JP3611439B2 - マイクロカプセル型りん系硬化促進剤とそれを用いた半導体封止用エポキシ樹脂組成物 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、貯蔵安定性および成形硬化性に優れたマイクロカプセル型りん系硬化促進剤、および、それを含む半導体封止用エポキシ樹脂組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体パッケージには、量産性と信頼性に優れた樹脂封止方式が多用されている。近年の各種エレクトロニクス機器の小型軽量化、高性能化のニーズから、半導体装置は高密度実装に適した表面実装型半導体装置が多用されている。しかも、半導体パッケージは年々小型薄型化のすう勢にある。
【0003】
一般に、封止材料は保存中に化学反応が進行するので、その対策として低温保管している。しかし、それでも硬化反応は徐々に進行して流動性を低下させ、均質な成型品を安定して得ることができなくなる。また、封止材料は保管中に徐々に吸湿するため、硬化促進剤の種類によっては硬化阻害を起こし、同様に均質な成型品が得られない場合もある。
【0004】
上記課題を解決するためこれまで種々の対策が検討されてきた。特に、封止材料の低吸湿化並びに接着力の増強が課題となっていた。例えば、特開平3−207714号公報や特開平4−48759号公報に示されているように、ビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂とフェノール樹脂系硬化剤からなるエポキシ樹脂組成物でパッケージを形成したり、また、特開平4−50223号公報,特開平4−199856号公報または特開平4−199857号公報に示されているように、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂組成物で、パッケージを形成することで、耐はんだリフロー性の改善が可能になった。
【0005】
また、カプセル型硬化促進剤としては、特開平1−287131号公報には、乳化重合法を用いてトリフェニルホスフィンをメラミン樹脂でカプセル化しているが、シェル材が脆いために破損し易く、コア材の硬化促進剤が溶出し易いために貯蔵安定性に問題がある。
【0006】
特開平6−25470号公報では、硬化促進剤をコロイド状微粒子から得た膜でカプセル化する例が示されているが、それを配合した樹脂組成物の貯蔵安定性を示すゲル化時間の遅延率は僅かに数%である。
【0007】
従って、上記従来技術においては、封止材の貯蔵安定性に関して十分であるとは云えない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
前記の従来技術は、耐はんだリフロー性の改善にはかなり有効であるが、封止材料は室温付近の比較的低温でも硬化反応が徐々に進み、流動性が低下して貯蔵安定性が低下すると云う問題は解決されていない。
【0009】
本発明の目的は、貯蔵安定性および成形硬化性に優れたマイクロカプセル型りん系硬化促進剤およびそれを含む半導体封止用エポキシ樹脂組成物を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは前記特性に影響を及ぼすと考えられるエポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤を始め、充填剤、カップリング剤、離型剤などの各種添加剤、並びに、各素材の混練条件、成型条件などについて検討した。その結果、前記課題は特定の硬化促進剤を用いることにより改善できることを見いだし、本発明に至った。本発明の要旨は次の通りである。
【0011】
(1) りん系硬化促進剤であるトリオルガノホスフィンのホスホベダイン誘導体をコアとし、これをシェル用樹脂組成物で包囲構成したことを特徴とする半導体封止用樹脂組成物に用いるマイクロカプセル型りん系硬化促進剤にある。
【0012】
前記りん系硬化促進剤は、式〔1〕
【0013】
【化3】
【0014】
〔式中、Rは炭素数1〜4のアルキル基またはアルコキシ基である電子供与性置換基で互いに異なっていてもよく、mは0または1〜3の整数を示す〕で表されるトリオルガノホスフィンのホスホベダイン誘導体である。
【0015】
また、前記シェル用樹脂組成物の樹脂が、融点または軟化点が40℃以上である熱硬化性樹脂または熱可塑性樹脂からなる。
【0016】
〔2〕 前記りん系硬化促進剤をコアとし、これをシェル用樹脂組成物で包囲構成したマイクロカプセル型りん系硬化促進剤を含むことを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物にある。
【0017】
前記コアとなるりん系硬化促進剤と、シェル用樹脂組成物を均一に混合した後、機械的エネルギーを加えることでシェルとなる樹脂組成物を溶融させて、前記コアに被覆形成することでマイクロカプセル化することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
本発明のマイクロカプセル型りん系硬化促進剤とは、1粒子中に前記りん系硬化促進剤が1個以上含まれた構成であることは云うまでもない。
【0019】
前記式〔1〕で表されるトリオルガノホスフィンの例としてはトリフェニルホスフィン、トリス(メチルフェニル)ホスフィン、トリス(エチルフェニル)ホスフィン、トリス(プロピルフェニル)ホスフィン、トリス(ブチルフェニル)ホスフィン等のトリス(アルキルフェニル)ホスフィン、トリス(メトキシフェニル)ホスフィン、トリス(エトキシフェニル)ホスフィン、トリス(ブトキシフェニル)ホスフィン等のトリス(アルコキシフェニル)ホスフィンあるいはトリス(アルキル/アルコキシフェニル)ホスフィンが挙げられる。
【0020】
また、上記トリオルガノホスフィンのホスホベダイン誘導体とは、トリオルガノホスフィンにキノン類のP−ベンゾキノン、1,4−ナフイトキノン等が付加したものである。その例としては、トリフェニルホスフィン/P−ベンゾキノン、トリス(アルキルフェニル)ホスフィン/P−ベンゾキノン、トリス(アルコキシフェニル)ホスフィン/P−ベンゾキノン、トリス(アルキル/アルコキシフェニル)ホスフィン/P−ベンゾキノン、トリフェニルホスフィン/1,4−ナフトキノン、トリス(アルキルフェニル)ホスフィン/1,4−ナフトキノン、トリス(アルコキシフェニル)ホスフィン/1,4−ナフトキノン、トリス(アルキル/アルコキシフェニル)ホスフィン/1,4−ナフトキノン等が挙げられる。
【0021】
該マイクロカプセル型りん系硬化促進剤中に含有されるりん系硬化促進剤は5〜90重量%で、好ましくは10〜60重量%である。5重量%未満では、シェル壁が厚くなり過ぎて硬化促進剤が溶出しにくくなり、硬化反応が進みにくい。さらに樹脂成分の割合が多くなり過ぎ、成形材料中のベース樹脂であるエポキシ樹脂の割合が少なくなって、所望の成形材料特性が得られなくなる。
【0022】
また、必要に応じてシェル用樹脂組成物は架橋して用いることができる。
【0023】
一方、りん系硬化促進剤が90重量%を超えると、シェル壁の厚さが薄くなり過ぎて壁が破れ、硬化促進剤が容易に溶出するため反応が促進されて、成型材料の貯蔵安定性が低下する。また、溶融粘度が高くなり金型の細部まで封止材を注入できなくなる。
【0024】
該マイクロカプセル型りん系硬化促進剤のシェルは、融点または軟化点が50〜200℃が好ましい。
【0025】
成形材料は各種素材を配合し、50〜100℃位で加熱混練して製造する。融点または軟化点が40℃よりも低いと、成形材料の製造時の加熱混練中にシェルとなっている樹脂組成物が溶融あるいは軟化破壊し、硬化促進剤の大部分が成形材料中に取り込まれるために反応起点が多くなり、その結果、反応が進行てし溶融粘度が高くなる。
【0026】
また、成形材料は通常200℃以下で成形されるが、シェル用樹脂組成物が架橋していると200℃で溶融あるいは軟化しない場合がある。そのような場合は若干溶融粘度が高くなるが、これも差しつかえない範囲であれば架橋したものでもよい。
【0027】
上記シェル用樹脂組成物の樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、メタクリレート樹脂、オレフィン樹脂、スチレン系樹脂等が挙げられる。これらは必要に応じて架橋して用いることができる。
【0028】
前記マイクロカプセル型りん系硬化促進剤は、コアとなるりん系硬化促進剤とシェルとなる樹脂組成物を混合,混練して得た混練物を粉砕し、さらに所定の体積平均粒径になるように分級してから、メカノフュージョンシステムで処理し、樹脂の微細粒子の摩擦熱によってりん系硬化促進剤表面に付着、融着させて製造する。
【0029】
本発明において、該マイクロカプセル型りん系硬化促進剤は必要に応じて、公知の硬化促進剤と併用することができる。また、通常の硬化促進剤と同様に用いることができる。しかも、必要に応じて、予め70℃以上でエポキシ樹脂あるいは硬化剤と加熱、溶融させてから用いることもできる。
