JP3617468B2 - 脱炭酸方法及び純水製造方法 - Google Patents
脱炭酸方法及び純水製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3617468B2 JP3617468B2 JP2001114262A JP2001114262A JP3617468B2 JP 3617468 B2 JP3617468 B2 JP 3617468B2 JP 2001114262 A JP2001114262 A JP 2001114262A JP 2001114262 A JP2001114262 A JP 2001114262A JP 3617468 B2 JP3617468 B2 JP 3617468B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- membrane
- chamber
- air chamber
- deaerator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は脱炭酸方法及び純水製造方法に係り、特に、簡易な装置により長期に亘り安定に、しかも、安価に効率的な脱炭酸を行うことができ、超純水の製造における一次純水製造工程の炭酸除去に好適な脱炭酸方法と、この脱炭酸方法を採用した純水製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
水中の脱炭酸方法として、被処理水をpH5.5以下に調整して水中の炭酸成分を二酸化炭素(CO2)とした後、空気と向流接触させる脱炭酸塔、真空脱気装置又は膜脱気装置に通水する方法がある。
【0003】
この脱炭酸塔は安価であるが、大量の空気を必要とする。真空脱気装置は、高さ10m程度の脱気塔を必要とするため、設置場所に制約を受けるという欠点がある。また、膜脱気装置は、装置の小型化が可能で、脱炭酸効率にも優れるが、次のような欠点がある。
【0004】
即ち、膜脱気装置は、疎水性の高分子気体透過膜(脱気膜)で内部を水室と気室とに仕切り、気室を真空ポンプ等で減圧することにより、水室に流入させた被処理水中のガスを膜透過させて除去するものであるため、気室を減圧するために真空ポンプ等の真空設備を必要とし、この真空設備に要する設備コスト、稼動コストが高い。また、脱気膜が汚れ易く、膜汚染により脱炭酸効率が低下する。汚染した脱気膜の交換のためのコストも高い。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、従来の問題点を解決し、膜脱気装置を用いて長期に亘り安定に、しかも効率的に脱炭酸を行うことができる脱炭酸方法と、この脱炭酸方法を採用した純水製造方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の脱炭酸方法は、純水製造用の脱イオン装置へのCO 2 負荷を低減すると共にCO 2 負荷を一定にするための脱炭酸方法であって、脱気膜により隔てられた水室及び気室を有する膜脱気装置の該水室に被処理水を通水して水中の二酸化炭素を除去する脱炭酸方法において、被処理水を、FI値3未満、pH4〜5.5に調整した後、該膜脱気装置の水室に供給すると共に、該膜脱気装置の気室に気体を供給して脱炭酸を行う方法であって、該気室への気体供給流量G(Nm3/hr)と該水室への水の供給流量L(m3/hr)との比G/Lを10〜15とすることを特徴とする。
【0007】
本発明の純水製造方法は、被処理水をFI値3未満に処理する前処理工程と、FI値3未満に処理された水をpH4〜5.5に調整して水中の炭酸イオンを二酸化炭素に変換するpH調整工程と、脱気膜により隔てられた水室及び気室を有する膜脱気装置の該水室に、pH調整後の水を供給すると共に、気体を該膜脱気装置の気室に供給して脱気を行う脱気膜工程であって、該気室への気体供給量G(Nm3/hr)と該水室への水の供給流量L(m3/hr)との比G/Lが10〜15となるようにして行う膜脱気工程と、膜脱気後の水を脱イオン装置に通水して脱塩する脱塩工程とを有することを特徴とする。
【0008】
なお、FI(fouling index)値は、孔径0.45μmのフィルターを用いて0.21MPaの圧力下で濾過したときの、初期500mLの濾過時間T1と15分後の500mL濾過時間T2から次式により求められる値であり、水の清浄度を表す指標である。
【0009】
【数1】
【0010】
本発明に従って、膜脱気装置に通水する被処理水を、FI値が3未満となるように処理して清浄度を高めた後、膜脱気装置に通水することにより、脱気膜の汚染を抑制し、膜汚染による膜脱気装置の性能低下を防止して、CO2除去効率を高く維持することが可能となる。
【0011】
本発明では、このように膜脱気装置のCO2除去効率を高く維持することができるため、従来の脱炭酸塔に比べて、脱炭酸に必要な気体量を低減することができ、G/L比が10〜15となる少ない気体量で効率的に脱炭酸することができる。また、従来の膜脱気装置のように気室の真空度を高める必要はなく、真空ポンプを省略したり、後段に設けた逆浸透(RO)膜装置の濃縮水の残圧を利用したエゼクタによる吸引力により膜脱気装置の気室を減圧する程度で十分な脱炭酸効果を得ることができる。
【0012】
請求項2の脱炭酸方法及び請求項4の純水製造方法は、膜脱気装置の気室の圧力を水室の圧力以下で大気圧以上とするものであり、真空ポンプを用いることなく、安価に脱炭酸を行うことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して本発明の脱炭酸方法及び純水製造方法の実施の形態を詳細に説明する。
【0014】
図1(a)は本発明の脱炭酸方法の実施の形態を示す系統図であり、図1(b)は本発明の純水製造方法の実施の形態を示す系統図である。
【0015】
本発明の脱炭酸方法及び純水製造方法において、被処理水(原水)としては、市水、工水、井水、プロセス排水の回収水或いはこれらの混合水が用いられる。一般に、このような原水は、FI値3〜6程度であるため、本発明の脱炭酸方法及び純水製造方法においては、このような原水を前処理手段(FI値調整手段)1でFI値3未満となるように処理する。
【0016】
前処理手段1には、原水をFI値3未満とすることができる各種の装置、方法を採用することができ、例えば、精密濾過(MF)膜装置や限外濾過(UF)膜装置を用いることができる。特に、孔径0.45μm以下のMF膜を用いる処理方法、分画分子量20万以下のUF膜を用いる処理方法、原水に有機又は無機凝集剤を添加して孔径3μm以下のMF膜で処理する方法が好ましく、とりわけ、凝集剤を添加してMF膜処理する方法が好適である。
【0017】
前処理手段1によって、FI値を3未満とすることにより、膜脱気装置の膜汚染を防止することができる。FI値は低い程膜汚染の防止効果が高いが、FI値を低くするほど、前処理手段1による処理のためのコストがかかる。従って、一般的には、前処理手段1により、原水をFI値2以上3未満程度に処理するのが好ましい。
【0018】
前処理手段1で処理された水は、次いで酸、好ましくは塩酸(HCl)や硫酸(H2SO4)等の鉱酸を添加してpH4〜5.5に調整する。この調整後のpHが5.5よりも高いと、水中の炭酸成分が十分にCO2の形態とならず、膜脱気装置において、良好なCO2除去効率を得ることができない。なお、pHを過度に低くすることは、後段の装置にイオン負荷がかかり好ましくないことから、pHが4〜5.5、好ましくは4.5〜5.0となるように酸を添加する。
【0019】
pH調整された水は、次いで膜脱気装置2の水室に導入される。この膜脱気装置2の気室には空気を導入する。膜脱気装置2の気室に導入する気体は、空気に限らず、窒素ガス、アルゴンガス等のCO2含有率の低い気体であれば良いが、コストの点からは空気を用いるのが好ましい。
【0020】
膜脱気装置2では、脱気膜を介して水と空気とが接触することにより、濃度分圧の差により水中のCO2が気室の気体へ移行して脱炭酸が行われ、これによりCO2濃度の低い脱炭酸処理水を得ることができる。
【0021】
本発明において、この膜脱気装置におけるG(Nm3/hr)/L(m3/hr)比が10〜15となるように被処理水と気体(空気)の供給量を設定する。このG/L比が10未満では、気体(空気)量が少なく、脱炭酸を十分に行うことができない。G/L比が15を超えるような気体(空気)量では、本発明による気体量の低減効果が損なわれる。
【0022】
膜脱気装置2の気室を減圧状態とすることにより、水中からのCO2除去効果を高めることができる。ただし、本発明では、FI値の低い水を膜脱気装置に導入するので、膜汚染が抑制され、高いCO2除去効果が維持されることから、気室は必ずしも減圧する必要はない。水室側の圧力以下であれば気室は大気圧であってもよく、気体の供給によって多少加圧された状態であってもよい。
【0023】
なお、膜脱気装置2の脱気膜としては、通常の膜脱気装置に用いられるポリプロピレン系、ポリウレタン系のものを用いることができ、具体的には、MJ−510(大日本インキ社製)、MHF1704(三菱レイヨン社製)、Liqui−Cel(登録商標)(セルガード社製)等を用いることができる。
【0024】
図1(b)の純水製造方法では、膜脱気装置2の後段に、活性炭塔3と、RO膜装置4が直列に設けられている。膜脱気装置2の気室は、RO膜装置4の濃縮水の排出配管に設けられたエゼクタ5の吸引側に連通され、このエゼクタ5により気室が減圧されるように構成されている。即ち、RO膜装置4から排出される濃縮水は十分な残圧を有し、この濃縮水の流出流速を利用したエゼクタ5により、膜脱気装置2の気室を減圧することができる。
【0025】
エゼクタ5により、気室内を100〜300Torr(1.3×10−2〜4.0×10−2MPa)、好ましくは150〜250Torr(2.0×10−2〜3.3×10−2MPa)の真空度まで減圧するのが望ましい。
【0026】
このように、真空ポンプを用いることなく、エゼクタ5により膜脱気装置2の気室を減圧することにより、効率的な脱炭酸を行える。
【0027】
図1(b)において、膜脱気装置2の脱炭酸処理水は、活性炭塔3で有機物(TOC)成分等が吸着除去された後、更にRO膜装置4で脱塩処理されて処理水となる。
【0028】
このRO膜装置4における脱塩処理に当っては、脱炭酸処理水中に残留するCO2成分をイオン化してRO膜装置4で除去するために、活性炭塔3の流出水に水酸化ナトリウム(NaOH)等のアルカリを添加してpH6〜7.5程度に調整した後RO膜装置4に導入しても良い。
【0029】
このRO膜装置4としては特に制限はなく、各種の膜種及び型式のものを用いることができる。
【0030】
本発明の脱炭酸方法は、超純水製造における一次系の純水製造工程における脱炭酸処理手段として適用される。即ち、本発明の脱炭酸方法によれば、簡易な装置構成で、稼動コストを低く抑えて長期間安定して大部分のCO2を除去することができ、純水製造用の脱イオン装置へのCO2負荷を低減すると共にCO2負荷を一定にすることができる。そして、これにより、純水製造用の脱イオン装置から高水質の純水を安定して取り出すことができるようになる。
【0031】
図1(b)においては、膜脱気装置の後段に活性炭塔とRO膜装置を設けたものを例示したが、RO膜装置の代りに、イオン交換純水装置(多床式、混床式)、連続再生式電気脱塩装置などの各種の脱イオン装置を用いることができ、複数種類の脱イオン装置を組み合わせて用いることもできる。
【0032】
また、本発明による脱炭酸工程が適用される純水製造工程には、上記の活性炭塔以外の有機物(TOC)除去手段、例えば、紫外線照射手段、酸化剤添加手段などが設けられていても良い。
【0033】
【実施例】
以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
【0034】
実施例1、比較例1〜3
市水(FI値:4.9〜5.0,T−CO2:27〜28mg/L)に有機凝集剤(PAC:ポリ塩化アルミニウム)を10mg/Lの割合にて添加した後、MF膜装置(栗田工業(株)製MF膜,孔径0.2μm)に通水してFI値調整処理することにより、FI値2.5〜2.7の水を得た。
【0035】
この水に酸(HCl)を添加してpH5.0に調整して膜脱気装置の水室に1.5m3/hrで通水すると共に、膜脱気装置の気室に大気圧で表1に示すG(Nm3/hr)/L(m3/hr)比となるように、空気を供給し、処理水のCO2濃度をシーバース社製のTOC計で測定し、原水のT−CO2に対してCO2除去率の変化を調べた。なお膜脱気装置としては、脱気膜としてセルガード社製4インチ脱気膜「Liqui−Cel X−40」を装填したものを用いた。
【0036】
その結果、通水開始時のCO2除去率の初期性能は、ほぼ同等で表1に示す通りであったが、通水開始から3週間程度でCO2除去率に差が生じ始めた。ただし、通水差圧には変化はなかった。
【0037】
CO2除去率の初期性能と1ヶ月通水を継続した後のCO2除去率を表1に示す。
【0038】
【表1】
【0039】
比較例4〜7
PACの添加割合を5mg/Lとしたこと以外は実施例1及び比較例1〜3と同一条件にて同一市水をFI値調整処理、pH調整処理及び膜脱気処理した。このFI値調整処理によりFI値は3.1〜3.3となった。CO2除去率の測定結果を表1に示す。
【0040】
比較例8〜11
PACを添加しなかったこと以外は実施例1及び比較例1〜3と同一条件にて同一市水をFI値調整処理、pH調整処理及び膜脱気処理した。このFI値調整処理によりFI値は3.8〜4.2となった。CO2除去率の測定結果を表1に示す。
【0041】
表1より、本発明によれば、膜脱気装置の膜汚染を抑制することで、膜脱気装置の脱炭酸性能を長期に亘り安定に維持することができることがわかる。
【0042】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明の脱炭酸方法によれば、膜脱気装置を用いて長期に亘り安定して脱炭酸を行うことができる。
【0043】
また、本発明の純水製造方法によれば、このように安定かつ安価に効率的な脱炭酸を行うことで、高純度で純度の安定した純水を安価に製造することができる。
【0044】
請求項2,4によれば、真空設備を用いることなく、低処理コストにて脱炭酸を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)は本発明の脱炭酸方法の実施の形態を示す系統図であり、図1(b)は本発明の純水製造方法の実施の形態を示す系統図である。
【符号の説明】
1 前処理手段
2 膜脱気装置
3 活性炭塔
4 RO膜装置
5 エゼクタ
Claims (4)
