着させることによって記録を行なうための液体噴射記録ヘッドおよびその組み立て方法に関し、特に、複数の吐出口や液流路を形成した部材を押圧して固定するための押圧部材を備えた液体噴射記録ヘッドおよびその組み立て方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の一般的な液体噴射記録ヘッドは、記録液を吐出する複数の微細な吐出口、各吐出口に連通する液流路および各液流路に配置された吐出エネルギー発生素子を具備し、記録情報に対応した駆動信号を吐出エネルギー発生素子に印加し、該吐出エネルギー発生素子に対応する液流路内の記録液に吐出エネルギーを付与することによって、吐出口から記録液を液滴として吐出させ、印字記録を行なうように構成されている。
【０００３】
この種の液体噴射記録ヘッドは、半導体製造技術を用いて高精度に形成された複数の吐出エネルギー発生素子（電気熱変換素子等）を配列した素子基板と、レーザ加工等の精密加工手段により高精度に複数の吐出口が形成されたオリフィスプレートを有し、複数の吐出口にそれぞれ連通する複数の液流路溝、各液流路溝に連通する共通液室および液受け口が形成された溝付き天板とから構成され、素子基板の吐出エネルギー発生素子と溝付き天板の液流路溝および吐出口をそれぞれ対応するように位置決めした状態で素子基板と溝付き天板を組み合わせて接合した後に、両者の接合状態を吐出口近傍において均一にさせるようにばね等の押圧部材で押圧し、素子基板と溝付き天板の接合面を密着固定して形成している。
【０００４】
ところで、このような素子基板と溝付き天板および押圧部材の組み合わせにおいて、吐出エネルギー発生素子と吐出口および液流路溝の位置決めは、ミクロンオーダーでの高精度が要求されており、素子基板と溝付き天板の位置合わせや組み合わせを精密に位置調整しうる液体噴射記録ヘッドの製造方法としては、特開平０４−１７１１３０号公報、特開平０４−１７１１２６号公報、特開平０４−１７１１６３号公報、特開平０５−００４１３６号公報に開示された方法が知られている。これらの製造方法は、一つの組み立て装置上において、先ず、素子基板上に形成されている吐出エネルギー発生素子の位置を画像認識して記憶し、次に、液吐出用の吐出口および液流路溝等を形成した溝付き天板を素子基板上に仮組みして、溝付き天板に形成されている吐出口または液流路溝の位置を吐出エネルギー発生素子の位置と対比し、素子基板と溝付き天板を相対的に移動させることにより、吐出エネルギー発生素子と吐出口および液流路溝の位置を合致させ、これらの位置関係がずれないように紫外線硬化方式の接着剤等により仮固定する。その後、次の工程において、仮固定した素子基板と溝付き天板のユニットにばね等の押圧部材を組み付けて、素子基板と溝付き天板の接合面を密着固定している。
【０００５】
また、素子基板と溝付き天板との密着接合に関して押圧部材を用いずに接着剤等によって完成させることも可能であるが、接着剤が液流路に流れ込み記録液であるインク成分を変化させたり、液吐出性能を劣化させる恐れがある。
【０００６】
押圧部材を用いた液体噴射記録ヘッドとしては、例えば、特開平４−２４７９５３号公報に記載されたものがあり、該公報に記載された押圧部材は、吐出口の配列方向に延び、天板の吐出口近傍に作用する加圧部と、加圧部を溝付き天板の素子基板との接合方向に向けて付勢するＵ字状弾性部と、Ｕ字状弾性部の両側部に設けられてベースプレートに係合する係合部とから構成されており、この押圧部材を用いた溝付き天板と素子基板の接合方法としては、押圧部材のＵ字状弾性部の加圧部近傍などを支持して押圧部材を変形させチャージしておき、この状態で、素子基板と溝付き天板を仮固定したベ−スプレ−トに組み合わせ、その後、押圧部材の支持を開放して、押圧部材の加圧部を溝付き天板に対して押圧させることにより、溝付き天板と素子基板を接合している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、液体噴射記録装置は高精細化が進み、液体噴射記録ヘッドにおいても吐出口の位置精度を向上させ、記録液滴の着弾精度を高めることが望まれている。
【０００８】
このように記録液滴の着弾精度を高めるためには、ベースプレートからなる基準部材上に固定された素子基板と、この素子基板に接合されることにより吐出エネルギー発生素子に対応する複数の液流路溝および記録液を吐出する複数の吐出口を有する溝付き天板と、この溝付き天板を素子基板に押圧する押圧部材とから構成される液体噴射記録ヘッドにおいて、溝付き天板と素子基板の接合精度および安定性などの接合状態を向上させなければならない。
【０００９】
しかしながら、上述した従来の液体噴射記録ヘッドにおいては、溝付き天板と素子基板を圧着接合する工程において、次のような未解決の課題があった。
【００１０】
（１） 素子基板と溝付き天板を紫外線硬化方式の接着剤等により仮固定するため、紫外線硬化型接着剤のもつ硬化時の体積収縮作用により素子基板と溝付き天板の接合精度が変化する場合があり、今日求められている高精細用ヘッドにおいては不具合を生ずる場合があった。また、紫外線硬化型の接着剤の成分が記録ヘッドの記録液であるインク中に溶融してインクの組成を変化させ印字品位を劣化させる。さらに、接着剤硬化時に照射する紫外線の一部が外部に漏れ、周囲の作業者の眼精疲労を引き起こす恐れがあり、そして、接着剤硬化のために一定時間紫外線を照射する必要があり装置タクトを長くし、紫外線照射用の光源を装置に組み込む必要があるため、装置コストを高くする。
【００１１】
（２） また、押圧部材をベースプレートに組み付ける際には、あらかじめ位置決めされた溝付き天板に押圧部材が触れないようにする必要があり、そのため、押圧部材がベースプレートに取り付けられる時には、押圧部材をチャージした状態とされていた。しかしながら、このチャージ状態が長時間にわたると押圧部材の押圧力の低下や、押圧部分の変形を起こす虞があるため、チャージ状態となる時間はできるだけ短くなることが望まれていた。
【００１２】
そこで、本発明は、上記の従来技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、押圧部材を用いて溝付き天板を素子基板に対して高精度で安定かつ確実に接合することができ、高精細かつ高品位な画質が得られながらも容易に製造できる液体噴射記録ヘッドおよびその組み立て方法を提供することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射記録ヘッドは、記録液を吐出するための吐出エネルギーを発生する複数の吐出エネルギー発生素子が形成され、基準部材上に固定された素子基板と、該素子基板と接合することにより前記吐出エネルギー発生素子に対応する複数の液流路および該液流路に連通して記録液を吐出する複数の吐出口を構成する溝付き天板と、該溝付き天板を前記素子基板に対し押圧するために前記溝付き天板と前記素子基板を挟んで前記基準部材に係合する押圧部材とを有する液体噴射記録ヘッドにおいて、前記押圧部材は、前記吐出口の配列方向に延び前記吐出口近傍で前記溝付き天板を押圧する加圧部と該加圧部を弾性的に支持する弾性部と前記基準部材に係合する係合部とを有し、前記加圧部の両端部にばね付勢力をチャージするための変形作動部を配設したことを特徴とする。
【００１４】
本発明の液体噴射記録ヘッドにおいて、前記押圧部材は、溝付き天板を素子基板に接合する前に、素子基板が固定された前記基準部材に組み付けられることが好ましい。
【００１５】
本発明の液体噴射記録ヘッドにおいては、前記変形作動部を前記加圧部よりも下方に延設された変形作動突片として形成することができ、あるいは、前記変形作動部を前記加圧部よりも下方に延設されるとともに前記加圧部より液吐出方向の後方に屈曲された変形作動突片として形成することもできる。
【００１６】
本発明の液体噴射記録ヘッドにおいては、前記押圧部材が素子基板が固定された基準部材に組み付けられ、未だ前記押圧部材のばね付勢力がチャージされていない状態において、前記押圧部材の加圧部は、前記基準部材に固定されている前記素子基板に接触しないように構成されていることが好ましく、また、前記押圧部材が素子基板が固定された基準部材に組み付けられ、未だ前記押圧部材のばね付勢力がチャージされていない状態において、前記押圧部材の前記変形作動部の少なくとも一部が前記基準部材に支持され、前記押圧部材の加圧部は前記基準部材に固定されている前記素子基板に接触しないように構成されていることが好ましい。
【００１７】
本発明の液体噴射記録ヘッドにおいては、前記基準部材に組み付けられた前記押圧部材は、前記変形作動部を介して、前記基準部材の下方からまたは前記押圧部材の上方からばね付勢力がチャージされることが好ましく、前記押圧部材のばね付勢力をチャージするための作動部材が通過しうる切り欠き部が前記基準部材の両側部に設けられていることが好ましい。
【００１８】
本発明の液体噴射記録ヘッドにおいては、前記基準部材に固定された前記素子基板と前記押圧部材の加圧部との間に前記溝付き天板が挿入され、前記押圧部材の加圧部が前記溝付き天板の吐出口近傍を押圧する状態において、前記押圧部材の変形作動部は前記基準部材から離間した状態に位置するように構成されていることが好ましい。
【００１９】
本発明の液体噴射記録ヘッドにおいて、前記溝付き天板は、前記液流路に連通する複数の分離された共通液室を形成するための凹部と、前記複数の共通液室に対応した複数の記録液供給口を有しており、前記押圧部材は、前記加圧部と弾性部との間に、前記複数の記録液供給口に連通する複数の供給管が挿通される開口部を有し、該開口部は前記複数の供給管に対応して複数に分割されていることが好ましい。
【００２０】
さらに、本発明の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法は、記録液を吐出するための吐出エネルギーを発生する複数の吐出エネルギー発生素子が形成された基準部材上に固定されている素子基板に対し、該素子基板と接合することにより前記吐出エネルギー発生素子に対応する複数の液流路および該液流路に連通して記録液を吐出する複数の吐出口を構成する溝付き天板を接合して押圧部材のばね付勢力で固定して組み立てる液体噴射記録ヘッドの組み立て方法において、前記素子基板が固定されている前記基準部材に前記押圧部材を組み付け、前記押圧部材のばね付勢力をチャージして前記溝付き天板を挿入しうる間隔を保持した後に、該間隔を介して前記溝付き天板を前記素子基板上に組み込み、ばね付勢力のチャージを解放することにより前記押圧部材のばね付勢力により前記溝付き天板を前記素子基板に対して押圧し接合固定することを特徴とする。
【００２１】
本発明の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法において、前記押圧部材は、前記溝付き天板の吐出口配列方向に延び前記吐出口近傍で前記溝付き天板を押圧する加圧部と、該加圧部を弾性的に支持する弾性部と、前記基準部材に係合する係合部と、前記加圧部の両端部に設けられたばね付勢力をチャージするための変形作動部とを有することが好ましい。
【００２２】
本発明の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法においては、前記押圧部材が前記基準部材に組み付けられ、未だ前記押圧部材のばね付勢力がチャージされていない状態において、前記押圧部材の加圧部は前記基準部材に固定されている前記素子基板に接触しないように構成され、あるいは、前記押圧部材の前記加圧部から下方に延設した前記変形作動部の少なくとも一部が前記基準部材に支持され、前記押圧部材の加圧部が前記基準部材に固定されている前記素子基板に接触しないように構成されていることが好ましい。
【００２３】
本発明の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法においては、前記基準部材に組み付けられた前記押圧部材のばね付勢力のチャージは、前記基準部材の下方からあるいは前記押圧部材の上方から行なうことができ、また、前記基準部材の下方から前記基準部材の両側部に形成された切り欠き部を介して前記押圧部材の変形作動部を係合支持することにより行なうことも可能である。
【００２４】
本発明の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法においては、前記基準部材に組み付けた前記押圧部材と前記素子基板との間に前記溝付き天板を挿入した後に、前記溝付き天板と前記素子基板との相対的な移動により両者の位置調整を行ない、その後に、前記押圧部材のばね付勢力により前記溝付き天板を前記素子基板に対して押圧し接合固定することが好ましい。
