JP3603044B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハやプリント回路基板等の被処理物に熱処理を施す熱処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
従来、例えば半導体ウェハの熱処理装置として、筒状のヒータの内部空間に縦型のプロセスチューブを配置したものが知られている。このような縦型の熱処理装置には、上記のプロセスチューブの上端部に設けた排気口に、継手部を介して排気管を連結し、プロセスチューブの下端部に設けた供給口から上記排気管側にプロセスガスを流した状態で被処理物に熱処理を行うものも提供されている。
【0003】
ところが、上記のような従来の縦型の熱処理装置では、処理内容によっては熱処理で生じた副生成物が上記継手部や排気管の内面に付着することがあった。例えば半導体ウェハ上に塗布されたポリイミド膜のベーク処理を実施した場合、ポリイミド膜に含まれた有機溶剤を含んだ副生成物がヒータからの輻射熱で気化され、継手部や排気管の内面に接することで冷却されてその内面に付着し、そのように付着した副生成物が内面から剥離して落下することがあった。その結果、プロセスチューブ内の被処理物が汚染される恐れがあった。
【0004】
上記のような従来の問題点に鑑み、本発明は、継手部及び排気管の内面に付着した副生成物がプロセスチューブの下端部側へ落下するのを防ぐことができ、よって被処理物が汚染されるのを防止することができる熱処理装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の熱処理装置は、上端部に排気口を有する縦型のプロセスチューブと、継手部を介在して前記排気口に連結された排気管と、被処理物を搭載して前記プロセスチューブ内を昇降可能に配置されたボートとを備え、前記プロセスチューブ内で被処理物に熱処理を行う熱処理装置であって、
前記排気口よりも大きく開口された開口部を有し、当該排気口側から落下する副生成物を回収するためのトレーを、その排気口と前記ボートの上部との間に配置したことを特徴としている(請求項1)。
【0006】
上記のように構成された熱処理装置では、上記トレーを排気口とボートの上部との間に配置したことにより、継手部及び排気管の内面に付着していた副生成物が落下したときでも、その落下してきた副生成物を受け止めてプロセスチューブの下端部側へ落下するのを防ぐことができる。
【0007】
また、上記熱処理装置(請求項1)において、前記トレーを前記ボートの天板に搭載することが好ましい(請求項2)。
この場合、ボートをトレーとともに下降させてプロセスチューブから引き出した状態で、当該熱処理装置の点検扉などから適宜上記トレーを取り出すことにより、回収した副生成物を簡単に廃棄することができるとともに、そのトレーを排気口とボートの上部との間に配置するための特別な構造をプロセスチューブ内に設ける必要がないので、当該装置の構造を簡略化することができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の熱処理装置の好ましい実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の一実施形態である熱処理装置の要部構成を示す概略断面図である。図において、本実施形態の熱処理装置では、立設された縦型の石英製のプロセスチューブ1と、このプロセスチューブ1の外周外方に設けられた筒状のヒータ2とを備えている。また、この熱処理装置には、プロセスチューブ1内のプロセスガスを排気するための石英製の排気管3が設けられており、この排気管3はプロセスチューブ1の上端部に設けられた排気口1aに継手部4を介して連結されている。
【0009】
具体的にいえば、これらのプロセスチューブ1と排気管3との継手部4には、図に示すように、例えばボールジョイントタイプのものが用いられており、半球面状に形成された排気管3の端部3aの内側表面と上記排気口1aの周りに形成された球面状部1bの外側表面とを互いに当接させることでプロセスチューブ1と排気管3とを連結している。尚、この継手部4には、上記排気管3とこれに巻き付けられた断熱材5とを上方から下方に押さえるための押さえ部材等(図示せず)が含まれており、当該継手部4でのシール性を確保するようなっている。
【0010】
上記プロセスチューブ1は、下端開口より被処理物としての半導体ウェアWを搭載したボート8が搬入出されるよう構成されており、その内部空間には、下端部に設けられた供給口1cからN2ガス等のプロセスガスが供給される。
上記ヒータ2は、筒状の断熱壁2aに覆われたものであり、その断熱壁2aの上端部には、上記の継手部4が断熱材6を介在して挿通されている。また、このヒータ2とプロセスチューブ1との間には、筒状の均熱管7が配置されており、ヒータ2からの輻射熱をプロセスチューブ1に対して均一に伝導して、温度むらを生ずることなく、所望の温度プロファイルで複数の各半導体ウェハWに所定の熱処理が行えるよう構成されている。
【0011】
上記ボート8は、図示を省略した昇降機構によって上記プロセスチューブ1内を昇降可能に配置されたものであり、複数の半導体ウェハWを搭載してバッチ処理できるよう構成されている。詳細には、ボート8は、例えば円板状に形成された天板8aと、この天板8aに連結され、当該天板8aを支持する長尺の支柱8bと、支柱8bが取り付けられた取付板8cとを備えており、上記の支柱8bに設けられた溝(図示せず)によって半導体ウェハWを1枚ずつ保持している。また、このボート8の下端部には、炉口扉を兼用したフロアープレート8dが設けられており、上記プロセスチューブ1の下端開口を密閉できるようになっている。尚、取付板8cとフロアープレート8dとの間には、ヒートバリア部8eが設けられており、熱処理時に上記の輻射熱がフロアープレート8dに伝わるのを抑えている。
【0012】
また、上記ボート8の天板8a上には、トレー9が着脱可能に搭載されている。このトレー9は、一端部が開口した石英製の有底ケースにより構成されたものであり、その一端開口部を上記排気口1a側に向けた状態で止め具(図示せず)によって天板8aに固定されている。これにより、上記排気口1a側からプロセスチューブ1の下端部側へ落下する副生成物を受け止めて回収することができる。
【0013】
上記のように構成された熱処理装置では、ボート8の天板8a上に載せたトレー9によって上記排気口1a側からプロセスチューブ1の下端部側へ落下する副生成物を受け止めることができるので、熱処理工程で生じた副生成物が継手部4及び排気管3の内面に付着した後、その付着した内面から剥離して落下してきたとしても、落下してきた副生成物をトレー9によって受け止めることができる。したがって、プロセスチューブ1内での副生成物の落下を有効に抑えることができ、上記副生成物によってプロセスチューブ1内の半導体ウェハWが汚染されるのを防止することができる。さらに、副生成物がフロアープレート8d上に堆積されることがないので、プロセスチューブ1の下端部などの洗浄作業を不要として、当該装置のメンテナンス作業を簡単なものとすることができる。
【0014】
また、本実施形態では、ボート8の天板8aにトレー9を搭載しているので、メンテナンス作業時に、ボート8をトレー9とともに下降させてプロセスチューブ1から引き出した状態で、当該装置の点検扉などから適宜上記トレー9を取り出すことことにより、回収した副生成物を簡単に廃棄することができる。さらに、トレー9を配置するための取付部材などをプロセスチューブ1内に設ける必要がないので、当該装置の構造を簡略化することができる。
【0015】
尚、本発明は、上記継手部4や排気管3の内面に付着している熱処理での副生成物が排気口1aを経てプロセスチューブ1の下端部側に落下物として落下することが懸念される熱処理装置に適用することができる。具体的には、例えば半導体ウェハW上のポリイミド膜を焼成するベーク炉、あるいは固体ソース、例えば三酸化アンチモンを加熱し昇華した三酸化アンチモンをキャリアガスによりプロセスチューブ内に導入して、半導体ウェハにアンチモン(ドーパント)を熱拡散させてn型半導体素子を形成する固体拡散炉にも好適に用いることができる。
【0016】
また、上記の説明では、トレー9をボート8の天板8aに搭載した構成について説明したが、本発明は排気口1aとボート8の上部との間にトレー9を配置する構成であれば何等限定されない。
【0017】
【発明の効果】
以上のように構成された本発明は以下の効果を奏する。
請求項1の熱処理装置によれば、継手部及び排気管の内面に付着していた副生成物が落下したときでも、上記トレーにより落下してきた副生成物を受け止めてプロセスチューブの下端部側へ落下するのを防ぐことができるので、被処理物が上記副生成物によって汚染されるのを防止することができる。さらに、上記副生成物がプロセスチューブの下端部などに落下して堆積することがないので、下端部などの洗浄作業を不要として、当該装置のメンテナンス作業を簡単なものとすることができる。
【0018】
また、請求項2の熱処理装置によれば、例えば当該装置のメンテナンス作業時に、点検扉などから上記トレーを取り出すことができ、回収した副生成物を簡単に廃棄することができる。さらに、トレーを配置するための特別な構造をプロセスチューブ内に設ける必要がないので、当該装置の構造を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態である熱処理装置の要部構成を示す概略断面図である。
【符号の説明】
1 プロセスチューブ
1a 排気口
3 排気管
4 継手部
8 ボート
8a 天板
9 トレー
Claims (2)
- 上端部に排気口を有する縦型のプロセスチューブと、継手部を介在して前記排気口に連結された排気管と、被処理物を搭載して前記プロセスチューブ内を昇降可能に配置されたボートとを備え、前記プロセスチューブ内で被処理物に熱処理を行う熱処理装置であって、
前記排気口よりも大きく開口された開口部を有し、当該排気口側から落下する副生成物を回収するためのトレーを、その排気口と前記ボートの上部との間に配置したことを特徴とする熱処理装置。 - 前記トレーを前記ボートの天板に搭載したことを特徴とする請求項1記載の熱処理装置。
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2001
- 2001-05-14 JP JP2001143383A patent/JP3603044B2/ja not_active Expired - Fee Related
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