JP3601317B2 - 半導体集積回路 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路における電源電圧の供給方法に関し、特に外部端子を増加させずに安定な電源電圧を供給するためのレイアウト構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般的に高いS/N比が要求される高S/N回路ブロックと、電源ノイズを発生する回路ブロックが同一の半導体集積回路内にある場合、それぞれの回路ブロックに電源電圧を供給する手法として、外部から供給される電源電圧をそれぞれの回路ブロック専用パッドを介して供給することがよく知られている。例えばこの種の電源電圧供給方法として▲1▼特開平6−037259号広報等に記載される方法などがある。
【0003】
図4に前記文献▲1▼に記載された半導体集積回路を従来例1として示す。図中430、431、433、435はVSS電位を半導体集積回路へ供給するための外部電源端子、432、434はVDD電位を半導体集積回路へ供給するための外部電源端子、47A、47B、48A、48Bは半導体集積回路の外部へデータを出力するデータ出力回路、49A、49Bは内部回路、410から421は外部電源端子と接続され電源電圧を半導体集積回路内に供給するパッド、41はパッド415と接続しデータ出力回路48A,48BにVDDを供給する配線、42はパッド414と接続しデータ出力回路47A、47BにVDDを供給する配線、43はパッド412、416、418と接続しデータ出力回路47A,47BにVSSを供給する配線、44はパッド410、417、419と接続しデータ出力回路48A,48BにVSSを供給する配線、45はパッド413、421と接続し内部回路49A、49BにVDDを供給する配線、46はパッド411、420と接続し内部回路49A、49BにVSSを供給する配線である。この構成においてデータ出力回路と内部回路はそれぞれ専用の外部電源端子をもち、更にデータ出力回路と内部回路共通の外部電源端子を持っている。前者のそれぞれの専用の外部電源端子は、データ出力回路の動作に起因する電源ノイズを低インピーダンスの外部電源端子から電源供給源に吸収させることによって内部回路の動作に影響を及ぼすことを抑え、それぞれの回路に安定した電源供給をすることができるという効果を有し、また後者のそれぞれの共通の外部電源端子は、VSS、VDDの同一極性の電源配線同士を短絡させ半導体集積回路外部からの静電気の拡散経路を大きくし内部電源の静電気耐圧を向上させるという効果を有する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
近年、商品のダウンサイジング化の傾向が進む中で、半導体集積回路の小チップ化、または半導体集積回路を搭載するパッケージの軽薄短小の需要は強まっている。しかしながら、上述の従来の半導体集積回路の構成では、それぞれの回路ブロック専用の外部電源端子と共通の外部電源端子が必要になり外部端子数の増加を招き、ひいてはパッケージの小型化を阻害してしまうという課題があった。
【0005】
【課題を解決するための手段】
第一の発明に係る半導体集積回路は、電源ノイズを発生する第1の回路ブロックおよび高S/N比が要求される第2の回路ブロックと、外部電源端子1から第1の電源電圧が供給される第1のパッドおよび第1のパッドに接続される第1の電源供給入出力ブロックと、外部電源端子2から第2の電源電圧が供給される第2のパッドおよび第2のパッドに接続される第2の電源供給入出力ブロックと、前記第1、第2の電源供給入出力ブロックに接続され前記第1の回路ブロックに電源を供給し外部との信号の入出力を行う第1の信号入出力ブロックと、前記第1、第2の電源供給入出力ブロックに接続され前記第2の回路ブロックに電源を供給し外部との信号の入出力を行う第2の信号入出力ブロックを内蔵する半導体集積回路において、前記第1、第2の電源供給入出力ブロックの少なくともどちらか一方が、前記第1の信号入出力ブロックと第2の信号入出力ブロックの間に配置されることを特徴とする半導体集積回路。
【0006】
第二の発明に係る半導体集積回路は、第一の発明に係る半導体集積回路において、外部から前記第1、第2の電源電圧を前記第2の回路ブロックへ供給する手段として、外部と直接接続していない未使用のパッドを経由して供給することを特徴とする半導体集積回路。
【0007】
第三の発明に係る半導体集積回路は、第一、第二の発明に係るの半導体集積回路において、外部から前記第1、第2の電源電圧を前記第2の回路ブロックと前記第2の信号入出力ブロックへ供給する配線経路において、前記第1、第2のパッド部の配線上位層から配線下位層へ、また配線下位層から配線上位層に戻り更に配線下位層を経由して供給することを特徴とする半導体集積回路。
【0008】
【作用】
第一の発明に係る半導体集積回路によれば、電源ノイズを発生する第1の回路ブロックに電源を供給し外部との信号の入出力を行う第1の信号入出力ブロックと高S/Nが要求される第2の回路ブロックに電源を供給し外部との信号の入出力を行う第2の信号入出力ブロックとの間に外部電源端子からの電源電圧がパッドを介して接続される電源供給入出力ブロックを配置することによって、第1の回路ブロックが発生した電源ノイズは第2の回路ブロックへ伝わる経路よりもより低いインピーダンスをもった電源供給入出力ブロック側へ伝わるので電源ノイズを電源パッドから外部電源端子を経由して電源供給源側に吸収させることができる。また前記第1、第2の信号入出力ブロックが発生する電源ノイズも同様に吸収される。よって前記2つの回路ブロック専用の外部電源端子を設けることなく電源電圧を安定化させることができる。
【0009】
第二の発明に係る半導体集積回路によれば、第一の発明に係る半導体集積回路中の高S/Nが要求される第2の回路ブロックに電源を供給し外部との信号の入出力を行う第2の信号入出力ブロックにおいて、外部端子と直接接続していない未使用のパッドを電源電圧が一旦経由して第2の回路ブロックに供給されることによって、電源ノイズを発生する前記各回路ブロックや外部電源端子から見た第2の回路ブロックまでの配線経路に抵抗や寄生容量をつけることができるので第2の回路ブロックに供給される電源電圧をより安定化できる。
【0010】
第三の発明に係る半導体集積回路によれば、第一、第二の発明に係る半導体集積回路において、外部から前記第1、第2の電源電圧を前記第2の回路ブロックと前記第2の信号入出力ブロックへ供給する手段として、前記第1、第2のパッド部の配線上位層から配線下位層へ、また配線下位層から配線上位層に戻り更に配線下位層を経由して供給することにより電源ノイズを発生する各回路ブロックや外部電源端子から見た第2の回路ブロックまでの配線経路中の配線接続抵抗を増やすことができるので、第2の回路ブロックに供給される電源電圧をより安定化できる。
【0011】
【発明の実施の形態】
図1は第一の発明の半導体集積回路の実施例1であって、図中1はノイズを発生する内部回路ブロック、2は高S/N回路、3は外部VDD端子、4は外部VSS端子、10は3の外部VDD端子からボンディングワイヤ22によりVDD電位が供給される電源パッド、11は4の外部VSS端子からボンディングワイヤ23によりVSS電位が供給される電源パッド、7〜9は本来未使用のパッド、15は10の電源パッドに接続されるVDD電位供給入出力ブロック、16は11の電源パッドに接続されるVSS電位供給入出力ブロック、14は15、16の電源供給入出力ブロックに接続され2の高S/N回路に電源を供給し5〜6のパッドを介して外部との信号の入出力を行う高S/N回路用信号入出力ブロック、17は15、16の電源供給入出力ブロックに接続され1の内部回路に電源を供給し12〜13のパッドを介して外部との信号の入出力を行う内部回路用信号入出力ブロックである。第一の発明において、内部回路の動作に起因して発生する電源ノイズ18は内部回路用信号入出力ブロックへまず伝わる。