JP3608455B2 - 半導体加速度センサ - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、加速度を検出する半導体加速度センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体加速度センサの従来例を図6及び図7にもとづき説明する。尚、半導体加速度センサとして、ピエゾ抵抗による加速度検知方式を例にあげて説明する。図6は半導体加速度センサの断面図であり、図7は半導体加速度センサの上面図で、特に半導体加速度センサの本体部となるチップ部1の上面構造を示すものである。チップ部1には、重り部5と撓み部4が形成されている。重り部5は、加速度検出のための質量体であり、撓み部4により支持されている。これらは、チップ部1下面からアルカリ異方性エッチングにより、撓み部4の肉薄形状の形成するとともに、重り部5周辺を貫通させてコの字に近いスリット10を形成することで形成される。重り部5は異方性エッチングで形成されるため、その断面形状は台形となる。また、撓み部4上にはピエゾ抵抗6が形成され、従来例では、撓み部4が2本互いに平行に形成され、各撓み部4には各々2個、合計4個のピエゾ抵抗6が形成されている。ピエゾ抵抗6は配線11により、ブリッジ回路を構成するように配線されている。このブリッジ回路により、加速度を受けた時のピエゾ抵抗6の抵抗値変化が電気信号として出力される。配線11は、コンタクト部12を介して、アルミ配線13と接続され、アルミ配線13は、ワイヤボンディング用のパッド14に接続される。さらにこのパッド14と、電源供給用及び電気信号出力用の外部端子とがワイヤ7でボンディング接続される。
【0003】
ここで、図6における上部ガラスストッパ2及び下部ガラスストッパ3は、チップ部1上面,下面に各々陽極接合により接合され、過大な加速度が生じたとき、重り部5の変位を制限し撓み部4の破壊を防止する役目を備えている。
【0004】
この上部ガラスストッパ2及び下部ガラスストッパ3は、重り部5の変位(揺動)空間を確保するための凹部がエッチングやサンドブラスト加工等で形成してある。このように空間(エアギャップ)を形成して、エアダンピングを大気圧下で行うようにし、チップ部1の加速度感知部(ピエゾ抵抗6,撓み部4,重り部5)を密閉状態にし、過大な加速度を受けた場合でも、その狭い空間における重り部5の変位を抑制して、チップ部1の破壊を防止している。ここで、重り部5のエアダンピング効果を利用して半導体加速度センサの周波数特性が最適となるように、上部ガラスストッパ2及び下部ガラスストッパ3の凹部の深さや形状を設定する。また、重り部5の一定以上変位を防止するため、この凹部に突起8を設けることがある。、
次に加速度検出の動作について説明する。加速度αがチップ部1の垂直方向に加わると重り部5に力F=mα(m:質量)が発生し、重り部5が変位する。この力Fにより撓み部4が撓んで表面に歪みが発生し、この歪みによりピエゾ抵抗6の抵抗値が変化する。ピエゾ抵抗6は、一対の撓み部4に各々2個設けられるとともに、ブリッジ回路を構成するように配線されている。このブリッジ回路により、ピエゾ抵抗6の抵抗値変化が電気信号として出力される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の半導体加速度センサの構成では、このパッド14を介して、電源供給用及び電気信号出力用の外部端子とをワイヤ7でボンディング接続しなければならず、半導体加速度センサのサイズが大きくなり、また、ワイヤボンディング時の振動により撓み部4が折れたりすることがある。さらに重り部5の変位を制限する突起8も別途形成しなければならない等の問題がある。
【0006】
本発明は、上記事由に鑑みてなしたもので、その目的とするところは、ワイヤボンディング工程を不要とするとともに、重り部の変位を制限する突起も容易に形成して、信頼性が高く、小型化の図れる半導体加速度センサを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1記載の発明は、加速時に変位する重り部と、該重り部に連結された撓み部と、該撓み部を支持する支持部と、該撓み部に前記重り部の変位により加速度を検知する半導体加速度センサチップと、該半導体加速度センサチップと接合されて前記重り部の過度の変位を抑制するストッパとを有する半導体加速度センサにおいて、主表面に対して略直交方向、かつ第1主表面と第2主表面に端部が露出する1本又は複数本の金属線を有する金属線入りガラス基板を前記ストッパに用い、前記金属線入りガラス基板の一部において金属線を含む周辺部のガラスを除去して凹部を形成し、該凹部内に突出した前記金属線を、重り部の過度の変位を抑制する突起部としたことを特徴とするものである。
【0008】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の半導体加速度センサにおいて、前記金属線入りガラス基板において、前記突起部となる金属線以外の金属線の露出部と半導体加速度センサチップの電極部と圧接して、該金属線をリード線としたことを特徴とするものである。
【0009】
請求項3記載の発明は、請求項2記載の半導体加速度センサにおいて、前記金属線入りガラス基板の前記リード線となる金属線の端部を所定の長さとなるように除去し、該除去部に金属メタライズ面を形成し、該金属メタライズ面と半導体加速度センサチップの電極部と圧接したことを特徴とするものである。
【0010】
請求項4記載の発明は、請求項2記載の半導体加速度センサにおいて、前記金属線入りガラス基板の前記リード線となる金属線の端部を所定の長さとなるように除去し、該除去部にスタッドバンプを形成し、該スタッドバンプと半導体加速度センサチップの電極部と圧接したことを特徴とするものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係る半導体加速度センサについて図1乃至図6にもとづき説明する。
【0013】
図1乃至図3は本発明の第1の実施の形態の半導体加速度センサを示す図で、図1及び図3は半導体加速度センサの断面構造を示す図で、図2は半導体加速度センサの本体部となるチップ部1の上面構造を示すものである。基本構成および動作は従来の実施例と同様であるが、構成が次のように異なる。尚、以下に示す構成の関係で従来例に対して上下を反転した図となる。
【0014】
ここで上部ガラスストッパ2に金属線入りガラスを用いる。この金属線入りガラス基板は、高融点の金属線を内臓しているとともに陽極接合が可能なように可動金属イオンが含有されている。この金属線入りガラスには例えば、HOYA株式会社製のSD2−WIN(商標)がある。本発明においては、金属線が主表面に対して略直交方向、かつ第1主表面と第2主表面に端部が露出するように金属線入りガラスをスライス加工をして、金属線入りガラス基板として用いる。また、金属線の材料としては、タングステン(融点2610℃)、モリブデン(3387℃)等を用いる。以下この金属線入りガラス基板を単にガラス基板と称することとする。
【0015】
チップ部1の従来ワイヤボンディングにより外部端子と接続されていたパッド14と、ガラス基板表面に露出した金属線19の端部とが圧接するように位置を合せ、チップ部1表面のガラス接合用のアルミ薄膜9とを陽極接合する。これによりパッド14と金属線19とが電気的接続がなされる。また、金属線19のもう一端(パッケージと接続する側の面)には、外部接続電極パッド20をスパッタ又はメッキにより形成する。尚、この外部接続電極パッド20は、突起上のバンプでもよい。また、上部ガラスストッパ2の別の部位には、パッケージに接続した時に、傾斜することのないようダミーのパッドを形成しておく。
【0016】
このように、上部ガラスストッパ2に金属線入りガラスを用い、内部の金属線19とパッド14を圧接するようにしたので、金属線19が外部接続用のリード線となり、ワイヤボンドが不要となるとともに、パッケージへの実装面積が削減されるという効果を奏する。 図3は本発明の第1の実施の形態の半導体加速度センサの別の部位の断面構造を示す図である。ここでは、ガラス基板の金属線19を含む周辺部のガラスをサンドブラスト加工等により除去し、凹部を形成し、これを上部ガラスストッパ2及び下部ガラスストッパ3として用いる。金属線19は高硬度であるため、ほとんど削られることなく凹部の所定の位置に金属線19が突出して残る。この突出した金属線が、重り部5の変位を制限する従来例の突起(8)となる。この金属線19の突出部の高さ19aを微調整するために、サンドブラスト加工でガラス基板を除去する前に、例えば、塩化第2鉄溶液等で、金属線19の先端の一部をエッチングしておいてもよい。尚、凹部の深さは、約数十μmで、金属線19の突出部の高さ19aはこの凹部の深さより数μm〜10μm弱程度低くなるように調整する。
【0017】
このようにガラス基板の金属線19を含む周辺部のガラスをサンドブラスト加工等により除去し、凹部を形成し、これを上部ガラスストッパ2及び下部ガラスストッパ3として用いるようにしたので、容易に重り部5の変位を制限する従来例の突起(8)を実現し、撓み部4の破損を防止することができるという効果を奏する。
【0018】
図4は本発明の第2の実施の形態の半導体加速度センサとして、第1の実施の形態において、金属線19をリード線とした場合の電極部の構造を示す図である。ガラス基板の金属線19が所定の長さとなるように、例えば数μmから約10μmのエッチングを行い、このエッチング部に下層金属メタライズ面21を形成する。その材料は例えば、Ti,Cr,Ni等である。次に上層金属メタライズ面22として、Au又はPt等をスパッタ又はメッキにより形成する。上層メタライズ面22の厚さは、例えば、数千オングストローム〜数μmレベルでよい。この上層メタライズ面23とチップ部1表面のパッド14を陽極接合により圧接又は、拡散接合(Au−AL拡散)して、電気的接続を行う。
【0019】
このようにガラス基板の金属線19が所定の長さとなるようにエッチングを行い、除去部に金属メタライズ面(21,22)を形成するようにしたので、金属線19とパッド14の電気的接続の信頼性が向上するという効果を奏する。
【0020】
図5は本発明の第3の実施の形態の半導体加速度センサとして、第1の実施の形態において、金属線19をリード線とした場合の電極部の構造を示す図である。ガラス基板の金属線19が所定の長さとなるように、例えば数μmから約10μmのエッチングを行い、このエッチング部に下層金属メタライズ面21を形成する。その材料は例えば、Ti,Cr,Ni等である。次にこの上に、Auワイヤボンダーで、Auのスタッドバンプ23を形成する。このスタッドバンプ23の上部とチップ部1表面のパッド14を陽極接合時に印加される荷重で、スタッドバンプ23を(金属線19除去部内部に広がるように)変形し圧着または、拡散結合(Au−AL拡散)により電気的接続を行う。
【0021】
このようにガラス基板の金属線19が所定の長さとなるようにエッチングを行い、除去部にスタッドバンプ23を形成するようにしたので、容易な構成で金属線19とパッド14の電気的接続の信頼性が向上するという効果を奏する。
【0022】
以上実施の形態として、ピエゾ抵抗による加速度検知方式を例にあげたが、この方式に限定するものではない。
【0023】
【発明の効果】
上述の如く、本発明の請求項1記載の発明によれば、加速時に変位する重り部と、該重り部に連結された撓み部と、該撓み部を支持する支持部と、該撓み部に前記重り部の変位により加速度を検知する半導体加速度センサチップと、該半導体加速度センサチップと接合されて前記重り部の過度の変位を抑制するストッパとを有する半導体加速度センサにおいて、主表面に対して略直交方向、かつ第1主表面と第2主表面に端部が露出する1本又は複数本の金属線を有する金属線入りガラス基板を前記ストッパに用い、前記金属線入りガラス基板の一部において金属線を含む周辺部のガラスを除去して凹部を形成し、該凹部内に突出した前記金属線を、重り部の過度の変位を抑制する突起部とするようにしたので、重り部の変位を制限する突起を容易に形成して、信頼性が高く、小型化の図れる半導体加速度センサを提供することができた。
【0024】
請求項2記載の発明においては、前記金属線入りガラス基板において、前記突起部となる金属線以外の金属線の露出部と半導体加速度センサチップの電極部と圧接して、該金属線をリード線としたので、ワイヤボンドが不要となるとともに、パッケージへの実装面積が削減されるという効果を奏する。
【0025】
請求項3記載の発明においては、前記金属線入りガラス基板の前記リード線となる金属線の端部を所定の長さとなるように除去し、該除去部に金属メタライズ面を形成し、該金属メタライズ面と半導体加速度センサチップの電極部と圧接したので、半導体加速度センサチップと金属線と電気的接続の信頼性が向上するという効果を奏する。
【0026】
請求項4記載の発明においては、前記金属線入りガラス基板の前記リード線となる金属線の端部を所定の長さとなるように除去し、該除去部にスタッドバンプを形成し、該スタッドバンプと半導体加速度センサチップの電極部と圧接したので、容易に半導体加速度センサチップと金属線と電気的接続の信頼性が向上するという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の半導体加速度センサを示す断面図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態の半導体加速度センサを示す上面図である。
【図3】本発明の第1の実施の形態の半導体加速度センサを示す断面図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態の半導体加速度センサの電極部を示す断面図である。
【図5】本発明の第3の実施の形態の半導体加速度センサの電極部を示す断面図である。
【図6】従来の半導体加速度センサの断面図である。
【図7】従来の半導体加速度センサの上面図である。
Claims (4)
- 加速時に変位する重り部と、該重り部に連結された撓み部と、該撓み部を支持する支持部と、該撓み部に前記重り部の変位により加速度を検知する半導体加速度センサチップと、該半導体加速度センサチップと接合されて前記重り部の過度の変位を抑制するストッパとを有する半導体加速度センサにおいて、主表面に対して略直交方向、かつ第1主表面と第2主表面に端部が露出する1本又は複数本の金属線を有する金属線入りガラス基板を前記ストッパに用い、前記金属線入りガラス基板の一部において金属線を含む周辺部のガラスを除去して凹部を形成し、該凹部内に突出した前記金属線を、重り部の過度の変位を抑制する突起部としたことを特徴とする半導体加速度センサ。
- 前記金属線入りガラス基板において、前記突起部となる金属線以外の金属線の露出部と半導体加速度センサチップの電極部と圧接して、該金属線をリード線としたことを特徴とする請求項1記載の半導体加速度センサ。
- 前記金属線入りガラス基板の前記リード線となる金属線の端部を所定の長さとなるように除去し、該除去部に金属メタライズ面を形成し、該金属メタライズ面と半導体加速度センサチップの電極部と圧接したことを特徴とする請求項2記載の半導体加速度センサ。
- 前記金属線入りガラス基板の前記リード線となる金属線の端部を所定の長さとなるように除去し、該除去部にスタッドバンプを形成し、該スタッドバンプと半導体加速度センサチップの電極部と圧接したことを特徴とする請求項2記載の半導体加速度センサ。
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