【００２５】
【作用】
本発明の液体噴射記録ヘッドおよびその組み立て方法によれば、押圧部材において、溝付き天板に接触し押圧する加圧部の両端部に変形作動部や変形作動突片を配設することにより、押圧部材を基準部材に組み付けた後に、変形作動部や変形作動突片を介して押圧部材のばね付勢力をチャージすることを可能とし、また、加圧部は傾斜角度をもって溝付き天板を押圧し、溝付き天板を素子基板に対し押圧するとともに引き込む方向にも力を加えることができ、溝付き天板と素子基板を確実にかつ安定して接合することができる。そして、溝付き天板と素子基板の接合に際して、素子基板を固定した基準部材に押圧部材を先ず組み付け、押圧部材のばね付勢力をチャージして溝付き天板を挿入しうる間隔を保持した後に、この間隔を介して溝付き天板を所定の位置へ挿入配置し、そして、押圧部材のばね付勢力を徐々に解放することにより、押圧部材のばね付勢力で溝付き天板と素子基板の接合を行なう。これにより、従来のように、溝付き天板と素子基板を接着剤等により仮止めした上で押圧部材で押圧接合する必要がなく、接合工程を簡略化でき、さらに、溝付き天板と素子基板の精度の良い位置調整が可能となり、接合精度を向上させることができる。
【００２６】
以上のように、本発明によれば、溝付き天板と素子基板を押圧部材を用いて高精度で安定かつ確実に接合することができ、溝付き天板と素子基板の接合精度や安定性などの接合状態を向上させることができ、液体噴射記録ヘッドとして、吐出口の位置精度および液滴の着弾精度を高め、高精細かつ高品位の画質を得ることができる。
【００２７】
そして、液体噴射記録ヘッドの組み立て工程を簡略化できるため、歩留まりを向上させるとともに、タクトアップを図ることができる。
【００２８】
なお、本発明においてチャージとは、ばねが天板に接合された際に正規のばね加重が発生する位置よりも過剰にたわませ保持することを意味する。
【００２９】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、複数の実施例に基づき、図面に参照して説明する。
【００３０】
（実施例１）
図１は、本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドの要部の構成を分解して示す分解斜視図であり、図２は、本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドを構成する押圧部材の斜視図であり、図３は、本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドを構成する溝付き天板の斜視図である。
【００３１】
本実施例における液体噴射記録ヘッドは、図１に図示するように、押圧部材１と、記録液を吐出する複数の吐出口２ａおよび各吐出口２ａにそれぞれ連通する複数の液流路溝２ｂ（図１には不図示）等を有する溝付き天板２と、基準部材であるベースプレート４の所定の位置に取り付けられ、記録液に吐出エネルギーを付与する電気熱変換素子等の吐出エネルギー発生素子３ａを有する素子基板３とから概略構成され、溝付き天板２と素子基板３を押圧部材１にて押圧して接合することにより組み立てられる。
【００３２】
押圧部材１の詳細な構造は、図２に図示するように、吐出口配列方向に延び溝付き天板２の吐出口近傍の上面に接触して押圧する加圧部１ｂ、弾性的に押圧力を作用させるための断面Ｕ字状に湾曲されたＵ字状弾性部１ｃ、Ｕ字状弾性部１ｃの上面の両側方から下方へ屈曲され、基準部材であるベースプレート４に設けられている係止部４ｂに係合する爪片を有する一対の係合部１ｄ、および一対の係合部１ｄの上方部分から後方へ延びそして下方に屈曲され、基準部材であるベースプレート４の表面に当接して押圧部材１に作用する力をベースプレート４上で支える一対の当接部１ｅとからなり、そして、加圧部１ｂの両端には押圧（ばね）付勢力をチャージするための変形作動突片（弾性変形支持部）１ａが設けられ、変形作動突片１ａは、加圧部１ｂの溝付き天板２に接触する部位よりも後方（すなわち、液吐出方向に対して反対方向）に屈曲されそして加圧部１ｂの溝付き天板２に接触する部位よりも下方に延設されている。
【００３３】
また、電気熱変換素子等の吐出エネルギー発生素子３ａを有する素子基板３は、基準部材であるベースプレート４の表面の所定の位置に接着剤にて接着固定されている。そして、ベースプレート４の両側部には、図１に図示するように、押圧部材１の係合部１ｄに対応する部位に係止部４ｂが設けられているとともに、押圧部材１の変形作動突片１ａに対応する部位に切り欠き部４ａが設けられており、この切り欠き部４ａは、押圧部材１の変形作動突片１ａに係合支持することによって押圧部材１の加圧部１ｂを変形させるチャージピン等の変形部材を通すために設けられている。
【００３４】
溝付き天板２は、図３に図示するように、素子基板３に形成されている吐出エネルギー発生素子３ａに対応して設けられた複数の液流路溝２ｂ、各液流路溝２ｂに対して記録液を供給するために各液流路溝２ｂに連通した複数の共通液室２ｃ、および各液流路溝２ｂに連通した吐出口２ａ（図３には不図示）が形成されているオリフィスプレート２ｄを備えている。
【００３５】
これらの溝付き天板２と素子基板３は、溝付き天板２の吐出口２ａや液流路溝２ｂと素子基板３の吐出エネルギー発生素子３ａとの位置関係がそれぞれ個々に対応する所定の位置関係になるように位置合わせして接合される。
【００３６】
押圧部材１は、その一対の係合部１ｄの爪片をベースプレート４の係止部４ｂに係合させることによりベースプレート４に組み付けられ、一対の当接部１ｅはベースプレート４の表面に当接する。押圧部材１の変形作動突片１ａはベースプレート４側からの支持によって移動され、その後に、変形作動突片１ａの支持を解放することによって、押圧部材１の押圧（ばね）付勢力により押圧部材１の加圧部１ｂが溝付き天板２の吐出口近傍で液流路溝２ｂを構成する部分の上面を線接触で押圧し、溝付き天板２と素子基板３とを圧着接合する。
【００３７】
次に、液体噴射記録ヘッドの溝付き天板２と素子基板３の組み立て方法を図４および図５に基づいて工程順に説明する。
【００３８】
（１） 図４の（ａ）は、素子基板３をベースプレート４に接着固定した状態を示すものであり、溝付き天板２と押圧部材１を組み付ける前の状態である。ベースプレート４に接着固定された素子基板３に形成されている吐出エネルギー発生素子３ａの位置を図示しない治具上に固定された上部の観察光学系２０により測定し、その位置測定データは記憶される。
【００３９】
（２） 図４の（ｂ）は、ベースプレート４に押圧部材１を組み付けた状態を示すものである。押圧部材１の一対の係合部１ｄが、ベースプレート４の係止部４ｂに組み付けられ、押圧部材１の一対の当接部１ｅがベースプレート４の表面に当接する。そして、その際に、押圧部材１の先端位置が、接触式変位センサー、レーザ変位センサーあるいは画像認識等の測長機構２１により測定され、この測定結果に基づいて、押圧部材１は、予め測定されている素子基板３上の吐出エネルギー発生素子３ａの位置測定データと比較することにより、適宜調整して素子基板３に対し正確な位置に組み付けられる。
【００４０】
このとき、押圧部材１は、図６に明瞭に図示するように、その変形作動突片１ａの下端部の一部がベースプレート４に支持されているため、加圧部１ｂは素子基板３の表面から離れた状態に維持され、この加圧部１ｂが素子基板３に干渉して素子基板３の表面を損傷させることを防止することができる。
【００４１】
（３） 次いで、ベースプレート４に組み付けられた押圧部材１は、ばねチャージ機構のチャージピン２２により、溝付き天板２を挿入するのに可能な寸法まで押圧部材１の加圧部１ｂを持ち上げ保持する。押圧部材１の加圧部１ｂを持ち上げた状態を図４の（ｃ）に示す。このとき、チャージピン２２は、ベースプレート４の下方からベースプレート４の両側部に設けられている切り欠き部４ａを通して上方前方に斜めに移動され、押圧部材１の変形作動突片１ａを係合支持して上方へ移動させる（図６も参照のこと）。これにより、押圧部材１の加圧部１ｂも同時に持ち上げられ、押圧部材１のばね付勢力がチャージされる。このとき、ばねチャージ機構により押圧部材１をチャージするためのチャージピン２２が押圧部材１と接触する部位は、押圧部材１の加圧部１ｂに近いほうが望ましい。
【００４２】
（４） 溝付き天板２を、チャージピン２２により溝付き天板２を挿入するのに可能な寸法まで持ち上げられて保持されている押圧部材１の加圧部１ｂと素子基板３との間に挿入する（図４の（ｄ）参照）。
【００４３】
（５） 図５の（ｅ）は素子基板３と押圧部材１の間に溝付き天板２を挿入した状態を示すものである。ここで、溝付き天板２は横方向に移動可能な状態にあり、その位置調整が行なわれる。すなわち、溝付き天板２の吐出口２ａの前方に吐出口の位置を測定するための第２の観察光学系２３が配置され、この第２の観察光学系２３により溝付き天板２の吐出口２ａの位置を測定する。また同時に、図５の（ｆ）に図示するように、溝付き天板２の両側方に配置された天板位置あわせ機構２４が溝付き天板２に接触し、第２の観察光学系２３からの溝付き天板２の位置測定情報と予め測定されている吐出エネルギー発生素子３ａの位置測定データに基づいて、溝付き天板２の位置を微調整し、素子基板３の吐出エネルギー発生素子３ａと溝付き天板２の吐出口２ａおよび液流路溝２ｂの位置を正確に合致させる。
【００４４】
（６） 素子基板３の吐出エネルギー発生素子３ａの位置と溝付き天板２の吐出口２ａおよび液流路溝２ｂの位置調整が終了した後に、ばねチャージ機構のチャージピン２２を下方へ移動させることにより変形作動突片１ａを下降させ、押圧部材１のばね付勢力を解放する。これによって、押圧部材１の加圧部１ｂは溝付き天板２の液流路溝に対応する上面の部分に接触かつ押圧し、溝付き天板２と素子基板３を密着固定する（図５の（ｇ）および（ｈ）参照）。このとき、押圧部材１の変形作動突片１ａは、図４の（ｂ）においてはベースプレート４の表面に接触しているけれども、溝付き天板２の組み付けが終わった段階では、ベースプレート４に接触せず、押圧部材１のばね付勢力を溝付き天板２に伝えることが可能となる（図７も参照のこと）。
【００４５】
以上のように、溝付き天板２を素子基板３に接合する際に、素子基板３を固定したベースプレート１に押圧部材１を先に取り付け、ベースプレート４の切り欠き部４ａからチャージピン２２を通して押圧部材１の変形作動突片１ａを係合支持して押圧部材１を変形させた後に、溝付き天板２を所定の位置へ挿入配置し、そして、押圧部材１の変形作動突片１ａの係合支持を徐々に解放することにより、押圧部材１のばね付勢力で溝付き天板２と素子基板３の接合を行なうことができ、従来のように、溝付き天板と素子基板を接着剤等により仮止めした上で押圧部材で押圧接合する必要がなく、接合工程を簡略化でき、さらに、接合精度を向上させることができる。
【００４６】
次に、押圧部材１による溝付き天板２に対する押圧状態について説明する。
【００４７】
押圧部材１の加圧部１ｂの傾きである素子基板３の垂直方向に対する角度θは、図７に示すように、約１０°となるように設けられており、押圧部材１から溝付き天板２に作用する荷重方向は、素子基板３に垂直な方向である天板２を素子基板３に押しつける向きのみでなく、素子基板３に平行に天板２を引き込む向きにも作用している。この引き込み力は、押圧部材１の加圧部１ｂの両側端に設けた変形作動突片１ａを係合支持することで発生する。例えば、図６に図示するように、押圧部材１の加圧部１ｂを無荷重状態から変形作動突片１ａをチャージピン２２により係合支持して移動させると、加圧部角度θが増大するため、この変形の反力として素子基板３に垂直な方向だけでなく、加圧部角度θを小さくさせる向きである天板引き込み方向にも荷重が発生する。このように、変形作動突片１ａに対する係合支持を解放して加圧部１ｂを溝付き天板２に押圧させると、素子基板３への押圧と溝付き天板２への引き込みが行なわれる。この引き込み力の発生により、溝付き天板２を素子基板３から脱落させることなく、確実にかつ安定して溝付き天板２と素子基板３とを接合させることができる。したがって、溝付き天板２と素子基板３の高精度な配置を行えば高精度な状態での接合が可能となる。
【００４８】