- 純水製造用の脱イオン装置へのCO 2 負荷を低減すると共にCO 2 負荷を一定にするための脱炭酸方法であって、脱気膜により隔てられた水室及び気室を有する膜脱気装置の該水室に被処理水を通水して水中の二酸化炭素を除去する脱炭酸方法において、
被処理水を、FI値3未満、pH4〜5.5に調整した後、該膜脱気装置の水室に供給すると共に、該膜脱気装置の気室に気体を供給して脱炭酸を行う方法であって、
該気室への気体供給流量G(Nm3/hr)と該水室への水の供給流量L(m3/hr)との比G/Lを10〜15とすることを特徴とする脱炭酸方法。 - 請求項1において、該膜脱気装置の気室の圧力を水室側圧力以下で大気圧以上とすることを特徴とする脱炭酸方法。
- 被処理水をFI値3未満に処理する前処理工程と、
FI値3以下に処理された水をpH4〜5.5に調整して水中の炭酸イオンを二酸化炭素に変換するpH調整工程と、
脱気膜により隔てられた水室及び気室を有する膜脱気装置の該水室に、pH調整後の水を供給すると共に、気体を該膜脱気装置の気室に供給して脱気を行う脱気膜工程であって、該気室への気体供給量G(Nm3/hr)と該水室への水の供給流量L(m3/hr)との比G/Lが10〜15となるようにして行う膜脱気工程と、
膜脱気後の水を脱イオン装置に通水して脱塩する脱塩工程とを有することを特徴とする純水製造方法。 - 請求項3において、該膜脱気装置の気室の圧力を水室側圧力以下で大気圧以上とすることを特徴とする純水製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001114262A JP3617468B2 (ja) | 2001-04-12 | 2001-04-12 | 脱炭酸方法及び純水製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001114262A JP3617468B2 (ja) | 2001-04-12 | 2001-04-12 | 脱炭酸方法及び純水製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002307059A JP2002307059A (ja) | 2002-10-22 |
JP3617468B2 true JP3617468B2 (ja) | 2005-02-02 |
Family
ID=18965361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001114262A Expired - Fee Related JP3617468B2 (ja) | 2001-04-12 | 2001-04-12 | 脱炭酸方法及び純水製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3617468B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5382282B2 (ja) * | 2006-04-26 | 2014-01-08 | 栗田工業株式会社 | 純水製造装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0225003U (ja) * | 1988-08-06 | 1990-02-19 | ||
JPH0829315B2 (ja) * | 1988-08-15 | 1996-03-27 | オルガノ株式会社 | 脱塩水製造装置 |
JPH0612805Y2 (ja) * | 1989-10-12 | 1994-04-06 | 栗田工業株式会社 | 膜脱気装置 |
US5766479A (en) * | 1995-08-07 | 1998-06-16 | Zenon Environmental Inc. | Production of high purity water using reverse osmosis |
JP3662337B2 (ja) * | 1996-04-15 | 2005-06-22 | 日本錬水株式会社 | 溶存炭酸ガスの除去方法 |
JPH10305A (ja) * | 1996-06-17 | 1998-01-06 | Miura Co Ltd | 脱気装置の目詰まり防止方法 |
JPH11267645A (ja) * | 1998-03-25 | 1999-10-05 | Kurita Water Ind Ltd | 純水の製造方法 |
JP2000051606A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-22 | Japan Organo Co Ltd | 気体透過膜装置 |
JP2000107511A (ja) * | 1998-10-02 | 2000-04-18 | Kurita Water Ind Ltd | 脱炭酸処理法 |