【0030】
マイクロカプセル型りん系硬化促進剤は、硬化促進剤換算でエポキシ樹脂100重量部に対して0.001〜0.1モル、好ましくは0.003〜0.05モルの範囲で配合するのがよい。
【0031】
本発明に使用されるエポキシ樹脂は特に限定されないが、特に、ビフェニル型エポキシ樹脂、o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂が有効である。
【0032】
また、硬化剤としは公知のフェノール系樹脂を用いることができる。エポキシ樹脂と硬化剤の配合比率はエポキシ樹脂に対して0.5〜1.5当量配合するのが望ましい。0.5当量未満ではエポキシ樹脂の硬化が不十分となり、硬化物の耐熱性、耐湿性並びに体積固有抵抗や誘電正接等の電気特性が劣る。また、1.5当量を超えると硬化剤成分が過剰になり、硬化樹脂中に多量のフェノール性水酸基が残るため、前記電気特性および耐湿性が悪くなる。
【0033】
本発明のエポキシ樹脂組成物には無機充填剤を配合することができる。無機充填剤としては溶融シリカ、結晶シリカ、アルミナ、炭酸カルシウム、ケイ酸ジルコニウム、ケイ酸カルシウム、タルク、クレー、マイカ等の微粉末を用いることができる。無機充填剤の配合量は樹脂組成物全体に対して、50〜90容量%が望ましい。これら無機充填剤は硬化物の熱膨張係数や熱伝導率、弾性率等の改良を目的に添加するものであり、配合量が50容量%未満ではこれらの特性を十分に改良し得ず、また、90容量%を超えると樹脂組成物の粘度が著しく上昇して流動性が低下するため、安定した成形品を得ることができない。
【0034】
本発明のマイクロカプセル型りん系硬化促進剤およびそれを含む半導体封止用エポキシ樹脂組成物が、貯蔵安定性,成形硬化性に優れているのは、以下の理由によるものと考えられる。
【0035】
マイクロカプセル型りん系硬化促進剤のりん系硬化促進剤は、シェル中に包含または担持された形態を呈している。それ故、反応成分である樹脂との反応起点が希薄になるために低温域での反応が遅延されるものと考える。しかし、封止材の成形温度である130〜200℃付近では、シェルが溶融あるいは軟化してりん系硬化促進剤が取り込まれ、樹脂との反応起点が増加し、反応が急激に進行するものと考える。
【0036】
【実施例及び比較例】
以下、本発明を実施例及び比較例に基づき具体的に説明する。
【0037】
〔比較例1′〜3′及び実施例4〜6〕
マイクロカプセル型りん系硬化促進剤は次のようにして作製した。素材として、o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(住友化学、ESCN195−3,軟化点:約55℃)100g、表1に記載のりん系硬化促進剤300gを配合し、ヘンシェルミキサに投入混合する。次いでニーダで充分混練した後に粗粉砕後、ジェットミル等で微粉砕した。
【0038】
次に風力分級機を用いて分級し、さらに後処理を加えてマイクロカプセル型りん系硬化促進剤の母材を作製した。
【0039】
次に、前記母材はメカノフュージョンシステムの一つである特殊ミルに入れて高速回転させると、遠心力によってケーシング内壁に付着する。付着した母材表面を特殊治具で擦ると、摩擦熱によってシェルが溶融してコア表面に融着する。これをケーシング内壁から取り出し、表2に記載のマイクロカプセル型りん系硬化促進剤を得た。なお、シェルが溶融して成膜するためにケーシングの回転数を調節して摩擦熱が75℃になるように調節した。
【0040】
得られた各種マイクロカプセル化りん系硬化促進剤を表3に示す組成を用いて、約80℃の2軸ミキシングロールで混練、粉砕してエポキシ樹脂組成物を得た。
【0041】
該エポキシ樹脂組成物の貯蔵安定性は、40℃/20%RHに24時間保管したときの組成物の流動性の変化から求めた。
【0042】
また、吸湿時硬化性は、前記エポキシ樹脂組成物を25℃/90%RHに24時間保管したときの熱時硬度の変化から求めた。貯蔵安定性および熱時硬度の測定はトランスファープレス(金型温度:180℃、圧力:7MPa、成型時間:90秒)で行った結果を表4に示す。
【0043】
【表1】
【0044】
【表2】
【0045】
【表3】
【0046】
【表4】
【0047】
〔比較例 1〜4〕
o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(住友化学、ESCN195−3、軟化点:約55℃)100g、りん系硬化促進剤としてトリフェニルホスフィン、トリス(メトキシフェニル)ホスフィン、トリフェニルホスフィン/P−ベンゾキノン、トリス(メトキシフェニル)ホスフィン/P−ベンゾキノンのそれぞれを100g配合した。メカノフュージョンシステム処理は行わないが、それ以外の条件は実施例1と同様に行った。結果を表4に併せて示す。
【0048】
表4中の熱時硬度は、封止材料を25℃/90%RHの条件下に24時間保管した後に、トランスファープレスで温度:180℃、圧力:7MPaで試験片を成形した。成形直後の試験片の硬さをバーコル硬度計で測定した。熱時硬度変化率は初期値を100とした時の変化率を示す。流動性は封止材料を50℃/20%RHの条件下に24時間保管した後、スパイラルフロー金型を用い、熱時硬度用試験片成形時と同条件でスパイラルフロー試験片を成形した。流動性変化率は初期値を100とした時の変化率を示す。
【0049】
〔比較例7′〜9′、実施例10〜12〕
比較例1′〜3′及び実施例4〜6で用いたと同じ封止材を同条件で作製し、樹脂封止型半導体装置を成形した。
【0050】
耐はんだリフロー性試験は、表面にアルミニウムのジクザク配線を形成したシリコーンチップ(6mm×6mm)を42アロイのリードフレームに搭載し、さらにチップ表面のアルミニウム電極とリードフレーム間を金線(直径30μm)でボンデングした半導体装置(外形:20mm×14mm×厚さ2mm)を樹脂封止し、180℃で10時間後硬化した。
【0051】
耐はんだリフローの信頼性試験は、上記の樹脂封止型半導体装置を85℃/85%RH下で168時間放置後、240℃の赤外線リフロー炉中で90秒加熱する試験を行い、パッケージのクラック発生の有無を調べた。
【0052】
耐湿信頼性試験は、表面実装型のQFP素子(タブ6.7mm×6.7mm)を用い、65℃、95%RHの高温,高湿下で72時間放置後、215℃/90秒間のベーパーリフローと塩水浸漬を行った。さらに、これら素子を95%RHの条件下で500時間放置した後、アルミニウム腐食が発生した素子の数で不良の有無を調べた。
【0053】
高温放置試験は、上記の耐湿性試験に用いたものと同じ樹脂封止型半導体装置を200℃の恒温槽中に200時間放置し、金ワイヤとアルミニウム配線の接合不良を調べた。これらの結果を表5に示す。
【0054】
〔比較例 5〜8〕
比較例1〜4で用いたと同じ封止材を同条件で作製し、樹脂封止型半導体装置を作製した。耐リフロー性、耐湿性、高温放置特性は比較例7′〜9′及び実施例10〜12と同条件で成型後、試験に供した。これらの結果を表5に示す。
【0055】
【表5】
【0056】
【発明の効果】
本発明のマイクロカプセル型りん系硬化促進剤は、それを含む半導体封止用エポキシ樹脂組成物の貯蔵安定性を著しく向上する。
【0057】
また、上記エポキシ樹脂組成物の成形硬化性は、湿度依存性が少ないことが分る。
【0058】
さらに、上記エポキシ樹脂組成物で封止した樹脂封止型半導体装置の耐リフロー性、耐湿性、高温放置特性等の各種信頼性は極めて優れている。
Claims (6)
- トリオルガノホスフィンとキノン類の付加反応物であるホスホベタイン誘導体をコアとし、シェル用樹脂組成物を摩擦熱によって溶融してコアに融着させ、コアを包囲形成したことを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物に用いるマイクロカプセル型りん系硬化促進剤。
- 前記シェル用樹脂組成物の樹脂の融点または軟化点が40℃以上である熱硬化性樹脂または熱可塑性樹脂である請求項1または2に記載のマイクロカプセル型りん系硬化促進剤。
- エポキシ樹脂と、トリオルガノホスフィンとキノン類の付加反応物であるホスホベタイン誘導体をコアとし、シェル用樹脂組成物を摩擦熱によって溶融してコアに融着させ、コアを包囲形成したマイクロカプセル型りん系硬化促進剤とを含むことを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 前記シェル用樹脂組成物の融点または軟化点が40℃以上である請求項4または5に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
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