また、チャージピン２２による変形作動突片１ａの移動により押圧部材１をチャージした後に溝付き天板２を挿入し、チャージピン２２を戻して押圧部材１の加圧部１ｂを溝付き天板２に押圧接触させ溝付き天板２と素子基板３を密着接合させるときに、チャージピン２２は、図４の（ｃ）、図５の（ｇ）および図６に示すように、若干角度をつけて上下方向に移動させているが、この角度によって、溝付き天板２と押圧部材１（特に、加圧部１ｂ）が接触する位置を調整することができる。この角度を大きくとれば、押圧部材１をチャージしたときに押圧部材１の加圧部１ｂの先端が前方に位置し、溝付き天板２を押圧するときに溝付き天板２を引き込む方向の力が大きく働くため、溝付き天板２を接合した後の温度変化や衝撃等によって生じる溝付き天板２と素子基板３のずれを小さくすることができる。しかしながら、その引き込み力をあまりに大きくすれば、逆に溝付き天板２と素子基板３がずれたり、溝付き天板２が変形する可能性もあるので、注意が必要である。
【００４９】
また、変形作動突片１ａの幅が広ければ、ベースプレート４の切り欠き４ａを通るチャージピン２２により確実に変形作動突片１ａを係合支持することができる。しかし、変形作動突片１ａの幅を長くしすぎると、チャージピン２２による係合支持によって、変形作動突片１ａの移動変形は生じるけれども、加圧部１ｂの移動変形が追従せず、天板引き込み力があまり発生しないだけでなく、押圧精度も悪化する場合があるので、注意が必要である。
【００５０】
本実施例におけるベースプレート４において、チャージピン２２を挿入する場所を切り欠き４ａとすることにより、天板接合後に溝付き天板２の共通液室２ｃに記録液タンクからの記録液を供給する流路部材（チップタンク）６（図８の（ａ）参照）を押圧部材１の上部から組み合わせる場合に、押圧部材１の係合部１ｄ等の脚部を流路部材６の脚部で覆うことができる。図８の（ｂ）に流路部材６を組み付けた状態を示す。こうすることによって、溝付き天板２と素子基板３の接合部を封止剤により封止する場合に、封止剤が押圧部材１の脚部を伝ってベースプレート４の裏面に流れ出すことを防ぐことができる。従来のものでは、押圧部材の脚部からの封止剤の流出を防ぐために、あらかじめ脚部の部分を封止剤で埋めておく工程が必要であったが、本実施例のベースプレート４の切り欠き構造と、流路部材６の脚部の構造によって、ばね脚部封止工程を省略することができる。
【００５１】
次に、本実施例に基づく押圧部材の他の例について、図９および図１０を参照して説明する。
【００５２】
押圧部材における変形作動突片１ａと加圧部１ｂの関係は、天板引き込み力を考慮すれば、変形作動突片１ａは加圧部１ｂと同一平面状に配置されることが望ましい。そこで、図９に図示する押圧部材１Ａにおいては、変形作動突片１ａと加圧部１ｂを同一平面状に配置するものであり、その他の構成は前述した実施例のものと同じである。
【００５３】
また、図９に図示する押圧部材１Ａおよび図２に図示する押圧部材１においては、その変形作動突片１ａは、加圧部１ｂの溝付き天板を押圧する部位よりも下方に延設されており、押圧部材１、１Ａがベースプレート４に取り付けられたとき、図４の（ｂ）および図６に図示するように、変形作動突片１ａがベースプレート４に当接支持されることにより、加圧部１ｂはベースプレート４上の素子基板３に接触することがなく、素子基板３の損傷を確実に防止できるという効果を有するものがあるが、押圧部材１、１Ａがベースプレート４に取り付けられたときに、押圧部材の無負荷状態において、加圧部１ｂが素子基板３の表面に接触する恐れがない場合には、変形作動突片１ａを加圧部１ｂよりも下方に延設して設ける必要はないことはいうまでもない。この場合、加圧部１ｂの両端部をチャージピンが係合する変形作動部とすることができる。
【００５４】
図１０に図示する押圧部材１Ｂは、その変形作動突片１ａの支持をベースプレート４の反対側から（すなわち、図中、上方から）引張り支持するように構成されている。このように上方から変形作動突片１ａを支持することにより、ベースプレート４の形状に依存することなく押圧部材１Ｂを弾性変形支持することができる。ただし、荷重支持方向が素子基板３に対し垂直な場合、弾性変形支持点が加圧部１ｂの根元曲げによる変形中心より吐出口側になければ、天板引き込み方向に荷重が発生しない。すなわち、弾性変形支持点が吐出口側にあれば安定した押圧接合ができる。
【００５５】
（実施例２）
本実施例は、液流路溝配列方向に幅広の記録ヘッドにおいても溝付き天板を素子基板に対して液流路溝列全域にわたり一様に押圧して、溝付き天板と素子基板の接合状態を液流路溝列全域にわたり良好にすることができる液体噴射記録ヘッドの構成に特徴を有するものである。
【００５６】
図１１は、本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドの要部の構成を示す斜視図であり、図１２は、本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドの要部の構成を示す断面図であり、図１３は、本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドを構成する押圧部材の斜視図であり、図１４は、本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドを構成する溝付き天板の斜視図であり、図１５は、本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドに流路部材を組み付けた状態を示し、（ａ）はその斜視図であり、（ｂ）はその断面図である。なお、本実施例においては、前述した実施例と同様の部材には同一符号を付して説明する。
【００５７】
近年、液体噴射記録装置には、多種の記録液の媒体上での重ね合わせによる高画質化に伴ない、さらなる記録スピードの高速化が求められている。この記録スピードの高速化は、記録ヘッドの１スキャンでの記録領域を幅広にすることにより行なうことができる。
【００５８】
しかしながら、記録幅が１２．７ｍｍ（ ０．５インチ）を超えるほどの複数の液流路溝を具備する溝付き天板においては、溝付き天板の液流路溝列の中央部付近にて吐出させた記録液の液滴が、液流路溝列の端部に比べて、所望の大きさより小さくなってしまうという現象が生じるものがあった。本発明者らの更なる解析によると、記録幅を従来より広げることにより、押圧部材の開口部（打ち抜き部）が過剰に液流路溝列方向に広がることになる。さらに、従来の１２．７ｍｍ（ ０．５インチ）以下の記録幅の記録ヘッドと比較して、単位液流路溝当たりの押圧荷重を同等に確保しようとすると、押圧部材の荷重を強く設定しなければならない。これらにより、溝付き天板押圧時に、天板押圧端部に変形が生じる虞があると考えられる。この押圧部材の天板押圧端部の変形は、液流路溝列の中央部付近が素子基板に対して上方向に湾曲する傾向にあり（本発明者らの実験では、その変形量は数１０μｍを示すものがあった）、液流路溝列の中央部での溝付き天板と素子基板の接合不良の原因となり、吐出エネルギーのロスが発生し、記録液の吐出性能を劣化させることになる。特に、記録ヘッドが複数色の記録液を有する場合には、記録液毎に設けられた複数の共通液室間の分離壁の剛性が高く、上述の問題が発生しやすい傾向があった。
【００５９】
そこで、本実施例では、素子基板に対して溝付き天板を押圧する押圧部材において、その加圧部と弾性部との間に設ける開口部を、溝付き天板の複数の記録液供給口にそれぞれ対向するように、複数の開口部に分割することにより、隣接する開口部間の梁となる部分が加圧部の補強的作用をなし、前述の押圧部材の天板押圧端部の湾曲変形を低減する効果が得られるようにするものである。このようにして、液体噴射記録ヘッドの更なる高度の要求性能を満たすべく、複数の共通液室と記録幅が１２．７ｍｍ（ ０．５インチ）を超えるような複数の液流路溝を具備する溝付き天板と、吐出エネルギー発生素子を配置した素子基板との接合状態を液流路溝列全域にわたり良好にすることができ、高精細かつ高品位の画質を得ることができる。
【００６０】
以下、本実施例について、図１１ないし図１５を参照して詳細に説明する。
【００６１】
本実施例における液体噴射記録ヘッドは、図１１および図１２に図示するように、押圧部材１Ｃ（図１３）と、記録液を吐出する複数の吐出口２ａおよび各吐出口２ａに連通する複数の液流路溝２ｂ等を有する溝付き天板２（図１４）と、記録液に吐出エネルギーを付与する電気熱変換素子等の吐出エネルギー発生素子を有する素子基板３と、該素子基板３を所定の位置に固定する基準部材であるベースプレート４とから概略構成され、押圧部材１Ｃの加圧部１ｂが、押圧部材１Ｃの押圧（ばね）付勢力により、溝付き天板２の吐出口近傍で液流路溝２ｂを構成する部分の上面を線接触で押圧し、溝付き天板２と素子基板３とを圧着接合している。
【００６２】
溝付き天板２は、図１４に示すように、記録液を吐出する複数の吐出口（２ａ）が形成されているオリフィスプレート２ｄ、素子基板３に形成されている吐出エネルギー発生素子に対応して設けられて吐出口（２ａ）に連通する複数の液流路溝２ｂ、各液流路溝２ｂへ記録液を供給するための一時溜となる複数の共通液室２ｃ、および各共通液室２ｃに連通して複数の共通液室２ｃへ記録液をそれぞれ供給するための複数の記録液供給口２ｅを具備している。
【００６３】
押圧部材１Ｃの詳細な構造は、図１３に示すように、吐出口列方向に延び溝付き天板２の吐出口近傍上面に当接して押圧する加圧部１ｂ、該加圧部１ｂの両端に設けられた変形作動突片１ａ、弾性的に押圧力を作用させるための断面Ｕ字状に湾曲されたＵ字状弾性部１ｃ、Ｕ字状弾性部１ｃの上面の両側から下方へ屈曲され、ベースプレート（基準部材）４に設けられた係止部４ｂに係合する爪片を有する一対の係合部１ｄ、および一対の係合部１ｄの上方部分から後方へ延びそして下方に屈曲され、ベースプレート４の表面に当接して押圧部材１Ｃに作用する力をベースプレート４上で支える一対の当接部１ｅから構成され、また、加圧部１ｂとＵ字状弾性部１ｃとの間には、溝付き天板２の記録液供給口２ｅと上流の記録液タンク（図示しない）との液供給経路を確保するために複数の開口部１ｆが設けられている。
【００６４】
上記溝付き天板２の記録液供給口２ｅと記録液タンクとの接続は、図１５の（ａ）および（ｂ）に示すように、流路部材６を介して行なわれる。流路部材６は、溝付き天板２の複数の記録液供給口２ｅに対応するように設けられた複数の供給管６ａと、各々の供給管６ａの上流側に開口され記録液タンク等に接続される供給口６ｂが設けられている。流路部材６の複数の供給管６ａのそれぞれは、図１５の（ｂ）の断面図に示すように、押圧部材１Ｃの開口部１ｆに挿通され、溝付き天板２の記録液供給口２ｅに端部が当接することにより、記録液の溝付き天板２への供給経路を構成している。このように、流路部材６の供給管６ａを溝付き天板２の記録液供給口２ｅと接続するためには、押圧部材１Ｃにおいて開口部１ｆが配設されていることが必要となる。
【００６５】
本実施例では、溝付き天板２の複数の記録液供給口２ｅの数（４個）に対応して、押圧部材１Ｃの開口部１ｆを図１１および図１３に示すように複数（４個）に区分し、隣接する開口部１ｆ間の梁となる部分に加圧部１ｂの補強的役割を担わせることにより、加圧部１ｂの湾曲変形を低減させることができる。
【００６６】
本発明者らの実験によると、２５．４ｍｍ（１インチ）の記録幅を有する記録ヘッドの場合に、開口部１ｆを１つとする押圧部材を用いると、押圧部材の加圧部１ｂの湾曲変形量は数１０μｍであるのに対して、本実施例にように４個の開口部１ｆに分割して設けた押圧部材１Ｃを用いる際には、押圧部材１Ｃの加圧部１ｂの湾曲変形量は１０μｍ以下に抑えることができた。
【００６７】
次に、本実施例の変形例について、図１６および図１７を用いて説明する。
【００６８】
図１６は、本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドを構成する他の押圧部材の斜視図であり、図１７の（ａ）および（ｂ）は、図１６に図示する押圧部材とともに用いることができる溝付き天板の概略的な斜視図である。
【００６９】
図１６に図示する押圧部材１Ｄにおいては、加圧部１ｂとＵ字状弾性部１ｃとの間に２つの開口部１ｆ−１と１ｆ−２が設けられており、その他の構成は、図１３に示す押圧部材１Ｃと同様である。このように２つの開口部１ｆ−１と１ｆ−２を備えた押圧部材１Ｄは、図１７の（ａ）に示すような２つの記録液供給口２ｅを備える溝付き天板２に有効であることはいうまでもない。
【００７０】
また、溝付き天板２の記録液供給口２ｅが２つより多い場合でも、例えば、図１７の（ｂ）に示すように、４つの記録液供給口２ｅ−１〜２ｅ−４が互いの間隔に偏りをもって配列されている場合には、記録液供給口２ｅ−１と２ｅ−２を一組として１つの開口部１ｆ−１に対応させ、他方の記録液供給口２ｅ−３と２ｅ−４を一組として他方の開口部１ｆ−２に対応させることができる。このとき、押圧部材１Ｄの２つの開口部１ｆ−１と１ｆ−２の間の間隔は可能な限り幅広に設けることができ、補強効果を最大限生じさせることができる。