US6062365A (en) * | 1999-01-13 | 2000-05-16 | Eaton Corporation | Automatically adjusting friction clutch with over adjustment protection |
-
2001
- 2001-04-12 JP JP2001114262A patent/JP3617468B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002307059A (ja) | 2002-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3426072B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
JP5910675B2 (ja) | 純水製造装置及び純水製造方法 | |
WO2015012054A1 (ja) | ホウ素含有水の処理方法及び装置 | |
TW201630653A (zh) | 超純水製造裝置以及超純水製造方法 | |
JP3575271B2 (ja) | 純水の製造方法 | |
JP3698093B2 (ja) | 水処理方法および水処理装置 | |
JP2009172462A (ja) | 水質改質装置、及び水処理システム、並びに排水の再利用システム | |
JP4599803B2 (ja) | 脱塩水製造装置 | |
JP2007307561A (ja) | 高純度水の製造装置および方法 | |
JPS62204892A (ja) | 脱塩方法 | |
JP4449092B2 (ja) | 純水製造装置および方法 | |
JP2000015257A (ja) | 高純度水の製造装置および方法 | |
JP2001029752A (ja) | 超純水の製造方法及び装置 | |
JP6629383B2 (ja) | 超純水製造方法 | |
JP3617468B2 (ja) | 脱炭酸方法及び純水製造方法 | |
JP2002355683A (ja) | 超純水製造方法及び超純水製造装置 | |
JP2017127875A (ja) | 超純水製造装置及び超純水製造方法 | |
JP2006095425A (ja) | 廃水の生物処理水含有水の浄化方法及び浄化装置 | |
JP4618073B2 (ja) | 高toc含有cmp排水からの水回収方法及び水回収装置 | |
JPH1199389A (ja) | 有機成分とマンガンを含む水の処理方法 | |
JP4826864B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
WO2021215099A1 (ja) | 排水処理方法、超純水製造方法及び排水処理装置 | |
JP4403622B2 (ja) | 電気脱塩処理方法及び電気脱塩処理装置 | |
JP3444202B2 (ja) | 水処理装置 | |
JP4208270B2 (ja) | 純水の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040720 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041019 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041101 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3617468 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071119 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081119 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081119 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091119 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101119 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101119 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111119 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111119 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121119 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121119 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |