JP3610860B2 - 半導体ウェーハの製造方法及び半導体ウェーハ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、高集積度に対応可能な超高平坦度を得ることができる半導体ウェーハの製造方法及び半導体ウェーハに関する。
【0002】
【従来の技術】
シリコンウェーハ等の半導体ウェーハを平坦化する技術として、ラッピングやポリッシング等の機械的または機械的化学的に表面または裏面の被加工面を研磨する方法が用いられている。しかしながら、LSI等の配線の高密度化や多層化に伴って更なる配線幅の微細化が必須となっており、シリコンウェーハのさらに高い平坦度(超高平坦度)が要求されているが、上記の研磨方法による平坦化技術では、得られる平坦度に限界があった。
【0003】
そこで、近年、例えば、特開平11−31677号公報や特開平11−67736号公報に記載されている技術、すなわち被加工面に局部的なプラズマエッチングを施して平坦化を図る技術が提案されている。
この種のプラズマエッチング技術では、予めシリコンウェーハの平坦度(面内の厚さばらつき)を求めた後、そのデータに基づいて各部のエッチング量を算出し、厚さばらつきに応じたエッチング量でプラズマエッチングを行うことで高い平坦度を得ることが可能となる。
【0004】
このウェーハの厚さ分布を測定する平坦度測定器としては、一対のプローブの先端を互いに一定間隔で対向させるとともに、これらプローブ間にシリコンウェーハを配し、プローブ間に生じる静電容量を計測することによって、シリコンウェーハの厚さを測定する静電容量センサが用いられていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の平坦化技術には、以下のような課題が残されている。すなわち、プラズマエッチング方法では、平坦度測定器により得られる平坦度のデータを基にして加工を行うため、厚さデータの正確さが大変重要になる。従来の静電容量センサでは、数mm×数mmの面積内で平均された値が各点での平坦度(厚さ)とされるため、形状変化が急峻な部分では、真のウェーハ形状を得られない可能性が高い。特に、シリコンウェーハでは最周辺部(〜3mm)に於ける形状変化が大きくなりやすく、この部分を精確に測定する必要があるが、従来の静電容量センサ方式では困難であった。そして、この不正確な厚さデータに基づいてプラズマエッチング加工を行っても、高集積度に対応可能な超高平坦度のウェーハを製造することができなかった。
【0006】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、プラズマエッチング法によって、超高平坦度を得ることができ、必要な測定精度を維持すると共に、一枚の測定時間が短縮されてスループットを向上させることができる半導体ウェーハの製造方法及び半導体ウェーハを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。
すなわち、本発明の半導体ウェーハの製造方法では、半導体ウェーハの表裏面の少なくとも一方の被加工面をプラズマエッチングにより加工する半導体ウェーハの製造方法であって、前記被加工面の凹凸を測定する被加工面測定工程と、プラズマエッチングにより前記被加工面を前記被加工面測定工程で測定された凹凸に応じてエッチング量を変えながら局部的に加工し平坦化するプラズマ加工工程とを備え、前記被加工面測定工程は、前記被加工面にレーザ光をスポット状に照射して反射した反射光によって前記凹凸を測定する技術が採用される。
【0008】
この半導体ウェーハの製造方法では、被加工面測定工程において、被加工面にレーザ光をスポット状に照射して反射した反射光によって凹凸を測定するので、数μm〜100μm程度の非常に小さいスポットが得られるレーザ光により、従来の静電容量センサに比べて平坦度測定の精度を大幅に向上させることができる。つまり、ウェーハの形状を忠実に表す値を得ることができる。さらに、このデータに基づいてプラズマエッチング加工を行うので、非常に高平坦度なウェーハを製造することが可能になる。
【0009】
本発明の半導体ウェーハの製造方法では、上記の半導体ウェーハの製造方法において、前記プラズマ加工工程は、プラズマにより生成された反応性ラジカルをメインエッチャントとしてプラズマエッチングを行う技術が採用される。
【0010】
この半導体ウェーハの製造方法では、プラズマ加工工程において、プラズマにより生成された反応性ラジカルをメインエッチャントとしてプラズマエッチングを行うので、プラズマ化により生じた反応性イオン及び反応性ラジカルのうち、主に反応性ラジカルによる化学的反応のエッチングであり、反応性イオンをメインエッチャントとしたプラズマエッチングのように物理的なダメージがなく、ダメージレスな平坦化加工が可能になる。
【0011】
本発明の半導体ウェーハの製造方法では、上記の半導体ウェーハの製造方法において、前記被加工面の反対面にレーザ光をスポット状に照射して反射した反射光によって前記反対面の凹凸を測定する反対面測定工程を備え、前記プラズマ加工工程は、前記被加工面の凹凸及び前記反対面の凹凸に応じて被加工面を加工する技術が採用される。
【0012】
この半導体ウェーハの製造方法では、プラズマ加工工程において、被加工面及び反対面の凹凸データによりウェーハ面内の厚さばらつき(平坦度)が得られ、この厚さばらつきに基づいて被加工面を加工することで、より高精度に高平坦度化を得ることができる。
【0013】
本発明の半導体ウェーハの製造方法では、上記の半導体ウェーハの製造方法において、前記被加工面測定工程は、前記被加工面の周辺部を測定する際に前記レーザ光による測定ピッチを他の部分より小さく設定する技術が採用される。
【0014】
この半導体ウェーハの製造方法では、被加工面測定工程において、被加工面の周辺部を測定する際にレーザ光による測定ピッチを他の部分より小さく設定するので、特に形状変化の大きい周辺部を他の部分より精密に測定することができ、さらに被加工面全面を細かな測定ピッチで測る必要が無くなって、一枚の測定時間が短縮されてスループットを向上させることができる。
【0015】
本発明の半導体ウェーハの製造方法では、上記の半導体ウェーハの製造方法において、前記被加工面測定工程は、前記被加工面の任意の半径方向における凹凸を測定する第1の測定工程と、このデータから前記半径方向の凹凸に応じて前記レーザ光による測定ピッチを、形状変化の大きい領域では細かな測定ピッチにし、形状変化の小さい領域では大きな測定ピッチに変えながら前記被加工面全体の凹凸を測定する第2の測定工程とを備える技術が採用される。
前記第1の測定工程において、直線的に半径方向の凹凸をサンプリングして起伏傾向を求め、前記第2の測定工程では、螺旋状に前記被加工面全体の測定を行うことができる。
【0016】
この半導体ウェーハの製造方法では、まず、第1の測定工程において、被加工面の任意の半径方向における凹凸を測定することにより、被加工面の半径方向における凹凸の傾向がサンプリングされ、次に、第2の測定工程において、半径方向の凹凸に応じてレーザ光による測定ピッチを変えながら被加工面全体の凹凸を測定することにより、凹凸の起伏に対応した測定ピッチで被加工面全体を効率的に測定することができる。すなわち、形状変化の大きい領域では細かなピッチにし、形状変化の小さい領域では大きなピッチに設定することができ、必要な測定精度を維持すると共に、一枚の測定時間が短縮されてスループットを向上させることができる。
さらに、本発明の半導体ウェーハの製造方法では、前記被加工面の凹凸及び前記反対面の凹凸を同時に測定することができる。
【0017】
本発明の半導体ウェーハでは、上記の半導体ウェーハの製造方法によって表裏面の少なくとも一方が加工されている技術が採用される。
【0018】
この半導体ウェーハでは、上記半導体ウェーハの製造方法によって表裏面の少なくとも一方が加工されているので、非常に高い平坦度を有しているとともに、最周辺部まで高平坦度を維持することが可能となり、高集積度対応鏡面ウェーハとして好適である。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る半導体ウェーハの製造方法及び半導体ウェーハの第1実施形態を、図1から図4を参照しながら説明する。
【0020】
本実施形態の半導体ウェーハの製造方法は、例えば、単結晶シリコンのインゴットからシリコンウェーハをスライスして、高平坦度ウェーハにまで加工する方法である。
まず、図1に示すように、最初にスライス工程S1によってシリコンインゴットから複数枚のシリコンウェーハを所定厚さにそれぞれスライスする。
【0021】
さらに、面取り工程S2によってスライスされたシリコンウェーハWの周縁に面取り加工を施して面取り面を形成する。
次に、ラッピング工程S3によってシリコンウェーハWをラップ加工し、所定厚さだけ粗研磨が行われてスライシングにより生じた凹凸層が削除される。このラッピング工程S3は、既知のラッピング装置を用いて行われるもので、砥粒と加工液とを混ぜたスラリーをラップ定盤とシリコンウェーハWとの間に入れて両方に圧力を加えながら相対運動させて機械的な研磨を行うものである。
【0022】
次に、エッチング工程S4によって、ラッピングされたシリコンウェーハWをエッチング液によりエッチング処理して機械研磨(ラッピング加工および面取り加工)による加工ダメージを除去する。さらに、研磨工程S5によって、エッチング処理されたシリコンウェーハWの表面に予め決めた厚さだけ機械的化学的研磨を施して鏡面研磨する。
【0023】
この研磨工程S5は、既知の研磨装置を用いて行われる。該研磨装置は、シリコンウェーハWの表面に研磨布を当接させアルカリ性研磨液を供給しながらメカノケミカル研磨を行うものである。これによって、シリコンウェーハWの表面は鏡面化されるが、高集積度対応ウェーハとしては十分な平坦度が得られておらず、特に周辺部の形状変化が大きい状態である。
【0024】
次に、凹凸測定工程(被加工面測定工程)S6によって、研磨されたシリコンウェーハWの表面(被加工面)Sおよび裏面(反対面)Rの凹凸形状を、図2に示すように、平坦度測定器1によって測定する。この平坦度測定器1は、シリコンウェーハWの表面Sおよび裏面Rにそれぞれ対向状態に配されレーザ光Lを用いて凹凸を測定する非接触型の変位センサ2A、2Bと、これらの変位センサ2A、2Bを表面Sおよび裏面Rに沿って移動させる制御を行うと共に測定された凹凸データを記憶する制御部Cとを備えている。
【0025】
変位センサ2A、2Bは、内蔵された半導体レーザから出射されたレーザ光Lを可動対物レンズを介してスポット状にして表面Sおよび裏面Rに照射し、さらにレーザ光Lが表面Sおよび裏面Rで反射した反射光を内部のフォーカスディテクタによって受光すると共にその受光状態に基づいて可動対物レンズを移動させ、その移動を作動トランスによって信号化し、その信号の変化分をデジタル解析することにより表面Sおよび裏面Rの凹凸を測定するようになっている。
なお、レーザ光Lのスポット径は、数μm〜100μm程度まで設定可能である。
【0026】
この平坦度測定器1では、シリコンウェーハWの表面Sおよび裏面Rの凹凸を同時に測定するため、これら凹凸データからシリコンウェーハW面内の厚さばらつき、すなわち平坦度を測定することができる。
この平坦度測定器1で測定する際、制御部Cは変位センサ2A、2Bを予め設定された測定ピッチで移動させながら凹凸の測定を行う。そして、制御部Cは、図3に示すように、表面Sの周辺部Eを測定する際にレーザ光Lによる測定ピッチP1を他の部分の測定ピッチP2より小さく設定している。例えば、シリコンウェーハWの中央部は、3mmの測定ピッチP2に設定すると共に、周辺部Eは、1mmの測定ピッチP1に設定する。
【0027】
シリコンウェーハWの表面Sおよび裏面Rの凹凸を測定した後、得られた凹凸データから面内の厚みばらつきを算出し、プラズマ加工工程S7によって、このデータに応じて表面Sにプラズマ加工を施して平坦化を行う。
このときの各部のエッチング量は、制御部Cに記録された表面Sおよび裏面Rの凹凸データから求めた厚さばらつきのデータに応じて予め設定されている。
【0028】
このプラズマ加工は、エッチングガスをマイクロ波によりプラズマ化して、反応性イオン及び反応性ラジカルを生成し、これらのうち反応性ラジカルをメインエッチャント(すなわち、反応性ラジカルが反応性イオンより多い状態のエッチャント)として局部的なプラズマエッチングを行うDCP(Dry Chemical Planarization)方法であって、反応性イオンをメインエッチャントとしたエッチングを行う従来のプラズマ加工が物理的なダメージを伴うのに対し、反応性ラジカルによる化学的反応でエッチングを行うため、ダメージレスな加工が可能な方法である。
【0029】
本実施形態では、シリコンウェーハWをプラズマエッチングするために、例えばエッチングガスとしてSF6を用い、下記の反応式(1)に示すように、このSF6をマイクロ波によって分解・活性化して反応性イオン(SFx、Fイオン等)および反応性ラジカル(中性ラジカルF*)とし、これらのうち主に反応性ラジカルをシリコンウェーハWの裏面の所定の部分に局部的に噴射させて、下記の反応式(2)に示すように、化学的反応だけでエッチングを行う。
SF6→F*+SFx+・・・ (1)
F*+4Si→SiF4 (2)
【0030】
なお、反応性イオンと反応性ラジカルF*とを分離して反応性ラジカルを噴射ノズル1から噴射させるには、図4に示すように、反応性ラジカルF*に対して反応性イオンionが長い距離存在することができない特性を利用して、マイクロ波によるプラズマ発生領域Mを噴射ノズル1先端から上流側に離間させることにより、主に反応性ラジカルF*を噴射させることができる。
すなわち、上記DCP方法は、シリコンウェーハとエッチングガスとの間に高周波電力によって高周波プラズマを発生させる方法に対し、シリコンウェーハWから離れた位置でマイクロ波によりエッチングガスをプラズマ化でき、反応性ラジカルを選択的に用いることができるという利点がある。
【0031】
このように本実施形態では、凹凸測定工程S6において、表面Sおよび裏面Rにレーザ光Lをスポット状に照射して反射した反射光によって凹凸を測定するので、数μm〜100μm程度の非常に小さいスポットが得られるレーザ光Lにより、形状変化の大きい周辺部Eについても高精度に測定することができる。
【0032】
また、プラズマ加工工程S7において、レーザ光測定方式の凹凸測定工程S6で得られたデータに基づいて反応性ラジカルによるプラズマエッチングを行うので、非常に高平坦度なウェーハをダメージレスで加工・製造することができる。さらに、周辺部Eの凹凸を測定する際に、測定ピッチP1を他の部分の測定ピッチP2より細かく設定するので、効率的にかつ正確な測定が可能になる。
そして、本実施形態により製造されたシリコンウェーハWは、周辺除外領域が小さく高集積度にも対応可能な超高平坦度ウェーハとなる。
【0033】
次に、本発明に係る半導体ウェーハの製造方法及び半導体ウェーハの第2実施形態を、図5および図6を参照しながら説明する。
【0034】
第2実施形態と第1実施形態との異なる点は、第1実施形態が、凹凸測定工程S6においてシリコンウェーハWの表面Sおよび裏面Rの凹凸を予め設定した測定ピッチP1、P2で測定するのに対し、第2実施形態では、図5および図6の(a)に示すように、まず第1の凹凸測定工程(第1の測定工程)S61において、表面Sおよび裏面Rの任意の半径方向における凹凸を測定し、さらに、図6の(b)に示すように、第2の凹凸測定工程(第2の測定工程)S62において、半径方向の凹凸に応じてレーザ光Lによる測定ピッチを変えながら表面S全体および裏面R全体の凹凸を測定する点である。
【0035】
すなわち、本実施形態では、まず、第1の凹凸測定工程S61において、表面Sおよび裏面Rの任意の半径方向に変位センサ2A、2Bを直線的に移動させ(図6の(a)中の矢印方向)、その半径方向の凹凸を1回だけサンプリングして起伏傾向を求める。
【0036】
次に、第2の凹凸測定工程S62では、このデータから形状変化の大きい領域では細かな測定ピッチにし、形状変化の小さい領域では大きな測定ピッチに設定するとともに、螺旋状に変位センサ2A、2Bを移動させながら(図6の(b)中の矢印方向)表面Sおよび裏面R全体の測定を行う。
すなわち、実際に形状変化の大きい領域だけを細かく測定を行うことにより、シリコンウェーハW毎に表面Sおよび裏面R全体を効率的に測定することができる。
【0037】
なお、本発明は、次のような実施形態をも含むものである。
上記各実施形態では、半導体ウェーハとしてシリコンウェーハに適用したが、他の半導体ウェーハ、例えば、化合物半導体のウェーハ(ガリウム・ヒ素のウェーハ等)の製造方法に適用してもよい。
また、第2実施形態では、第1の凹凸測定工程S61と第2の凹凸測定工程S62とに分けて凹凸測定を行ったが、予め凹凸の起伏傾向が分かっている場合等では、第1の凹凸測定工程を行わなくても構わない。
【0038】
【発明の効果】
本発明の半導体ウェーハの製造方法および半導体ウェーハによれば、被加工面にレーザ光をスポット状に照射して反射した反射光によって凹凸を測定し、この凹凸に応じてプラズマ加工が施されるので、非常に小さいレーザ光のスポットにより、大幅に測定精度が向上し、特に形状変化の大きい周辺部を高精度に測定可能になって、周辺除外領域を小さくすることができる。したがって、デザインルール0.10μm以降の高集積度にも対応可能な超高平坦度のウェーハが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体ウェーハの製造方法及び半導体ウェーハの第1実施形態における製造工程を示すフローチャートである。
【図2】本発明に係る半導体ウェーハの製造方法及び半導体ウェーハの第1実施形態における凹凸測定工程の平坦度測定器を示す概略構成図である。
【図3】本発明に係る半導体ウェーハの製造方法及び半導体ウェーハの第1実施形態における周辺部の測定ピッチを示す説明図である。
【図4】本発明に係る半導体ウェーハの製造方法及び半導体ウェーハの第1実施形態におけるDCPによるプラズマ加工を示す説明図である。
【図5】本発明に係る半導体ウェーハの製造方法及び半導体ウェーハの第2実施形態における製造工程を示すフローチャートである。
【図6】本発明に係る半導体ウェーハの製造方法及び半導体ウェーハの第2実施形態における第1の凹凸測定工程および第2の凹凸測定工程の測定方法を示す説明図である。
【符号の説明】
E シリコンウェーハの周辺部
L レーザ光
P1、P2 測定ピッチ
S5 研磨工程
S6 凹凸測定工程(被加工面測定工程)
S61 第1の凹凸測定工程(第1の測定工程)
S62 第2の凹凸測定工程(第2の測定工程)
S7 プラズマ加工工程
S シリコンウェーハの表面
R シリコンウェーハの裏面
W シリコンウェーハ(半導体ウェーハ)
Claims (3)
- 半導体ウェーハの表裏面の少なくとも一方の被加工面をプラズマエッチングにより加工する半導体ウェーハの製造方法であって、
前記被加工面の凹凸を測定する被加工面測定工程と、
前記被加工面の反対面にレーザ光をスポット状に照射して反射した反射光によって前記反対面の凹凸を測定する反対面測定工程と、
プラズマエッチングにより前記被加工面を前記被加工面測定工程で測定された凹凸に応じてエッチング量を変えながら局部的に加工し平坦化するプラズマ加工工程と、
を備え、
前記プラズマ加工工程は、プラズマにより生成された反応性ラジカルをメインエッチャントとして前記プラズマエッチングを行うとともに、前記被加工面の凹凸及び前記反対面の凹凸に応じて被加工面を加工し、
前記被加工面測定工程は、前記被加工面にレーザ光をスポット状に照射して反射した反射光によって前記凹凸を測定し、
前記被加工面の任意の半径方向における凹凸を測定する第1の測定工程と、
このデータから前記半径方向の凹凸に応じて前記レーザ光による測定ピッチを、形状変化の大きい領域では細かな測定ピッチにし、形状変化の小さい領域では大きな測定ピッチに変えながら前記被加工面全体の凹凸を測定する第2の測定工程とを備え、
前記被加工面の周辺部を測定する際に前記レーザ光による測定ピッチを他の部分より小さく設定することを特徴とする半導体ウェーハの製造方法。 - 請求項1記載の半導体ウェーハの製造方法において、
前記第1の測定工程において、直線的に半径方向の凹凸をサンプリングして起伏傾向を求め、前記第2の測定工程では、螺旋状に前記被加工面全体の測定を行うことを特徴とする半導体ウェーハの製造方法。 - 請求項1または2記載の半導体ウェーハの製造方法において、
前記被加工面の凹凸及び前記反対面の凹凸を同時に測定することを特徴とする半導体ウェーハの製造方法。
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