そして内部回路用信号入出力ブロックの動作に起因して発生する電源ノイズ19と前述の電源ノイズ18は高S/N回路に電源を供給する高S/N回路用信号入出力ブロックに伝わる前に電源供給入出力ブロックを介し、高S/N回路への伝搬経路よりも極めて低インピーダンスである電源ノイズ吸収経路20、21を経由して、電源供給源にほとんど吸収される。従来意識して配置していなかった電源供給入出力ブロックの配置方法により、前述のような効果が期待できる。図1では高S/N回路用信号入出力ブロックが内部回路用信号入出力ブロックに対して片側だけ隣り合わせになった場合の実施例1を説明したが、高S/N回路用信号入出力ブロックが内部回路用信号入出力ブロックに挟まれた場合の実施例2を図2に示す。図中1はノイズを発生する内部回路、2は高S/N回路、3a、3bは外部VDD端子、4a、4bは外部VSS端子、10a、10bは3a、3bの外部VDD端子からボンディングワイヤ22a、22bによりVDD電位が供給される電源パッド、11a、11bは4a、4bの外部VSS端子からボンディングワイヤ23a、23bによりVSS電位が供給される電源パッド、7a〜7cおよび7d〜7eは本来未使用のパッド、15a、15bは10a、10bの電源パッドに接続されるVDD電位供給入出力ブロック、16a、16bは11a、11bの電源パッドに接続されるVSS電位供給入出力ブロック、14は15a、15b、16a、16bの電源供給入出力ブロックに接続され2の高S/N回路に電源を供給し5aのパッドを介して外部との信号の入出力を行う高S/N回路用信号入出力ブロック、17a、17bは15a、15b、16a、16bの電源供給入出力ブロックに接続され1の内部回路に電源を供給し5bのパッドを介して外部との信号の入出力を行う内部回路用信号入出力ブロックである。実施例2では、高S/N回路用信号入出力ブロックが内部回路用信号入出力ブロックに挟まれているので、高S/N回路用信号入出力ブロックの二辺にある高S/N回路用信号入出力ブロックと内部回路用信号入出力ブロックの境界に電源供給入出力ブロックを配置することで、実施例1と同様の効果を期待できる。
【0012】
上述2つの実施例では電源供給入出力ブロックに、VDD電位供給ブロックとVSS電位供給ブロックの2つを定義して説明してきたが、本発明は必ずしも前述2つの電位供給ブロックに適応することを限定するものではない。
【0013】
次に第二の発明について第一の発明の実施例1でもちいた図1を使って説明する。図中7〜8は本来使用しない未使用のパッドであるが、このパッド7、8を経由して外部からVSS、VDD電位を高S/N回路へ供給する。第二の発明によってパッド7、8を経由する為の配線抵抗や配線切り替えの為の配線接続抵抗および、パッドにつく数pF単位の寄生容量を高S/N回路への電源供給経路につけることができるので、第一の発明で除去しきれなかった電源ノイズを減衰することができ、高S/N回路に供給される電源電圧をさらに安定化できる。上述の実施例では外部から未使用パッドを経由して高S/N回路に供給される電位をVSS、VDD電位の2つを定義して説明したが、前述のどちらか一方の電位だけに本発明を適用することを限定するものではない。
【0014】
次に第三の発明について第一の発明の実施例2でもちいた図2を使って説明する。この例でも第二の発明で説明した本来未使用であったパッド7c、7dを経由して高S/N回路に電源を供給している上に7b、7eのパッドも各電源供給経路に接続されているのでパッドの寄生容量が更に電源ノイズを減衰し電源の安定化に寄与する。図中24は高S/N回路にVDD電位を供給する一経路、25は高S/N回路にVSS電位を供給する一経路を示したものである。この二つの電源供給経路を更に詳しく説明する図を図3に示す。
【0015】