【００７１】
次に、本発明の液体噴射記録ヘッドにおける押圧部材１（〜１Ｄ）、溝付き天板２および素子基板３を組み立てる組み立て装置について、図１８を参照して説明する。
【００７２】
この組み立て装置は、素子基板の搭載されたベースプレートを治具上に載置して位置決めし、また、完成したユニットを治具から取り出すベースプレート排出供給ステーションＳ１、押圧部材をベースプレート上に供給し組み付けてから溝付き天板が挿入できる位置まで開放させる押圧部材組み付けステーションＳ２、溝付き天板を仮位置決めして素子基板上に挿入する天板供給ステーションＳ３、素子基板の吐出エネルギー発生素子と吐出口および液流路溝の位置を合致させ、押圧部材を閉じて押圧部材のばね圧で溝付き天板を押圧し固定するための天板位置合わせステーションＳ４、およびこれらの各ステーションを制御するための制御ステーションＳ５から構成されている。
【００７３】
図１８に図示する組み立て装置を用いて液体噴射記録ヘッドの組み立てる手順につき、再度図４および図５を参照しながら説明する。
【００７４】
先ず、ベースプレート排出供給ステーションＳ１において、素子基板３を予め接着固定したベースプレート４が本組み立て装置に投入され、ベースプレート４は治具上に位置決めされ、そして、観察光学系２０により素子基板３に形成されている吐出エネルギー発生素子３ａの位置を測定し、その位置測定データは記憶される（図４の（ａ）参照）。
【００７５】
押圧部材組み付けステーションＳ２において、ベースプレート４に押圧部材１を組み付け、押圧部材１の先端位置が、測長機構２１により測定され、適宜調整することにより、素子基板３（さらには、溝付き天板２）に対する正確な位置に組み付けられ、その後、ばねチャージ機構のチャージピン２２により、溝付き天板２を挿入するのに可能な寸法まで押圧部材１の加圧部１ｂを持ち上げ保持する（図４の（ｂ）および（ｃ）参照）。
【００７６】
そして、チャージピン２２により押圧部材１の加圧部１ｂを持ち上げた状態で、天板供給ステーションＳ３へ移動され、ここで、溝付き天板２が押圧部材１の加圧部１ｂと素子基板３との間に挿入され（図４の（ｄ）参照）、溝付き天板２は横方向の位置調整が行なわれる（図５の（ｅ）および（ｆ）参照）。その後、チャージピン２２により押圧部材１をばね付勢力を解放することによって、押圧部材１の加圧部１ｂは溝付き天板２の上部に接触かつ押圧し、溝付き天板２と素子基板３を密着固定する（図５の（ｇ）および（ｈ）参照）。
【００７７】
このように組み立てられ完成した液体噴射記録ヘッドは、排出供給ステーションＳ１へ移送され、組み立て装置から排出される。
【００７８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、押圧部材を用いて溝付き天板と素子基板を高精度で安定かつ確実に接合することができ、溝付き天板と素子基板の接合精度や安定性などの接合状態を向上させることができ、吐出口の位置精度および液滴の着弾精度を高め高精細かつ高品位の画質を得ることができる。
【００７９】
本発明に基づく押圧部材において、溝付き天板に接触し押圧する加圧部の両端部に変形作動部や変形作動突片を配設することにより、押圧部材を基準部材に組み付けた後に、変形作動部や変形作動突片を介して押圧部材のばね付勢力をチャージすることを可能とし、また、加圧部は傾斜角度をもって溝付き天板を押圧し、溝付き天板を素子基板に対し押圧するとともに引き込む方向にも力を加えることができ、溝付き天板と素子基板を確実にかつ安定して接合することができる。また、押圧部材の加圧部とＵ字状弾性部との間に、複数の共通液室を備えた溝付き天板へ複数種の記録液を供給する複数の記録液供給管を挿通するための開口部を複数に区分して設け、隣接する開口部間の梁となる部分に加圧部の補強的作用をもたせることにより、幅広の溝付き天板を液流路溝列全域にわたり一様に押圧することができ、溝付き天板と素子基板の接合状態を液流路溝列全域にわたり良好にすることが可能となり、幅広の記録ヘッドにおいても高精細かつ高品位の画質を得ることができる。
【００８０】
溝付き天板と素子基板の接合に際して、素子基板を固定した基準部材に押圧部材を先ず組み付け、押圧部材のばね付勢力をチャージした後に、溝付き天板の所定の位置へ挿入配置し、そして、押圧部材のばね付勢力を徐々に解放して、押圧部材のばね付勢力で溝付き天板と素子基板の接合を行なうことにより、従来のように、溝付き天板と素子基板を接着剤等により仮止めした上で押圧部材で押圧接合する必要がなく、接合工程を簡略化でき、さらに、溝付き天板と素子基板の精度の良い位置調整が可能となり、接合精度を向上させることができる。
【００８１】
さらに、液体噴射記録ヘッドの組み立て工程を簡略化できるため、歩留まりを向上させるとともに、タクトアップを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドの要部の構成を分解して示す分解斜視図である。
【図２】本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドを構成する押圧部材の斜視図である。
【図３】本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドを構成する溝付き天板の斜視図である。
【図４】本発明の液体噴射記録ヘッドにおける溝付き天板と素子基板および押圧部材の組み立て方法を工程順に図示する工程図である。
【図５】本発明の液体噴射記録ヘッドにおける溝付き天板と素子基板および押圧部材の組み立て方法を工程順に図示する図４に続く工程図である。
【図６】本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドにおいて、ベースプレートに押圧部材を組み付けた状態を示す斜視図である。
【図７】本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドにおいて、溝付き天板と素子基板および押圧部材を組み立てた状態を押圧部材の一部を破断して示す構成図である。
【図８】（ａ）は本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドに用いる流路部材の斜視図であり、（ｂ）は本発明の実施例１に基づき流路部材を組み付けて構成した液体噴射記録ヘッドの斜視図である。
【図９】本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドを構成する他の押圧部材の斜視図である。
【図１０】本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドを構成するさらに他の押圧部材の斜視図である。
【図１１】本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドの要部の構成を示す斜視図である。
【図１２】本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドの要部の構成を示す断面図である。
【図１３】本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドを構成する押圧部材の斜視図である。
【図１４】本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドを構成する溝付き天板を共通液室側から見た斜視図である。
【図１５】（ａ）は本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドに流路部材を組み付けた状態を示す斜視図であり、（ｂ）は同じくその断面図である。
【図１６】本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドを構成する他の押圧部材の斜視図である。
【図１７】（ａ）および（ｂ）は、図１６に図示する押圧部材とともに用いることができる溝付き天板を概略的に図示する斜視図である。
【図１８】本発明の液体噴射記録ヘッドの組み立て装置の構成を示す概略図である。
【符号の説明】
１、１Ａ〜１Ｄ 押圧部材
１ａ 変形作動突片（弾性変形支持部）
１ｂ 加圧部
１ｃ Ｕ字状弾性部
１ｄ 係合部
１ｅ 当接部
１ｆ、１ｆ−１、１ｆ−２ 開口部
２ 溝付き天板
２ａ 吐出口
２ｂ 液流路溝
２ｃ 共通液室
２ｄ オリフィスプレート
２ｅ、２ｅ−１〜２ｅ−４ 記録液供給口
３ 素子基板
３ａ 吐出エネルギー発生素子
４ ベースプレート（基準部材）
４ａ 切り欠き部
４ｂ 係止部
６ 流路部材
６ａ 供給管
６ｂ 供給口
２０、２３ 観察光学系
２１ 測長機構
２２ チャージピン
２４ 天板位置合わせ機構
Ｓ１ 排出供給ステーション
Ｓ２ 押圧部材組み付けステーション
Ｓ３ 天板供給ステーション
Ｓ４ 天板位置合わせステーション
Ｓ５ 制御ステーション
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体噴射記録方式において、微細な吐出口から記録液を液滴として吐出させて記録紙等の被記録媒体に付着させることによって記録を行なうための液体噴射記録ヘッドおよびその組み立て方法に関し、特に、複数の吐出口や液流路を形成した部材を押圧して固定するための押圧部材を備えた液体噴射記録ヘッドおよびその組み立て方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の一般的な液体噴射記録ヘッドは、記録液を吐出する複数の微細な吐出口、各吐出口に連通する液流路および各液流路に配置された吐出エネルギー発生素子を具備し、記録情報に対応した駆動信号を吐出エネルギー発生素子に印加し、該吐出エネルギー発生素子に対応する液流路内の記録液に吐出エネルギーを付与することによって、吐出口から記録液を液滴として吐出させ、印字記録を行なうように構成されている。
【０００３】
この種の液体噴射記録ヘッドは、半導体製造技術を用いて高精度に形成された複数の吐出エネルギー発生素子（電気熱変換素子等）を配列した素子基板と、レーザ加工等の精密加工手段により高精度に複数の吐出口が形成されたオリフィスプレートを有し、複数の吐出口にそれぞれ連通する複数の液流路溝、各液流路溝に連通する共通液室および液受け口が形成された溝付き天板とから構成され、素子基板の吐出エネルギー発生素子と溝付き天板の液流路溝および吐出口をそれぞれ対応するように位置決めした状態で素子基板と溝付き天板を組み合わせて接合した後に、両者の接合状態を吐出口近傍において均一にさせるようにばね等の押圧部材で押圧し、素子基板と溝付き天板の接合面を密着固定して形成している。
【０００４】
ところで、このような素子基板と溝付き天板および押圧部材の組み合わせにおいて、吐出エネルギー発生素子と吐出口および液流路溝の位置決めは、ミクロンオーダーでの高精度が要求されており、素子基板と溝付き天板の位置合わせや組み合わせを精密に位置調整しうる液体噴射記録ヘッドの製造方法としては、特開平０４−１７１１３０号公報、特開平０４−１７１１２６号公報、特開平０４−１７１１６３号公報、特開平０５−００４１３６号公報に開示された方法が知られている。これらの製造方法は、一つの組み立て装置上において、先ず、素子基板上に形成されている吐出エネルギー発生素子の位置を画像認識して記憶し、次に、液吐出用の吐出口および液流路溝等を形成した溝付き天板を素子基板上に仮組みして、溝付き天板に形成されている吐出口または液流路溝の位置を吐出エネルギー発生素子の位置と対比し、素子基板と溝付き天板を相対的に移動させることにより、吐出エネルギー発生素子と吐出口および液流路溝の位置を合致させ、これらの位置関係がずれないように紫外線硬化方式の接着剤等により仮固定する。その後、次の工程において、仮固定した素子基板と溝付き天板のユニットにばね等の押圧部材を組み付けて、素子基板と溝付き天板の接合面を密着固定している。
【０００５】
また、素子基板と溝付き天板との密着接合に関して押圧部材を用いずに接着剤等によって完成させることも可能であるが、接着剤が液流路に流れ込み記録液であるインク成分を変化させたり、液吐出性能を劣化させる恐れがある。
【０００６】
押圧部材を用いた液体噴射記録ヘッドとしては、例えば、特開平４−２４７９５３号公報に記載されたものがあり、該公報に記載された押圧部材は、吐出口の配列方向に延び、天板の吐出口近傍に作用する加圧部と、加圧部を溝付き天板の素子基板との接合方向に向けて付勢するＵ字状弾性部と、Ｕ字状弾性部の両側部に設けられてベースプレートに係合する係合部とから構成されており、この押圧部材を用いた溝付き天板と素子基板の接合方法としては、押圧部材のＵ字状弾性部の加圧部近傍などを支持して押圧部材を変形させチャージしておき、この状態で、素子基板と溝付き天板を仮固定したベ−スプレ−トに組み合わせ、その後、押圧部材の支持を開放して、押圧部材の加圧部を溝付き天板に対して押圧させることにより、溝付き天板と素子基板を接合している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、液体噴射記録装置は高精細化が進み、液体噴射記録ヘッドにおいても吐出口の位置精度を向上させ、記録液滴の着弾精度を高めることが望まれている。
【０００８】
このように記録液滴の着弾精度を高めるためには、ベースプレートからなる基準部材上に固定された素子基板と、この素子基板に接合されることにより吐出エネルギー発生素子に対応する複数の液流路溝および記録液を吐出する複数の吐出口を有する溝付き天板と、この溝付き天板を素子基板に押圧する押圧部材とから構成される液体噴射記録ヘッドにおいて、溝付き天板と素子基板の接合精度および安定性などの接合状態を向上させなければならない。
【０００９】
しかしながら、上述した従来の液体噴射記録ヘッドにおいては、溝付き天板と素子基板を圧着接合する工程において、次のような未解決の課題があった。
【００１０】
（１） 素子基板と溝付き天板を紫外線硬化方式の接着剤等により仮固定するため、紫外線硬化型接着剤のもつ硬化時の体積収縮作用により素子基板と溝付き天板の接合精度が変化する場合があり、今日求められている高精細用ヘッドにおいては不具合を生ずる場合があった。また、紫外線硬化型の接着剤の成分が記録ヘッドの記録液であるインク中に溶融してインクの組成を変化させ印字品位を劣化させる。さらに、接着剤硬化時に照射する紫外線の一部が外部に漏れ、周囲の作業者の眼精疲労を引き起こす恐れがあり、そして、接着剤硬化のために一定時間紫外線を照射する必要があり装置タクトを長くし、紫外線照射用の光源を装置に組み込む必要があるため、装置コストを高くする。
【００１１】
（２） また、押圧部材をベースプレートに組み付ける際には、あらかじめ位置決めされた溝付き天板に押圧部材が触れないようにする必要があり、そのため、押圧部材がベースプレートに取り付けられる時には、押圧部材をチャージした状態とされていた。しかしながら、このチャージ状態が長時間にわたると押圧部材の押圧力の低下や、押圧部分の変形を起こす虞があるため、チャージ状態となる時間はできるだけ短くなることが望まれていた。
【００１２】
そこで、本発明は、上記の従来技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、押圧部材を用いて溝付き天板を素子基板に対して高精度で安定かつ確実に接合することができ、高精細かつ高品位な画質が得られながらも容易に製造できる液体噴射記録ヘッドおよびその組み立て方法を提供することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射記録ヘッドは、記録液を吐出するための吐出エネルギーを発生する複数の吐出エネルギー発生素子が形成され、基準部材上に固定された素子基板と、該素子基板と接合することにより前記吐出エネルギー発生素子に対応する複数の液流路および該液流路に連通して記録液を吐出する複数の吐出口を構成する溝付き天板と、該溝付き天板を前記素子基板に対し押圧するために前記溝付き天板と前記素子基板を挟んで前記基準部材に係合する押圧部材とを有する液体噴射記録ヘッドにおいて、前記押圧部材は、前記吐出口の配列方向に延び前記吐出口近傍で前記溝付き天板を押圧する加圧部と該加圧部を弾性的に支持する弾性部と前記基準部材に係合する係合部とを有し、前記加圧部の両端部にばね付勢力をチャージするための変形作動部を配設したことを特徴とする。
【００１４】
本発明の液体噴射記録ヘッドにおいて、前記押圧部材は、溝付き天板を素子基板に接合する前に、素子基板が固定された前記基準部材に組み付けられることが好ましい。
【００１５】
本発明の液体噴射記録ヘッドにおいては、前記変形作動部を前記加圧部よりも下方に延設された変形作動突片として形成することができ、あるいは、前記変形作動部を前記加圧部よりも下方に延設されるとともに前記加圧部より液吐出方向の後方に屈曲された変形作動突片として形成することもできる。
【００１６】
本発明の液体噴射記録ヘッドにおいては、前記押圧部材が素子基板が固定された基準部材に組み付けられ、未だ前記押圧部材のばね付勢力がチャージされていない状態において、前記押圧部材の加圧部は、前記基準部材に固定されている前記素子基板に接触しないように構成されていることが好ましく、また、前記押圧部材が素子基板が固定された基準部材に組み付けられ、未だ前記押圧部材のばね付勢力がチャージされていない状態において、前記押圧部材の前記変形作動部の少なくとも一部が前記基準部材に支持され、前記押圧部材の加圧部は前記基準部材に固定されている前記素子基板に接触しないように構成されていることが好ましい。
【００１７】
本発明の液体噴射記録ヘッドにおいては、前記基準部材に組み付けられた前記押圧部材は、前記変形作動部を介して、前記基準部材の下方からまたは前記押圧部材の上方からばね付勢力がチャージされることが好ましく、前記押圧部材のばね付勢力をチャージするための作動部材が通過しうる切り欠き部が前記基準部材の両側部に設けられていることが好ましい。
【００１８】
本発明の液体噴射記録ヘッドにおいては、前記基準部材に固定された前記素子基板と前記押圧部材の加圧部との間に前記溝付き天板が挿入され、前記押圧部材の加圧部が前記溝付き天板の吐出口近傍を押圧する状態において、前記押圧部材の変形作動部は前記基準部材から離間した状態に位置するように構成されていることが好ましい。
【００１９】
本発明の液体噴射記録ヘッドにおいて、前記溝付き天板は、前記液流路に連通する複数の分離された共通液室を形成するための凹部と、前記複数の共通液室に対応した複数の記録液供給口を有しており、前記押圧部材は、前記加圧部と弾性部との間に、前記複数の記録液供給口に連通する複数の供給管が挿通される開口部を有し、該開口部は前記複数の供給管に対応して複数に分割されていることが好ましい。
【００２０】
さらに、本発明の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法は、記録液を吐出するための吐出エネルギーを発生する複数の吐出エネルギー発生素子が形成された基準部材上に固定されている素子基板に対し、該素子基板と接合することにより前記吐出エネルギー発生素子に対応する複数の液流路および該液流路に連通して記録液を吐出する複数の吐出口を構成する溝付き天板を接合して押圧部材のばね付勢力で固定して組み立てる液体噴射記録ヘッドの組み立て方法において、前記素子基板が固定されている前記基準部材に前記押圧部材を組み付け、前記押圧部材のばね付勢力をチャージして前記溝付き天板を挿入しうる間隔を保持した後に、該間隔を介して前記溝付き天板を前記素子基板上に組み込み、ばね付勢力のチャージを解放することにより前記押圧部材のばね付勢力により前記溝付き天板を前記素子基板に対して押圧し接合固定することを特徴とする。
【００２１】
本発明の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法において、前記押圧部材は、前記溝付き天板の吐出口配列方向に延び前記吐出口近傍で前記溝付き天板を押圧する加圧部と、該加圧部を弾性的に支持する弾性部と、前記基準部材に係合する係合部と、前記加圧部の両端部に設けられたばね付勢力をチャージするための変形作動部とを有することが好ましい。
【００２２】
本発明の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法においては、前記押圧部材が前記基準部材に組み付けられ、未だ前記押圧部材のばね付勢力がチャージされていない状態において、前記押圧部材の加圧部は前記基準部材に固定されている前記素子基板に接触しないように構成され、あるいは、前記押圧部材の前記加圧部から下方に延設した前記変形作動部の少なくとも一部が前記基準部材に支持され、前記押圧部材の加圧部が前記基準部材に固定されている前記素子基板に接触しないように構成されていることが好ましい。
【００２３】
本発明の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法においては、前記基準部材に組み付けられた前記押圧部材のばね付勢力のチャージは、前記基準部材の下方からあるいは前記押圧部材の上方から行なうことができ、また、前記基準部材の下方から前記基準部材の両側部に形成された切り欠き部を介して前記押圧部材の変形作動部を係合支持することにより行なうことも可能である。
【００２４】
本発明の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法においては、前記基準部材に組み付けた前記押圧部材と前記素子基板との間に前記溝付き天板を挿入した後に、前記溝付き天板と前記素子基板との相対的な移動により両者の位置調整を行ない、その後に、前記押圧部材のばね付勢力により前記溝付き天板を前記素子基板に対して押圧し接合固定することが好ましい。
【００２５】
【作用】
本発明の液体噴射記録ヘッドおよびその組み立て方法によれば、押圧部材において、溝付き天板に接触し押圧する加圧部の両端部に変形作動部や変形作動突片を配設することにより、押圧部材を基準部材に組み付けた後に、変形作動部や変形作動突片を介して押圧部材のばね付勢力をチャージすることを可能とし、また、加圧部は傾斜角度をもって溝付き天板を押圧し、溝付き天板を素子基板に対し押圧するとともに引き込む方向にも力を加えることができ、溝付き天板と素子基板を確実にかつ安定して接合することができる。そして、溝付き天板と素子基板の接合に際して、素子基板を固定した基準部材に押圧部材を先ず組み付け、押圧部材のばね付勢力をチャージして溝付き天板を挿入しうる間隔を保持した後に、この間隔を介して溝付き天板を所定の位置へ挿入配置し、そして、押圧部材のばね付勢力を徐々に解放することにより、押圧部材のばね付勢力で溝付き天板と素子基板の接合を行なう。これにより、従来のように、溝付き天板と素子基板を接着剤等により仮止めした上で押圧部材で押圧接合する必要がなく、接合工程を簡略化でき、さらに、溝付き天板と素子基板の精度の良い位置調整が可能となり、接合精度を向上させることができる。
【００２６】
以上のように、本発明によれば、溝付き天板と素子基板を押圧部材を用いて高精度で安定かつ確実に接合することができ、溝付き天板と素子基板の接合精度や安定性などの接合状態を向上させることができ、液体噴射記録ヘッドとして、吐出口の位置精度および液滴の着弾精度を高め、高精細かつ高品位の画質を得ることができる。
【００２７】
そして、液体噴射記録ヘッドの組み立て工程を簡略化できるため、歩留まりを向上させるとともに、タクトアップを図ることができる。
【００２８】
なお、本発明においてチャージとは、ばねが天板に接合された際に正規のばね加重が発生する位置よりも過剰にたわませ保持することを意味する。
【００２９】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、複数の実施例に基づき、図面に参照して説明する。
【００３０】
（実施例１）
図１は、本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドの要部の構成を分解して示す分解斜視図であり、図２は、本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドを構成する押圧部材の斜視図であり、図３は、本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドを構成する溝付き天板の斜視図である。
【００３１】
本実施例における液体噴射記録ヘッドは、図１に図示するように、押圧部材１と、記録液を吐出する複数の吐出口２ａおよび各吐出口２ａにそれぞれ連通する複数の液流路溝２ｂ（図１には不図示）等を有する溝付き天板２と、基準部材であるベースプレート４の所定の位置に取り付けられ、記録液に吐出エネルギーを付与する電気熱変換素子等の吐出エネルギー発生素子３ａを有する素子基板３とから概略構成され、溝付き天板２と素子基板３を押圧部材１にて押圧して接合することにより組み立てられる。
【００３２】
