JP3604054B2 - 酸素または窒素の分析に用いる試料体の形成方法および装置 - Google Patents
酸素または窒素の分析に用いる試料体の形成方法および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3604054B2 JP3604054B2 JP08447397A JP8447397A JP3604054B2 JP 3604054 B2 JP3604054 B2 JP 3604054B2 JP 08447397 A JP08447397 A JP 08447397A JP 8447397 A JP8447397 A JP 8447397A JP 3604054 B2 JP3604054 B2 JP 3604054B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- mold
- nitrogen
- oxygen
- space
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばセラミックスなどに含まれる酸素または窒素を分析する際に用いる試料体の形成方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、Y2 O3 (酸化イットリウム)などの酸化物に含まれるO(酸素)や、Si3 N4 (窒化珪素)などの窒化物に含まれるN(窒素)などの分析は、一般に次のように行われる。すなわち、気密下に置かれる試料抽出炉内の一対の電極間に黒鉛るつぼをセットし、この黒鉛るつぼ内に前記酸化物や窒化物などを試料として投入するとともに、Ar(アルゴン)などの不活性ガスをキャリアガスとして試料抽出炉内に供給しながら、前記電極間に大電流を流して黒鉛るつぼ内の試料を電気的に融解させ、そのとき発生するガスを分析計に導き、分析されたガス濃度を基にして元素を定量分析している。
【0003】
ところで、前記試料として用いられる酸化物や窒化物は、粉体状または粒体状であることが多く、従来においては、例えば特開平8−128932号公報に示されるような装置を用いて、前記分析に用いる試料体を形成していた。
【0004】
すなわち、前記公報に示される試料体の形成方法は、図5に示すように、ニッケル製の容器51に試料52を収容するとともに、容器51の上部開口をニッケル製の蓋体53で覆ったものを、下部金型54上に載置した状態で上部金型55を矢印A方向に押圧し、下部金型54と上部金型55とによって挟圧して試料52を密閉容器56内に封入するものであった。
【0005】
上記公報に開示された手法によれば、技巧や熟練を要することなく、常に一定形状の試料体を形成することができる。そして、容器51に対して蓋体53を密閉性よく圧接できるので、密閉容器56内に収容された試料52が外部に漏れ出すといった不都合もない。そして、試料中に分析対象である酸素または窒素が比較的高濃度に含まれる場合には、下記表1に示すように、安定した結果を得ることができる。この表1は、窒素を高濃度に含有する物質において窒素を分析したときに得られたデータで、標準偏差や変動係数が小さい。
【0006】
【表1】
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、試料中に分析対象である酸素または窒素がごく微量しか含まれてないような場合には、下記表2に示すように、分析結果にばらつきが生じ安定した結果を得ることができない。この表2は、窒素をきわめて低濃度に含有する物質において窒素を分析したときに得られたデータで、標準偏差や変動係数が大きい。
【0008】
【表2】
【0009】
上述のように、試料中に分析対象である酸素や窒素が高濃度に含まれる場合に比べて、低濃度にしか含まれない場合に、分析結果がそれほど安定してないのは、大気中に含まれる酸素や窒素が前記容器51内に混入するためであろうと推測できる。前記図5に示した手法によって、50mgの試料52をニッケル製容器54内に封入した場合、容器54内に0.5μL(マイクロリットル)の空気が含まれていると、空気に起因する窒素は約9ppm、同じく酸素は約3ppmとなってしまう。つまり、低濃度領域における酸素や窒素の分析においては、わずかな空気が存在するだけでその分析結果に大きな影響が及ぼされるのである。
【0010】
この発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、空気中の酸素や窒素を混入させることなく所望の試料体を形成することができる酸素または窒素の分析に用いる試料体の形成方法および装置を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明では、内部に試料を収容し、上部開口が蓋体によって覆われた容器を第1金型と第2金型とによって挟圧するようにした酸素または窒素の分析に用いる試料体の形成方法において、前記第1金型と第2金型とによって形成される空間を外気と遮断された空間とし、この空間内にヘリウムガス又はアルゴンガスを満たした状態で前記挟圧を行うようにしている。
【0012】
また、この発明は、内部に試料を収容し、上部開口が蓋体によって覆われた容器を第1金型と第2金型とによって挟圧するようにした酸素または窒素の分析に用いる試料体の形成装置において、前記第1金型と第2金型とによって形成される空間を外気と遮断された空間とし、この空間内にヘリウムガス又はアルゴンガスを満たした状態で前記挟圧を行う ようにしたことを特徴とする酸素または窒素の分析に用いる試料体の形成装置を提供する。
【0013】
上記いずれの発明においても、酸素や窒素が存在しない雰囲気の下で試料体を形成することができ、空気中の酸素や窒素の試料への混入を可及的になくすことができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好ましい実施例を説明する前に、比較例について図1〜3を参照しながら説明する。
【0015】
図1〜図3は比較例を示している。まず、図1および図2は、この発明に係る酸素または窒素の分析に用いる試料体の形成装置(以下、単に形成装置という)の一例を示すもので、これらの図において、1は上部が開口し下部が閉塞された有底の円筒状容器、2はこの容器1内に収容される粉体状の試料、3は試料2を収容した容器1の上部開口4を閉鎖する蓋体である。
【0016】
より具体的には、前記容器1および蓋体3は、例えば、高純度のニッケルよりなる。そして、容器1は、例えば、外径3〜15mm、内径2〜10mm、深さ1〜10mm程度の大きさに形成されている。また、蓋体3は、図示例では、その中央部が容器1内に嵌まり込み、周辺部が容器1に当接するように形成されているが、これに限られるものではなく、容器1の上部開口4の全てを覆い、これを押圧したとき上部開口4を密閉できるものであれば任意の形状のものを採用できる。
【0017】
5は下方に位置する第1金型6と、両矢印方向に直線的に移動するように第1金型6の上方に対向して配置される第2金型7からなる形成装置で、これらの金型6,7は、例えばステンレス鋼よりなる。第1金型6は、例えば小径部と大径部とからなる円柱状のブロックで、その上部表面のほぼ中央に断面視皿状の凹部8が形成されている。また、第2金型7は、下方が開口した円柱状のブロックで、その下部表面のほぼ中央、つまり、第1金型6の凹部8に対応する位置に断面視逆皿状の凹部9が形成されているとともに、下部表面の周部に第1金型6よりやや大径のガイド部10が垂下して設けられている。前記凹部8,9は、容器1および蓋体3の押圧時に容器1および蓋体3がずれないようにするためのものである。
【0018】
上述の構成は、特開平8−128932号公報に示された構成とほとんど変わるところがないが、この比較例の形成装置5では、第1金型6と第2金型7とによって形成される空間を外気と遮断された密閉空間とし、この空間内の空気を排除して空間内を減圧状態とし、その状態で前記挟圧を行うようにしたことが大きく異なる。
【0019】
すなわち、図1および図2において、11は第2金型7のガイド部10が第1金型6の側部12を外嵌するとき両金型6,7によって形成される空間で、この空間11内に容器1および蓋3が配置されるが、この比較例では、この空間11を外気と遮断された密閉空間となるようにしてある。より具体的には、第2金型7のガイド部10の内径を第1金型6の側部12の外径よりやや大きくなるように形成するとともに、第1金型6の上部側面にはシール溝13を周設し、この溝13内に適宜のシール部材14が嵌め込んである。
【0020】
さらに、前記第1金型6には、一端が密閉空間11に連通し、他端に外部接続部15を有する排気孔16が設けられている。17は外部接続部15に接続される排気管で、その端部には真空ポンプ18が設けられている。なお、図示してないが、密閉空間11の圧力をモニターする圧力センサが設けられている。
【0021】
次に、上記構成の形成装置を用いて試料体を形成する方法について、図3をも参照しながら説明する。
【0022】
(1)図1に示すように、第1金型6を、凹部8が上方になるように、プレス19のベッド20上に固定するとともに、第2金型7を、その凹部9が下方になるように、プレス19のスライド21に固定する。そして、真空ポンプ18を接続した排気管17を第1金型6の外部接続部15に接続する。
【0023】
(2)粉体状の試料2を秤量して容器1内に収容する。
【0024】
(3)内部に一定量の試料2を収容した容器1を、第1金型6の凹部8上に載置するとともに、容器1の上部開口4を覆うように蓋体3を被せた後、スライド21を下降させると、第2金型7のガイド部10と第1金型6の上面とにより密閉された空間11が形成され、その状態を保持する。そして、この状態で真空ポンプ18を動作させることにより、密閉空間11内が排気される(図3(A)参照)。
【0025】
(4)前記真空ポンプ18による排気を例えば5分間行うことにより、密閉空間11の圧力が20Torrというように減圧されると、プレス19を動作させてスライド21を下降させ、例えば、50〜700kg/cm2 程度の押圧力で、第2金型7を第1金型6に向けて押圧する。この押圧により、蓋体3は容器1に密着し(図3(B)参照)、さらに、容器1および蓋体3は同図(C)に示すように変形する。
【0026】
(5)さらに押圧後スライド21を上昇させて押圧を解除すると、第1金型6上には、図3(D)に示すように、容器1の上部開口4が蓋体3によって完全に閉塞された偏平(円盤状)な試料体22が形成される。
【0027】
上記形成装置によれば、粉体状または粒体状の試料2を収容した状態で容器1の押圧と成形を同時に行うことができ、酸素または窒素の分析に必要な試料体22を簡単に形成することができ、しかも、常に一定形状の試料体22を得ることができる。
【0028】
そして、より特筆すべきことは、容器1および蓋体3を押圧する前に、それらを設置した密閉空間11内を十分排気して減圧し、空気がほとんど存在しない状態にしているので、プレス19による押圧で形成された試料体22の内部には、ほとんど空気が混入することがない。つまり、酸素または窒素の分析を行う際、誤差要因となる空気、特に、それの大半を占める窒素と酸素が試料体22に入り込んだり、残留させることなく所望の試料体22を形成することができる。
【0029】
下記表3および表4は、上述のようにして形成された試料体22を用いて窒素を分析した例を示している。
【0030】
【表3】
【0031】
【表4】
【0032】
上記表3は、窒素を高濃度に含有する試料2を上述のようにして封入した試料体22を用いて窒素を分析したときに得られたデータで、この表3を表1と比べた場合、標準偏差および変動係数がさらに小さくなり、よりばらつきの少ない測定結果が得られていることが分かる。
【0033】
また、上記表4は、窒素をきわめて低濃度に含有する試料2を上述のようにして封入した試料体22を用いて窒素を分析したときに得られたデータで、この表4を表2と比べた場合、標準偏差が1/5以下になるとともに、1/4.5以下となり、非常にばらつきの少ない測定結果が得られていることが分かる。
【0034】
このように、比較例の形成装置5によって形成された試料体22は、試料中に高濃度の窒素が含まれている場合において、測定精度が従来手法の試料体に比べて向上しているが、低濃度領域における窒素の分析における測定精度をより大幅に向上させる効果があることが分かる。
【0035】
さらに、下記表5は、上述のようにして形成した試料体22を形成後空気中に放置した時間と窒素分析値との関係を示すもので、この表5は、比較例によって形成された試料体22を用いて定量分析した場合、その形成後空気中に放置した時間と測定結果との間に特に相関はなく、安定した結果が得られることを示している。
【0036】
【表5】
【0037】
そして、比較例によって形成される試料体22は、上記窒素の定量分析のみならず、酸素の定量分析にも同様に用いることができるのはいうまでもない。それは、酸素分析においては、空気中の酸素の影響を受けるからであり、上述の手法を採用することにより、空気中の酸素の影響を低減する(なくす)ことができるからである。
【0038】
上述の比較例においては、試料体22を形成する際、密閉空間11の空気を排除して空間内を減圧状態としていたが、前記密閉空間11内に、窒素や酸素の定量分析に悪影響を与えないヘリウムガス又はアルゴンガスを満たすようにしたこの発明の好ましい実施例を図4を参照しながら説明する。なお、図4において、図1〜図3に示す符号と同一のものは同一または相当物である。
【0039】
図4において、23,24は第1金型6内に形成される通気孔で、両通気孔23,24はいずれも一端が空間11に連通し、他端に外部接続部25,26を備えている。そして、27はヘリウムガス又はアルゴンガスを収容したボンベで、開閉弁28を備えた流路29を介して一方の通気孔23の外部接続部25に接続されている。また、30は他方の外部接続部26に接続される流路である。
【0040】
このように構成された実施例の形成装置5においては、プレス19による容器1および蓋体3の押圧に先立って、開閉弁28を開いて例えばヘリウムガスを一方の通気孔23から空間11に対して供給することにより、空間11をヘリウムガスでパージし、空間11内にヘリウムガスを満たすのである。このようにヘリウムガスでパージされた空間11には、酸素や窒素は存在しないから、試料体22の形成時にこれらの酸素や窒素が試料体22に混入することがない。したがって、この実施例による手法で形成された試料体22を用いて酸素または窒素を定量分析した場合、上述の比較例によるものと同等またはそれ以上の高精度で分析を行うことができる。
【0041】
なお、この実施例では、前記ヘリウムガスのほかに、アルゴンガスを用いることができる。
【0042】
また、実施例においては、容器1および蓋体3を高純度のニッケルで形成しているが、これに代えて、鉄で形成してもよい。
【0043】
【発明の効果】
この発明は、以上のような形態で実施され、以下のような効果を奏する。
【0044】
この発明においては、内部に試料を収容し、上部開口が蓋体によって覆われた容器を第1金型と第2金型とによって挟圧するようにして試料体を形成する場合、第1金型と第2金型とによって形成される空間を外気と遮断された空間とし、この空間内にヘリウムガス又はアルゴンガスを満たした状態で前記挟圧を行うようにしているので、妨害成分となる空気中の酸素や窒素が試料体に混入することがなくなる。
【0045】
したがって、上述のようにして形成された試料体を用いることにより、セラミックスなどに含まれる酸素や窒素を高精度で測定することができ、特に、低濃度領域の測定精度を大幅に向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】比較例に係る形成装置の一例を一部を断面して示す図である。
【図2】前記装置の要部を拡大して示す縦断面図である。
【図3】前記装置の動作説明図である。
【図4】この発明の一実施例に係る形成装置の一例を一部を断面して示す図である。
【図5】従来技術を説明するための図である。
【符号の説明】
1…容器、2…試料、3…蓋体、4…上部開口、6…第1金型、7…第2金型、11…空間。
Claims (2)
- 内部に試料を収容し、上部開口が蓋体によって覆われた容器を第1金型と第2金型とによって挟圧するようにした酸素または窒素の分析に用いる試料体の形成方法において、前記第1金型と第2金型とによって形成される空間を外気と遮断された空間とし、この空間内にヘリウムガス又はアルゴンガスを満たした状態で前記挟圧を行うようにしたことを特徴とする酸素または窒素の分析に用いる試料体の形成方法。
- 内部に試料を収容し、上部開口が蓋体によって覆われた容器を第1金型と第2金型とによって挟圧するようにした酸素または窒素の分析に用いる試料体の形成装置において、前記第1金型と第2金型とによって形成される空間を外気と遮断された空間とし、この空間内にヘリウムガス又はアルゴンガスを満たした状態で前記挟圧を行うようにしたことを特徴とする酸素または窒素の分析に用いる試料体の形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08447397A JP3604054B2 (ja) | 1997-03-17 | 1997-03-17 | 酸素または窒素の分析に用いる試料体の形成方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08447397A JP3604054B2 (ja) | 1997-03-17 | 1997-03-17 | 酸素または窒素の分析に用いる試料体の形成方法および装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10260121A JPH10260121A (ja) | 1998-09-29 |