図中26、27は内部回路および内部回路用入出力ブロックから発生する電源ノイズ、2は高S/N回路、3aは外部VDD端子、4a外部VSS端子、10aは3aの外部VDD端子からボンディングワイヤ22aによりVDD電位が供給される電源パッド、11aは4aの外部VSS端子からボンディングワイヤ23aによりVSS電位が供給される電源パッド、7c、7dは本来未使用のパッドである。また、CM31〜CM36で示す第3層目の配線層による配線抵抗、CC31〜CC36で示す第3層目の配線接続層による配線接続抵抗、CM20〜CM29で示す第2層目の配線層による配線抵抗、CC21〜CC28で示す第2層目の配線接続層による配線接続抵抗、CM11〜CM18で示す第1層目の配線層による配線抵抗であり。これらの配線抵抗や配線接続抵抗が高S/N回路までの電源供給の一経路である24、25に形成される。更に第1層目の配線層で形成する配線には、ソース電位を落とすための拡散層が第1層目の配線接続層により接続されており、この拡散層と基板との間には配線接続抵抗CC10〜CC19を介してC1〜C6で示すような寄生容量がつく。前述の配線抵抗や容量により26、27の電源ノイズは減衰し、第一、第二の発明よりも更に電源電圧を安定供給することができる。上述の実施例では高S/N回路にVDD、VSS電位を供給する一経路を定義して説明したが、前述一つの電源供給経路だけに本発明を適用することを限定するものではない。
【0016】
また、本実施例では配線層が3層ある場合を説明したが、配線層数の限定をするものではない。
【0017】
【発明の効果】
以上述べたように本発明の請求項1に係る半導体集積回路によれば、高S/N回路に電源を供給する高S/N回路用信号入出力ブロックと電源ノイズ源との間に電源供給入出力ブロックを配置することによって、電源ノイズを電源パッドから外部電源端子を経由して電源供給源側に吸収させることができ、各回路ブロック専用の外部電源端子を設けることなく電源電圧を安定化させることができるので外部端子数が削減でき、小型パッケージ化に対応できる。また、電源供給源側からみれば外部電源端子は、VSS、VDDの同一極性の電源配線同士を短絡されているので半導体集積回路外部からの静電気の拡散経路は大きくなり、内部電源の静電気耐圧は確保できる。
【0018】
また本発明の請求項2に係る半導体集積回路によれば第一の発明に係る半導体集積回路において、電源電圧を高S/N回路ブロックへ供給する手段として外部と直接接続していない未使用のパッドを経由して供給することで電源供給経路のインピーダンスを高くすることができるので第一の発明で除去しきれなかった電源ノイズを更に減衰することができるとともに第一の発明の効果も有する。
【0019】
また本発明の請求項3に係る半導体集積回路によれば、電源電圧を高S/N回路ブロックへ供給する手段として、パッド部の配線上位層から配線下位層へ、また配線下位層から配線上位層に戻り更に配線下位層を経由して供給することにより電源ノイズを発生する各回路ブロックや外部電源端子から見た第2の回路ブロックまでのインピーダンスを増やすことができるので、電源電圧をより安定化できるとともに、第一、第二の発明の効果も有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】第一の発明の実施例1、第二の発明の実施例を示すレイアウト配置図。
【図2】第一の発明の実施例2、第三の発明の実施例を示すレイアウト配置図。
【図3】第三の発明の実施例の詳細を示す回路模式図。
【図4】従来例を示すレイアウト模式図。
【符号の説明】
1・・・・・・・・・・・・内部回路ブロック
2・・・・・・・・・・・・高S/N回路
3・・・・・・・・・・・・外部VDD端子
3a、3b・・・・・・・・外部VDD端子
4・・・・・・・・・・・・外部VSS端子
4a、4b・・・・・・・・外部VSS端子
5〜6・・・・・・・・・・パッド
5a、5b・・・・・・・・パッド
6a、6b・・・・・・・・パッド
7〜9・・・・・・・・・・本来未使用のパッド
7a〜7c・・・・・・・・本来未使用のパッド
7d〜7e・・・・・・・・本来未使用のパッド
10・・・・・・・・・・・VDD電位が供給される電源パッド
10a、10b・・・・・・VDD電位が供給される電源パッド
11・・・・・・・・・・・VSS電位が供給される電源パッド
11a、11b・・・・・・VSS電位が供給される電源パッド
12〜13・・・・・・・・パッド
14・・・・・・・・・・・高S/N回路用信号入出力ブロック
15・・・・・・・・・・・VDD電位供給入出力ブロック
15a、15b・・・・・・VDD電位供給入出力ブロック
16・・・・・・・・・・・VSS電位供給入出力ブロック
16a、16b・・・・・・VSS電位供給入出力ブロック
17・・・・・・・・・・・内部回路用信号入出力ブロック
17a、17b・・・・・・内部回路用信号入出力ブロック
18〜19・・・・・・・・電源ノイズ
20〜21・・・・・・・・電源ノイズ吸収経路
22〜23・・・・・・・・ボンディングワイヤ
22a、22b・・・・・・ボンディングワイヤ
23a、23b・・・・・・ボンディングワイヤ
24、25・・・・・・・・高S/N回路までの電源供給の一経路
27・・・・・・・・・・・内部回路、内部回路用入出力ブロックの電源ノイズ
41〜46・・・・・・・・配線
47A、47B・・・・・・データ出力回路
48A、48B・・・・・・データ出力回路
49A、49B・・・・・・内部回路
410〜421・・・・・・パッド
431、435・・外部VSS端子
432、433、434・・外部VDD端子
CM31〜CM36・・・・第3層目の配線層による配線抵抗
CC31〜CC36・・・・第3層目の配線接続層による配線接続抵抗
CM20〜CM29・・・・第2層目の配線層による配線抵抗
CC21〜CC28・・・・第2層目の配線接続層による配線接続抵抗
CM11〜CM18・・・・第1層目の配線層による配線抵抗
CC10〜CC19・・・・第1層目の配線接続層による配線接続抵抗
C1〜C6・・・・・・・・寄生容量
Claims (2)
- 高S/N比が要求される第1の回路ブロックと、
ノイズの発生源となる第2の回路ブロックと、
外部電源端子1から第1の電源電圧が供給される第1のパッドと、
前記第1のパッドに接続される第1の電源供給入出力ブロックと、
外部電源端子2から第2の電源電圧が供給される第2のパッドと、
前記第2のパッドに接続される第2の電源供給入出力ブロックと、
前記第1、第2の電源供給入出力ブロックに接続され前記第1の回路ブロックに電源を供給し外部との信号の入出力を行う第1の信号入出力ブロックと、
前記第1、第2の電源供給入出力ブロックに接続され前記第2の回路ブロックに電源を供給し外部との信号の入出力を行う第2の信号入出力ブロックと、を内蔵する半導体集積回路において、
前記第1、第2の電源供給入出力ブロックが、
前記第1の信号入出力ブロックと前記第2の信号入出力ブロックの間に配置され、
前記第1の信号入出力ブロックが外部端子と未接続の第3のパッドを有し、前記第1もしくは第2の電源を前記第3のパッドを経由して前記第1の回路ブロックに供給することを特徴とする半導体集積回路。 - 高S/N比が要求される第1の回路ブロックと、
ノイズの発生源となる第2の回路ブロックと、
外部電源端子1から第1の電源電圧が供給される第1のパッドと、
前記第1のパッドに接続される第1の電源供給入出力ブロックと、
外部電源端子2から第2の電源電圧が供給される第2のパッドと、
前記第2のパッドに接続される第2の電源供給入出力ブロックと、
前記第1、第2の電源供給入出力ブロックに接続され前記第1の回路ブロックに電源を供給し外部との信号の入出力を行う第1の信号入出力ブロックと、
前記第1、第2の電源供給入出力ブロックに接続され前記第2の回路ブロックに電源を供給し外部との信号の入出力を行う第2の信号入出力ブロックと、を内蔵する半導体集積回路において、
前記第1、第2の電源供給入出力ブロックが、
前記第1の信号入出力ブロックと前記第2の信号入出力ブロックの間に配置され、
前記第2の信号入出力ブロックが外部端子と未接続の第4のパッドを有し、前記第1もしくは第2の電源を前記第4のパッドを経由して前記第2の回路ブロックに供給することを特徴とする半導体集積回路。
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