押圧部材１の詳細な構造は、図２に図示するように、吐出口配列方向に延び溝付き天板２の吐出口近傍の上面に接触して押圧する加圧部１ｂ、弾性的に押圧力を作用させるための断面Ｕ字状に湾曲されたＵ字状弾性部１ｃ、Ｕ字状弾性部１ｃの上面の両側方から下方へ屈曲され、基準部材であるベースプレート４に設けられている係止部４ｂに係合する爪片を有する一対の係合部１ｄ、および一対の係合部１ｄの上方部分から後方へ延びそして下方に屈曲され、基準部材であるベースプレート４の表面に当接して押圧部材１に作用する力をベースプレート４上で支える一対の当接部１ｅとからなり、そして、加圧部１ｂの両端には押圧（ばね）付勢力をチャージするための変形作動突片（弾性変形支持部）１ａが設けられ、変形作動突片１ａは、加圧部１ｂの溝付き天板２に接触する部位よりも後方（すなわち、液吐出方向に対して反対方向）に屈曲されそして加圧部１ｂの溝付き天板２に接触する部位よりも下方に延設されている。
【００３３】
また、電気熱変換素子等の吐出エネルギー発生素子３ａを有する素子基板３は、基準部材であるベースプレート４の表面の所定の位置に接着剤にて接着固定されている。そして、ベースプレート４の両側部には、図１に図示するように、押圧部材１の係合部１ｄに対応する部位に係止部４ｂが設けられているとともに、押圧部材１の変形作動突片１ａに対応する部位に切り欠き部４ａが設けられており、この切り欠き部４ａは、押圧部材１の変形作動突片１ａに係合支持することによって押圧部材１の加圧部１ｂを変形させるチャージピン等の変形部材を通すために設けられている。
【００３４】
溝付き天板２は、図３に図示するように、素子基板３に形成されている吐出エネルギー発生素子３ａに対応して設けられた複数の液流路溝２ｂ、各液流路溝２ｂに対して記録液を供給するために各液流路溝２ｂに連通した複数の共通液室２ｃ、および各液流路溝２ｂに連通した吐出口２ａ（図３には不図示）が形成されているオリフィスプレート２ｄを備えている。
【００３５】
これらの溝付き天板２と素子基板３は、溝付き天板２の吐出口２ａや液流路溝２ｂと素子基板３の吐出エネルギー発生素子３ａとの位置関係がそれぞれ個々に対応する所定の位置関係になるように位置合わせして接合される。
【００３６】
押圧部材１は、その一対の係合部１ｄの爪片をベースプレート４の係止部４ｂに係合させることによりベースプレート４に組み付けられ、一対の当接部１ｅはベースプレート４の表面に当接する。押圧部材１の変形作動突片１ａはベースプレート４側からの支持によって移動され、その後に、変形作動突片１ａの支持を解放することによって、押圧部材１の押圧（ばね）付勢力により押圧部材１の加圧部１ｂが溝付き天板２の吐出口近傍で液流路溝２ｂを構成する部分の上面を線接触で押圧し、溝付き天板２と素子基板３とを圧着接合する。
【００３７】
次に、液体噴射記録ヘッドの溝付き天板２と素子基板３の組み立て方法を図４および図５に基づいて工程順に説明する。
【００３８】
（１） 図４の（ａ）は、素子基板３をベースプレート４に接着固定した状態を示すものであり、溝付き天板２と押圧部材１を組み付ける前の状態である。ベースプレート４に接着固定された素子基板３に形成されている吐出エネルギー発生素子３ａの位置を図示しない治具上に固定された上部の観察光学系２０により測定し、その位置測定データは記憶される。
【００３９】
（２） 図４の（ｂ）は、ベースプレート４に押圧部材１を組み付けた状態を示すものである。押圧部材１の一対の係合部１ｄが、ベースプレート４の係止部４ｂに組み付けられ、押圧部材１の一対の当接部１ｅがベースプレート４の表面に当接する。そして、その際に、押圧部材１の先端位置が、接触式変位センサー、レーザ変位センサーあるいは画像認識等の測長機構２１により測定され、この測定結果に基づいて、押圧部材１は、予め測定されている素子基板３上の吐出エネルギー発生素子３ａの位置測定データと比較することにより、適宜調整して素子基板３に対し正確な位置に組み付けられる。
【００４０】
このとき、押圧部材１は、図６に明瞭に図示するように、その変形作動突片１ａの下端部の一部がベースプレート４に支持されているため、加圧部１ｂは素子基板３の表面から離れた状態に維持され、この加圧部１ｂが素子基板３に干渉して素子基板３の表面を損傷させることを防止することができる。
【００４１】
（３） 次いで、ベースプレート４に組み付けられた押圧部材１は、ばねチャージ機構のチャージピン２２により、溝付き天板２を挿入するのに可能な寸法まで押圧部材１の加圧部１ｂを持ち上げ保持する。押圧部材１の加圧部１ｂを持ち上げた状態を図４の（ｃ）に示す。このとき、チャージピン２２は、ベースプレート４の下方からベースプレート４の両側部に設けられている切り欠き部４ａを通して上方前方に斜めに移動され、押圧部材１の変形作動突片１ａを係合支持して上方へ移動させる（図６も参照のこと）。これにより、押圧部材１の加圧部１ｂも同時に持ち上げられ、押圧部材１のばね付勢力がチャージされる。このとき、ばねチャージ機構により押圧部材１をチャージするためのチャージピン２２が押圧部材１と接触する部位は、押圧部材１の加圧部１ｂに近いほうが望ましい。
【００４２】
（４） 溝付き天板２を、チャージピン２２により溝付き天板２を挿入するのに可能な寸法まで持ち上げられて保持されている押圧部材１の加圧部１ｂと素子基板３との間に挿入する（図４の（ｄ）参照）。
【００４３】
（５） 図５の（ｅ）は素子基板３と押圧部材１の間に溝付き天板２を挿入した状態を示すものである。ここで、溝付き天板２は横方向に移動可能な状態にあり、その位置調整が行なわれる。すなわち、溝付き天板２の吐出口２ａの前方に吐出口の位置を測定するための第２の観察光学系２３が配置され、この第２の観察光学系２３により溝付き天板２の吐出口２ａの位置を測定する。また同時に、図５の（ｆ）に図示するように、溝付き天板２の両側方に配置された天板位置あわせ機構２４が溝付き天板２に接触し、第２の観察光学系２３からの溝付き天板２の位置測定情報と予め測定されている吐出エネルギー発生素子３ａの位置測定データに基づいて、溝付き天板２の位置を微調整し、素子基板３の吐出エネルギー発生素子３ａと溝付き天板２の吐出口２ａおよび液流路溝２ｂの位置を正確に合致させる。
【００４４】
（６） 素子基板３の吐出エネルギー発生素子３ａの位置と溝付き天板２の吐出口２ａおよび液流路溝２ｂの位置調整が終了した後に、ばねチャージ機構のチャージピン２２を下方へ移動させることにより変形作動突片１ａを下降させ、押圧部材１のばね付勢力を解放する。これによって、押圧部材１の加圧部１ｂは溝付き天板２の液流路溝に対応する上面の部分に接触かつ押圧し、溝付き天板２と素子基板３を密着固定する（図５の（ｇ）および（ｈ）参照）。このとき、押圧部材１の変形作動突片１ａは、図４の（ｂ）においてはベースプレート４の表面に接触しているけれども、溝付き天板２の組み付けが終わった段階では、ベースプレート４に接触せず、押圧部材１のばね付勢力を溝付き天板２に伝えることが可能となる（図７も参照のこと）。
【００４５】
以上のように、溝付き天板２を素子基板３に接合する際に、素子基板３を固定したベースプレート１に押圧部材１を先に取り付け、ベースプレート４の切り欠き部４ａからチャージピン２２を通して押圧部材１の変形作動突片１ａを係合支持して押圧部材１を変形させた後に、溝付き天板２を所定の位置へ挿入配置し、そして、押圧部材１の変形作動突片１ａの係合支持を徐々に解放することにより、押圧部材１のばね付勢力で溝付き天板２と素子基板３の接合を行なうことができ、従来のように、溝付き天板と素子基板を接着剤等により仮止めした上で押圧部材で押圧接合する必要がなく、接合工程を簡略化でき、さらに、接合精度を向上させることができる。
【００４６】
次に、押圧部材１による溝付き天板２に対する押圧状態について説明する。
【００４７】
押圧部材１の加圧部１ｂの傾きである素子基板３の垂直方向に対する角度θは、図７に示すように、約１０°となるように設けられており、押圧部材１から溝付き天板２に作用する荷重方向は、素子基板３に垂直な方向である天板２を素子基板３に押しつける向きのみでなく、素子基板３に平行に天板２を引き込む向きにも作用している。この引き込み力は、押圧部材１の加圧部１ｂの両側端に設けた変形作動突片１ａを係合支持することで発生する。例えば、図６に図示するように、押圧部材１の加圧部１ｂを無荷重状態から変形作動突片１ａをチャージピン２２により係合支持して移動させると、加圧部角度θが増大するため、この変形の反力として素子基板３に垂直な方向だけでなく、加圧部角度θを小さくさせる向きである天板引き込み方向にも荷重が発生する。このように、変形作動突片１ａに対する係合支持を解放して加圧部１ｂを溝付き天板２に押圧させると、素子基板３への押圧と溝付き天板２への引き込みが行なわれる。この引き込み力の発生により、溝付き天板２を素子基板３から脱落させることなく、確実にかつ安定して溝付き天板２と素子基板３とを接合させることができる。したがって、溝付き天板２と素子基板３の高精度な配置を行えば高精度な状態での接合が可能となる。
【００４８】
また、チャージピン２２による変形作動突片１ａの移動により押圧部材１をチャージした後に溝付き天板２を挿入し、チャージピン２２を戻して押圧部材１の加圧部１ｂを溝付き天板２に押圧接触させ溝付き天板２と素子基板３を密着接合させるときに、チャージピン２２は、図４の（ｃ）、図５の（ｇ）および図６に示すように、若干角度をつけて上下方向に移動させているが、この角度によって、溝付き天板２と押圧部材１（特に、加圧部１ｂ）が接触する位置を調整することができる。この角度を大きくとれば、押圧部材１をチャージしたときに押圧部材１の加圧部１ｂの先端が前方に位置し、溝付き天板２を押圧するときに溝付き天板２を引き込む方向の力が大きく働くため、溝付き天板２を接合した後の温度変化や衝撃等によって生じる溝付き天板２と素子基板３のずれを小さくすることができる。しかしながら、その引き込み力をあまりに大きくすれば、逆に溝付き天板２と素子基板３がずれたり、溝付き天板２が変形する可能性もあるので、注意が必要である。
【００４９】
また、変形作動突片１ａの幅が広ければ、ベースプレート４の切り欠き４ａを通るチャージピン２２により確実に変形作動突片１ａを係合支持することができる。しかし、変形作動突片１ａの幅を長くしすぎると、チャージピン２２による係合支持によって、変形作動突片１ａの移動変形は生じるけれども、加圧部１ｂの移動変形が追従せず、天板引き込み力があまり発生しないだけでなく、押圧精度も悪化する場合があるので、注意が必要である。
【００５０】
本実施例におけるベースプレート４において、チャージピン２２を挿入する場所を切り欠き４ａとすることにより、天板接合後に溝付き天板２の共通液室２ｃに記録液タンクからの記録液を供給する流路部材（チップタンク）６（図８の（ａ）参照）を押圧部材１の上部から組み合わせる場合に、押圧部材１の係合部１ｄ等の脚部を流路部材６の脚部で覆うことができる。図８の（ｂ）に流路部材６を組み付けた状態を示す。こうすることによって、溝付き天板２と素子基板３の接合部を封止剤により封止する場合に、封止剤が押圧部材１の脚部を伝ってベースプレート４の裏面に流れ出すことを防ぐことができる。従来のものでは、押圧部材の脚部からの封止剤の流出を防ぐために、あらかじめ脚部の部分を封止剤で埋めておく工程が必要であったが、本実施例のベースプレート４の切り欠き構造と、流路部材６の脚部の構造によって、ばね脚部封止工程を省略することができる。
【００５１】
次に、本実施例に基づく押圧部材の他の例について、図９および図１０を参照して説明する。
【００５２】
押圧部材における変形作動突片１ａと加圧部１ｂの関係は、天板引き込み力を考慮すれば、変形作動突片１ａは加圧部１ｂと同一平面状に配置されることが望ましい。そこで、図９に図示する押圧部材１Ａにおいては、変形作動突片１ａと加圧部１ｂを同一平面状に配置するものであり、その他の構成は前述した実施例のものと同じである。
【００５３】
また、図９に図示する押圧部材１Ａおよび図２に図示する押圧部材１においては、その変形作動突片１ａは、加圧部１ｂの溝付き天板を押圧する部位よりも下方に延設されており、押圧部材１、１Ａがベースプレート４に取り付けられたとき、図４の（ｂ）および図６に図示するように、変形作動突片１ａがベースプレート４に当接支持されることにより、加圧部１ｂはベースプレート４上の素子基板３に接触することがなく、素子基板３の損傷を確実に防止できるという効果を有するものがあるが、押圧部材１、１Ａがベースプレート４に取り付けられたときに、押圧部材の無負荷状態において、加圧部１ｂが素子基板３の表面に接触する恐れがない場合には、変形作動突片１ａを加圧部１ｂよりも下方に延設して設ける必要はないことはいうまでもない。この場合、加圧部１ｂの両端部をチャージピンが係合する変形作動部とすることができる。
【００５４】
図１０に図示する押圧部材１Ｂは、その変形作動突片１ａの支持をベースプレート４の反対側から（すなわち、図中、上方から）引張り支持するように構成されている。このように上方から変形作動突片１ａを支持することにより、ベースプレート４の形状に依存することなく押圧部材１Ｂを弾性変形支持することができる。ただし、荷重支持方向が素子基板３に対し垂直な場合、弾性変形支持点が加圧部１ｂの根元曲げによる変形中心より吐出口側になければ、天板引き込み方向に荷重が発生しない。すなわち、弾性変形支持点が吐出口側にあれば安定した押圧接合ができる。
【００５５】
（実施例２）
本実施例は、液流路溝配列方向に幅広の記録ヘッドにおいても溝付き天板を素子基板に対して液流路溝列全域にわたり一様に押圧して、溝付き天板と素子基板の接合状態を液流路溝列全域にわたり良好にすることができる液体噴射記録ヘッドの構成に特徴を有するものである。
【００５６】
図１１は、本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドの要部の構成を示す斜視図であり、図１２は、本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドの要部の構成を示す断面図であり、図１３は、本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドを構成する押圧部材の斜視図であり、図１４は、本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドを構成する溝付き天板の斜視図であり、図１５は、本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドに流路部材を組み付けた状態を示し、（ａ）はその斜視図であり、（ｂ）はその断面図である。なお、本実施例においては、前述した実施例と同様の部材には同一符号を付して説明する。
【００５７】
近年、液体噴射記録装置には、多種の記録液の媒体上での重ね合わせによる高画質化に伴ない、さらなる記録スピードの高速化が求められている。この記録スピードの高速化は、記録ヘッドの１スキャンでの記録領域を幅広にすることにより行なうことができる。
【００５８】
しかしながら、記録幅が１２．７ｍｍ（ ０．５インチ）を超えるほどの複数の液流路溝を具備する溝付き天板においては、溝付き天板の液流路溝列の中央部付近にて吐出させた記録液の液滴が、液流路溝列の端部に比べて、所望の大きさより小さくなってしまうという現象が生じるものがあった。本発明者らの更なる解析によると、記録幅を従来より広げることにより、押圧部材の開口部（打ち抜き部）が過剰に液流路溝列方向に広がることになる。さらに、従来の１２．７ｍｍ（ ０．５インチ）以下の記録幅の記録ヘッドと比較して、単位液流路溝当たりの押圧荷重を同等に確保しようとすると、押圧部材の荷重を強く設定しなければならない。これらにより、溝付き天板押圧時に、天板押圧端部に変形が生じる虞があると考えられる。この押圧部材の天板押圧端部の変形は、液流路溝列の中央部付近が素子基板に対して上方向に湾曲する傾向にあり（本発明者らの実験では、その変形量は数１０μｍを示すものがあった）、液流路溝列の中央部での溝付き天板と素子基板の接合不良の原因となり、吐出エネルギーのロスが発生し、記録液の吐出性能を劣化させることになる。特に、記録ヘッドが複数色の記録液を有する場合には、記録液毎に設けられた複数の共通液室間の分離壁の剛性が高く、上述の問題が発生しやすい傾向があった。
【００５９】
そこで、本実施例では、素子基板に対して溝付き天板を押圧する押圧部材において、その加圧部と弾性部との間に設ける開口部を、溝付き天板の複数の記録液供給口にそれぞれ対向するように、複数の開口部に分割することにより、隣接する開口部間の梁となる部分が加圧部の補強的作用をなし、前述の押圧部材の天板押圧端部の湾曲変形を低減する効果が得られるようにするものである。このようにして、液体噴射記録ヘッドの更なる高度の要求性能を満たすべく、複数の共通液室と記録幅が１２．７ｍｍ（ ０．５インチ）を超えるような複数の液流路溝を具備する溝付き天板と、吐出エネルギー発生素子を配置した素子基板との接合状態を液流路溝列全域にわたり良好にすることができ、高精細かつ高品位の画質を得ることができる。
【００６０】
以下、本実施例について、図１１ないし図１５を参照して詳細に説明する。
【００６１】
本実施例における液体噴射記録ヘッドは、図１１および図１２に図示するように、押圧部材１Ｃ（図１３）と、記録液を吐出する複数の吐出口２ａおよび各吐出口２ａに連通する複数の液流路溝２ｂ等を有する溝付き天板２（図１４）と、記録液に吐出エネルギーを付与する電気熱変換素子等の吐出エネルギー発生素子を有する素子基板３と、該素子基板３を所定の位置に固定する基準部材であるベースプレート４とから概略構成され、押圧部材１Ｃの加圧部１ｂが、押圧部材１Ｃの押圧（ばね）付勢力により、溝付き天板２の吐出口近傍で液流路溝２ｂを構成する部分の上面を線接触で押圧し、溝付き天板２と素子基板３とを圧着接合している。
【００６２】
溝付き天板２は、図１４に示すように、記録液を吐出する複数の吐出口（２ａ）が形成されているオリフィスプレート２ｄ、素子基板３に形成されている吐出エネルギー発生素子に対応して設けられて吐出口（２ａ）に連通する複数の液流路溝２ｂ、各液流路溝２ｂへ記録液を供給するための一時溜となる複数の共通液室２ｃ、および各共通液室２ｃに連通して複数の共通液室２ｃへ記録液をそれぞれ供給するための複数の記録液供給口２ｅを具備している。
【００６３】
押圧部材１Ｃの詳細な構造は、図１３に示すように、吐出口列方向に延び溝付き天板２の吐出口近傍上面に当接して押圧する加圧部１ｂ、該加圧部１ｂの両端に設けられた変形作動突片１ａ、弾性的に押圧力を作用させるための断面Ｕ字状に湾曲されたＵ字状弾性部１ｃ、Ｕ字状弾性部１ｃの上面の両側から下方へ屈曲され、ベースプレート（基準部材）４に設けられた係止部４ｂに係合する爪片を有する一対の係合部１ｄ、および一対の係合部１ｄの上方部分から後方へ延びそして下方に屈曲され、ベースプレート４の表面に当接して押圧部材１Ｃに作用する力をベースプレート４上で支える一対の当接部１ｅから構成され、また、加圧部１ｂとＵ字状弾性部１ｃとの間には、溝付き天板２の記録液供給口２ｅと上流の記録液タンク（図示しない）との液供給経路を確保するために複数の開口部１ｆが設けられている。
【００６４】
上記溝付き天板２の記録液供給口２ｅと記録液タンクとの接続は、図１５の（ａ）および（ｂ）に示すように、流路部材６を介して行なわれる。流路部材６は、溝付き天板２の複数の記録液供給口２ｅに対応するように設けられた複数の供給管６ａと、各々の供給管６ａの上流側に開口され記録液タンク等に接続される供給口６ｂが設けられている。流路部材６の複数の供給管６ａのそれぞれは、図１５の（ｂ）の断面図に示すように、押圧部材１Ｃの開口部１ｆに挿通され、溝付き天板２の記録液供給口２ｅに端部が当接することにより、記録液の溝付き天板２への供給経路を構成している。このように、流路部材６の供給管６ａを溝付き天板２の記録液供給口２ｅと接続するためには、押圧部材１Ｃにおいて開口部１ｆが配設されていることが必要となる。
【００６５】
本実施例では、溝付き天板２の複数の記録液供給口２ｅの数（４個）に対応して、押圧部材１Ｃの開口部１ｆを図１１および図１３に示すように複数（４個）に区分し、隣接する開口部１ｆ間の梁となる部分に加圧部１ｂの補強的役割を担わせることにより、加圧部１ｂの湾曲変形を低減させることができる。
【００６６】
本発明者らの実験によると、２５．４ｍｍ（１インチ）の記録幅を有する記録ヘッドの場合に、開口部１ｆを１つとする押圧部材を用いると、押圧部材の加圧部１ｂの湾曲変形量は数１０μｍであるのに対して、本実施例にように４個の開口部１ｆに分割して設けた押圧部材１Ｃを用いる際には、押圧部材１Ｃの加圧部１ｂの湾曲変形量は１０μｍ以下に抑えることができた。
【００６７】
次に、本実施例の変形例について、図１６および図１７を用いて説明する。
【００６８】
図１６は、本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドを構成する他の押圧部材の斜視図であり、図１７の（ａ）および（ｂ）は、図１６に図示する押圧部材とともに用いることができる溝付き天板の概略的な斜視図である。
【００６９】
図１６に図示する押圧部材１Ｄにおいては、加圧部１ｂとＵ字状弾性部１ｃとの間に２つの開口部１ｆ−１と１ｆ−２が設けられており、その他の構成は、図１３に示す押圧部材１Ｃと同様である。このように２つの開口部１ｆ−１と１ｆ−２を備えた押圧部材１Ｄは、図１７の（ａ）に示すような２つの記録液供給口２ｅを備える溝付き天板２に有効であることはいうまでもない。
【００７０】
また、溝付き天板２の記録液供給口２ｅが２つより多い場合でも、例えば、図１７の（ｂ）に示すように、４つの記録液供給口２ｅ−１〜２ｅ−４が互いの間隔に偏りをもって配列されている場合には、記録液供給口２ｅ−１と２ｅ−２を一組として１つの開口部１ｆ−１に対応させ、他方の記録液供給口２ｅ−３と２ｅ−４を一組として他方の開口部１ｆ−２に対応させることができる。このとき、押圧部材１Ｄの２つの開口部１ｆ−１と１ｆ−２の間の間隔は可能な限り幅広に設けることができ、補強効果を最大限生じさせることができる。
【００７１】
次に、本発明の液体噴射記録ヘッドにおける押圧部材１（〜１Ｄ）、溝付き天板２および素子基板３を組み立てる組み立て装置について、図１８を参照して説明する。
【００７２】
この組み立て装置は、素子基板の搭載されたベースプレートを治具上に載置して位置決めし、また、完成したユニットを治具から取り出すベースプレート排出供給ステーションＳ１、押圧部材をベースプレート上に供給し組み付けてから溝付き天板が挿入できる位置まで開放させる押圧部材組み付けステーションＳ２、溝付き天板を仮位置決めして素子基板上に挿入する天板供給ステーションＳ３、素子基板の吐出エネルギー発生素子と吐出口および液流路溝の位置を合致させ、押圧部材を閉じて押圧部材のばね圧で溝付き天板を押圧し固定するための天板位置合わせステーションＳ４、およびこれらの各ステーションを制御するための制御ステーションＳ５から構成されている。
【００７３】
図１８に図示する組み立て装置を用いて液体噴射記録ヘッドの組み立てる手順につき、再度図４および図５を参照しながら説明する。
【００７４】
先ず、ベースプレート排出供給ステーションＳ１において、素子基板３を予め接着固定したベースプレート４が本組み立て装置に投入され、ベースプレート４は治具上に位置決めされ、そして、観察光学系２０により素子基板３に形成されている吐出エネルギー発生素子３ａの位置を測定し、その位置測定データは記憶される（図４の（ａ）参照）。
【００７５】
押圧部材組み付けステーションＳ２において、ベースプレート４に押圧部材１を組み付け、押圧部材１の先端位置が、測長機構２１により測定され、適宜調整することにより、素子基板３（さらには、溝付き天板２）に対する正確な位置に組み付けられ、その後、ばねチャージ機構のチャージピン２２により、溝付き天板２を挿入するのに可能な寸法まで押圧部材１の加圧部１ｂを持ち上げ保持する（図４の（ｂ）および（ｃ）参照）。
【００７６】
そして、チャージピン２２により押圧部材１の加圧部１ｂを持ち上げた状態で、天板供給ステーションＳ３へ移動され、ここで、溝付き天板２が押圧部材１の加圧部１ｂと素子基板３との間に挿入され（図４の（ｄ）参照）、溝付き天板２は横方向の位置調整が行なわれる（図５の（ｅ）および（ｆ）参照）。その後、チャージピン２２により押圧部材１をばね付勢力を解放することによって、押圧部材１の加圧部１ｂは溝付き天板２の上部に接触かつ押圧し、溝付き天板２と素子基板３を密着固定する（図５の（ｇ）および（ｈ）参照）。
【００７７】
このように組み立てられ完成した液体噴射記録ヘッドは、排出供給ステーションＳ１へ移送され、組み立て装置から排出される。
【００７８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、押圧部材を用いて溝付き天板と素子基板を高精度で安定かつ確実に接合することができ、溝付き天板と素子基板の接合精度や安定性などの接合状態を向上させることができ、吐出口の位置精度および液滴の着弾精度を高め高精細かつ高品位の画質を得ることができる。
【００７９】
本発明に基づく押圧部材において、溝付き天板に接触し押圧する加圧部の両端部に変形作動部や変形作動突片を配設することにより、押圧部材を基準部材に組み付けた後に、変形作動部や変形作動突片を介して押圧部材のばね付勢力をチャージすることを可能とし、また、加圧部は傾斜角度をもって溝付き天板を押圧し、溝付き天板を素子基板に対し押圧するとともに引き込む方向にも力を加えることができ、溝付き天板と素子基板を確実にかつ安定して接合することができる。また、押圧部材の加圧部とＵ字状弾性部との間に、複数の共通液室を備えた溝付き天板へ複数種の記録液を供給する複数の記録液供給管を挿通するための開口部を複数に区分して設け、隣接する開口部間の梁となる部分に加圧部の補強的作用をもたせることにより、幅広の溝付き天板を液流路溝列全域にわたり一様に押圧することができ、溝付き天板と素子基板の接合状態を液流路溝列全域にわたり良好にすることが可能となり、幅広の記録ヘッドにおいても高精細かつ高品位の画質を得ることができる。
【００８０】
溝付き天板と素子基板の接合に際して、素子基板を固定した基準部材に押圧部材を先ず組み付け、押圧部材のばね付勢力をチャージした後に、溝付き天板の所定の位置へ挿入配置し、そして、押圧部材のばね付勢力を徐々に解放して、押圧部材のばね付勢力で溝付き天板と素子基板の接合を行なうことにより、従来のように、溝付き天板と素子基板を接着剤等により仮止めした上で押圧部材で押圧接合する必要がなく、接合工程を簡略化でき、さらに、溝付き天板と素子基板の精度の良い位置調整が可能となり、接合精度を向上させることができる。
【００８１】
さらに、液体噴射記録ヘッドの組み立て工程を簡略化できるため、歩留まりを向上させるとともに、タクトアップを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドの要部の構成を分解して示す分解斜視図である。
【図２】本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドを構成する押圧部材の斜視図である。
【図３】本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドを構成する溝付き天板の斜視図である。
【図４】本発明の液体噴射記録ヘッドにおける溝付き天板と素子基板および押圧部材の組み立て方法を工程順に図示する工程図である。
【図５】本発明の液体噴射記録ヘッドにおける溝付き天板と素子基板および押圧部材の組み立て方法を工程順に図示する図４に続く工程図である。
【図６】本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドにおいて、ベースプレートに押圧部材を組み付けた状態を示す斜視図である。
【図７】本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドにおいて、溝付き天板と素子基板および押圧部材を組み立てた状態を押圧部材の一部を破断して示す構成図である。
【図８】（ａ）は本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドに用いる流路部材の斜視図であり、（ｂ）は本発明の実施例１に基づき流路部材を組み付けて構成した液体噴射記録ヘッドの斜視図である。
【図９】本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドを構成する他の押圧部材の斜視図である。
【図１０】本発明の実施例１に係る液体噴射記録ヘッドを構成するさらに他の押圧部材の斜視図である。
【図１１】本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドの要部の構成を示す斜視図である。
【図１２】本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドの要部の構成を示す断面図である。
【図１３】本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドを構成する押圧部材の斜視図である。
【図１４】本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドを構成する溝付き天板を共通液室側から見た斜視図である。
【図１５】（ａ）は本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドに流路部材を組み付けた状態を示す斜視図であり、（ｂ）は同じくその断面図である。
【図１６】本発明の実施例２に係る液体噴射記録ヘッドを構成する他の押圧部材の斜視図である。
【図１７】（ａ）および（ｂ）は、図１６に図示する押圧部材とともに用いることができる溝付き天板を概略的に図示する斜視図である。
【図１８】本発明の液体噴射記録ヘッドの組み立て装置の構成を示す概略図である。
【符号の説明】
１、１Ａ〜１Ｄ 押圧部材
１ａ 変形作動突片（弾性変形支持部）
１ｂ 加圧部
１ｃ Ｕ字状弾性部
１ｄ 係合部
１ｅ 当接部
１ｆ、１ｆ−１、１ｆ−２ 開口部
２ 溝付き天板
２ａ 吐出口
２ｂ 液流路溝
２ｃ 共通液室
２ｄ オリフィスプレート
２ｅ、２ｅ−１〜２ｅ−４ 記録液供給口
３ 素子基板
３ａ 吐出エネルギー発生素子
４ ベースプレート（基準部材）
４ａ 切り欠き部
４ｂ 係止部
６ 流路部材
６ａ 供給管
６ｂ 供給口
２０、２３ 観察光学系
２１ 測長機構
２２ チャージピン
２４ 天板位置合わせ機構
Ｓ１ 排出供給ステーション
Ｓ２ 押圧部材組み付けステーション
Ｓ３ 天板供給ステーション
Ｓ４ 天板位置合わせステーション
Ｓ５ 制御ステーション
Claims (17)
- 記録液を吐出するための吐出エネルギーを発生する複数の吐出エネルギー発生素子が形成され、基準部材上に固定された素子基板と、該素子基板と接合することにより前記吐出エネルギー発生素子に対応する複数の液流路および該液流路に連通して記録液を吐出する複数の吐出口を構成する溝付き天板と、該溝付き天板を前記素子基板に対し押圧するために前記溝付き天板と前記素子基板を挟んで前記基準部材に係合する押圧部材とを有する液体噴射記録ヘッドにおいて、
前記押圧部材は、前記吐出口の配列方向に延び前記吐出口近傍で前記溝付き天板を押圧する加圧部と該加圧部を弾性的に支持する弾性部と前記基準部材に係合する係合部とを有し、前記加圧部の両端部にばね付勢力をチャージするための変形作動部を配設したことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 - 前記変形作動部は、前記加圧部よりも下方に延設された変形作動突片として形成されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッド。
- 前記変形作動部は、前記加圧部よりも下方に延設されるとともに前記加圧部より液吐出方向の後方に屈曲された変形作動突片として形成されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッド。
- 前記押圧部材は、溝付き天板を素子基板に接合する前に、素子基板が固定された前記基準部材に組み付けられることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液体噴射記録ヘッド。
- 前記押圧部材が素子基板が固定された基準部材に組み付けられ、未だ前記押圧部材のばね付勢力がチャージされていない状態において、前記押圧部材の加圧部は、前記基準部材に固定されている前記素子基板に接触しないように構成されていることを特徴とする請求項４記載の液体噴射記録ヘッド。
- 前記押圧部材が素子基板が固定された基準部材に組み付けられ、未だ前記押圧部材のばね付勢力がチャージされていない状態において、前記押圧部材の前記変形作動部の少なくとも一部が前記基準部材に支持され、前記押圧部材の加圧部は前記基準部材に固定されている前記素子基板に接触しないように構成されていることを特徴とする請求項４記載の液体噴射記録ヘッド。
- 前記基準部材に組み付けられた前記押圧部材は、前記変形作動部を介して、前記基準部材の下方からまたは前記押圧部材の上方からばね付勢力がチャージされることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の液体噴射記録ヘッド。
- 前記基準部材の両側部に、前記押圧部材の前記変形作動部を係合支持して前記押圧部材のばね付勢力をチャージするための作動部材が通過しうる切り欠き部が設けられていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の液体噴射記録ヘッド。
- 前記基準部材に固定された前記素子基板と前記押圧部材の加圧部との間に前記溝付き天板が挿入され、前記押圧部材の加圧部が前記溝付き天板の吐出口近傍を押圧する状態において、前記押圧部材の変形作動部は前記基準部材から離間した状態に位置するように構成されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の液体噴射記録ヘッド。
- 前記溝付き天板は、前記液流路に連通する複数の分離された共通液室を形成するための凹部と、前記複数の共通液室に対応した複数の記録液供給口を有しており、前記押圧部材は、前記加圧部と弾性部との間に、前記複数の記録液供給口に連通する複数の供給管が挿通される開口部を有し、該開口部は前記複数の供給管に対応して複数に分割されていることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１項に記載の液体噴射記録ヘッド。
- 記録液を吐出するための吐出エネルギーを発生する複数の吐出エネルギー発生素子が形成された基準部材上に固定されている素子基板に対し、該素子基板と接合することにより前記吐出エネルギー発生素子に対応する複数の液流路および該液流路に連通して記録液を吐出する複数の吐出口を構成する溝付き天板を接合して押圧部材のばね付勢力で固定して組み立てる液体噴射記録ヘッドの組み立て方法において、
前記素子基板が固定されている前記基準部材に前記押圧部材を組み付け、前記押圧部材のばね付勢力をチャージして前記溝付き天板を挿入しうる間隔を保持した後に、該間隔を介して前記溝付き天板を前記素子基板上に組み込み、ばね付勢力のチャージを解放することにより前記押圧部材のばね付勢力により前記溝付き天板を前記素子基板に対して押圧し接合固定することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの組み立て方法。 - 前記押圧部材は、前記溝付き天板の吐出口配列方向に延び前記吐出口近傍で前記溝付き天板を押圧する加圧部と、該加圧部を弾性的に支持する弾性部と、前記基準部材に係合する係合部と、前記加圧部の両端部に設けられたばね付勢力をチャージするための変形作動部とを有することを特徴とする請求項１１記載の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法。
- 前記押圧部材が前記基準部材に組み付けられ、未だ前記押圧部材のばね付勢力がチャージされていない状態において、前記押圧部材の加圧部は前記基準部材に固定されている前記素子基板に接触しないように構成されていることを特徴とする請求項１１または１２記載の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法。
- 前記押圧部材が前記基準部材に組み付けられ、未だ前記押圧部材のばね付勢力がチャージされていない状態において、前記押圧部材の前記加圧部から下方に延設した前記変形作動部の少なくとも一部が前記基準部材に支持され、前記押圧部材の加圧部が前記基準部材に固定されている前記素子基板に接触しないように構成されていることを特徴とする請求項１２記載の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法。
- 前記基準部材に組み付けられた前記押圧部材のばね付勢力のチャージは、前記基準部材の下方からまたは前記押圧部材の上方から行なわれることを特徴とする請求項１１ないし１４のいずれか１項に記載の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法。
- 前記基準部材に組み付けられた前記押圧部材のばね付勢力のチャージは、前記基準部材の下方から前記基準部材の両側部に形成された切り欠き部を介して前記押圧部材の変形作動部を係合支持することにより行なわれることを特徴とする請求項１１ないし１４のいずれか１項に記載の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法。
- 前記基準部材に組み付けた前記押圧部材と前記素子基板との間に前記溝付き天板を挿入した後に、前記溝付き天板と前記素子基板との相対的な移動により両者の位置調整を行ない、その後に、前記押圧部材のばね付勢力により前記溝付き天板を前記素子基板に対して押圧し接合固定することを特徴とする請求項１１ないし１６のいずれか１項に記載の液体噴射記録ヘッドの組み立て方法。
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