JP3604054B2 true JP3604054B2 (ja) | 2004-12-22 |
Family
ID=13831622
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08447397A Expired - Fee Related JP3604054B2 (ja) | 1997-03-17 | 1997-03-17 | 酸素または窒素の分析に用いる試料体の形成方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3604054B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5363245B2 (ja) * | 2009-08-31 | 2013-12-11 | 株式会社堀場製作所 | 試料体を形成するための形成治具及び形成方法 |
KR101225302B1 (ko) * | 2010-05-28 | 2013-01-22 | 현대제철 주식회사 | 질소분석을 위한 시료준비 장치 및 그 방법 |
WO2018131149A1 (ja) * | 2017-01-13 | 2018-07-19 | 株式会社ニコン | 粉末収容容器および異物の検査方法 |
-
1997
- 1997-03-17 JP JP08447397A patent/JP3604054B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10260121A (ja) | 1998-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108844787B (zh) | 自反馈密封腔气体取样装置及其应用 | |
JP3604054B2 (ja) | 酸素または窒素の分析に用いる試料体の形成方法および装置 | |
CA2391071C (en) | Multiwell apparatus | |
JP5479321B2 (ja) | トランスポートポッドインターフェースおよび分析装置 | |
EP1203919B1 (en) | Sample introduction assembly | |
US3946228A (en) | Method and apparatus for determining gas content in inorganic substances | |
JP2005537488A (ja) | ガス供給アダプタ | |
US20120087834A1 (en) | Apparatus for synthesis and assaying of materials with temperature control enclosure assembly | |
US3201994A (en) | Fluid sampling device | |
JP3443191B2 (ja) | 加熱による試料分析方法で用いる試料体の形成方法 | |
EP1045241A2 (en) | Method of measuring the permeability of a material using thermogravimetric analysis techniques | |
WO2001064950A3 (en) | Device and method for preparing a sample for analysis | |
US5172581A (en) | Method and apparatus for analyzing encapsulated vapors | |
JPH0195527A (ja) | ワイヤボンデイング装置 | |
JPH06341936A (ja) | 加熱による試料分析方法で用いる試料体の形成方法およびその治具 | |
JP3876062B2 (ja) | 血液検査体および血液検査装置 | |
CN112834310B (zh) | 一种测定掺氮样品中氮含量的预处理方法及装置 | |
JP2513093B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP3659333B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP4305682B2 (ja) | 拡散装置とこれを用いた半導体結晶への不純物拡散法 | |
JPH11213931A (ja) | 試料導入装置 | |
JPH0594766U (ja) | 気密試料容器 | |
JP4635227B2 (ja) | ガス試料採取装置及び方法 | |
CN116203110A (zh) | 一种真空封装器件内部气氛的测试工装、方法及校准方法 | |
CN114323818A (zh) | 陶瓷气密封元器件内部气氛取样方法及应用 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040521 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040615 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040730 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040921 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040924 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101008 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101008 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |